JP2010169751A - 反射板及び反射板製造用金型の製造方法 - Google Patents
反射板及び反射板製造用金型の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010169751A JP2010169751A JP2009009987A JP2009009987A JP2010169751A JP 2010169751 A JP2010169751 A JP 2010169751A JP 2009009987 A JP2009009987 A JP 2009009987A JP 2009009987 A JP2009009987 A JP 2009009987A JP 2010169751 A JP2010169751 A JP 2010169751A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- convex portion
- silicon substrate
- shaped
- triangular
- mold
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【解決手段】シリコン基板1の片面に、延性モード切削加工により、三角錐形状の凸部2を最密の配列で形成する。凸部2の形成面に、フォトレジスト層3を形成する。フォトレジスト層3に平面形状が三角形の透孔4を所定の配列で多数形成する。このフォトレジスト層3をマスクとして、シリコン基板1の片面にドライエッチングを施し、シリコン基板1の表層部分に三角柱形状の凹部5を形成する。フォトレジスト層3の残部を除去されたシリコン基板1の片面にニッケルなどの金型材料を電鋳して、金型素材8を得る。金型素材8に形成された三角柱形状の凸部7に切削加工を施して、三角錐形状の凸部9を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明に係る反射板製造用金型の製造方法の第1実施形態を、図1及び図2を用いて説明する。
本発明に係る反射板製造用金型の製造方法の第2実施形態を、図3及び図4を用いて説明する。
以下、本発明に係る反射板の構成とその製造方法を、図5及び図6にしたがって説明する。
2 三角錐形状の凸部
3 フォトレジスト層
4 平面形状が三角形の透孔
5 三角柱形状の凹部
6 三角錐形状の凹部
7 三角柱形状の凸部
8 金型素材
9 三角錐形状の凸部
10 反射板製造用金型
11 第1シリコン基板
12 三角柱形状の凹部
13 シリコン酸化膜
14 第2シリコン基板
15 三角錐形状の凸部
16 三角錐形状の凹部
17 三角柱形状の凸部
18 金型素材
19 三角錐形状
20 反射板製造用金型
30 反射板材料
31 反射板
32 三角錐形状の凸部
33 三角錐形状の凹部
Claims (3)
- シリコン基板の片面に、多数の三角錐形状の凸部を切削加工により最密配列で形成し、底面における各頂点が特定の方向に向けられた第1の凸部群と、当該第1の凸部群とは底面における各頂点の向きが180°異なる第2の凸部群とを形成する工程と、
前記シリコン基板の凸部形成面にフォトレジスト層を形成する工程と、
前記フォトレジスト層における前記第1の凸部群と対応する部分に、前記第1の凸部群を構成する各凸部の底面の形状と同一の三角形で、かつ各頂点の向きが同一の透孔を形成する工程と、
この三角形の透孔が形成されたフォトレジスト層をマスクとして、前記シリコン基板の片面にドライエッチングを施し、前記第1の凸部群を除去すると共に、当該第1の凸部群が除去された部分に三角柱形状の凹部を形成する工程と、
前記フォトレジスト層を除去した後、前記シリコン基板の片面に金型材料を電鋳し、前記第2凸部群から転写された三角錐形状の凹部と、前記三角柱形状の凹部から転写された三角柱形状の凸部とを有する金型素材を作製する工程と、
前記金型素材から前記シリコン基板を除去した後、前記三角柱形状の凸部に切削加工を施して、前記三角錐形状の凹部と同形の三角錐形状の凸部を形成する工程
とを含むことを特徴とする反射板製造用金型の製造方法。 - 第1シリコン基板の片面に、各頂点を互いに接した状態で同じ向きに配列された多数の三角柱形状の凹部をドライエッチングにより形成する工程と、
前記第1シリコン基板の凹部形成面に、シリコン酸化膜を介して第2シリコン基板を接合する工程と、
前記第2シリコン基板に、多数の三角錐形状の凸部を切削加工により最密配列で形成し、底面における各頂点が前記第1シリコン基板の片面に形成された三角柱形状の凹部と同一方向に向けられ、かつ前記凹部の上方に配置された第1の凸部群と、当該第1の凸部群とは底面における各頂点の向きが180°異なる第2の凸部群とを形成する工程と、
前記第2の凸部群を構成する各凸部の周囲に形成されたシリコン酸化膜及び前記第1の凸部群を除去する工程と、
前記第2の凸部群を有する前記第1シリコン基板の片面に金型材料を電鋳し、前記第2の凸部群から転写された三角錐形状の凹部と、前記三角柱形状の凹部から転写された三角柱形状の凸部とを有する金型素材を作製する工程と、
前記金型素材から前記第1シリコン基板を除去した後、前記三角柱形状の凸部に切削加工を施して、前記三角錐形状の凹部と同形の三角錐形状の凸部を形成する工程
とを含むことを特徴とする反射板製造用金型の製造方法。 - 反射板材料の片面に、三角錐形状の凸部と凹部とを最密に配列してなることを特徴とする反射板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009009987A JP5305940B2 (ja) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | 反射板製造用金型の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009009987A JP5305940B2 (ja) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | 反射板製造用金型の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010169751A true JP2010169751A (ja) | 2010-08-05 |
JP5305940B2 JP5305940B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=42701994
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009009987A Expired - Fee Related JP5305940B2 (ja) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | 反射板製造用金型の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5305940B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2412390A2 (en) | 2010-07-28 | 2012-02-01 | Nitto Denko Corporation | Adhesive patch and patch preparation |
KR101381638B1 (ko) * | 2012-08-09 | 2014-04-14 | 주식회사 진성조명전기 | 반사판 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07205322A (ja) * | 1994-01-11 | 1995-08-08 | Ricoh Opt Ind Co Ltd | マイクロコーナーキューブ・マイクロコーナーキューブアレイおよびこれらの製造方法およびマイクロコーナーキューブアレイを用いる表示装置 |
JP2001133772A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Hitachi Ltd | 導光板の製造方法、導光板及び液晶表示装置 |
JP2002323612A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-11-08 | Sharp Corp | コーナーキューブアレイなどの光学素子及びそれを備える反射型表示装置 |
JP2004086164A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-03-18 | Sharp Corp | コーナーキューブアレイおよびその作製方法 |
JP2005128422A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-19 | Sharp Corp | 反射型表示装置 |
JP2006134748A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | タンデム型面光源装置 |
-
2009
- 2009-01-20 JP JP2009009987A patent/JP5305940B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07205322A (ja) * | 1994-01-11 | 1995-08-08 | Ricoh Opt Ind Co Ltd | マイクロコーナーキューブ・マイクロコーナーキューブアレイおよびこれらの製造方法およびマイクロコーナーキューブアレイを用いる表示装置 |
JP2001133772A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Hitachi Ltd | 導光板の製造方法、導光板及び液晶表示装置 |
JP2002323612A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-11-08 | Sharp Corp | コーナーキューブアレイなどの光学素子及びそれを備える反射型表示装置 |
JP2004086164A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-03-18 | Sharp Corp | コーナーキューブアレイおよびその作製方法 |
JP2005128422A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-19 | Sharp Corp | 反射型表示装置 |
JP2006134748A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | タンデム型面光源装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2412390A2 (en) | 2010-07-28 | 2012-02-01 | Nitto Denko Corporation | Adhesive patch and patch preparation |
KR101381638B1 (ko) * | 2012-08-09 | 2014-04-14 | 주식회사 진성조명전기 | 반사판 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5305940B2 (ja) | 2013-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI227371B (en) | Stamper, lithographic method of using the stamper and method of forming a structure by a lithographic pattern | |
TWI290125B (en) | Manufacturing structured elements | |
CN110412684A (zh) | 一种近眼显示器衍射光栅波导的制备方法 | |
CN101424751A (zh) | 光学元件以及光学元件生产用的原盘的制造方法 | |
JP2009132010A (ja) | マイクロレンズアレイ用金型の製造方法 | |
WO2013058230A1 (ja) | リフレクタアレイ光学装置及びその作製方法 | |
JP2008158013A (ja) | 光学素子およびその製造方法、ならびに光学素子作製用複製基板およびその製造方法 | |
WO2014010538A1 (ja) | マイクロミラーアレイおよびその製法並びにそれに用いる光学素子 | |
JP2018513401A (ja) | 部分的再帰反射体ツール及びシートを形成する方法並びにその装置 | |
WO2006109921A1 (en) | Manufacturing method of slanted-pyramid microlens and its application to light guide plate | |
US20180339501A1 (en) | Nanometer wire grid structure fabrication method | |
JP4437749B2 (ja) | コーナーキューブアレイの製造方法 | |
JP6943559B2 (ja) | 少なくとも1つの目の錯視模様を有する金属系部品の製造方法 | |
JP5305940B2 (ja) | 反射板製造用金型の製造方法 | |
JP2006259325A (ja) | ホログラフィックグレーティング製造方法 | |
JP2008070556A (ja) | 光学部材の製造方法および光学部材成形用型の製造方法 | |
JP4281512B2 (ja) | 光学素子の製造方法 | |
JP6314609B2 (ja) | インプリントレプリカモールド及びインプリントレプリカモールドの製造方法 | |
JP2001133772A (ja) | 導光板の製造方法、導光板及び液晶表示装置 | |
JP2004351838A (ja) | マイクロレンズアレイ用複製型の製造方法 | |
JP2002022911A (ja) | マイクロプリズムアレイの製造方法および型材 | |
JP2003028895A (ja) | バンプ付きコンタクトプローブの製造方法 | |
TWI336766B (ja) | ||
JP4744749B2 (ja) | 非球面レンズアレイ、金型の製造方法、および非球面レンズアレイの製造方法 | |
JP2008292929A (ja) | 遮光パターンの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110915 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121009 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130618 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130625 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5305940 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |