JPH07227755A - 磁力による表面処理方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被処理管の周囲に磁束の透過可能な包摂部材
を配置することにより、管の内外両表面を同時に処理す
ることのできる処理方法及び装置を得る。 【構成】 環状の支持リング１の内面上に、逆磁極を内
側に向け相互に対向した希土類磁石２，３が固着されて
いる。この支持リング１の内側には、非磁性体からなる
円管４が配置され、この円管４の内側に非磁性体の被処
理パイプ５が挿通されている。被処理パイプ５の内部
と、被処理パイプ５と円管４との間には、磁性砥粒を含
むスラリー６が収容され、スラリー６は、磁石２と３の
間に存在する磁束に沿って配置されている。支持リング
１が回転すると、スラリー６も回転して被処理管５の内
面５ａと外面５ｂとを同時に研磨することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁力による表面処理方法
及び装置に係り、特に移動磁界により表面処理用の磁性
体を駆動して被処理体の表面処理を行う技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、磁石を回転させ又は電磁コイ
ルにより回転磁界を発生させることにより、中心部に配
置されたパイプの内面を研磨する技術が提案されてい
る。このような磁気研磨法は、パイプ内に磁性体研磨工
具を導入して回転させるなどの方法に較べて、研磨部材
と研磨装置の駆動側とを接触させずに研磨することがで
きるため、パイプの径や長さに制限されることなく、種
々の被研磨材に対して広く適用できるという利点があ
る。この場合、パイプの内部には、磁性体の粒子を含む
砥粒を供給したり、磁性体や磁石の表面に研磨布等を被
覆させた磁気研磨部材を配置し、一方、パイプの周囲に
は、モータ等により回転可能に取付けた支持リングを設
け、この支持リングの内側に複数個の磁石を取付けるよ
うにする。また、支持リングと磁石の代わりに、パイプ
の周囲に環状に電磁コイルを配設し、これらの電磁コイ
ルの内側先端を全て中心のパイプに向けるとともに、こ
れらの電磁コイルに位相の異なる交流電力を供給して、
パイプの設置部分に回転磁界を発生させる場合もある。
このような技術は、近年、例えば半導体製造技術におい
て高純度の原料ガス等が要求されることとなってきてお
り、ガスの供給配管やガスボンベの内面の清浄化が要求
されているため、きわめて重要である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記磁
気研磨法において、パイプの内面のみを研磨する場合は
特に支障はないが、処理効率を上げるためにパイプの内
面と同時に外面をも研磨しようとすると、パイプの外側
にも機械的に外面を研磨するための装置を取付ける必要
があり、パイプの着脱を妨害したり、これらの装置の取
付け等が煩雑になって、却って処理効率が低下するとい
う問題があった。この場合、パイプの外面についても磁
気研磨により同時に研磨することが考えられるが、パイ
プの外部に研磨剤や研磨工具を安定的に配置することが
困難であるため、実現に到っていない。また、このよう
な磁気研磨を行う場合、表面を単に平坦化すればよい場
合だけではなく、パイプの内面や外面を所望の形状（例
えばパイプを軸線方向に沿って異なる厚さに仕上げたい
場合など）に加工する場合もあり、この場合には研磨時
間や研磨条件を軸線方向に変化させているが、研磨時間
や研磨条件の相違により加工面の仕上がりが変わってし
まう等の問題があり、条件を設定するのに困難がある。
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その
課題は、パイプ等の内外面を磁気研磨により同時に加工
できる方法を実現することにあり、また、その表面の所
望の処理態様に応じて適宜処理できる方法を得ることに
ある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明が講じた第１の手段は、外部の移動磁界に基づ
いて駆動される磁性体により、内外両表面を備えた被処
理体を処理する磁力による表面処理方法において、被処
理体の周囲を磁束の透過可能な包摂部材で包囲し、被処
理体の内部及び被処理体と包摂部材との間に表面処理用
磁性体を移動可能に収容し、外部からの移動磁界により
表面処理用磁性体を駆動して被処理体の内面及び外面を
同時に処理するものである。

【０００５】この場合に、被処理体の内部に、少なくと
も一部が磁性体からなる芯部材を配置して処理すること
が好ましい。

【０００６】また、第２の手段としては、被処理体の内
部に少なくとも一部が磁性体からなる芯部材を配置し、
被処理体と芯部材との間に表面処理用磁性体を移動可能
に収容し、外部からの移動磁界により表面処理用磁性体
を駆動して被処理体の内面又は外面を処理するものであ
る。

【０００７】さらに、表面処理装置の構成としては、被
処理管の周囲を包囲するように配置された磁束の透過可
能な管状部材と、被処理管の内部及び／又は被処理管と
管状部材との間に移動可能に収容された表面処理用磁性
体と、管状部材の外部から被処理管の軸線を略中心とし
て回転する磁界を印加する回転磁界印加手段とを設ける
場合がある。

【０００８】また、被処理管の周囲を包囲するように配
置された磁束の透過可能な管状部材と、被処理管の内部
又は被処理管と管状部材との間に移動可能に収容された
表面処理用磁性体と、被処理管と管状部材との間又は被
処理管の内部に移動可能に収容され、被処理管の外面又
は被処理管の内面に対してほぼ無作用になるように形成
された補助磁性体と、管状部材の外部から被処理管の軸
線を略中心として回転する磁界を印加する回転磁界印加
手段とを設ける場合もある。

【０００９】これらの装置においては、被処理管の内部
に、その軸線方向に延長し、少なくとも一部が磁性体か
らなる芯部材を配置することが好ましい。

【００１０】また、管状部材の内面は、被処理管の所望
の表面処理態様に応じて凹凸形状に形成することが望ま
しい。

【００１１】さらに、被処理管の所望の表面処理態様に
応じて、管状部材に部分的に磁性体を取付け若しくは管
状部材を部分的に異なる厚さの磁性体で構成することが
好ましい。

【００１２】装置としては、被処理管の内部に、その軸
線方向に延長し、少なくとも一部が磁性体からなる芯部
材を配置し、被処理管と芯部材との間に表面処理用磁性
体を移動可能に収容する場合もある。

【００１３】芯部材を配置する場合には、芯部材の表面
を、被処理管の所望の表面処理態様に応じて凹凸形状に
形成することが好ましい。

【００１４】

【作用】請求項１によれば、被処理体の周囲に包摂部材
を配置し、被処理体の内部及び包摂部材と被処理体の間
に収容された表面処理用磁性体を駆動して表面処理を行
うので、表面処理用磁性体が被処理体の外面側に確実に
保持され、被処理体の内面と外面とを同時に処理できる
とともに、表面処理用磁性体が包摂部材の内側において
被処理体の内外に亘る磁路を形成するので、研磨部分に
おける磁気抵抗が低減されて磁力が増大することによ
り、被処理体への表面処理用磁性体の接触圧が増加す
る。

【００１５】請求項３によれば、芯部材の磁性体の部分
においては芯部材が外部から印加された磁界の磁路の一
部を構成するため磁気抵抗が低減されるとともに、芯部
材の配置により被処理体の内部の空間が限定されるため
磁力により駆動される表面処理用磁性体の量を増加させ
ずに被処理体に対する表面処理用磁性体の接触量又は接
触面積を相対的に増大させることができる。

【００１６】請求項５によれば、被処理管の内面と外面
の一方のみを処理する場合には、処理面に接する側にの
み表面処理用磁性体を収容し、非処理面に接する側には
磁路を形成するための補助磁性体を配置することによ
り、磁力を弱めることなく一方のみの表面処理を行うこ
とができる。

【００１７】請求項７によれば、管状部材の内面の凹凸
形状は被処理管の外側において表面処理用磁性体の配置
され得る幅を増減させるので、これに伴って磁気抵抗も
増減し、表面処理強度を凹凸形状に応じて変化させるこ
とができる。

【００１８】請求項８によれば、管状部材に部分的に磁
性体を取付け若しくは管状部材を部分的に異なる厚さを
もつ磁性体で構成することにより、磁性体の取付部分若
しくは厚い部分の磁力が低減されるので、部分的に表面
処理強度を変化させることができる。

【００１９】請求項１０によれば、芯部材の表面の凹凸
形状は磁気抵抗を増減させるので、表面処理強度を凹凸
形状に応じて変化させることができる。

【００２０】

【実施例】次に、図面を参照して本発明に係る磁力によ
る表面処理方法及び装置の実施例を説明する。本発明
は、単に磁気研磨に限らず、表面を切削して形状加工を
行う場合や部分的な加工例えばバリ取りを行う場合など
に用いたり、研磨剤の代わりに中性洗剤等の洗浄液やエ
ッチング液を含ませ、或いは磁性工具の接触面に洗浄液
やエッチング液を供給して、表面の洗浄やエッチングを
行う場合にも用いることができるものである。また、パ
イプの表面処理に限らず、ガスボンベやバルブの本体そ
の他の内面を備えた部材であるならば広く適用できるも
のである。以下の実施例では、パイプの内面又は外面に
対して磁気研磨を施す場合について説明する。

【００２１】図１は本発明の実施例１の研磨方法及び装
置の要部を示す拡大断面図である。環状の支持リング１
の内面上に、逆磁極を内側に向け相互に対向した希土類
磁石２，３が固着されている。この支持リング１は図７
（ａ）に示す可動体１０に回転自在に取付けられ、モー
タ１１により回転するようになっている。可動体１０は
ボールねじ１２により支持リング１の軸線方向に移動す
るようになっている。この支持リング１の内側には、非
磁性体からなる円管４が配置されている。円管４は、図
示しないフレームに固定されている。円管４の内側に
は、研磨される非磁性の被処理パイプ５が挿通され、や
はりフレームに対して固定されている。

【００２２】通常、図７（ａ）に示すように円管４は被
処理パイプ５とともに、その両端部においてフレームに
取付けられているが、図７（ｂ）に示すように円管４を
支持リング１の内側近傍に限定された長さとし、支持リ
ング１に対して取付けてもよい。この場合、円管４’の
端部には内側に向けて形成された鍔部４’ａを設け、円
管４’内に供給した後述の砥粒を含むスラリー６を外部
に飛散させないようにしている。鍔部４’ａの先端と被
処理パイプ５との間にはある程度の間隔が必要である
が、磁界とともに回転するスラリー６は、鍔部４’ａの
中心側から外部へ出ることはない。

【００２３】この円管４と被処理パイプ５の内部には、
磁性体粒子と砥粒と研磨油、又は磁性体砥粒と研磨油か
らなるスラリー６が供給される。被処理パイプ５を垂直
若しくは傾斜させて固定する場合には、スラリー６は、
研磨工程中に円管４及び被処理パイプ５の上端から所定
量連続して供給される。もちろん、研磨工程中に所定時
間毎に供給してもよい。図７（ｂ）に示す装置において
は研磨工程当初にスラリー６をある程度の量予め円管
４’の内部に導入しておく。

【００２４】本実施例１では、支持リング１を回転させ
ながら、可動体１０を軸線方向に揺動させつつ一方向に
次第に移動させた。動作条件は被処理パイプの材質（例
えばアルミニウム、ステンレス鋼等）、処理前の表面粗
さ、砥粒の粒径等により適宜設定されるが、典型例とし
ては、支持リング１の回転数は１１００ｒｐｍ、可動体
１０の揺動ストロークは８０ｍｍ、揺動周期は０．８Ｈ
ｚ、スラリーの供給量は５ｃｃ／ｍｉｎ、可動体の平均
移動速度は５０ｍｍ／ｍｉｎである。

【００２５】このようにして研磨を行うと、図１に示す
ようにスラリー６は磁石２，３の間の磁束に沿って配置
され、円管４及び被処理パイプ５に対して回転する。し
たがって、被処理パイプ５の内面５ａと外面５ｂは同時
にスラリー６により研磨される。ここで、円管４の内面
もスラリー６に接しているので研磨されることとなる
が、図７（ｂ）に示すように円管４を支持リング１に対
して取付けると円管４が支持リング１とともに回転する
ため、円管４とスラリー６もほぼ同様に回転するので、
円管４の内面は殆ど研磨されなくなる。

【００２６】この実施例１では被処理パイプ５の周囲に
円管４を配置したので、スラリー６が円管４内に閉じ込
められ、効率的に被処理パイプ５の外面５ａを研磨する
ことができるとともに、支持リング１の回転によりスラ
リー６が外側に飛散することも防止できる。また、スラ
リー６は外部から印加される磁界に沿って円管４の内部
において磁路を形成するので、磁気抵抗が低減されるこ
とにより磁力が増大して、研磨圧を増加させることがで
きるため加工量を増大できる。

【００２７】この場合、スラリー６の代わりに、表面に
研磨布を貼着させた磁性体の研磨工具６’ａ，６’ｂを
被処理パイプ５内と、円管４と被処理パイプ５との間と
に、それぞれ配置させ、スラリー６と同様に磁石２，３
の間を結ぶ線上に磁力により保持させた状態で研磨を行
うこともできる。このとき、被処理パイプ５内に配置さ
れる研磨工具６’ａは、被処理パイプ５の内径にほぼ等
しい長さをもつもの、若しくは複数の研磨工具を収容し
た場合には磁力線に沿って被処理パイプ５の内径にほぼ
等しい長さに配列され得るものであることが望ましい。
また、円管４と被処理パイプ５との間には図示のように
２つの研磨工具６’ｂを配置することが好ましい。

【００２８】なお、上記実施例においては支持リング１
を回転させているが、逆に被処理パイプ５を回転させて
も同様の効果が得られる。また、支持リングは、磁石
２，３により形成される磁路の磁気抵抗を低減するため
に、磁性体で構成されることが望ましい。磁石２，３は
必ずしも対向している必要はなく、少なくとも相互に逆
磁極となっている２つ以上の磁極が支持リング１の内面
側に存在していればよい。もちろん、これらと同等の回
転磁界を複数の電磁コイルによって形成することもでき
る。

【００２９】図２には本発明に係る実施例２を示す。こ
の実施例２では、被処理パイプ５の内部に磁性体（例え
ば鉄）の棒状芯７を挿入し、磁石２，３の間の磁気抵抗
を低減させている。したがって、希土類磁石２，３の間
の磁力を増大させ、研磨力を高めることができる。この
棒状芯７は、被処理パイプ５と同様にフレームに固定さ
れる。

【００３０】実施例２においては、被処理パイプ５の内
部に棒状芯７を配置したことにより磁石２，３の間の磁
気回路の磁気抵抗が低減されて研磨力が増大する。ま
た、棒状芯７を配置させたことにより、被処理パイプ５
内の空間が減少してスラリー６の必要量が低減され若し
くはスラリー６の流動量が増加し、或いは所定量のスラ
リー６に対して被処理パイプ５の内面５ａへの接触量を
増大させることができる一方、磁力により駆動されるス
ラリー６の全体重量は変わらないから、研磨効率をさら
に高めることができる。このことは上記研磨工具６’
ａ，６’ｂを使用した場合についても同様であり、駆動
される重量を変えずに内面５ａに対する接触面積を増加
させることができる。

【００３１】棒状芯７は、通常鉄棒その他の磁性体を用
いるが、磁石２，３に対向する面を磁石の磁極とは逆の
磁極になるように着磁した磁石で構成することもでき
る。この場合、棒状芯７は磁石２，３と同期して回転さ
せる必要があるが、研磨作用をさらに高めることができ
る。

【００３２】図３には、円管４と被処理パイプ５との間
にのみスラリー６を供給し、被処理パイプ５の外面５ｂ
のみを研磨する場合を示す。この場合、被処理パイプ５
の内側にはスラリー６が供給されないので、磁気抵抗を
低減させるために被処理パイプ５の内径に近い太さの棒
状芯７’を挿入し、研磨効率を高めることができる。ま
た、棒状芯７の周囲に２つの磁性体片（又は磁石片）
８，９を収容し、支持リング１の回転とともに回転させ
ることも可能である。この場合、磁性体片８，９は樹脂
コーティング等により被処理パイプの内面を傷付けない
ようにすることが望ましい。さらに被処理パイプ５の内
面５ａに傷をつけない程度の柔らかい磁性体粉又は磁性
粒子をスラリー６の代わりに供給してもよい。

【００３３】図４には、円管４と被処理パイプ５との間
にはスラリー６を供給せず、被処理パイプ５の内面５ａ
のみを研磨する場合を示す。ここで、円管４をそのまま
配置してもよく、また、磁石２，３をより接近させるた
めに円管４を取り去ってもよい。この場合には通常の磁
気研磨による内面処理とほぼ同様であるが、棒状芯７に
より磁気抵抗が低減され、研磨効率が向上する。この場
合、円管４を取り外さずに、円管４と被処理パイプ５と
の間に２つの磁性体片（又は磁石片）１０，１１を配置
してもよく、また被処理パイプ５の外面５ｂに傷をつけ
ない程度の柔らかい磁性体粉又は磁性粒子をスラリー６
の代わりに供給してもよい。

【００３４】図５は、上記実施例１又は実施例２に使用
することのできる円管４の他の例を示すものである。図
５（ａ）に示すものは、円管４１の管壁を軸線方向に波
形に形成したものであり、凹部４１ａの部分では、内部
に挿入される被処理パイプ５の周囲のスラリー６の保持
範囲が凸部４１ｂの部分よりも少なくなるとともに磁石
２，３と円管４との間隙も大きくなるので、相対的に磁
力が弱くなる。したがって、被処理パイプ５の研磨量は
軸線方向に変化し、被処理パイプ５の内外表面に波形の
うねりを形成することができる。なおこの場合、研磨工
程において円管４１は被処理パイプ５に対して軸線方向
に固定される必要がある。このように、円管の内面側に
凹凸形状を設けることにより、スラリー６の配置される
空間距離を変更して磁気間隙を変化させることにより、
磁力の強度を増減させることができるので、被処理パイ
プの内外面を所望の形状に仕上げることができる。

【００３５】図５（ｂ）には、円管４２の外面上に磁性
体ワイヤ４３を部分的に巻付けたものを示す。この円管
４２によれば、磁性体ワイヤ４３を巻付けていない部分
４２ａでは、磁性体ワイヤ４３を巻付けた部分４２ｂよ
りも磁束が透過し、研磨力も増大するので、上記図５
（ａ）とほぼ同様に被処理パイプ５の内外表面に波形の
うねりを形成することができる。このように、円管に部
分的に磁性体を取付けることにより、円管を透過する磁
束量を調整し、磁力の強度を増減させることができるの
で、被処理パイプの内外面を所望の形状に仕上げること
ができる。

【００３６】円管４，４１，４２は基本的に非磁性体で
形成されるが、材料の透磁率の値に比して管厚の充分に
薄いものであれば磁性体を用いることもできる。磁性体
を用いた場合には、その厚さを場所により変化させるこ
とにより磁束の透過量を変化させることができるので、
管厚の変化した円管を使用すると上記円管４１，４２と
同様に研磨量を変化させることができ、所望の形状に加
工できる。

【００３７】図６には実施例２に適用できる棒状芯７の
他の例を示す。図６（ａ）に示す棒状芯７１は、その軸
線方向に凹部７１ａと凸部７１ｂとを交互に形成した波
形断面をもつものである。凹部７１ａの部分では、凸部
７１ｂの部分よりも棒状芯７１の径が小さいので磁気抵
抗は大きくなり、研磨力は低下する。したがって、被処
理パイプ５の内外表面に棒状芯７１の形状に対応した波
形のうねりを形成することができる。このように、棒状
芯の表面に凹凸形状を設けることにより、磁気抵抗を変
更し、磁力の強度を増減させることができるので、被処
理パイプの内外面を所望の形状に仕上げることができ
る。

【００３８】図６（ｂ）に示す棒状芯７２には、磁性体
ワイヤ７３が部分的に巻付けられている。磁性体ワイヤ
７３を巻付けていない部分７２ａは磁性体ワイヤ７３を
巻付けた部分７２ｂよりも径が小さいため、このように
すると図６（ａ）に示す棒状芯７１と同様の効果を奏す
る。ここで、７３を非磁性体ワイヤとすれば、非磁性体
ワイヤにより磁気間隙が形成されるので逆に部分７２ａ
よりも部分７２ｂの方が磁気抵抗が増大し、被処理パイ
プ５の波形のうねりは、上記の場合とは逆に凹凸の逆転
した形状となる。このように、棒状芯の表面に部分的に
磁性体又は非磁性体を取付けることにより、磁気抵抗を
変更し、磁力の強度を増減させることができるので、被
処理パイプの内外面を所望の形状に仕上げることができ
る。

【００３９】図６（ｃ）に示す棒状芯７４は、磁性体７
４ａと非磁性体７４ｂとから形成したものであり、磁性
体７４ａの部分では、非磁性体７４ｂの部分に較べて磁
気抵抗が低減し、研磨力は増大する。このように棒状芯
を部分的に磁性体又は非磁性体で構成することにより、
種々の形状に被処理パイプを加工できる。

【００４０】以上のように、管状部材又は棒状芯の表面
形状を軸線方向に部分的に変え、部分的に磁性体又は非
磁性体を取付け、或いは部分的に磁性体又は非磁性体で
構成することにより、被処理パイプ等の被処理体を所望
の形状に仕上げることができ、また研磨等の表面処理を
所定部位、例えば、パイプの溶接部やＴ字管の分岐部等
に限定することができる。これらの場合において、上記
のように形状や磁性体の取付等を被処理パイプの軸線方
向に変化させるのではなく、被処理パイプの周面の周回
方向に変化させても同様にその変化に応じて処理状態を
変化させ得ることは明らかである。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば以
下の効果を奏する。 (1)被処理体を包囲する包摂部材を設けることにより、
被処理体の外面側にも表面処理用磁性体を保持させるこ
とができるので、被処理体の内外面を同時に処理するこ
とが可能になるとともに、磁気抵抗が低減されて磁力が
増大することにより、表面処理の効率を向上させること
ができる。

【００４２】(2) 少なくとも一部が磁性体からなる芯
部材を被処理体の内部に収容することにより、芯部材の
うち磁性体で構成されている部分では磁気抵抗を低減さ
せることができるので、磁力が増大して被処理体の内面
を効率良く処理することができる。

【００４３】(3) 管状部材又は棒状芯の表面形状を部
分的に変え、部分的に磁性体又は非磁性体を取付け、或
いは部分的に磁性体又は非磁性体で構成することによ
り、被処理体を所望の形状に仕上げることができ、また
表面処理を被処理体の所定部位に限定して行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る表面処理方法又は装置の実施例１
（磁気研磨装置）の要部を示す拡大断面図である。

【図２】本発明に係る表面処理方法又は装置の実施例２
（磁気研磨装置）の要部を示す拡大断面図である。

【図３】実施例２において被処理パイプの外面のみを研
磨する場合の状態を示す拡大断面図である。

【図４】実施例２において被処理パイプの内面のみを研
磨する場合の状態を示す拡大断面図である。

【図５】実施例１又は実施例２に適用し得る円管の例を
示す断面図（ａ）及び（ｂ）である。

【図６】実施例２に適用し得る棒状芯の例を示す断面図
（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）である。

【図７】実施例１の磁気研磨装置の動作部分の全体概略
構造を示す概略断面図（ａ）及び（ｂ）である。

【符号の説明】

１ 支持リング ２，３ 磁石（回転磁界発生手段） ４，４’，４１，４２ 円管（包摂部材、管状部材） ５ 被処理パイプ（被処理体、被処理管） ５ａ 被処理パイプの内面 ５ｂ 被処理パイプの外面 ６ スラリー（表面処理用磁性体） ６’ａ，６’ｂ，８，９ 磁性体片、磁石片（補助磁性
体） ７，７’ 棒状芯（芯部材） ４３，７３ 磁性体ワイヤ（磁性体）

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外部の移動磁界に基づいて駆動される磁
   性体により、内外両表面を備えた被処理体を処理する磁
   力による表面処理方法において、 前記被処理体の周囲を磁束の透過可能な包摂部材で包囲
   し、前記被処理体の内部及び前記被処理体と前記包摂部
   材との間に表面処理用磁性体を移動可能に収容し、外部
   からの移動磁界により該表面処理用磁性体を駆動して前
   記被処理体の内面及び外面を同時に処理することを特徴
   とする磁力による表面処理方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記被処理体の内部
   に、少なくとも一部が磁性体からなる芯部材を配置して
   処理することを特徴とする磁力による表面処理方法。
3. 【請求項３】 外部の移動磁界に基づいて駆動される磁
   性体により、内外両表面を備えた被処理体を処理する磁
   力による表面処理方法において、 前記被処理体の内部に少なくとも一部が磁性体からなる
   芯部材を配置し、前記被処理体と前記芯部材との間に表
   面処理用磁性体を移動可能に収容し、外部からの移動磁
   界により該表面処理用磁性体を駆動して前記被処理体の
   内面を処理することを特徴とする磁力による表面処理方
   法。
4. 【請求項４】 外部の移動磁界に基づいて駆動される磁
   性体により被処理管の内面又は外面を処理する磁力によ
   る表面処理装置において、 前記被処理管の周囲を包囲するように配置された磁束の
   透過可能な管状部材と、前記被処理管の内部及び／又は
   前記被処理管と前記管状部材との間に移動可能に収容さ
   れた表面処理用磁性体と、前記管状部材の外部から前記
   被処理管の軸線を略中心として回転する磁界を印加する
   回転磁界印加手段とを有し、該回転磁界印加手段の回転
   磁界により前記表面処理用磁性体を駆動して前記被処理
   管の内面及び／又は外面を処理することを特徴とする磁
   力による表面処理装置。
5. 【請求項５】 外部の移動磁界に基づいて駆動される磁
   性体により被処理管の内面又は外面を処理する磁力によ
   る表面処理装置において、 前記被処理管の周囲を包囲するように配置された磁束の
   透過可能な管状部材と、前記被処理管の内部又は前記被
   処理管と前記管状部材との間に移動可能に収容された表
   面処理用磁性体と、前記被処理管と前記管状部材との間
   又は前記被処理管の内部に移動可能に収容され、前記被
   処理管の外面又は前記被処理管の内面に対してほぼ無作
   用になるように形成された補助磁性体と、前記管状部材
   の外部から前記被処理管の軸線を略中心として回転する
   磁界を印加する回転磁界印加手段とを有し、該回転磁界
   印加手段の回転磁界により前記表面処理用磁性体及び前
   記補助磁性体を駆動して前記被処理管の内面又は外面を
   処理することを特徴とする磁力による表面処理装置。
6. 【請求項６】 請求項４又は請求項５において、前記被
   処理管の内部に、その軸線方向に延長し、少なくとも一
   部が磁性体からなる芯部材を配置したことを特徴とする
   磁力による表面処理装置。
7. 【請求項７】 請求項４又は請求項５において、前記管
   状部材の内面は、前記被処理管の所望の表面処理態様に
   応じて、凹凸形状に形成されていることを特徴とする磁
   力による表面処理装置。
8. 【請求項８】 請求項４又は請求項５において、前記被
   処理管の所望の表面処理態様に応じて、前記管状部材に
   部分的に磁性体が取付けられ若しくは前記管状部材が部
   分的に異なる厚さの磁性体で構成されていることを特徴
   とする磁力による表面処理装置。
9. 【請求項９】 外部の移動磁界に基づいて駆動される磁
   性体により被処理管の内面を処理する磁力による表面処
   理装置において、 前記被処理管の内部に、その軸線方向に延長し、少なく
   とも一部が磁性体からなる芯部材を配置し、前記被処理
   管と前記芯部材との間に表面処理用磁性体を移動可能に
   収容し、外部からの移動磁界により該表面処理用磁性体
   を駆動して前記被処理管の内面を処理することを特徴と
   する磁力による表面処理装置。
10. 【請求項１０】 請求項６又は請求項９において、前記
    芯部材の表面は、前記被処理管の所望の表面処理態様に
    応じて凹凸形状に形成されていることを特徴とする磁力
    による表面処理装置。