JPH07212139A - センサ用検出回路 - Google Patents
センサ用検出回路Info
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- JPH07212139A JPH07212139A JP6006841A JP684194A JPH07212139A JP H07212139 A JPH07212139 A JP H07212139A JP 6006841 A JP6006841 A JP 6006841A JP 684194 A JP684194 A JP 684194A JP H07212139 A JPH07212139 A JP H07212139A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】周囲の温度変化に対する出力の変動を抑えたセ
ンサ用検出回路を提供する。 【構成】ダイオードＤと並列に可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3
の直列接続から成る分圧回路を接続している。そして、
可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の接続点から温度補償回路６の
出力電圧を取り出し、非反転増幅器５の非反転入力端子
に入力している。非反転増幅器５はボルテージフォロワ
であって、その出力が差動増幅器４のオフセット電圧と
なる。可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の抵抗値の比を適当に設
定することによって、オフセット電圧の温度変化に対す
る変化量・変化の向きを任意に設定することができる。
したがって、差動増幅器３の出力電圧の温度変化を温度
補償回路６の出力によって相殺し、センサ用検出回路の
出力である差動増幅器４の出力電圧のドリフト量を低減
させることができる。
ンサ用検出回路を提供する。 【構成】ダイオードＤと並列に可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3
の直列接続から成る分圧回路を接続している。そして、
可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の接続点から温度補償回路６の
出力電圧を取り出し、非反転増幅器５の非反転入力端子
に入力している。非反転増幅器５はボルテージフォロワ
であって、その出力が差動増幅器４のオフセット電圧と
なる。可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の抵抗値の比を適当に設
定することによって、オフセット電圧の温度変化に対す
る変化量・変化の向きを任意に設定することができる。
したがって、差動増幅器３の出力電圧の温度変化を温度
補償回路６の出力によって相殺し、センサ用検出回路の
出力である差動増幅器４の出力電圧のドリフト量を低減
させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、センサからの出力信号
を検出し増幅して所定の電気信号としての検出出力を得
るセンサ用検出回路に関するものである。
を検出し増幅して所定の電気信号としての検出出力を得
るセンサ用検出回路に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、センサからの出力信号を検出
し増幅して所定の電気信号としての検出出力を得るセン
サ用検出回路として、例えば、図６に示すような半導体
圧力センサに用いられるものがある。このセンサ用検出
回路に接続される圧力検出用のセンサ部１は、等価的に
４つのピエゾ抵抗素子Ｒｐ1 〜Ｒｐ4 をブリッジ接続し
た回路で表すことができ、このブリッジ回路を１つの半
導体チップとして構成したものである。このセンサ部１
は、圧力が作用していない状態においては、上記のブリ
ッジ回路の平衡が保たれて２つの出力端子１ａ，１ｂ間
が等電位になり、出力電圧がゼロになるように各ピエゾ
抵抗素子Ｒｐ1 〜Ｒｐ4 の抵抗値が設定してある。
し増幅して所定の電気信号としての検出出力を得るセン
サ用検出回路として、例えば、図６に示すような半導体
圧力センサに用いられるものがある。このセンサ用検出
回路に接続される圧力検出用のセンサ部１は、等価的に
４つのピエゾ抵抗素子Ｒｐ1 〜Ｒｐ4 をブリッジ接続し
た回路で表すことができ、このブリッジ回路を１つの半
導体チップとして構成したものである。このセンサ部１
は、圧力が作用していない状態においては、上記のブリ
ッジ回路の平衡が保たれて２つの出力端子１ａ，１ｂ間
が等電位になり、出力電圧がゼロになるように各ピエゾ
抵抗素子Ｒｐ1 〜Ｒｐ4 の抵抗値が設定してある。
【０００３】ここで、センサ部１に圧力が作用すると、
何れかのピエゾ抵抗素子Ｒｐ1 〜Ｒｐ4 の抵抗値がその
圧力に応じて変化してブリッジ回路の平衡がくずれ、上
記圧力に応じた電圧が２つの出力端子間１ａ，１ｂに現
れる。よって、２つの出力端子１ａ，１ｂからそれぞれ
センサ部１の出力を取り出すことができる。一方、セン
サ用検出回路は、センサ部１に定電流を供給するオペア
ンプから成る定電流源２と、センサ部１のブリッジ回路
から得られる２つの出力電圧を差動増幅する２つのオペ
アンプＩＣ1 ，ＩＣ2 から成る初段の差動増幅器３と、
２つのオペアンプＩＣ1 ，ＩＣ2 の出力を差動増幅する
オペアンプＩＣ4 から成る最終段の差動増幅器４と、最
終段の差動増幅器４にオフセット電圧を与える非反転増
幅器５と、非反転増幅器５の非反転入力端子に接続され
たオフセット電圧調整用の可変抵抗ＶＲ4 とを備え、最
終段の差動増幅器４の出力を検出出力とするものであ
る。
何れかのピエゾ抵抗素子Ｒｐ1 〜Ｒｐ4 の抵抗値がその
圧力に応じて変化してブリッジ回路の平衡がくずれ、上
記圧力に応じた電圧が２つの出力端子間１ａ，１ｂに現
れる。よって、２つの出力端子１ａ，１ｂからそれぞれ
センサ部１の出力を取り出すことができる。一方、セン
サ用検出回路は、センサ部１に定電流を供給するオペア
ンプから成る定電流源２と、センサ部１のブリッジ回路
から得られる２つの出力電圧を差動増幅する２つのオペ
アンプＩＣ1 ，ＩＣ2 から成る初段の差動増幅器３と、
２つのオペアンプＩＣ1 ，ＩＣ2 の出力を差動増幅する
オペアンプＩＣ4 から成る最終段の差動増幅器４と、最
終段の差動増幅器４にオフセット電圧を与える非反転増
幅器５と、非反転増幅器５の非反転入力端子に接続され
たオフセット電圧調整用の可変抵抗ＶＲ4 とを備え、最
終段の差動増幅器４の出力を検出出力とするものであ
る。
【０００４】また、センサ用検出回路は、単一の直流電
源から電源電圧Ｖｃｃが供給されており、この電源電圧
ＶｃｃをコンデンサＣ1 ，Ｃ2 から成るフィルタを介し
て分圧抵抗で分圧し、定電流源２の非反転入力端子に入
力している。そして、定電流源２の反転入力端子にはセ
ンサ部１に流れる電流に応じた電圧が帰還されており、
センサ部１のブリッジ回路の平衡が崩れても、常に一定
の電流が定電流源２からセンサ部１に供給されるもので
ある。
源から電源電圧Ｖｃｃが供給されており、この電源電圧
ＶｃｃをコンデンサＣ1 ，Ｃ2 から成るフィルタを介し
て分圧抵抗で分圧し、定電流源２の非反転入力端子に入
力している。そして、定電流源２の反転入力端子にはセ
ンサ部１に流れる電流に応じた電圧が帰還されており、
センサ部１のブリッジ回路の平衡が崩れても、常に一定
の電流が定電流源２からセンサ部１に供給されるもので
ある。
【０００５】初段の差動増幅器３は、センサ部１の各出
力端子１ａ，１ｂからの出力電圧をオペアンプＩＣ1 と
オペアンプＩＣ2 の非反転入力端子に入力し、それぞれ
の出力端子を固定抵抗Ｒ1 ，Ｒ2 と可変抵抗ＶＲ1 との
直列回路を介して接続し、さらに、オペアンプＩＣ1 ，
ＩＣ2 の反転入力端子にそれぞれ固定抵抗Ｒ1 ，Ｒ2を
介して各々の出力を帰還している。この差動増幅器３で
は、可変抵抗ＶＲ1 の抵抗値を変えることによって増幅
度を調整することができる。
力端子１ａ，１ｂからの出力電圧をオペアンプＩＣ1 と
オペアンプＩＣ2 の非反転入力端子に入力し、それぞれ
の出力端子を固定抵抗Ｒ1 ，Ｒ2 と可変抵抗ＶＲ1 との
直列回路を介して接続し、さらに、オペアンプＩＣ1 ，
ＩＣ2 の反転入力端子にそれぞれ固定抵抗Ｒ1 ，Ｒ2を
介して各々の出力を帰還している。この差動増幅器３で
は、可変抵抗ＶＲ1 の抵抗値を変えることによって増幅
度を調整することができる。
【０００６】一方、最終段の差動増幅器４の非反転入力
端子にはオペアンプＩＣ2 の出力に非反転増幅器５から
のオフセット電圧が加算されて入力されている。したが
って、上記オフセット電圧に、センサ部１の出力電圧を
２段の差動増幅器３，４で増幅した電圧を加算したもの
がセンサ用検出回路の出力となる。ここで、非反転増幅
器５はボルテージフォロワであって、その非反転入力端
子に入力される可変抵抗ＶＲ4 の両端電圧がそのままイ
ンピーダンス変換されて出力されており、電源電圧Ｖｃ
ｃを抵抗Ｒ3 と可変抵抗ＶＲ4 とで分圧し、可変抵抗Ｖ
Ｒ4 の両端電圧がそのまま差動増幅器４のオフセット電
圧となる。すなわち、センサ部１からの出力がない場合
には、非反転増幅器５の出力電圧（オフセット電圧）が
そのままこのセンサ用検出回路の出力となる。
端子にはオペアンプＩＣ2 の出力に非反転増幅器５から
のオフセット電圧が加算されて入力されている。したが
って、上記オフセット電圧に、センサ部１の出力電圧を
２段の差動増幅器３，４で増幅した電圧を加算したもの
がセンサ用検出回路の出力となる。ここで、非反転増幅
器５はボルテージフォロワであって、その非反転入力端
子に入力される可変抵抗ＶＲ4 の両端電圧がそのままイ
ンピーダンス変換されて出力されており、電源電圧Ｖｃ
ｃを抵抗Ｒ3 と可変抵抗ＶＲ4 とで分圧し、可変抵抗Ｖ
Ｒ4 の両端電圧がそのまま差動増幅器４のオフセット電
圧となる。すなわち、センサ部１からの出力がない場合
には、非反転増幅器５の出力電圧（オフセット電圧）が
そのままこのセンサ用検出回路の出力となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな圧力センサの場合に限らずセンサ一般において、温
度変化による検出出力のドリフトが問題となり、通常は
ドリフト量としてはppm／℃のレベルに抑える必要があ
る。しかし、仮に上記差動増幅器３，４における入力換
算のドリフト量が１０μＶ／℃としても、差動増幅器
３，４のゲインが２００であれば２ｍＶ／℃のドリフト
量となり、例えば、０〜５０℃の温度変化に対しては最
大１００ｍＶの出力変動が生じ、２．５Ｖフルスケール
であれば最大約４％の誤差が生じてしまうという問題が
ある。
うな圧力センサの場合に限らずセンサ一般において、温
度変化による検出出力のドリフトが問題となり、通常は
ドリフト量としてはppm／℃のレベルに抑える必要があ
る。しかし、仮に上記差動増幅器３，４における入力換
算のドリフト量が１０μＶ／℃としても、差動増幅器
３，４のゲインが２００であれば２ｍＶ／℃のドリフト
量となり、例えば、０〜５０℃の温度変化に対しては最
大１００ｍＶの出力変動が生じ、２．５Ｖフルスケール
であれば最大約４％の誤差が生じてしまうという問題が
ある。
【０００８】本発明は上記問題点の解決を目的とするも
のであり、周囲の温度変化に対する出力の変動を抑えた
センサ用検出回路を提供しようとするものである。
のであり、周囲の温度変化に対する出力の変動を抑えた
センサ用検出回路を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上記
目的を達成するために、センサからの出力信号を検出し
増幅して所定の電気信号としての検出出力を得るセンサ
用検出回路において、センサからの出力信号を差動増幅
する差動増幅器と、差動増幅器のオフセット電圧の温度
ドリフトを補償する温度補償部とを備え、この温度補償
部は、安定した負の抵抗温度特性を有する回路素子と、
回路素子の両端電圧を任意の分圧比で分圧する分圧回路
とを具備して成り、分圧回路にて分圧した一の分圧電圧
を差動増幅器のオフセット電圧としたことを特徴とす
る。
目的を達成するために、センサからの出力信号を検出し
増幅して所定の電気信号としての検出出力を得るセンサ
用検出回路において、センサからの出力信号を差動増幅
する差動増幅器と、差動増幅器のオフセット電圧の温度
ドリフトを補償する温度補償部とを備え、この温度補償
部は、安定した負の抵抗温度特性を有する回路素子と、
回路素子の両端電圧を任意の分圧比で分圧する分圧回路
とを具備して成り、分圧回路にて分圧した一の分圧電圧
を差動増幅器のオフセット電圧としたことを特徴とす
る。
【００１０】請求項２の発明は、センサからの出力信号
を検出し増幅して所定の電気信号としての検出出力を得
るセンサ用検出回路において、センサからの出力信号を
差動増幅する差動増幅器と、差動増幅器のオフセット電
圧の温度ドリフトを補償する温度補償部とを備え、この
温度補償部は、安定した負の抵抗温度特性を有する回路
素子と、回路素子の両端電圧を任意の分圧比で分圧する
分圧回路とを具備して成り、分圧回路にて分圧した一の
分圧電圧を差動増幅器の出力に加えたことを特徴とす
る。
を検出し増幅して所定の電気信号としての検出出力を得
るセンサ用検出回路において、センサからの出力信号を
差動増幅する差動増幅器と、差動増幅器のオフセット電
圧の温度ドリフトを補償する温度補償部とを備え、この
温度補償部は、安定した負の抵抗温度特性を有する回路
素子と、回路素子の両端電圧を任意の分圧比で分圧する
分圧回路とを具備して成り、分圧回路にて分圧した一の
分圧電圧を差動増幅器の出力に加えたことを特徴とす
る。
【００１１】
【作用】請求項１の発明の構成では、センサからの出力
信号を差動増幅する差動増幅器と、差動増幅器のオフセ
ット電圧の温度ドリフトを補償する温度補償部とを備
え、この温度補償部が、安定した負の抵抗温度特性を有
する回路素子と、回路素子の両端電圧を任意の分圧比で
分圧する分圧回路とを具備して成り、分圧回路にて分圧
した一の分圧電圧を差動増幅器のオフセット電圧とした
ので、分圧比を適当に設定することによって、差動増幅
器のオフセット電圧である分圧電圧の温度変化を差動増
幅器の出力電圧の温度変化に対する変化量と略等しく、
且つその変化の向きが互いに逆になるようにすることが
できるため、上記差動増幅器の出力電圧のドリフトを相
殺して低減させることができ、安定したセンサ出力を得
ることができるのである。
信号を差動増幅する差動増幅器と、差動増幅器のオフセ
ット電圧の温度ドリフトを補償する温度補償部とを備
え、この温度補償部が、安定した負の抵抗温度特性を有
する回路素子と、回路素子の両端電圧を任意の分圧比で
分圧する分圧回路とを具備して成り、分圧回路にて分圧
した一の分圧電圧を差動増幅器のオフセット電圧とした
ので、分圧比を適当に設定することによって、差動増幅
器のオフセット電圧である分圧電圧の温度変化を差動増
幅器の出力電圧の温度変化に対する変化量と略等しく、
且つその変化の向きが互いに逆になるようにすることが
できるため、上記差動増幅器の出力電圧のドリフトを相
殺して低減させることができ、安定したセンサ出力を得
ることができるのである。
【００１２】請求項２の発明の構成では、センサからの
出力信号を差動増幅する差動増幅器と、差動増幅器のオ
フセット電圧の温度ドリフトを補償する温度補償部とを
備え、この温度補償部は、安定した負の抵抗温度特性を
有する回路素子と、回路素子の両端電圧を任意の分圧比
で分圧する分圧回路とを具備して成り、分圧回路にて分
圧した一の分圧電圧を差動増幅器の出力に加えたので、
分圧比を適当に設定することによって、差動増幅器の出
力電圧に加えられる分圧電圧の温度変化を差動増幅器自
体の出力電圧の温度変化に対する変化量と略等しく、且
つその変化の向きが互いに逆になるようにすることがで
きるため、センサ用検出回路の出力のドリフト量を相殺
して低減させることができ、安定したセンサ出力を得る
ことができるのである。
出力信号を差動増幅する差動増幅器と、差動増幅器のオ
フセット電圧の温度ドリフトを補償する温度補償部とを
備え、この温度補償部は、安定した負の抵抗温度特性を
有する回路素子と、回路素子の両端電圧を任意の分圧比
で分圧する分圧回路とを具備して成り、分圧回路にて分
圧した一の分圧電圧を差動増幅器の出力に加えたので、
分圧比を適当に設定することによって、差動増幅器の出
力電圧に加えられる分圧電圧の温度変化を差動増幅器自
体の出力電圧の温度変化に対する変化量と略等しく、且
つその変化の向きが互いに逆になるようにすることがで
きるため、センサ用検出回路の出力のドリフト量を相殺
して低減させることができ、安定したセンサ出力を得る
ことができるのである。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。なお、以下に説明する実施例においては、ピエゾ
抵抗素子を用いた圧力センサについて例示するが、これ
に限定する主旨ではなく、温度や加速度などの物理量を
検出する一般的なセンサについて、本発明の技術思想を
適用することが可能である。
する。なお、以下に説明する実施例においては、ピエゾ
抵抗素子を用いた圧力センサについて例示するが、これ
に限定する主旨ではなく、温度や加速度などの物理量を
検出する一般的なセンサについて、本発明の技術思想を
適用することが可能である。
【００１４】（実施例１）本実施例における圧力センサ
の回路構成図を図１に示す。図１に示すように、本実施
例におけるセンサ部１及びセンサ用検出回路の基本構成
は、従来例のものと共通であるので、共通する部分につ
いては同一の符号を付して説明を省略する。
の回路構成図を図１に示す。図１に示すように、本実施
例におけるセンサ部１及びセンサ用検出回路の基本構成
は、従来例のものと共通であるので、共通する部分につ
いては同一の符号を付して説明を省略する。
【００１５】本実施例のセンサ用検出回路は、従来例に
おいて説明した圧力検出用のセンサ部１に接続されるも
ので、センサ部１に定電流を供給するオペアンプから成
る定電流源２と、センサ部１の２つの出力端子１ａ，１
ｂからの出力電圧を差動増幅する２つのオペアンプＩＣ
1 ，ＩＣ2 から成る初段の差動増幅器３と、２つのオペ
アンプＩＣ1 ，ＩＣ2 の出力を差動増幅する最終段の差
動増幅器４と、最終段の差動増幅器４にオフセット電圧
を与える非反転増幅器５と、非反転増幅器５の非反転入
力端子に接続された温度補償回路６とを備え、最終段の
差動増幅器４の出力をセンサ部１の検出出力とするもの
である。つまり、本発明の特徴は、温度補償回路６によ
って最終段の差動増幅器４の温度補償を行い、センサ用
検出回路の検出出力の温度に対する安定性を向上させる
ことにある。
おいて説明した圧力検出用のセンサ部１に接続されるも
ので、センサ部１に定電流を供給するオペアンプから成
る定電流源２と、センサ部１の２つの出力端子１ａ，１
ｂからの出力電圧を差動増幅する２つのオペアンプＩＣ
1 ，ＩＣ2 から成る初段の差動増幅器３と、２つのオペ
アンプＩＣ1 ，ＩＣ2 の出力を差動増幅する最終段の差
動増幅器４と、最終段の差動増幅器４にオフセット電圧
を与える非反転増幅器５と、非反転増幅器５の非反転入
力端子に接続された温度補償回路６とを備え、最終段の
差動増幅器４の出力をセンサ部１の検出出力とするもの
である。つまり、本発明の特徴は、温度補償回路６によ
って最終段の差動増幅器４の温度補償を行い、センサ用
検出回路の検出出力の温度に対する安定性を向上させる
ことにある。
【００１６】次に、本発明の特徴部分である温度補償回
路６について説明する。温度補償回路６は、ダイオード
Ｄと並列に可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 を直列接続した分圧
回路を接続して成り、電源電圧Ｖｃｃを分圧する固定抵
抗Ｒ3 と可変抵抗ＶＲ4 との接続点にダイオードＤのカ
ソードを可変抵抗ＶＲ4 に接続するようにして挿入して
いる。そして、可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の接続点から温
度補償回路６の出力電圧を取り出し、非反転増幅器５の
非反転入力端子に入力している。
路６について説明する。温度補償回路６は、ダイオード
Ｄと並列に可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 を直列接続した分圧
回路を接続して成り、電源電圧Ｖｃｃを分圧する固定抵
抗Ｒ3 と可変抵抗ＶＲ4 との接続点にダイオードＤのカ
ソードを可変抵抗ＶＲ4 に接続するようにして挿入して
いる。そして、可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の接続点から温
度補償回路６の出力電圧を取り出し、非反転増幅器５の
非反転入力端子に入力している。
【００１７】ここで、ダイオードＤの内部抵抗は安定し
た負の温度特性を有しており、ダイオードＤにおける電
圧降下は温度の上昇に伴って小さくなる。一方、温度補
償回路６の出力電圧は可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の接続点
から取り出しているので、可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の抵
抗値の比を適当に設定することによって、温度補償回路
６の出力電圧すなわち最終段の差動増幅器４のオフセッ
ト電圧の温度変化に対する変化量（ドリフト）を任意の
値に制御することができる。例えば、可変抵抗ＶＲ2 の
抵抗値を可変抵抗ＶＲ3 の抵抗値よりも十分大きくした
場合には、温度補償回路６の出力電圧は温度の上昇に伴
って相対的に上がり、反対に可変抵抗ＶＲ3 の抵抗値を
可変抵抗ＶＲ2 の抵抗値よりも十分大きくした場合に
は、出力電圧は温度の上昇に伴って相対的に下がること
になる。また、可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の抵抗値を略等
しくすれば、オフセット電圧は周囲の温度変化に対して
ほとんど変化しない。
た負の温度特性を有しており、ダイオードＤにおける電
圧降下は温度の上昇に伴って小さくなる。一方、温度補
償回路６の出力電圧は可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の接続点
から取り出しているので、可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の抵
抗値の比を適当に設定することによって、温度補償回路
６の出力電圧すなわち最終段の差動増幅器４のオフセッ
ト電圧の温度変化に対する変化量（ドリフト）を任意の
値に制御することができる。例えば、可変抵抗ＶＲ2 の
抵抗値を可変抵抗ＶＲ3 の抵抗値よりも十分大きくした
場合には、温度補償回路６の出力電圧は温度の上昇に伴
って相対的に上がり、反対に可変抵抗ＶＲ3 の抵抗値を
可変抵抗ＶＲ2 の抵抗値よりも十分大きくした場合に
は、出力電圧は温度の上昇に伴って相対的に下がること
になる。また、可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の抵抗値を略等
しくすれば、オフセット電圧は周囲の温度変化に対して
ほとんど変化しない。
【００１８】また、ダイオードＤのカソードに接続した
可変抵抗ＶＲ4 の抵抗値を変化させることによって常温
でのオフセット電圧を任意に設定することができる。上
記構成によれば、温度補償回路６において可変抵抗ＶＲ
2 ，ＶＲ3 の抵抗値を適当に設定することによって、オ
フセット電圧の温度変化に対する変化量・変化の向きを
任意に設定することができる。したがって、オフセット
電圧の温度変化に対する変化量が、差動増幅器３の出力
電圧の温度変化に対する変化量と略等しく、且つその変
化の向きが互いに逆になるように可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ
3 の抵抗値を設定すれば、温度補償回路６の出力によっ
て差動増幅器３の出力電圧の温度変化を相殺し、センサ
用検出回路の出力である差動増幅器４の出力電圧のドリ
フト量を低減させることができ、安定したセンサ出力を
得ることができるのである。
可変抵抗ＶＲ4 の抵抗値を変化させることによって常温
でのオフセット電圧を任意に設定することができる。上
記構成によれば、温度補償回路６において可変抵抗ＶＲ
2 ，ＶＲ3 の抵抗値を適当に設定することによって、オ
フセット電圧の温度変化に対する変化量・変化の向きを
任意に設定することができる。したがって、オフセット
電圧の温度変化に対する変化量が、差動増幅器３の出力
電圧の温度変化に対する変化量と略等しく、且つその変
化の向きが互いに逆になるように可変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ
3 の抵抗値を設定すれば、温度補償回路６の出力によっ
て差動増幅器３の出力電圧の温度変化を相殺し、センサ
用検出回路の出力である差動増幅器４の出力電圧のドリ
フト量を低減させることができ、安定したセンサ出力を
得ることができるのである。
【００１９】ところで、オフセット電圧の温度変化量
（ドリフト量）と常温におけるオフセット電圧とは相互
に影響しあい、上記の各可変抵抗ＶＲ2 〜ＶＲ4 の値を
設定するのが困難である。そこで、実際は上記の各可変
抵抗ＶＲ2 〜ＶＲ4 に印刷抵抗を用い、オフセット電圧
が温度変化しない状態、すなわちダイオードＤを実装し
ない状態にてセンサ用検出回路の出力の温度変化の特性
を測定し、その温度変化に対して温度補償回路６の出力
の温度変化が絶対値が等しく、且つ逆符号の傾きを持
ち、しかも常温で所定のオフセット電圧となるように可
変抵抗ＶＲ2 〜ＶＲ 4 の抵抗値を計算により求め、レー
ザ等によるトリミングにより各可変抵抗ＶＲ 2 〜ＶＲ4
の抵抗値を調整する。
（ドリフト量）と常温におけるオフセット電圧とは相互
に影響しあい、上記の各可変抵抗ＶＲ2 〜ＶＲ4 の値を
設定するのが困難である。そこで、実際は上記の各可変
抵抗ＶＲ2 〜ＶＲ4 に印刷抵抗を用い、オフセット電圧
が温度変化しない状態、すなわちダイオードＤを実装し
ない状態にてセンサ用検出回路の出力の温度変化の特性
を測定し、その温度変化に対して温度補償回路６の出力
の温度変化が絶対値が等しく、且つ逆符号の傾きを持
ち、しかも常温で所定のオフセット電圧となるように可
変抵抗ＶＲ2 〜ＶＲ 4 の抵抗値を計算により求め、レー
ザ等によるトリミングにより各可変抵抗ＶＲ 2 〜ＶＲ4
の抵抗値を調整する。
【００２０】（実施例２）図２は本実施例の回路構成を
示す図である。図２に示すように、本実施例におけるセ
ンサ用検出回路の基本構成は実施例１のものと共通であ
るので、共通する部分には同一の符号を付して説明を省
略する。本実施例のセンサ用検出回路は、センサ部１の
出力電圧をオペアンプＩＣ６からなる差動増幅器７にて
差動増幅し、差動増幅器７の出力電圧Ｖ1 を次段のオペ
アンプＩＣ７からなる非反転増幅器８で増幅してセンサ
出力を得ている。
示す図である。図２に示すように、本実施例におけるセ
ンサ用検出回路の基本構成は実施例１のものと共通であ
るので、共通する部分には同一の符号を付して説明を省
略する。本実施例のセンサ用検出回路は、センサ部１の
出力電圧をオペアンプＩＣ６からなる差動増幅器７にて
差動増幅し、差動増幅器７の出力電圧Ｖ1 を次段のオペ
アンプＩＣ７からなる非反転増幅器８で増幅してセンサ
出力を得ている。
【００２１】本実施例においては、オペアンプＩＣ８か
らなる非反転増幅器をボルテージフォロワとし、電源電
圧Ｖｃｃを分圧しインピーダンス変換して差動増幅器７
のオフセット電圧として差動増幅器７の反転入力端子に
入力している。また、非反転増幅器８の非反転入力端子
には差動増幅器７の出力電圧Ｖ1 と、さらにオペアンプ
ＩＣ9 からなる差動増幅器９の出力電圧Ｖ2 とが入力さ
れていて、結局、非反転増幅器８においては、２つの差
動増幅器７，９の出力電圧Ｖ1，Ｖ2 を加算し増幅して
センサ出力を得ている。
らなる非反転増幅器をボルテージフォロワとし、電源電
圧Ｖｃｃを分圧しインピーダンス変換して差動増幅器７
のオフセット電圧として差動増幅器７の反転入力端子に
入力している。また、非反転増幅器８の非反転入力端子
には差動増幅器７の出力電圧Ｖ1 と、さらにオペアンプ
ＩＣ9 からなる差動増幅器９の出力電圧Ｖ2 とが入力さ
れていて、結局、非反転増幅器８においては、２つの差
動増幅器７，９の出力電圧Ｖ1，Ｖ2 を加算し増幅して
センサ出力を得ている。
【００２２】ここで、上記２つの差動増幅器７，９の出
力端子はそれぞれ抵抗Ｒ4 ，Ｒ5 を介して非反転増幅器
８の非反転入力端子に接続されているので、２つの出力
電圧Ｖ1 ，Ｖ2 は単純に加算されるのではなく、抵抗Ｒ
4 ，Ｒ5 の抵抗値によって決まる割合で加算されること
になる。すなわち、非反転増幅器８の非反転入力電圧Ｖ
ａは次式により表される。
力端子はそれぞれ抵抗Ｒ4 ，Ｒ5 を介して非反転増幅器
８の非反転入力端子に接続されているので、２つの出力
電圧Ｖ1 ，Ｖ2 は単純に加算されるのではなく、抵抗Ｒ
4 ，Ｒ5 の抵抗値によって決まる割合で加算されること
になる。すなわち、非反転増幅器８の非反転入力電圧Ｖ
ａは次式により表される。
【００２３】
【式１】
【００２４】したがって、抵抗Ｒ4 が抵抗Ｒ5 に対して
充分大きくなると、非反転増幅器８の出力電圧はほぼ差
動増幅器９の出力電圧Ｖ2 に等しくなる。一方、差動増
幅器９の入力側には温度補償回路６が接続されている。
そして、直流電源Ｅの両端に抵抗Ｒ6 を介して温度補償
回路６が接続され、直流電源Ｅの電源電圧が差動増幅器
９を構成するオペアンプＩＣ9 の非反転入力端子に抵抗
Ｒｓを介して入力され、温度補償回路６の出力がオペア
ンプＩＣ9 の反転入力端子に入力されている。また、オ
ペアンプＩＣ9 の出力は帰還抵抗Ｒｆを介して反転入力
に帰還されており、この抵抗Ｒｓと帰還抵抗Ｒｆとによ
ってオペアンプＩＣ 9 （差動増幅器９）のゲインを調整
することができる。
充分大きくなると、非反転増幅器８の出力電圧はほぼ差
動増幅器９の出力電圧Ｖ2 に等しくなる。一方、差動増
幅器９の入力側には温度補償回路６が接続されている。
そして、直流電源Ｅの両端に抵抗Ｒ6 を介して温度補償
回路６が接続され、直流電源Ｅの電源電圧が差動増幅器
９を構成するオペアンプＩＣ9 の非反転入力端子に抵抗
Ｒｓを介して入力され、温度補償回路６の出力がオペア
ンプＩＣ9 の反転入力端子に入力されている。また、オ
ペアンプＩＣ9 の出力は帰還抵抗Ｒｆを介して反転入力
に帰還されており、この抵抗Ｒｓと帰還抵抗Ｒｆとによ
ってオペアンプＩＣ 9 （差動増幅器９）のゲインを調整
することができる。
【００２５】上記構成によれば、温度補償回路６の可変
抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の抵抗値と、抵抗Ｒ4 及び抵抗Ｒ5
の抵抗値とを適当に設定することによって、温度補償回
路６の出力電圧の温度変化に対する変化量・変化の向き
を任意に設定することができる。したがって、差動増幅
器９の出力電圧Ｖ2 の温度変化に対する変化量が、差動
増幅器７の出力電圧Ｖ1 の温度変化に対する変化量と略
等しく、且つその変化の向きが互いに逆になるように可
変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の抵抗値及び抵抗Ｒ4 及び抵抗Ｒ
5 の抵抗値を設定すれば、温度補償回路６の出力によっ
て差動増幅器７の出力電圧Ｖ1 の温度変化に対する変動
を相殺し、センサ用検出回路の出力のドリフト量を低減
させることができ、安定したセンサ出力を得ることがで
きるのである。しかも、温度補償回路６の出力レベルは
差動増幅器９においてゲイン調整されており、さらに、
抵抗Ｒ4 及び抵抗Ｒ5 の抵抗値の比を調整することによ
って、温度補償回路６の出力が非反転増幅器８の入力抵
抗Ｒ5 によって減少させられ、ドリフト補償の効果が減
退するのを防止することができるのである。
抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の抵抗値と、抵抗Ｒ4 及び抵抗Ｒ5
の抵抗値とを適当に設定することによって、温度補償回
路６の出力電圧の温度変化に対する変化量・変化の向き
を任意に設定することができる。したがって、差動増幅
器９の出力電圧Ｖ2 の温度変化に対する変化量が、差動
増幅器７の出力電圧Ｖ1 の温度変化に対する変化量と略
等しく、且つその変化の向きが互いに逆になるように可
変抵抗ＶＲ2 ，ＶＲ3 の抵抗値及び抵抗Ｒ4 及び抵抗Ｒ
5 の抵抗値を設定すれば、温度補償回路６の出力によっ
て差動増幅器７の出力電圧Ｖ1 の温度変化に対する変動
を相殺し、センサ用検出回路の出力のドリフト量を低減
させることができ、安定したセンサ出力を得ることがで
きるのである。しかも、温度補償回路６の出力レベルは
差動増幅器９においてゲイン調整されており、さらに、
抵抗Ｒ4 及び抵抗Ｒ5 の抵抗値の比を調整することによ
って、温度補償回路６の出力が非反転増幅器８の入力抵
抗Ｒ5 によって減少させられ、ドリフト補償の効果が減
退するのを防止することができるのである。
【００２６】ところで、上記実施例１及び２において例
示した半導体圧力センサは、図３に示すような構造を有
している。この半導体圧力センサは、略六角柱状に形成
され、周縁が略八角形で前面に開口した凹所１０ａを備
えたケース１０と、ケース１０の開口面に被着される略
八角形の蓋体１１とからセンサ本体が構成されていて、
このセンサ本体の内部に上述したセンサ部１やセンサ用
検出回路が実装されたプリント基板１２などが内装され
るものである。また、ケース１０の背面の略中央には円
筒状のガイド部１０ｂが突設されており、このガイド部
１０ｂ内の孔はケース１０の凹所１０ａと外部とに貫通
している。
示した半導体圧力センサは、図３に示すような構造を有
している。この半導体圧力センサは、略六角柱状に形成
され、周縁が略八角形で前面に開口した凹所１０ａを備
えたケース１０と、ケース１０の開口面に被着される略
八角形の蓋体１１とからセンサ本体が構成されていて、
このセンサ本体の内部に上述したセンサ部１やセンサ用
検出回路が実装されたプリント基板１２などが内装され
るものである。また、ケース１０の背面の略中央には円
筒状のガイド部１０ｂが突設されており、このガイド部
１０ｂ内の孔はケース１０の凹所１０ａと外部とに貫通
している。
【００２７】一方、センサ部１は１つのＩＣチップによ
り構成されていて、このセンサチップ１３の前面には略
円筒状の突起部１３ａが突設されている。この突起部１
３ａの内部を貫通する孔を通じて、センサチップ１３上
に実装された圧力検出素子（ピエゾ抵抗素子）に圧力が
印加されるのである。そして、印加された圧力によるピ
エゾ抵抗素子の抵抗変化は、センサチップ１３の側面か
ら背面側に折曲して延設されたピン１３ｂを通じて電気
信号として出力される。また、センサチップ１３をセン
サ本体内に内装する際、センサチップ１３の突起部１３
ａをケース１０のガイド部１０ｂ内の孔に挿通し、ガイ
ド部１０ｂを通して圧力を検出するようにしている。そ
のとき、突起部１３ａは略円環状のゴムブッシュ１４に
挿通されてガイド部１０ｂに固着される。
り構成されていて、このセンサチップ１３の前面には略
円筒状の突起部１３ａが突設されている。この突起部１
３ａの内部を貫通する孔を通じて、センサチップ１３上
に実装された圧力検出素子（ピエゾ抵抗素子）に圧力が
印加されるのである。そして、印加された圧力によるピ
エゾ抵抗素子の抵抗変化は、センサチップ１３の側面か
ら背面側に折曲して延設されたピン１３ｂを通じて電気
信号として出力される。また、センサチップ１３をセン
サ本体内に内装する際、センサチップ１３の突起部１３
ａをケース１０のガイド部１０ｂ内の孔に挿通し、ガイ
ド部１０ｂを通して圧力を検出するようにしている。そ
のとき、突起部１３ａは略円環状のゴムブッシュ１４に
挿通されてガイド部１０ｂに固着される。
【００２８】さらに、センサチップ１３は、センサ用検
出回路が実装されたプリント基板１２に実装され、セン
サチップ１３より出力された電気信号はセンサ用検出回
路にて検出、増幅などの処理がされ、印加された圧力に
応じた検出出力がセンサ用検出回路の出力から得られる
ものである。そして、ケース１０の凹所１０ａ内におい
て一端がプリント基板１２と電気的に接続されるととも
に他端がケース１０の外部に導出された３つの端子ピン
（電源端子ピン１５ａ、共通端子ピン１５ｂ、出力端子
ピン１５ｃ）の内の出力端子ピン１５ｃを通じて、所定
の検出出力が他の電気回路などに送られるのである。
出回路が実装されたプリント基板１２に実装され、セン
サチップ１３より出力された電気信号はセンサ用検出回
路にて検出、増幅などの処理がされ、印加された圧力に
応じた検出出力がセンサ用検出回路の出力から得られる
ものである。そして、ケース１０の凹所１０ａ内におい
て一端がプリント基板１２と電気的に接続されるととも
に他端がケース１０の外部に導出された３つの端子ピン
（電源端子ピン１５ａ、共通端子ピン１５ｂ、出力端子
ピン１５ｃ）の内の出力端子ピン１５ｃを通じて、所定
の検出出力が他の電気回路などに送られるのである。
【００２９】また、プリント基板１２の前面には、輻射
ノイズを低減させるための銅薄板から成るシールド板１
６が被着される。このシールド板１６は、プリント基板
１２の形状に合わせて形成された略八角形の台板に周壁
を設けて成るものである。この周壁のうち、対向する一
対の周壁には係止爪１６ａが設けてあり、この係止爪１
６ａをプリント基板１２に設けた一対の切欠部１２ａに
係止することによって、シールド板１６をプリント基板
１２に被着することができる。なお、シールド効果を高
めるためには、シールド板１６をプリント基板１２上に
実装された回路の接地部分と導通させる必要がある。そ
こで、プリント基板１２の切欠部１２ａの周縁に回路の
接地部分と導通する半田付け用ランド部１２ｂを設け、
シールド板１６の係止爪１６ａをこの半田付け用ランド
部１２ｂに半田付けすることによって、回路の接地部分
との導通を得るようにしている。
ノイズを低減させるための銅薄板から成るシールド板１
６が被着される。このシールド板１６は、プリント基板
１２の形状に合わせて形成された略八角形の台板に周壁
を設けて成るものである。この周壁のうち、対向する一
対の周壁には係止爪１６ａが設けてあり、この係止爪１
６ａをプリント基板１２に設けた一対の切欠部１２ａに
係止することによって、シールド板１６をプリント基板
１２に被着することができる。なお、シールド効果を高
めるためには、シールド板１６をプリント基板１２上に
実装された回路の接地部分と導通させる必要がある。そ
こで、プリント基板１２の切欠部１２ａの周縁に回路の
接地部分と導通する半田付け用ランド部１２ｂを設け、
シールド板１６の係止爪１６ａをこの半田付け用ランド
部１２ｂに半田付けすることによって、回路の接地部分
との導通を得るようにしている。
【００３０】上述のような構成においては、センサチッ
プ１３をプリント基板１２に実装した状態で回路上の調
整を行う必要があり、プリント基板１２にセンサチップ
１３を実装し、プリント基板１２にシールド板１６を被
着してからケース１０の凹所１０ａ内に収納している。
しかし、このような手順によって組み立てる場合、銅薄
板によって形成されたシールド板１６を押さえてセンサ
チップ１３の突起部１３ａをケース１０のガイド部１０
ｂ内に挿通させなければならず、シールド板１６が変形
したり、シールド板１６とプリント基板１２上に実装さ
れた回路部とが接触する危険があった。また、ケース１
０の凹所１０ａ内にプリント基板１２を納装した後、シ
ールド板１６とプリント基板１２とを半田付けすると、
極めて作業性が悪くなっていた。
プ１３をプリント基板１２に実装した状態で回路上の調
整を行う必要があり、プリント基板１２にセンサチップ
１３を実装し、プリント基板１２にシールド板１６を被
着してからケース１０の凹所１０ａ内に収納している。
しかし、このような手順によって組み立てる場合、銅薄
板によって形成されたシールド板１６を押さえてセンサ
チップ１３の突起部１３ａをケース１０のガイド部１０
ｂ内に挿通させなければならず、シールド板１６が変形
したり、シールド板１６とプリント基板１２上に実装さ
れた回路部とが接触する危険があった。また、ケース１
０の凹所１０ａ内にプリント基板１２を納装した後、シ
ールド板１６とプリント基板１２とを半田付けすると、
極めて作業性が悪くなっていた。
【００３１】そこで、上記のような問題を解決すること
を目的として、図４及び図５に示すように、略Ｌ型に折
曲形成されて一端がケース１０の外部に導出された３つ
の端子ピンの内共通端子ピン１５ｂ（接地端子ピン）の
み、ケース１０の凹所１０ａ内における一端部の長さを
他の端子ピン１５ａ，１５ｃよりも長くし、プリント基
板１２とシールド板１６には共通端子ピン１５ｂが挿通
される挿通孔１２ｃ，１６ｂをそれぞれ穿孔して、さら
に、プリント基板１２に設けた挿通孔１２ｃの周縁部を
回路の接地部分と導通させている。
を目的として、図４及び図５に示すように、略Ｌ型に折
曲形成されて一端がケース１０の外部に導出された３つ
の端子ピンの内共通端子ピン１５ｂ（接地端子ピン）の
み、ケース１０の凹所１０ａ内における一端部の長さを
他の端子ピン１５ａ，１５ｃよりも長くし、プリント基
板１２とシールド板１６には共通端子ピン１５ｂが挿通
される挿通孔１２ｃ，１６ｂをそれぞれ穿孔して、さら
に、プリント基板１２に設けた挿通孔１２ｃの周縁部を
回路の接地部分と導通させている。
【００３２】上記構成によれば、プリント基板１２にセ
ンサチップ１３を実装し、ゴムブッシュ１４を介してセ
ンサチップ１３の突起部１３ａをケース１０のガイド部
１０ｂに挿通させて固着した後、シールド板１６をプリ
ント基板１２の前面に被着し、プリント基板１２及びシ
ールド板１６の挿通孔１２ｃ，１６ｂに挿通させた共通
端子ピン１５ｂをシールド板１６に半田付けして、プリ
ント基板１２上の回路の接地部分とシールド板１６との
導通を得ることができるので、充分なシールド効果を保
持しつつ組立作業を容易にすることができるという利点
がある。しかも、シールド板１６をプリント基板１２に
被着するための係止爪１６ａを設ける必要もなく、ま
た、プリント基板１２にも切欠部１２ａを設ける必要が
なくなり、コストを下げることができる。
ンサチップ１３を実装し、ゴムブッシュ１４を介してセ
ンサチップ１３の突起部１３ａをケース１０のガイド部
１０ｂに挿通させて固着した後、シールド板１６をプリ
ント基板１２の前面に被着し、プリント基板１２及びシ
ールド板１６の挿通孔１２ｃ，１６ｂに挿通させた共通
端子ピン１５ｂをシールド板１６に半田付けして、プリ
ント基板１２上の回路の接地部分とシールド板１６との
導通を得ることができるので、充分なシールド効果を保
持しつつ組立作業を容易にすることができるという利点
がある。しかも、シールド板１６をプリント基板１２に
被着するための係止爪１６ａを設ける必要もなく、ま
た、プリント基板１２にも切欠部１２ａを設ける必要が
なくなり、コストを下げることができる。
【００３３】
【発明の効果】請求項１の発明は、センサからの出力信
号を検出し増幅して所定の電気信号としての検出出力を
得るセンサ用検出回路において、センサからの出力信号
を差動増幅する差動増幅器と、差動増幅器のオフセット
電圧の温度ドリフトを補償する温度補償部とを備え、こ
の温度補償部が、安定した負の抵抗温度特性を有する回
路素子と、回路素子の両端電圧を任意の分圧比で分圧す
る分圧回路とを具備して成り、分圧回路にて分圧した一
の分圧電圧を差動増幅器のオフセット電圧としたので、
分圧比を適当に設定することによって、差動増幅器のオ
フセット電圧である分圧電圧の温度変化を差動増幅器の
出力電圧の温度変化に対する変化量と略等しく、且つそ
の変化の向きが互いに逆になるようにすることができる
ため、上記差動増幅器の出力電圧のドリフトを相殺して
低減させることができ、安定したセンサ出力を得ること
ができるという効果がある。
号を検出し増幅して所定の電気信号としての検出出力を
得るセンサ用検出回路において、センサからの出力信号
を差動増幅する差動増幅器と、差動増幅器のオフセット
電圧の温度ドリフトを補償する温度補償部とを備え、こ
の温度補償部が、安定した負の抵抗温度特性を有する回
路素子と、回路素子の両端電圧を任意の分圧比で分圧す
る分圧回路とを具備して成り、分圧回路にて分圧した一
の分圧電圧を差動増幅器のオフセット電圧としたので、
分圧比を適当に設定することによって、差動増幅器のオ
フセット電圧である分圧電圧の温度変化を差動増幅器の
出力電圧の温度変化に対する変化量と略等しく、且つそ
の変化の向きが互いに逆になるようにすることができる
ため、上記差動増幅器の出力電圧のドリフトを相殺して
低減させることができ、安定したセンサ出力を得ること
ができるという効果がある。
【００３４】請求項２の発明は、センサからの出力信号
を検出し増幅して所定の電気信号としての検出出力を得
るセンサ用検出回路において、センサからの出力信号を
差動増幅する差動増幅器と、差動増幅器のオフセット電
圧の温度ドリフトを補償する温度補償部とを備え、この
温度補償部は、安定した負の抵抗温度特性を有する回路
素子と、回路素子の両端電圧を任意の分圧比で分圧する
分圧回路とを具備して成り、分圧回路にて分圧した一の
分圧電圧を差動増幅器の出力に加えたので、分圧比を適
当に設定することによって、差動増幅器の出力電圧に加
えられる分圧電圧の温度変化を差動増幅器自体の出力電
圧の温度変化に対する変化量と略等しく、且つその変化
の向きが互いに逆になるようにすることができる。その
結果、センサ用検出回路の出力のドリフトを相殺して低
減させることができ、安定したセンサ出力を得ることが
できるという効果がある。
を検出し増幅して所定の電気信号としての検出出力を得
るセンサ用検出回路において、センサからの出力信号を
差動増幅する差動増幅器と、差動増幅器のオフセット電
圧の温度ドリフトを補償する温度補償部とを備え、この
温度補償部は、安定した負の抵抗温度特性を有する回路
素子と、回路素子の両端電圧を任意の分圧比で分圧する
分圧回路とを具備して成り、分圧回路にて分圧した一の
分圧電圧を差動増幅器の出力に加えたので、分圧比を適
当に設定することによって、差動増幅器の出力電圧に加
えられる分圧電圧の温度変化を差動増幅器自体の出力電
圧の温度変化に対する変化量と略等しく、且つその変化
の向きが互いに逆になるようにすることができる。その
結果、センサ用検出回路の出力のドリフトを相殺して低
減させることができ、安定したセンサ出力を得ることが
できるという効果がある。
【図１】実施例１を示す回路構成図である。
【図２】実施例２を示す回路構成図である。
【図３】同上が用いられる圧力センサの分解斜視図であ
る。
る。
【図４】同上が用いられる他の圧力センサの分解断面図
である。
である。
【図５】同上の他の圧力センサの分解斜視図である。
【図６】従来例を示す回路構成図である。
１ センサ部 ３ 初段の差動増幅器 ４ 最終段の差動増幅器 ５ 非反転増幅器 ６ 温度補償回路 ＶＲ1 〜ＶＲ4 可変抵抗 Ｄ ダイオード
【手続補正書】
【提出日】平成６年４月４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな圧力センサの場合に限らずセンサ一般において、温
度変化による検出出力のドリフトが問題となる。すなわ
ち、仮に上記差動増幅器３，４における入力換算のドリ
フト量が１０μＶ／℃としても、差動増幅器３，４のゲ
インが２００であれば２ｍＶ／℃のドリフト量となり、
例えば、０〜５０℃の温度変化に対しては最大１００ｍ
Ｖの出力変動が生じ、２．５Ｖフルスケールであれば最
大約４％の誤差が生じてしまうという問題がある。
うな圧力センサの場合に限らずセンサ一般において、温
度変化による検出出力のドリフトが問題となる。すなわ
ち、仮に上記差動増幅器３，４における入力換算のドリ
フト量が１０μＶ／℃としても、差動増幅器３，４のゲ
インが２００であれば２ｍＶ／℃のドリフト量となり、
例えば、０〜５０℃の温度変化に対しては最大１００ｍ
Ｖの出力変動が生じ、２．５Ｖフルスケールであれば最
大約４％の誤差が生じてしまうという問題がある。
Claims (2)
- 【請求項１】 センサからの出力信号を検出し増幅して
所定の電気信号としての検出出力を得るセンサ用検出回
路において、センサからの出力信号を差動増幅する差動
増幅器と、差動増幅器のオフセット電圧の温度ドリフト
を補償する温度補償部とを備え、この温度補償部は、安
定した負の抵抗温度特性を有する回路素子と、回路素子
の両端電圧を任意の分圧比で分圧する分圧回路とを具備
して成り、分圧回路にて分圧した一の分圧電圧を差動増
幅器のオフセット電圧としたことを特徴とするセンサ用
検出回路。 - 【請求項２】 センサからの出力信号を検出し増幅して
所定の電気信号としての検出出力を得るセンサ用検出回
路において、センサからの出力信号を差動増幅する差動
増幅器と、差動増幅器のオフセット電圧の温度ドリフト
を補償する温度補償部とを備え、この温度補償部は、安
定した負の抵抗温度特性を有する回路素子と、回路素子
の両端電圧を任意の分圧比で分圧する分圧回路とを具備
して成り、分圧回路にて分圧した一の分圧電圧を差動増
幅器の出力に加えたことを特徴とするセンサ用検出回
路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6006841A JPH07212139A (ja) | 1994-01-26 | 1994-01-26 | センサ用検出回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6006841A JPH07212139A (ja) | 1994-01-26 | 1994-01-26 | センサ用検出回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07212139A true JPH07212139A (ja) | 1995-08-11 |
Family
ID=11649476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6006841A Withdrawn JPH07212139A (ja) | 1994-01-26 | 1994-01-26 | センサ用検出回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07212139A (ja) |
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1994
- 1994-01-26 JP JP6006841A patent/JPH07212139A/ja not_active Withdrawn
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