JPH07205322A - マイクロコーナーキューブ・マイクロコーナーキューブアレイおよびこれらの製造方法およびマイクロコーナーキューブアレイを用いる表示装置 - Google Patents
マイクロコーナーキューブ・マイクロコーナーキューブアレイおよびこれらの製造方法およびマイクロコーナーキューブアレイを用いる表示装置Info
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- JPH07205322A JPH07205322A JP113094A JP113094A JPH07205322A JP H07205322 A JPH07205322 A JP H07205322A JP 113094 A JP113094 A JP 113094A JP 113094 A JP113094 A JP 113094A JP H07205322 A JPH07205322 A JP H07205322A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】マイクロコーナーキューブの製造方法を提供す
る。 【構成】透明基板１０の表面に所定の厚さに形成された
フォトレジスト２０の層に、正三角形の中心から各辺に
向かって透過率もしくは遮光率が次第に減少する微小な
マスク３０を用いて露光を行い、現像により、三角錐状
の微小な突起２０’をフォトレジストにより形成し、そ
の後、異方性のエッチングを行うことにより、フォトレ
ジストの形状２０’を透明基板１０に彫り写すことによ
り、２等辺直角三角形を３面、互いに直交的に組み合わ
せてなる三角錐状の微小な突起１０’を透明基板１０の
一部として形成する。
る。 【構成】透明基板１０の表面に所定の厚さに形成された
フォトレジスト２０の層に、正三角形の中心から各辺に
向かって透過率もしくは遮光率が次第に減少する微小な
マスク３０を用いて露光を行い、現像により、三角錐状
の微小な突起２０’をフォトレジストにより形成し、そ
の後、異方性のエッチングを行うことにより、フォトレ
ジストの形状２０’を透明基板１０に彫り写すことによ
り、２等辺直角三角形を３面、互いに直交的に組み合わ
せてなる三角錐状の微小な突起１０’を透明基板１０の
一部として形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、マイクロコーナーキ
ューブ・マイクロコーナーキューブアレイおよびこれら
の製造方法およびマイクロコーナーキューブアレイを用
いる表示装置に関する。
ューブ・マイクロコーナーキューブアレイおよびこれら
の製造方法およびマイクロコーナーキューブアレイを用
いる表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近来、レンズ径が極めて小さいマイクロ
レンズやマイクロレンズアレイが提案され、光通信等へ
の利用が意図されている。このようなマイクロレンズや
マイクロレンズアレイとともに、マイクロミラーやマイ
クロプリズム等のマイクロ光学素子が実現されることに
より、マイクロ光学素子を用いる光学技術の分野が一段
と発展・充実されることが期待される。
レンズやマイクロレンズアレイが提案され、光通信等へ
の利用が意図されている。このようなマイクロレンズや
マイクロレンズアレイとともに、マイクロミラーやマイ
クロプリズム等のマイクロ光学素子が実現されることに
より、マイクロ光学素子を用いる光学技術の分野が一段
と発展・充実されることが期待される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上述した事
情に鑑みてなされたものであって、新規なマイクロコー
ナーキューブおよびマイクロコーナーキューブアレイの
提供を目的とする。
情に鑑みてなされたものであって、新規なマイクロコー
ナーキューブおよびマイクロコーナーキューブアレイの
提供を目的とする。
【０００４】この発明の別の目的は、上記マイクロコー
ナーキューブ・マイクロコーナーキューブアレイの製造
方法の提供にある。
ナーキューブ・マイクロコーナーキューブアレイの製造
方法の提供にある。
【０００５】この発明の他の目的は、上記マイクロコー
ナーキューブアレイを用いる表示装置の提供にある。
ナーキューブアレイを用いる表示装置の提供にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の「マイクロコ
ーナーキューブ」は、透明基板の一方の面に、「２等辺
直角三角形を３面、互いに直交的に組み合わせてなる三
角錐状の微小な突起」を、透明基板の一部として形成し
た構成となっている（請求項１）。
ーナーキューブ」は、透明基板の一方の面に、「２等辺
直角三角形を３面、互いに直交的に組み合わせてなる三
角錐状の微小な突起」を、透明基板の一部として形成し
た構成となっている（請求項１）。
【０００７】この発明の「マイクロコーナーキューブア
レイ」は、透明基板の一方の面に、「２等辺直角三角形
を３面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐状の微
小な突起を複数個」、透明基板の一部として、アレイ状
に配列形成した構成となっている（請求項２）。三角錐
状の微小な突起のアレイ配列は、１次元配列でも２次元
配列でもよく、２次元配列の場合は、マトリックス配列
でも良いし、「千鳥配列（隣接する２列でマイクロコー
ナーキューブの配列の位相が９０度ずれる）」でもよ
い。
レイ」は、透明基板の一方の面に、「２等辺直角三角形
を３面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐状の微
小な突起を複数個」、透明基板の一部として、アレイ状
に配列形成した構成となっている（請求項２）。三角錐
状の微小な突起のアレイ配列は、１次元配列でも２次元
配列でもよく、２次元配列の場合は、マトリックス配列
でも良いし、「千鳥配列（隣接する２列でマイクロコー
ナーキューブの配列の位相が９０度ずれる）」でもよ
い。
【０００８】請求項３記載の「マイクロコーナーキュー
ブ製造方法」は、透明基板の表面に所定の厚さに形成さ
れたフォトレジストの層に、「正三角形の中心から各辺
に向かって透過率もしくは遮光率が次第に減少する微小
なマスク」を用いて露光を行い、現像により三角錐状の
微小な突起を上記フォトレジストにより形成し、その
後、異方性のエッチングを行って、上記フォトレジスト
の形状を透明基板に彫り写すことにより、「２等辺直角
三角形を３面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐
状の微小な突起」を、透明基板の一部として形成するこ
とを特徴とする。
ブ製造方法」は、透明基板の表面に所定の厚さに形成さ
れたフォトレジストの層に、「正三角形の中心から各辺
に向かって透過率もしくは遮光率が次第に減少する微小
なマスク」を用いて露光を行い、現像により三角錐状の
微小な突起を上記フォトレジストにより形成し、その
後、異方性のエッチングを行って、上記フォトレジスト
の形状を透明基板に彫り写すことにより、「２等辺直角
三角形を３面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐
状の微小な突起」を、透明基板の一部として形成するこ
とを特徴とする。
【０００９】請求項４記載の「マイクロコーナーキュー
ブアレイ製造方法」は、透明基板の表面に所定の厚さに
形成されたフォトレジストの層に、「正三角形の中心か
ら各辺に向かって透過率もしくは遮光率が次第に減少す
る微小なマスクが、所望の配列にアレイ配列されたマス
クアレイ」を用いて露光を行い、現像により三角錐状の
微小な突起のアレイ配列を上記フォトレジストにより形
成し、その後、異方性のエッチングを行って、上記フォ
トレジストの形状を透明基板に彫り写すことにより、
「２等辺直角三角形を３面、互いに直交的に組み合わせ
てなる三角錐状の微小な突起の、所望のアレイ配列」
を、透明基板の一部として形成することを特徴とする。
ブアレイ製造方法」は、透明基板の表面に所定の厚さに
形成されたフォトレジストの層に、「正三角形の中心か
ら各辺に向かって透過率もしくは遮光率が次第に減少す
る微小なマスクが、所望の配列にアレイ配列されたマス
クアレイ」を用いて露光を行い、現像により三角錐状の
微小な突起のアレイ配列を上記フォトレジストにより形
成し、その後、異方性のエッチングを行って、上記フォ
トレジストの形状を透明基板に彫り写すことにより、
「２等辺直角三角形を３面、互いに直交的に組み合わせ
てなる三角錐状の微小な突起の、所望のアレイ配列」
を、透明基板の一部として形成することを特徴とする。
【００１０】請求項５記載のマイクロコーナーキューブ
アレイを用いる表示装置は、画像表示装置と、反射防止
板とを有する。「画像表示装置」は、１次元もしくは２
次元の画像を「発光画素」により表示する装置であり、
発光素子の個々を発光画素とする発光素子アレイや、均
一面光源と液晶スイッチング素子アレイの組合せ（個々
の液晶スイッチング素子と均一面光源の組合せが発光画
素を構成する）等を用いることができるほか、エレクト
ロルミネセント画像表示装置を用いることが出来る（請
求項６）。
アレイを用いる表示装置は、画像表示装置と、反射防止
板とを有する。「画像表示装置」は、１次元もしくは２
次元の画像を「発光画素」により表示する装置であり、
発光素子の個々を発光画素とする発光素子アレイや、均
一面光源と液晶スイッチング素子アレイの組合せ（個々
の液晶スイッチング素子と均一面光源の組合せが発光画
素を構成する）等を用いることができるほか、エレクト
ロルミネセント画像表示装置を用いることが出来る（請
求項６）。
【００１１】「反射防止板」は、画像表示装置の表示面
に近接もしくは密接して配備される請求項２記載の「マ
イクロコーナーキューブアレイ」であり、画像表示装置
の表示面における発光画素の配列と同じ配列で、マイク
ロコーナーキューブがアレイ配列され、三角錐状の微小
な突起のアレイ配列の形成された側の面を上記表示面に
側にして配備される。
に近接もしくは密接して配備される請求項２記載の「マ
イクロコーナーキューブアレイ」であり、画像表示装置
の表示面における発光画素の配列と同じ配列で、マイク
ロコーナーキューブがアレイ配列され、三角錐状の微小
な突起のアレイ配列の形成された側の面を上記表示面に
側にして配備される。
【００１２】なお、請求項１記載のマイクロコーナーキ
ューブおよび請求項２記載のマイクロコーナーキューブ
アレイは、三角錐状の突起の各面を覆うように反射膜を
形成されることができる。
ューブおよび請求項２記載のマイクロコーナーキューブ
アレイは、三角錐状の突起の各面を覆うように反射膜を
形成されることができる。
【００１３】
【作用】図１（ｃ）において、符号１０は透明基板を示
す。ここでは説明の簡単のため、透明基板１０は「透明
な平行平板」であるとする。透明基板１０の平坦な面
に、フォトレジスト２０が均一な厚さの層に形成されて
いる。
す。ここでは説明の簡単のため、透明基板１０は「透明
な平行平板」であるとする。透明基板１０の平坦な面
に、フォトレジスト２０が均一な厚さの層に形成されて
いる。
【００１４】図１（ｃ）において、符号３０はマスク板
を示している。マスク板１０には、「正三角形の中心か
ら各辺に向かって透過率もしくは遮光率が次第に減少す
る微小なマスク」が形成されている。フォトレジスト２
０が「ポジ型」の場合は、マスクにおいては「遮光率」
が、三角形の中心から各辺に向かって次第に減少し、フ
ォトレジスト２０がネガ型の場合は、マスクにおいては
「透過率」が、三角形の中心から各辺に向かって次第に
減少する。
を示している。マスク板１０には、「正三角形の中心か
ら各辺に向かって透過率もしくは遮光率が次第に減少す
る微小なマスク」が形成されている。フォトレジスト２
０が「ポジ型」の場合は、マスクにおいては「遮光率」
が、三角形の中心から各辺に向かって次第に減少し、フ
ォトレジスト２０がネガ型の場合は、マスクにおいては
「透過率」が、三角形の中心から各辺に向かって次第に
減少する。
【００１５】ここでは説明の具体性のため、フォトレジ
スト２０はポジ型であるとする。図１（ａ）はマスクの
形状を示している。マスクは、正三角形の中心０から３
辺のそれぞれに向かって、透過率が次第に増加（即ち、
遮光率が次第に現象）している。図１（ａ）のように軸
α，β，γを取ると、各軸を中心にして角範囲が±６０
度の範囲で、透過率が軸方向へ次第に増加しているので
ある。この例では、図１（ｂ）示すように透過率は、中
心０から各辺の座標位置：ｄ／２（「ｄ」は、マスクの
正三角形状の外接円（図１（ａ）に破線で示す）の半
径）まで直線的に増加する。
スト２０はポジ型であるとする。図１（ａ）はマスクの
形状を示している。マスクは、正三角形の中心０から３
辺のそれぞれに向かって、透過率が次第に増加（即ち、
遮光率が次第に現象）している。図１（ａ）のように軸
α，β，γを取ると、各軸を中心にして角範囲が±６０
度の範囲で、透過率が軸方向へ次第に増加しているので
ある。この例では、図１（ｂ）示すように透過率は、中
心０から各辺の座標位置：ｄ／２（「ｄ」は、マスクの
正三角形状の外接円（図１（ａ）に破線で示す）の半
径）まで直線的に増加する。
【００１６】一般に、フォトレジストの表面に直交的に
平行光束を照射したとき、平行光束の光強度を「Ａ」と
すると、フォトレジストの表面から深さ：Ｘの位置で
は、光強度は「Ａ・ｅｘｐ（−ｋＸ）（ｋは定数）」と
表される。従って、フォトレジストに対する露光時間を
「Ｔ」とすると、露光時間：Ｔ内に、表面から深さ：Ｘ
の位置にあるフォトレジストが受ける光量は、「Ａ・ｅ
ｘｐ（−ｋＸ）・Ｔ」となる。フォトレジストが感光さ
れる光量の閾値を「δ」とすると、このとき露光される
深さ：Ｘ0は、「方程式：Ａ・ｅｘｐ（−ｋＸ0）・Ｔ＝
δ」の解として与えられる。
平行光束を照射したとき、平行光束の光強度を「Ａ」と
すると、フォトレジストの表面から深さ：Ｘの位置で
は、光強度は「Ａ・ｅｘｐ（−ｋＸ）（ｋは定数）」と
表される。従って、フォトレジストに対する露光時間を
「Ｔ」とすると、露光時間：Ｔ内に、表面から深さ：Ｘ
の位置にあるフォトレジストが受ける光量は、「Ａ・ｅ
ｘｐ（−ｋＸ）・Ｔ」となる。フォトレジストが感光さ
れる光量の閾値を「δ」とすると、このとき露光される
深さ：Ｘ0は、「方程式：Ａ・ｅｘｐ（−ｋＸ0）・Ｔ＝
δ」の解として与えられる。
【００１７】「ｋＸ0」が微小であるとして、「Ａ・ｅ
ｘｐ（−ｋＸ0）・Ｔ」を展開すると、上記方程式は
「Ａ・Ｔ・（１−ｋＸ0）＝δ」となる。これを、「Ａ
＝δ／｛Ｔ・（１−ｋＸ0）｝」と変形し、さらに右辺
を展開して１次の項まで取ると、「Ａ＝（δ／Ｔ）・
（１＋ｋＸ0）」となり、この近似の成り立つ範囲で
は、フォトレジストの露光される深さ：Ｘ0と、露光光
強度：Ａとは比例関係になる。
ｘｐ（−ｋＸ0）・Ｔ」を展開すると、上記方程式は
「Ａ・Ｔ・（１−ｋＸ0）＝δ」となる。これを、「Ａ
＝δ／｛Ｔ・（１−ｋＸ0）｝」と変形し、さらに右辺
を展開して１次の項まで取ると、「Ａ＝（δ／Ｔ）・
（１＋ｋＸ0）」となり、この近似の成り立つ範囲で
は、フォトレジストの露光される深さ：Ｘ0と、露光光
強度：Ａとは比例関係になる。
【００１８】従って、図１（ｂ）のように透過率の変化
するマスクを持つマスク板３０を、図１（ｃ）のように
フォトレジスト２０の層の上に配して均一光で露光を行
い、最大光強度（マスクの３辺より外側の部分）による
露光深さが、図１（ｃ）におけるフォトレジスト２０の
層の厚み：ｈであるようにすると、（ｃ）に示すよう
に、フォトレジスト２０の「斜線を施した部分」が露光
されることになるので、現像により、露光された部分を
除去すると、図１（ｄ）に示すように、露光されなかっ
たフォトレジスト２０’が三角錐状に残されることにな
る。この三角錐状の突起の形状は、「２等辺直角三角形
を３面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐」状で
ある。
するマスクを持つマスク板３０を、図１（ｃ）のように
フォトレジスト２０の層の上に配して均一光で露光を行
い、最大光強度（マスクの３辺より外側の部分）による
露光深さが、図１（ｃ）におけるフォトレジスト２０の
層の厚み：ｈであるようにすると、（ｃ）に示すよう
に、フォトレジスト２０の「斜線を施した部分」が露光
されることになるので、現像により、露光された部分を
除去すると、図１（ｄ）に示すように、露光されなかっ
たフォトレジスト２０’が三角錐状に残されることにな
る。この三角錐状の突起の形状は、「２等辺直角三角形
を３面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐」状で
ある。
【００１９】この状態で、フォトレジスト２０’と透明
基板１０とに対して、「異方性」のエッチングを行う
と、図１（ｅ）に示すように、フォトレジスト２０’の
形状が透明基板１０に「彫り写され」て、２等辺直角三
角形を３面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐状
の突起１０’を、透明基板の一部として得ることができ
る（図１（ｆ））。
基板１０とに対して、「異方性」のエッチングを行う
と、図１（ｅ）に示すように、フォトレジスト２０’の
形状が透明基板１０に「彫り写され」て、２等辺直角三
角形を３面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐状
の突起１０’を、透明基板の一部として得ることができ
る（図１（ｆ））。
【００２０】なお、エッチングの際、フォトレジストに
対するエッチング速度と、透明基板に対するエッチング
速度が等しければ（上に説明したのはこの場合であ
る）、透明基板に彫り写された三角錐状の突起は、フォ
トレジストにフォトリソグラフィにより形成された三角
錐状の突起（図１（ｄ））と同一形状であるが、フォト
レジストに対するエッチング速度が、透明基板に対する
エッチング速度よりも大きい（小さい）場合には、透明
基板に彫り写された三角錐状の突起の高さは、フォトレ
ジストの三角錐状の突起の高さ：ｈよりも低く（高く）
なるので、フォトレジストに形成された三角錐状の突起
が「２等辺直角三角形を３面、互いに直交的に組み合わ
せてなる三角錐」状にならない場合（高さが高すぎたり
低すぎたりする場合）には、上記エッチング速度の大小
を調整することにより、最終的に「２等辺直角三角形を
３面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐」状の突
起が透明基板の表面形状として得られるようにすれば良
い。
対するエッチング速度と、透明基板に対するエッチング
速度が等しければ（上に説明したのはこの場合であ
る）、透明基板に彫り写された三角錐状の突起は、フォ
トレジストにフォトリソグラフィにより形成された三角
錐状の突起（図１（ｄ））と同一形状であるが、フォト
レジストに対するエッチング速度が、透明基板に対する
エッチング速度よりも大きい（小さい）場合には、透明
基板に彫り写された三角錐状の突起の高さは、フォトレ
ジストの三角錐状の突起の高さ：ｈよりも低く（高く）
なるので、フォトレジストに形成された三角錐状の突起
が「２等辺直角三角形を３面、互いに直交的に組み合わ
せてなる三角錐」状にならない場合（高さが高すぎたり
低すぎたりする場合）には、上記エッチング速度の大小
を調整することにより、最終的に「２等辺直角三角形を
３面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐」状の突
起が透明基板の表面形状として得られるようにすれば良
い。
【００２１】
【実施例】図１に於ける、透明基板１０として、屈折
率：１．４６，厚さ：１．０ｍｍの透明石英ガラスを用
いた。この石英ガラスの片側の表面に、ポジ型のフォト
レジスト（ＯＦＰＲ８００：商品名
）を、孔版印刷の手法と同様の手法により厚さ：４２
５μｍに形成した。プリベークは、オーブン中にて、８
０度Ｃの温度で３０分行った。
率：１．４６，厚さ：１．０ｍｍの透明石英ガラスを用
いた。この石英ガラスの片側の表面に、ポジ型のフォト
レジスト（ＯＦＰＲ８００：商品名
）を、孔版印刷の手法と同様の手法により厚さ：４２
５μｍに形成した。プリベークは、オーブン中にて、８
０度Ｃの温度で３０分行った。
【００２２】図１（ａ）に示すマスクとして、１辺の長
さ：５２０μｍの正三角形形状で、透過率が中心から各
辺へ向かって、図１（ｂ）に示すように、直線的に変化
する「グラデーションマスク」を用いて露光（８０ｍＪ
／ｓｅｃ・ｃｍ2の水銀ランプにより２０分）を行い、
露光されたフォトレジストを除去する現像を行い、残り
のフォトレジストをポストベーク（オーブン中で、１２
０度Ｃの温度で３０分）した。この状態で、「２等辺直
角三角形を３面、互いに直交的に組み合わせてなる、高
さ：４２５μｍの三角錐」状の突起がフォトレジストに
より得られた。
さ：５２０μｍの正三角形形状で、透過率が中心から各
辺へ向かって、図１（ｂ）に示すように、直線的に変化
する「グラデーションマスク」を用いて露光（８０ｍＪ
／ｓｅｃ・ｃｍ2の水銀ランプにより２０分）を行い、
露光されたフォトレジストを除去する現像を行い、残り
のフォトレジストをポストベーク（オーブン中で、１２
０度Ｃの温度で３０分）した。この状態で、「２等辺直
角三角形を３面、互いに直交的に組み合わせてなる、高
さ：４２５μｍの三角錐」状の突起がフォトレジストに
より得られた。
【００２３】この状態の石英ガラスを「ＥＣＲエッチン
グ装置」にセットし、ＣＨＦ3，Ｏ2をそれぞれ、３０ｓ
ｃｃＭ，４ｓｃｃＭの割合で導入し、０．３ｍＴｏｒｒ
の圧力でドライエッチングを行った。エッチングレート
は、石英ガラス、フォトレジストの双方に対して１５０
０Å／ｍｉｎで、選択比は１である。
グ装置」にセットし、ＣＨＦ3，Ｏ2をそれぞれ、３０ｓ
ｃｃＭ，４ｓｃｃＭの割合で導入し、０．３ｍＴｏｒｒ
の圧力でドライエッチングを行った。エッチングレート
は、石英ガラス、フォトレジストの双方に対して１５０
０Å／ｍｉｎで、選択比は１である。
【００２４】エッチングの結果、「２等辺直角三角形を
３面、互いに直交的に組み合わせてなる、高さ：４２５
μｍの三角錐」状の突起が、石英ガラスの表面形状とし
て形成された、このとき、石英ガラスの平行な面の間の
間隔は５７５μｍである。
３面、互いに直交的に組み合わせてなる、高さ：４２５
μｍの三角錐」状の突起が、石英ガラスの表面形状とし
て形成された、このとき、石英ガラスの平行な面の間の
間隔は５７５μｍである。
【００２５】なお、上記マスクは以下のように作成し
た。光遮光率を単位面積当たりの黒色ドットの密度によ
り変化させることとし、直径５ｃｍの円に内接する正三
角形において、上記図１のように中心から各辺に向かっ
て、透過率が直線的に変化するように、上記黒色ドット
の密度を設定し、コンピュータグラフィックスにより、
黒色ドット分布を作成した。
た。光遮光率を単位面積当たりの黒色ドットの密度によ
り変化させることとし、直径５ｃｍの円に内接する正三
角形において、上記図１のように中心から各辺に向かっ
て、透過率が直線的に変化するように、上記黒色ドット
の密度を設定し、コンピュータグラフィックスにより、
黒色ドット分布を作成した。
【００２６】これを、１辺の長さ：５２０μｍの正三角
形形状になるように、縮小倍率で撮影し、透明フィルム
上に定着した。これをマスクとして、上記フォトリソグ
ラフィの露光を行った。
形形状になるように、縮小倍率で撮影し、透明フィルム
上に定着した。これをマスクとして、上記フォトリソグ
ラフィの露光を行った。
【００２７】以下に、図２および図３を参照して、請求
項２，４，５，６記載の発明の１実施例を説明する。図
３は請求項６記載の「マイクロコーナーキューブアレイ
を用いる表示装置」の１実施例を、要部のみ略示してい
る。符号１００は、「画像表示装置」としてのエレクト
ロルミネセント画像表示装置の表示部を示している。
項２，４，５，６記載の発明の１実施例を説明する。図
３は請求項６記載の「マイクロコーナーキューブアレイ
を用いる表示装置」の１実施例を、要部のみ略示してい
る。符号１００は、「画像表示装置」としてのエレクト
ロルミネセント画像表示装置の表示部を示している。
【００２８】厚さ：０．７ｍｍの「硼硅酸ガラス」によ
る透明な基板１０１の右側の表面には、インジウムと錫
の酸化物合金である「ＩＴＯ」がスパッタリングによ
り、厚さ１．０μｍに成膜され、透明電極１０２となっ
ている。その右側に形成された絶縁層１０３は、「非晶
質ＳｉＮとマンガンをドープした硫化亜鉛」を膜厚：８
０００Åにスパッタリングしたものであり、さらにその
右側に形成されたエレクトロルミネセント層１０４は、
「非晶質ＳｉＮ」を、スパッタリングにより厚さ：１．
２μｍに成膜したものである。このエレクトロルミネセ
ント層１０４の右側には、非晶質ＳｉＮとマンガンをド
ープした硫化亜鉛を膜厚：８０００Åにスパッタリング
して絶縁層１０５が形成されている。
る透明な基板１０１の右側の表面には、インジウムと錫
の酸化物合金である「ＩＴＯ」がスパッタリングによ
り、厚さ１．０μｍに成膜され、透明電極１０２となっ
ている。その右側に形成された絶縁層１０３は、「非晶
質ＳｉＮとマンガンをドープした硫化亜鉛」を膜厚：８
０００Åにスパッタリングしたものであり、さらにその
右側に形成されたエレクトロルミネセント層１０４は、
「非晶質ＳｉＮ」を、スパッタリングにより厚さ：１．
２μｍに成膜したものである。このエレクトロルミネセ
ント層１０４の右側には、非晶質ＳｉＮとマンガンをド
ープした硫化亜鉛を膜厚：８０００Åにスパッタリング
して絶縁層１０５が形成されている。
【００２９】絶縁層１０５の上には、アルミニウムが厚
さ：１μｍにスパッタリングされ、このアルミニウム膜
に対してフォトリソグラフィとエッチングとを行うこと
により、個別電極１０６に分割した。個別電極１０６の
配列は、マトリックス型の２次元配列であり、配列ピッ
チは、直交する２方向にそれぞれ２５０μｍである。従
って、画像表示装置の発光画素の大きさは２５０μｍ×
２５０μｍである。
さ：１μｍにスパッタリングされ、このアルミニウム膜
に対してフォトリソグラフィとエッチングとを行うこと
により、個別電極１０６に分割した。個別電極１０６の
配列は、マトリックス型の２次元配列であり、配列ピッ
チは、直交する２方向にそれぞれ２５０μｍである。従
って、画像表示装置の発光画素の大きさは２５０μｍ×
２５０μｍである。
【００３０】図３において、符号２００は「反射防止
板」を示している。反射防止板２００はマイクロコーナ
ーキューブアレイであって、石英ガラスの片側の面（図
で右側の面）に、２等辺直角三角形を３面、互いに直交
的に組み合わせてなる三角錐状の突起によるマイクロコ
ーナーキューブ２０１が、図２に示すようにマトリック
ス型の２次元的に配列されている。
板」を示している。反射防止板２００はマイクロコーナ
ーキューブアレイであって、石英ガラスの片側の面（図
で右側の面）に、２等辺直角三角形を３面、互いに直交
的に組み合わせてなる三角錐状の突起によるマイクロコ
ーナーキューブ２０１が、図２に示すようにマトリック
ス型の２次元的に配列されている。
【００３１】マイクロコーナーキューブ２０１は、石英
ガラス表面に直交する方向から見ると正三角形であり、
その外接円（図２に破線で示す）の直径は２５０μｍで
あり、外接円同志が互いに接するように配備されてい
る。従って、各マイクロコーナーキューブ２０１の配置
は２５０μｍピッチで、エレクトロルミネセント画像表
示装置の表示面における「発光画素の配列」と同じ配列
であり、マイクロコーナーキューブ２０１がアレイ配列
された面を、図３に示すように、上記表示面の側にして
配備される。
ガラス表面に直交する方向から見ると正三角形であり、
その外接円（図２に破線で示す）の直径は２５０μｍで
あり、外接円同志が互いに接するように配備されてい
る。従って、各マイクロコーナーキューブ２０１の配置
は２５０μｍピッチで、エレクトロルミネセント画像表
示装置の表示面における「発光画素の配列」と同じ配列
であり、マイクロコーナーキューブ２０１がアレイ配列
された面を、図３に示すように、上記表示面の側にして
配備される。
【００３２】反射防止板２００におけるマイクロコーナ
ーキューブアレイは、マスクとして、図１（ａ），
（ｂ）に即して説明したようなマスクを２次元アレイ配
列したマスクアレイを用いてフォトリソグラフィの露光
を行い、前記実施例と同様の条件で形成した。
ーキューブアレイは、マスクとして、図１（ａ），
（ｂ）に即して説明したようなマスクを２次元アレイ配
列したマスクアレイを用いてフォトリソグラフィの露光
を行い、前記実施例と同様の条件で形成した。
【００３３】マイクロコーナーキューブ２０１は、通常
のコーナーキューブと同様、「入射光線を入射方向へ反
射させる機能」を持つので、図３に示すように、反射防
止板２００に対して斜めに入射する外部光Ｌ１やＬ２は
入射方向へ反射され、観察者がエレクトロルミネセント
画像表示装置の表示面を観察する妨げにならず、従っ
て、表示面に表示されたエレクトロルミネセント画像
を、コントラスト良く観察することができる。
のコーナーキューブと同様、「入射光線を入射方向へ反
射させる機能」を持つので、図３に示すように、反射防
止板２００に対して斜めに入射する外部光Ｌ１やＬ２は
入射方向へ反射され、観察者がエレクトロルミネセント
画像表示装置の表示面を観察する妨げにならず、従っ
て、表示面に表示されたエレクトロルミネセント画像
を、コントラスト良く観察することができる。
【００３４】なお、この例の場合、表示面に表示される
表示画像を、反射防止板２００を介して観察するので、
マイクロコーナーキューブ２０１の突起部には、反射膜
を形成しないのが望ましく、このような条件で、突起部
の各面で有効に反射を行うためには、透明基板として屈
折率のなるべく高いものを用いるのが良い。
表示画像を、反射防止板２００を介して観察するので、
マイクロコーナーキューブ２０１の突起部には、反射膜
を形成しないのが望ましく、このような条件で、突起部
の各面で有効に反射を行うためには、透明基板として屈
折率のなるべく高いものを用いるのが良い。
【００３５】上記説明では、透明基板として「平行平
板」を例示したが、透明基板は平行平板に限らず、プリ
ズム形状や台形形状等種々の形態が許容される。
板」を例示したが、透明基板は平行平板に限らず、プリ
ズム形状や台形形状等種々の形態が許容される。
【００３６】
【発明の効果】以上に説明したように、請求項１，２記
載の発明によれば、新規なマイクロコーナーキューブ・
マイクロコーナーキューブアレイを提供できる。
載の発明によれば、新規なマイクロコーナーキューブ・
マイクロコーナーキューブアレイを提供できる。
【００３７】また、請求項２，３記載の発明によれば、
上記新規なマイクロコーナーキューブ・マイクロコーナ
ーキューブアレイを、容易且つ確実に製造できる。
上記新規なマイクロコーナーキューブ・マイクロコーナ
ーキューブアレイを、容易且つ確実に製造できる。
【００３８】さらに、請求項５，６記載の発明では、マ
イクロコーナーキューブアレイを反射防止板として用
い、画面に斜めに入射する光を入射方向へ反射させるの
で、表示面に表示される表示画像をコントラストの高い
状態で良好に観察することが可能である。
イクロコーナーキューブアレイを反射防止板として用
い、画面に斜めに入射する光を入射方向へ反射させるの
で、表示面に表示される表示画像をコントラストの高い
状態で良好に観察することが可能である。
【図１】この発明のマイクロコーナーキューブ製造方法
を説明するための図である。
を説明するための図である。
【図２】請求項５，６記載の発明の１実施例におけるマ
イクロコーナーキューブのアレイ配列を説明するための
図である。
イクロコーナーキューブのアレイ配列を説明するための
図である。
【図３】請求項６記載の発明の１実施例を説明するため
の図である。
の図である。
１０ 透明基板 ２０ フォトレジスト ３０ マスク板
Claims (6)
- 【請求項１】透明基板の一方の面に、２等辺直角三角形
を３面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐状の微
小な突起を、透明基板の一部として形成してなるマイク
ロコーナーキューブ。 - 【請求項２】透明基板の一方の面に、２等辺直角三角形
を３面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐状の微
小な突起を複数個、透明基板の一部としてアレイ状に配
列形成してなるマイクロコーナーキューブアレイ。 - 【請求項３】透明基板の表面に所定の厚さに形成された
フォトレジストの層に、正三角形の中心から各辺に向か
って透過率もしくは遮光率が次第に減少する微小なマス
クを用いて露光を行い、現像により、三角錐状の微小な
突起を上記フォトレジストにより形成し、 その後、異方性のエッチングを行うことにより、上記フ
ォトレジストの形状を透明基板に彫り写すことにより、
２等辺直角三角形を３面、互いに直交的に組み合わせて
なる三角錐状の微小な突起を透明基板の一部として形成
することを特徴とするマイクロコーナーキューブ製造方
法。 - 【請求項４】透明基板の表面に所定の厚さに形成された
フォトレジストの層に、正三角形の中心から各辺に向か
って透過率もしくは遮光率が次第に減少する微小なマス
クが所望の配列にアレイ配列されたマスクアレイを用い
て露光を行い、現像により、三角錐状の微小な突起のア
レイ配列を上記フォトレジストにより形成し、 その後、異方性のエッチングを行うことにより、上記フ
ォトレジストの形状を透明基板に彫り写すことにより、
２等辺直角三角形を３面、互いに直交的に組み合わせて
なる三角錐状の微小な突起の所望のアレイ配列を、透明
基板の一部として形成することを特徴とするマイクロコ
ーナーキューブアレイ製造方法。 - 【請求項５】１次元もしくは２次元の画像を、発光画素
により表示する画像表示装置と、 この画像表示装置の表示面に近接もしくは密接して配備
される反射防止板とを有し、 上記反射防止板は、画像表示装置の表示面における発光
画素の配列と同じ配列で、マイクロコーナーキューブが
アレイ配列された請求項２記載のマイクロコーナーキュ
ーブアレイであり、三角錐状の微小な突起のアレイ配列
の形成された側の面を上記表示面に側にして配備される
ことを特徴とする、マイクロコーナーキューブアレイを
用いる表示装置。 - 【請求項６】請求項５記載の表示装置において、 画像表示装置がエレクトロルミネセント画像表示装置で
あることを特徴とする、マイクロコーナーキューブアレ
イを用いる表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP113094A JP3551979B2 (ja) | 1994-01-11 | 1994-01-11 | マイクロコーナーキューブ・マイクロコーナーキューブアレイの製造方法およびマイクロコーナーキューブアレイを用いる表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP113094A JP3551979B2 (ja) | 1994-01-11 | 1994-01-11 | マイクロコーナーキューブ・マイクロコーナーキューブアレイの製造方法およびマイクロコーナーキューブアレイを用いる表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07205322A true JPH07205322A (ja) | 1995-08-08 |
| JP3551979B2 JP3551979B2 (ja) | 2004-08-11 |
Family
ID=11492870
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP113094A Expired - Fee Related JP3551979B2 (ja) | 1994-01-11 | 1994-01-11 | マイクロコーナーキューブ・マイクロコーナーキューブアレイの製造方法およびマイクロコーナーキューブアレイを用いる表示装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3551979B2 (ja) |
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| JP2003004916A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 表示装置の窓材、その製造方法、及び表示装置 |
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| US7045278B2 (en) | 2002-06-27 | 2006-05-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Corner cube array and method of making the corner cube array |
| US7098976B2 (en) | 2001-06-15 | 2006-08-29 | Sharp Kabushiki Kaisha | Micro corner cube array, method of making the micro corner cube array and reflective type display device |
| US7188961B2 (en) | 2003-10-27 | 2007-03-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Corner cube reflector, method of making the reflector and reflective display device including the reflector |
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-
1994
- 1994-01-11 JP JP113094A patent/JP3551979B2/ja not_active Expired - Fee Related
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