JPH07224760A - 真空断熱容器用ゲッター材容器 - Google Patents
真空断熱容器用ゲッター材容器Info
- Publication number
- JPH07224760A JPH07224760A JP1962794A JP1962794A JPH07224760A JP H07224760 A JPH07224760 A JP H07224760A JP 1962794 A JP1962794 A JP 1962794A JP 1962794 A JP1962794 A JP 1962794A JP H07224760 A JPH07224760 A JP H07224760A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- getter material
- vacuum
- heat insulating
- vacuum heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 中温・高温用真空断熱容器においても真空空
間内の真空度を長時間保持することができ、しかも、脱
ガス吸収材としてのゲッター材の再生や交換も容易に行
うことができる真空断熱容器用ゲッター材容器を提供す
る。 【構成】 内部にゲッター材を収納したゲッター材容器
１１に、真空断熱容器１２の真空空間１５に開閉弁１３
を介して連通する接続部と、排気弁１６を有する排気部
とを設けるとともに、前記ゲッター材を所定の作動温度
や再生温度に加温する加熱手段を設ける。
間内の真空度を長時間保持することができ、しかも、脱
ガス吸収材としてのゲッター材の再生や交換も容易に行
うことができる真空断熱容器用ゲッター材容器を提供す
る。 【構成】 内部にゲッター材を収納したゲッター材容器
１１に、真空断熱容器１２の真空空間１５に開閉弁１３
を介して連通する接続部と、排気弁１６を有する排気部
とを設けるとともに、前記ゲッター材を所定の作動温度
や再生温度に加温する加熱手段を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空断熱容器用ゲッタ
ー材容器に関し、詳しくは、真空断熱容器や真空断熱配
管等の真空空間内の真空度を保持するために設けられる
ゲッター材の容器の構造に関する。
ー材容器に関し、詳しくは、真空断熱容器や真空断熱配
管等の真空空間内の真空度を保持するために設けられる
ゲッター材の容器の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、低温用の真空断熱容器では、
該容器を構成する材料等から放出されるガス（脱ガス）
により真空空間内の真空度が悪化することを防止するた
め、活性炭等の脱ガス吸収剤を真空空間内に設けること
が行われており、例えば、図３に示すように、内壁１ａ
及び外壁１ｂからなる真空断熱容器１の真空空間２内に
活性炭のような脱ガス吸収剤３を配設していた。なお、
図中、４は真空空間２内を真空排気するための排気口、
Ｐは圧力ゲージである。
該容器を構成する材料等から放出されるガス（脱ガス）
により真空空間内の真空度が悪化することを防止するた
め、活性炭等の脱ガス吸収剤を真空空間内に設けること
が行われており、例えば、図３に示すように、内壁１ａ
及び外壁１ｂからなる真空断熱容器１の真空空間２内に
活性炭のような脱ガス吸収剤３を配設していた。なお、
図中、４は真空空間２内を真空排気するための排気口、
Ｐは圧力ゲージである。
【０００３】また、図４に示すように、真空断熱容器１
の真空空間２内と連通する短管５に脱ガス吸収剤として
ゲッター材を収納した容器６をフランジ７で結合すると
ともに、容器６内のゲッター材を所定の作動温度まで加
熱するためのヒーター（図示せず）と、該ヒーターに電
流を供給するための端子８ａ及び配線８ｂが設けられて
いる。
の真空空間２内と連通する短管５に脱ガス吸収剤として
ゲッター材を収納した容器６をフランジ７で結合すると
ともに、容器６内のゲッター材を所定の作動温度まで加
熱するためのヒーター（図示せず）と、該ヒーターに電
流を供給するための端子８ａ及び配線８ｂが設けられて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３に
示す低温用の真空断熱容器で真空空間内の脱ガス吸収剤
として使用されている活性炭は、低温でないと作動しな
いという活性炭の特性により、中温・高温用真空断熱容
器では使用することができなかった。また、図４に示す
中温・高温用真空断熱容器では、材料からの放出ガス量
が低温用真空断熱容器に比べて多量であること、有効作
動温度範囲の限定されたゲッター材しかなかったことな
どの理由により、この中温・高温分野の真空断熱容器
は、技術的に確立されていないのが実情である。
示す低温用の真空断熱容器で真空空間内の脱ガス吸収剤
として使用されている活性炭は、低温でないと作動しな
いという活性炭の特性により、中温・高温用真空断熱容
器では使用することができなかった。また、図４に示す
中温・高温用真空断熱容器では、材料からの放出ガス量
が低温用真空断熱容器に比べて多量であること、有効作
動温度範囲の限定されたゲッター材しかなかったことな
どの理由により、この中温・高温分野の真空断熱容器
は、技術的に確立されていないのが実情である。
【０００５】一方、省エネ・環境問題関連等の要求によ
り、３００〜５００℃の中温用や５００〜９５０℃の高
温用の真空断熱容器に対する要望が強くなってきてお
り、中温・低温用真空断熱容器においても、低温真空断
熱容器と同様の真空保持能力が望まれている。
り、３００〜５００℃の中温用や５００〜９５０℃の高
温用の真空断熱容器に対する要望が強くなってきてお
り、中温・低温用真空断熱容器においても、低温真空断
熱容器と同様の真空保持能力が望まれている。
【０００６】そこで本発明は、中温・高温用真空断熱容
器においても真空空間内の真空度を長時間保持すること
ができ、しかも、脱ガス吸収材としてのゲッター材の再
生や交換も容易に行うことができる真空断熱容器用ゲッ
ター材容器を提供することを目的としている。
器においても真空空間内の真空度を長時間保持すること
ができ、しかも、脱ガス吸収材としてのゲッター材の再
生や交換も容易に行うことができる真空断熱容器用ゲッ
ター材容器を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明の真空断熱容器用ゲッター材容器は、内部
にゲッター材を収納した密閉容器に、真空断熱容器の真
空空間に開閉弁を介して連通する接続部と、排気弁を有
する排気部とを設けるとともに、前記ゲッター材を加温
する加熱手段を設けたことを特徴としている。
ため、本発明の真空断熱容器用ゲッター材容器は、内部
にゲッター材を収納した密閉容器に、真空断熱容器の真
空空間に開閉弁を介して連通する接続部と、排気弁を有
する排気部とを設けるとともに、前記ゲッター材を加温
する加熱手段を設けたことを特徴としている。
【０００８】
【作 用】上記構成によれば、まず、排気弁を開いて容
器内をゲッター材の作動真空度である１０-4Ｔｏｒｒ以
下の真空度に真空排気し、加熱手段でゲッター材を加熱
して所定の活性化温度に保持し、容器内のゲッター材を
活性化させた後、真空断熱容器に接続する接続部の開閉
弁を開くことにより、真空断熱容器を構成する材料から
放出されたガスをゲッター材で収着して除去することが
でき、真空空間内を所定の真空度に保持することができ
る。
器内をゲッター材の作動真空度である１０-4Ｔｏｒｒ以
下の真空度に真空排気し、加熱手段でゲッター材を加熱
して所定の活性化温度に保持し、容器内のゲッター材を
活性化させた後、真空断熱容器に接続する接続部の開閉
弁を開くことにより、真空断熱容器を構成する材料から
放出されたガスをゲッター材で収着して除去することが
でき、真空空間内を所定の真空度に保持することができ
る。
【０００９】また、接続部の開閉弁を閉じることによ
り、真空空間内を真空状態に保ったままゲッター材を収
納した容器を取外して交換することができる。さらに、
接続部の開閉弁を閉じて排気部に真空ポンプ等を接続
し、排気弁を開いて容器内を排気し、加熱することによ
り、ゲッター材表面に収着されているガス原子を拡散に
よりゲッター材内部へ移動させてゲッター材を再活性化
することができる。
り、真空空間内を真空状態に保ったままゲッター材を収
納した容器を取外して交換することができる。さらに、
接続部の開閉弁を閉じて排気部に真空ポンプ等を接続
し、排気弁を開いて容器内を排気し、加熱することによ
り、ゲッター材表面に収着されているガス原子を拡散に
よりゲッター材内部へ移動させてゲッター材を再活性化
することができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を、図面に示す実施例に基づい
てさらに詳細に説明する。図１は、内部に所定のゲッタ
ー材が充填されているゲッター材容器１１を、真空断熱
容器１２に装着した状態を示すもので、ゲッター材容器
１１は、開閉弁１３を有する接続管１４を介して真空断
熱容器１２の真空空間１５に連通するように取付けられ
ている。また、ゲッター材容器１１には、排気弁１６を
有する排気管１７が設けられるとともに、該ゲッター材
容器１１に内蔵された加熱手段である電気ヒーターの端
子部１８が設けられている。
てさらに詳細に説明する。図１は、内部に所定のゲッタ
ー材が充填されているゲッター材容器１１を、真空断熱
容器１２に装着した状態を示すもので、ゲッター材容器
１１は、開閉弁１３を有する接続管１４を介して真空断
熱容器１２の真空空間１５に連通するように取付けられ
ている。また、ゲッター材容器１１には、排気弁１６を
有する排気管１７が設けられるとともに、該ゲッター材
容器１１に内蔵された加熱手段である電気ヒーターの端
子部１８が設けられている。
【００１１】なお、真空断熱容器１２には、必要に応じ
て真空空間１５内を真空排気するための排気口１９と、
圧力計（Ｐ）２０とが設けられ、真空空間１５内には、
活性炭等の脱ガス吸収剤又は断熱ボード２１等が設けら
れている。
て真空空間１５内を真空排気するための排気口１９と、
圧力計（Ｐ）２０とが設けられ、真空空間１５内には、
活性炭等の脱ガス吸収剤又は断熱ボード２１等が設けら
れている。
【００１２】このようにゲッター材容器１１を真空断熱
容器１２に装着した後、排気弁１６を開いて容器内を真
空排気して１０-4Ｔｏｒｒ台に到達させ、端子部１８か
ら電気ヒーターに通電してゲッター材容器１１内のゲッ
ター材を所定の活性化温度まで昇温し、活性化させた
後、開閉弁１３を開くことにより、真空断熱容器１２を
構成する材料から真空空間１５内に放出されたガスをゲ
ッター材で収着することができ、真空断熱容器１５内を
所定の真空度に保つことができる。
容器１２に装着した後、排気弁１６を開いて容器内を真
空排気して１０-4Ｔｏｒｒ台に到達させ、端子部１８か
ら電気ヒーターに通電してゲッター材容器１１内のゲッ
ター材を所定の活性化温度まで昇温し、活性化させた
後、開閉弁１３を開くことにより、真空断熱容器１２を
構成する材料から真空空間１５内に放出されたガスをゲ
ッター材で収着することができ、真空断熱容器１５内を
所定の真空度に保つことができる。
【００１３】また、一定期間経過後あるいは真空空間１
５内の真空度に劣化傾向が確認された場合は、ゲッター
材を再活性化するか、ゲッター材容器１１を活性状態の
ゲッター材を充填した別のゲッター材容器１１と交換す
る。
５内の真空度に劣化傾向が確認された場合は、ゲッター
材を再活性化するか、ゲッター材容器１１を活性状態の
ゲッター材を充填した別のゲッター材容器１１と交換す
る。
【００１４】まず、ゲッター材の再活性化は、開閉弁１
３を閉じ、排気弁１６に真空ポンプを接続し、排気弁１
６を開いてゲッター材容器１１内を真空排気するととも
に、電気ヒーターによりゲッター材を加温することによ
り行うことができる。
３を閉じ、排気弁１６に真空ポンプを接続し、排気弁１
６を開いてゲッター材容器１１内を真空排気するととも
に、電気ヒーターによりゲッター材を加温することによ
り行うことができる。
【００１５】また、ゲッター材容器１１の交換は、開閉
弁１３を閉じ、該開閉弁１３からゲッター材容器１１を
取り外した後、新しいゲッター材容器１１を取付け、排
気弁１６からゲッター材容器１１内を真空排気した後に
排気弁１６を閉じ、開閉弁１３を開く手順で行うことが
できる。
弁１３を閉じ、該開閉弁１３からゲッター材容器１１を
取り外した後、新しいゲッター材容器１１を取付け、排
気弁１６からゲッター材容器１１内を真空排気した後に
排気弁１６を閉じ、開閉弁１３を開く手順で行うことが
できる。
【００１６】このように、上記構成のゲッター材容器１
１は、開閉弁１３と排気弁１６とを設けるとともに電気
ヒーターを内蔵したので、開閉弁１３を介して真空空間
１５に接続し、通常時には、開閉弁１３を開いて電気ヒ
ーターでゲッター材を加温することにより、真空空間１
５内に生じた脱ガスを吸収することができ、しかも、開
閉弁１３を閉じることにより、ゲッター材容器１１を交
換することも可能であり、また、排気弁１６から真空排
気しながらゲッター材を加温することにより、ゲッター
材容器１１を真空断熱容器１２に装着した状態のままで
ゲッター材を再生することができる。
１は、開閉弁１３と排気弁１６とを設けるとともに電気
ヒーターを内蔵したので、開閉弁１３を介して真空空間
１５に接続し、通常時には、開閉弁１３を開いて電気ヒ
ーターでゲッター材を加温することにより、真空空間１
５内に生じた脱ガスを吸収することができ、しかも、開
閉弁１３を閉じることにより、ゲッター材容器１１を交
換することも可能であり、また、排気弁１６から真空排
気しながらゲッター材を加温することにより、ゲッター
材容器１１を真空断熱容器１２に装着した状態のままで
ゲッター材を再生することができる。
【００１７】図２は、ゲッター材容器３１を金属等で通
常の筒状に形成し、その外周に加熱手段として電気ヒー
ター３２を設けた例を示すものである。このように、ゲ
ッター材容器３１の外周から容器内のゲッター材を加温
するように構成することも可能である。なお、他の構成
要素は、上記図１に示すものと同様に構成できるので、
同一構成要素には同一符号を付して、その説明は省略す
る。
常の筒状に形成し、その外周に加熱手段として電気ヒー
ター３２を設けた例を示すものである。このように、ゲ
ッター材容器３１の外周から容器内のゲッター材を加温
するように構成することも可能である。なお、他の構成
要素は、上記図１に示すものと同様に構成できるので、
同一構成要素には同一符号を付して、その説明は省略す
る。
【００１８】このように、真空断熱容器の真空空間内に
発生する脱ガスを吸収するゲッター材を交換可能な容器
に充填し、かつ、そのままの状態で再生可能とすること
により、真空空間内の真空度を劣化させることなくゲッ
ター材の交換や再生を行うことができる。
発生する脱ガスを吸収するゲッター材を交換可能な容器
に充填し、かつ、そのままの状態で再生可能とすること
により、真空空間内の真空度を劣化させることなくゲッ
ター材の交換や再生を行うことができる。
【００１９】したがって、真空断熱容器に真空ポンプを
装着して真空空間内を真空排気する必要がなくなるの
で、真空断熱容器に排気系を取付ける必要がなくなり、
真空断熱容器や設備のコンパクト化が図れるとともに、
真空空間内を長時間所定の真空度に保持することがで
き、真空断熱容器の設計上の自由度を増すこともでき
る。さらに、大量の脱ガスの吸収も容易に行うことがで
きるので、中高温環境で使用される真空断熱容器にも適
用でき、幅広い温度範囲での使用が可能となる。
装着して真空空間内を真空排気する必要がなくなるの
で、真空断熱容器に排気系を取付ける必要がなくなり、
真空断熱容器や設備のコンパクト化が図れるとともに、
真空空間内を長時間所定の真空度に保持することがで
き、真空断熱容器の設計上の自由度を増すこともでき
る。さらに、大量の脱ガスの吸収も容易に行うことがで
きるので、中高温環境で使用される真空断熱容器にも適
用でき、幅広い温度範囲での使用が可能となる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の真空断熱
容器用ゲッター材容器は、真空断熱容器との接続部に開
閉弁を設けるとともに、排気弁と加熱手段とを設けたか
ら、ゲッター材を加温して開閉弁を開くことにより真空
空間内の脱ガスを収着して真空空間内の真空度を保持す
ることができ、また、ゲッター材が劣化した場合には、
開閉弁を閉じることによりゲッター材容器を交換するこ
とができ、あるいは、排気弁から真空排気しながらゲッ
ター材を加温することによりゲッター材の再生を行うこ
とができるので、真空断熱容器の環境温度に関係なく真
空空間内の真空度を長期にわたって保持することが可能
となり、真空空間内を真空排気するポンプを不要として
設備のコンパクト化やコストの低減が図れる。
容器用ゲッター材容器は、真空断熱容器との接続部に開
閉弁を設けるとともに、排気弁と加熱手段とを設けたか
ら、ゲッター材を加温して開閉弁を開くことにより真空
空間内の脱ガスを収着して真空空間内の真空度を保持す
ることができ、また、ゲッター材が劣化した場合には、
開閉弁を閉じることによりゲッター材容器を交換するこ
とができ、あるいは、排気弁から真空排気しながらゲッ
ター材を加温することによりゲッター材の再生を行うこ
とができるので、真空断熱容器の環境温度に関係なく真
空空間内の真空度を長期にわたって保持することが可能
となり、真空空間内を真空排気するポンプを不要として
設備のコンパクト化やコストの低減が図れる。
【図１】 本発明の一実施例を示す説明図である。
【図２】 本発明の他の実施例を示す説明図である。
【図３】 従来の真空断熱容器の一例を示す説明図であ
る。
る。
【図４】 従来の真空断熱容器の他の例を示す説明図で
ある。
ある。
１１…ゲッター材容器、１２…真空断熱容器、１３…開
閉弁、１５…真空空間、１６…排気弁、３２…電気ヒー
ター
閉弁、１５…真空空間、１６…排気弁、３２…電気ヒー
ター
Claims (1)
- 【請求項１】 内部にゲッター材を収納した密閉容器
に、真空断熱容器の真空空間に開閉弁を介して連通する
接続部と、排気弁を有する排気部とを設けるとともに、
前記ゲッター材を加温する加熱手段を設けたことを特徴
とする真空断熱容器用ゲッター材容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1962794A JPH07224760A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 真空断熱容器用ゲッター材容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1962794A JPH07224760A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 真空断熱容器用ゲッター材容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07224760A true JPH07224760A (ja) | 1995-08-22 |
Family
ID=12004444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1962794A Pending JPH07224760A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 真空断熱容器用ゲッター材容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07224760A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002285959A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 寒剤再凝縮器の真空維持方法 |
| CN102938356A (zh) * | 2012-10-23 | 2013-02-20 | 北京市北分仪器技术有限责任公司 | 用于真空器件的真空保持系统 |
| WO2019003475A1 (ja) * | 2017-06-27 | 2019-01-03 | 栗田工業株式会社 | 真空度保持シート |
-
1994
- 1994-02-16 JP JP1962794A patent/JPH07224760A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002285959A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 寒剤再凝縮器の真空維持方法 |
| CN102938356A (zh) * | 2012-10-23 | 2013-02-20 | 北京市北分仪器技术有限责任公司 | 用于真空器件的真空保持系统 |
| WO2019003475A1 (ja) * | 2017-06-27 | 2019-01-03 | 栗田工業株式会社 | 真空度保持シート |
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