JPH07198515A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH07198515A JPH07198515A JP35282993A JP35282993A JPH07198515A JP H07198515 A JPH07198515 A JP H07198515A JP 35282993 A JP35282993 A JP 35282993A JP 35282993 A JP35282993 A JP 35282993A JP H07198515 A JPH07198515 A JP H07198515A
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- pressure
- pressure sensor
- cover
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 外部環境による特性変化が少なく、信頼性の
高い圧力センサを提供する。 【構成】 薄膜状のダイアフラム２とフレーム３をシリ
コンウエハより一体として形成し、ダイアフラム２の上
面にダイアフラム２が揺動自在に変位できるよう窪み５
を形成する。フレーム３の上面にカバー４を貼り合わ
せ、カバー４と窪み５により形成された圧力室６に基準
圧力を導入する導入口７をカバー４に開口する。カバー
４の上面には導入口７を塞ぐようにして、非通気性及び
柔軟性あるフィルム１１を貼り合わせ、圧力センサＡを
作成する。 【効果】 圧力室６が外気と遮断され、圧力室６にほこ
りや湿気等が侵入せず、センサ感度の低下や結露による
ダイアフラム２の破損を防ぎ、圧力センサＡの信頼性を
向上させる。
高い圧力センサを提供する。 【構成】 薄膜状のダイアフラム２とフレーム３をシリ
コンウエハより一体として形成し、ダイアフラム２の上
面にダイアフラム２が揺動自在に変位できるよう窪み５
を形成する。フレーム３の上面にカバー４を貼り合わ
せ、カバー４と窪み５により形成された圧力室６に基準
圧力を導入する導入口７をカバー４に開口する。カバー
４の上面には導入口７を塞ぐようにして、非通気性及び
柔軟性あるフィルム１１を貼り合わせ、圧力センサＡを
作成する。 【効果】 圧力室６が外気と遮断され、圧力室６にほこ
りや湿気等が侵入せず、センサ感度の低下や結露による
ダイアフラム２の破損を防ぎ、圧力センサＡの信頼性を
向上させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は静電容量型圧力センサに
関する。具体的には、相対圧検出用の静電容量型圧力セ
ンサに関する。
関する。具体的には、相対圧検出用の静電容量型圧力セ
ンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に従来の相対圧検出用静電容量型圧
力センサＤの断面図を示す。５１はダイアフラム、５２
はフレーム、５３はカバーであって、ダイアフラム５１
は角枠状のフレーム５２のほぼ中央に配設されている。
ダイアフラム５１及びフレーム５２はシリコンウエハよ
り一体として作成されていて、フレーム５２にはダイア
フラム５１が揺動自在に変位できるように、カバー５３
の内面と微小なギャップを隔てて窪み５４が形成され、
カバー５３との間に圧力室５５が形成されている。ま
た、ガラス製のカバー５３の周辺部がフレーム５２に陽
極接合法等により接合されている。カバー５３には導入
口５６が開口されていて、導入口５６から基準圧力を導
入することができる。
力センサＤの断面図を示す。５１はダイアフラム、５２
はフレーム、５３はカバーであって、ダイアフラム５１
は角枠状のフレーム５２のほぼ中央に配設されている。
ダイアフラム５１及びフレーム５２はシリコンウエハよ
り一体として作成されていて、フレーム５２にはダイア
フラム５１が揺動自在に変位できるように、カバー５３
の内面と微小なギャップを隔てて窪み５４が形成され、
カバー５３との間に圧力室５５が形成されている。ま
た、ガラス製のカバー５３の周辺部がフレーム５２に陽
極接合法等により接合されている。カバー５３には導入
口５６が開口されていて、導入口５６から基準圧力を導
入することができる。
【０００３】しかして、ダイアフラム５１の下面に空気
等の測定圧力が導入されると、測定圧力と基準圧力との
差圧に応じてダイアフラム５１が変位して、ギャップの
大きさが変わる。ギャップの大きさが変わると、ダイア
フラム５１に設けた可動電極（図示せず）とカバー５３
の内面に設けた固定電極（図示せず）との間に構成させ
たコンデンサＣの静電容量の大きさが変化する。したが
って、この静電容量の変化をボンディングパッド５７に
接続された検出回路等により検出することによって、基
準圧力に対する相対圧力を求めることができる。
等の測定圧力が導入されると、測定圧力と基準圧力との
差圧に応じてダイアフラム５１が変位して、ギャップの
大きさが変わる。ギャップの大きさが変わると、ダイア
フラム５１に設けた可動電極（図示せず）とカバー５３
の内面に設けた固定電極（図示せず）との間に構成させ
たコンデンサＣの静電容量の大きさが変化する。したが
って、この静電容量の変化をボンディングパッド５７に
接続された検出回路等により検出することによって、基
準圧力に対する相対圧力を求めることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこの圧力
センサＤにおいて、圧力室５５は導入口５６を通じてセ
ンサ外部と空間的につながった構造をしているため外部
から圧力室５５内部に異物が侵入し、ダイアフラム５１
の変位が妨げられてセンサ感度が低下するなどセンサ特
性に悪影響を及ぼしていた。
センサＤにおいて、圧力室５５は導入口５６を通じてセ
ンサ外部と空間的につながった構造をしているため外部
から圧力室５５内部に異物が侵入し、ダイアフラム５１
の変位が妨げられてセンサ感度が低下するなどセンサ特
性に悪影響を及ぼしていた。
【０００５】また、センサ外部の環境や湿度の影響によ
り圧力室５５内部に結露を生じ、このためダイアフラム
５１が壊れるなど圧力センサＤの破損を招いていた。
り圧力室５５内部に結露を生じ、このためダイアフラム
５１が壊れるなど圧力センサＤの破損を招いていた。
【０００６】さらに、基準圧力の湿度変化など圧力室５
５内部のガス組成の変化により圧力室５５内の誘電率が
変化し、測定誤差や測定値のばらつきを生じるなどセン
サ特性に変化を引き起こしていた。
５内部のガス組成の変化により圧力室５５内の誘電率が
変化し、測定誤差や測定値のばらつきを生じるなどセン
サ特性に変化を引き起こしていた。
【０００７】本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、圧力室を外
気と遮断することにより上記問題点を解決し、信頼性の
高い圧力センサを提供することにある。
れたものであり、その目的とするところは、圧力室を外
気と遮断することにより上記問題点を解決し、信頼性の
高い圧力センサを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の圧力センサは、
ダイアフラムを支持させた支持基板に固定基板を貼り合
わせ、前記支持基板と前記固定基板との間に設けた圧力
室を外部と空間的につなげ、前記圧力室を非通気性及び
柔軟性を有するシート状材料により外気から遮断したこ
とを特徴としている。
ダイアフラムを支持させた支持基板に固定基板を貼り合
わせ、前記支持基板と前記固定基板との間に設けた圧力
室を外部と空間的につなげ、前記圧力室を非通気性及び
柔軟性を有するシート状材料により外気から遮断したこ
とを特徴としている。
【０００９】このためには、前記支持基板に前記固定基
板を貼り合わせてなる圧力センサチップに前記シート状
材料を貼り合わせて前記圧力室と外部との連通部を塞ぐ
こととしてもよく、圧力センサチップ全体を前記シート
状材料からなるカバーで覆うことにしてもよい。
板を貼り合わせてなる圧力センサチップに前記シート状
材料を貼り合わせて前記圧力室と外部との連通部を塞ぐ
こととしてもよく、圧力センサチップ全体を前記シート
状材料からなるカバーで覆うことにしてもよい。
【００１０】また、圧力導入口を設けたカバーにより圧
力センサチップ全体を覆い、前記カバーに前記シート状
材料を貼り合わせ前記圧力導入口を塞ぐこともできる。
力センサチップ全体を覆い、前記カバーに前記シート状
材料を貼り合わせ前記圧力導入口を塞ぐこともできる。
【００１１】さらに、一部が前記シート状材料からなる
容器内に圧力センサチップを納め、あるいは、圧力導入
口を設けた容器内に圧力センサチップを納め、前記容器
に前記シート状材料を貼り合わせて前記圧力導入口を塞
ぐことにしてもよい。
容器内に圧力センサチップを納め、あるいは、圧力導入
口を設けた容器内に圧力センサチップを納め、前記容器
に前記シート状材料を貼り合わせて前記圧力導入口を塞
ぐことにしてもよい。
【００１２】また、当該圧力室の内部を不活性ガスで充
填することにしてもよい。
填することにしてもよい。
【００１３】
【作用】本発明の圧力センサにおいては、支持基板と固
定基板との間に設けられた圧力室が非通気性のあるシー
ト状材料によって外気と遮断されているので、圧力室内
には外気からほこりなどが侵入せず、ダイアフラムの変
位が妨げられることがない。また、外気から湿気が侵入
しないので、圧力室内の結露によってダイアフラムが破
損されることもない。一方、外気と遮断するためのシー
ト状材料は柔軟性を有しているので、圧力室に外気の圧
力をそのまま伝えることができる。したがって、圧力室
内に基準圧力を導入して測定を行なう相対圧検出型圧力
センサにおいても感度が低下せず、センサ特性の劣化を
防ぐことができる。これにより信頼性のよい圧力センサ
を提供することができる。さらに、圧力室内の誘電率の
変化も起こらず、基準圧力など外気のガス組成の変化に
よっては影響を受けず、静電容量型の圧力センサにあっ
ても、測定値がばらつくことがなく、正確な圧力測定を
行なうことができる。
定基板との間に設けられた圧力室が非通気性のあるシー
ト状材料によって外気と遮断されているので、圧力室内
には外気からほこりなどが侵入せず、ダイアフラムの変
位が妨げられることがない。また、外気から湿気が侵入
しないので、圧力室内の結露によってダイアフラムが破
損されることもない。一方、外気と遮断するためのシー
ト状材料は柔軟性を有しているので、圧力室に外気の圧
力をそのまま伝えることができる。したがって、圧力室
内に基準圧力を導入して測定を行なう相対圧検出型圧力
センサにおいても感度が低下せず、センサ特性の劣化を
防ぐことができる。これにより信頼性のよい圧力センサ
を提供することができる。さらに、圧力室内の誘電率の
変化も起こらず、基準圧力など外気のガス組成の変化に
よっては影響を受けず、静電容量型の圧力センサにあっ
ても、測定値がばらつくことがなく、正確な圧力測定を
行なうことができる。
【００１４】また、少なくとも圧力室を不活性ガスで充
填することにすれば、より効果的に湿気等の影響を防ぐ
ことができる。
填することにすれば、より効果的に湿気等の影響を防ぐ
ことができる。
【００１５】
【実施例】図１に示すものは本発明の一実施例である圧
力センサＡの断面図であって、圧力センサＡは、圧力セ
ンサチップ１の上面に圧力室６を外気と遮断するための
フィルム１１が貼り合わされている。圧力センサチップ
１は、角枠状をしたフレーム３のほぼ中央に薄膜状のダ
イアフラム２が配設されており、ダイアフラム２がその
厚さ方向に揺動自在に変位できるようにフレーム３には
窪み５が形成され、圧力室６がフレーム３とカバー４と
の間に形成されている。ダイアフラム２及びフレーム３
はシリコンウエハより一体として半導体製造技術等によ
って形成されていて、ダイアフラム２全体はイオン注入
などによって導電性となっており、ダイアフラム２の上
面は可動電極８となっている。フレーム３の上面にはガ
ラス製のカバー４が重ねられ、その周辺部は陽極接合法
等によりフレーム３に接合されている。カバー４の内面
には可動電極８と微小なギャップを隔てて、可動電極８
と対向して固定電極９が設けられ、可動電極８と固定電
極９との間にコンデンサが構成されている。このコンデ
ンサの静電容量は、フレーム３の上面の露出箇所に設け
られたボンディングパッド１０に接続された検知回路
（図示せず）により検出することができる。
力センサＡの断面図であって、圧力センサＡは、圧力セ
ンサチップ１の上面に圧力室６を外気と遮断するための
フィルム１１が貼り合わされている。圧力センサチップ
１は、角枠状をしたフレーム３のほぼ中央に薄膜状のダ
イアフラム２が配設されており、ダイアフラム２がその
厚さ方向に揺動自在に変位できるようにフレーム３には
窪み５が形成され、圧力室６がフレーム３とカバー４と
の間に形成されている。ダイアフラム２及びフレーム３
はシリコンウエハより一体として半導体製造技術等によ
って形成されていて、ダイアフラム２全体はイオン注入
などによって導電性となっており、ダイアフラム２の上
面は可動電極８となっている。フレーム３の上面にはガ
ラス製のカバー４が重ねられ、その周辺部は陽極接合法
等によりフレーム３に接合されている。カバー４の内面
には可動電極８と微小なギャップを隔てて、可動電極８
と対向して固定電極９が設けられ、可動電極８と固定電
極９との間にコンデンサが構成されている。このコンデ
ンサの静電容量は、フレーム３の上面の露出箇所に設け
られたボンディングパッド１０に接続された検知回路
（図示せず）により検出することができる。
【００１６】カバー４には圧力室６に大気圧などの基準
圧力を導入するための導入口７が開口されている。この
導入口７の開口部はカバー４上面に貼られたフィルム１
１によって塞がれ、圧力室６内は密閉されており、圧力
室６内部には乾燥空気や窒素などの不活性ガスが封入さ
れている。また、外部から印加された基準圧力はフィル
ム１１を介して圧力室６に印加されるようになってい
る。このフィルム１１は、非通気性で柔軟性のあるシー
ト材料であれば材質は問わず、例えば合成樹脂製の薄膜
状になったフィルムやゴムなどの弾性体からなる薄膜な
どを使用することができる。この圧力センサＡは、例え
ば乾燥空気や窒素雰囲気中でフィルム１１が貼られたカ
バー４とフレーム３とを接合することにより作成するこ
とができる。
圧力を導入するための導入口７が開口されている。この
導入口７の開口部はカバー４上面に貼られたフィルム１
１によって塞がれ、圧力室６内は密閉されており、圧力
室６内部には乾燥空気や窒素などの不活性ガスが封入さ
れている。また、外部から印加された基準圧力はフィル
ム１１を介して圧力室６に印加されるようになってい
る。このフィルム１１は、非通気性で柔軟性のあるシー
ト材料であれば材質は問わず、例えば合成樹脂製の薄膜
状になったフィルムやゴムなどの弾性体からなる薄膜な
どを使用することができる。この圧力センサＡは、例え
ば乾燥空気や窒素雰囲気中でフィルム１１が貼られたカ
バー４とフレーム３とを接合することにより作成するこ
とができる。
【００１７】しかして、フィルム１１の上面から基準圧
力を印加するとともに、ダイアフラム２の下面に測定圧
力を印加すると、基準圧力と測定圧力との差圧に応じて
ダイアフラム２が変位し、圧力センサＡに構成されたコ
ンデンサの静電容量が変化する。したがって、この静電
容量の変化を検知することにより、基準圧力に対する相
対圧力を測定することができる。
力を印加するとともに、ダイアフラム２の下面に測定圧
力を印加すると、基準圧力と測定圧力との差圧に応じて
ダイアフラム２が変位し、圧力センサＡに構成されたコ
ンデンサの静電容量が変化する。したがって、この静電
容量の変化を検知することにより、基準圧力に対する相
対圧力を測定することができる。
【００１８】この圧力センサＡにおいては、フィルム１
１により圧力室６が密閉されているので、圧力室６内に
異物等が侵入したり、圧力室６内部のガス組成が変化す
ることはない。このため、異物によってダイアフラム２
の変位が妨げられたり、圧力室６内の誘電率が変化しな
い。したがって、圧力センサＡの感度が低下したり、測
定誤差や測定値にばらつきを生じることがない。また、
圧力室６内には乾燥空気などの不活性ガスが封入されて
いるので、結露を生じずダイアフラム２も破損されな
い。このようにして、信頼性のよい圧力センサを提供す
ることができる。
１により圧力室６が密閉されているので、圧力室６内に
異物等が侵入したり、圧力室６内部のガス組成が変化す
ることはない。このため、異物によってダイアフラム２
の変位が妨げられたり、圧力室６内の誘電率が変化しな
い。したがって、圧力センサＡの感度が低下したり、測
定誤差や測定値にばらつきを生じることがない。また、
圧力室６内には乾燥空気などの不活性ガスが封入されて
いるので、結露を生じずダイアフラム２も破損されな
い。このようにして、信頼性のよい圧力センサを提供す
ることができる。
【００１９】図２に示すものは、本発明の別な実施例で
ある圧力センサＢの断面図であって、１２は実装基板、
１３は圧力センサＢのセンサ出力を引き出すための電極
ピン、１４はボンディングパッド１０と電極ピン１３と
を電気的に接続する金線ワイヤである。圧力センサチッ
プ１は、台座１５を介して実装基板１２上に実装されて
いて、非通気性及び柔軟性のあるシート状材料例えばゴ
ムの厚膜からなるカバー１６と実装基板１２によって形
成された容器内の空間１７に納められている。すなわ
ち、この圧力センサＢにおいては、圧力センサチップ１
はカバー１６によって覆われていて、圧力室６はカバー
１６及び実装基板１２とによって外気と遮断されてい
る。また、空間１７内には乾燥空気や窒素などの不活性
ガスが充填され、外気とほぼ同じ圧力に保持されてい
る。実装基板１２には圧力センサチップ１に測定圧力を
導入するための導入パイプなどの導入装置１８が設けら
れ、導入装置１８及び台座１５に開口された貫通孔１９
を介してダイアフラム２の下面に測定圧力を導入するこ
とができる。もちろん、貫通孔１９及びダイアフラム２
の下面の空間は、空間１７と完全に隔離されている。
ある圧力センサＢの断面図であって、１２は実装基板、
１３は圧力センサＢのセンサ出力を引き出すための電極
ピン、１４はボンディングパッド１０と電極ピン１３と
を電気的に接続する金線ワイヤである。圧力センサチッ
プ１は、台座１５を介して実装基板１２上に実装されて
いて、非通気性及び柔軟性のあるシート状材料例えばゴ
ムの厚膜からなるカバー１６と実装基板１２によって形
成された容器内の空間１７に納められている。すなわ
ち、この圧力センサＢにおいては、圧力センサチップ１
はカバー１６によって覆われていて、圧力室６はカバー
１６及び実装基板１２とによって外気と遮断されてい
る。また、空間１７内には乾燥空気や窒素などの不活性
ガスが充填され、外気とほぼ同じ圧力に保持されてい
る。実装基板１２には圧力センサチップ１に測定圧力を
導入するための導入パイプなどの導入装置１８が設けら
れ、導入装置１８及び台座１５に開口された貫通孔１９
を介してダイアフラム２の下面に測定圧力を導入するこ
とができる。もちろん、貫通孔１９及びダイアフラム２
の下面の空間は、空間１７と完全に隔離されている。
【００２０】このように、圧力センサチップ１全体をカ
バー１６によって覆うことにより、圧力センサチップ１
の圧力室６が外気と遮断され、圧力室６内部にほこりや
湿気等が侵入せず、圧力センサＢの感度が低下するのを
防ぐことができる。また、カバー１６は柔軟性を有して
いるので、外気の圧力に変動を生じた場合にも圧力室６
内には外気と同じ圧力が印加され、測定圧力の相対圧を
測定することができる。さらに、圧力センサチップ１全
体が外気と遮断されるので周囲のガスによる腐食などか
ら圧力センサチップ１を保護することもできる。
バー１６によって覆うことにより、圧力センサチップ１
の圧力室６が外気と遮断され、圧力室６内部にほこりや
湿気等が侵入せず、圧力センサＢの感度が低下するのを
防ぐことができる。また、カバー１６は柔軟性を有して
いるので、外気の圧力に変動を生じた場合にも圧力室６
内には外気と同じ圧力が印加され、測定圧力の相対圧を
測定することができる。さらに、圧力センサチップ１全
体が外気と遮断されるので周囲のガスによる腐食などか
ら圧力センサチップ１を保護することもできる。
【００２１】また、図３に示す圧力センサＣのように、
金属製やプラスチック製などのハードカバー２１に基準
圧力を導入するための開口２０を設け、開口２０を塞ぐ
ようにしてハードカバー２１上面に第１の実施例と同様
にフィルム１１を貼り付けることによって、圧力センサ
チップ１の圧力室６を外気から遮断することもできる。
このように開口２０をフィルム１１で塞いだハードカバ
ー２１を設けることにより、圧力センサＣに物が当たっ
た場合でも圧力センサチップ１が破損されず、外部から
の物理的刺激に対してより保護することができる。ま
た、基準圧力を導入するための別な導入装置（図示せ
ず）等の装着も容易に行なうことができる。
金属製やプラスチック製などのハードカバー２１に基準
圧力を導入するための開口２０を設け、開口２０を塞ぐ
ようにしてハードカバー２１上面に第１の実施例と同様
にフィルム１１を貼り付けることによって、圧力センサ
チップ１の圧力室６を外気から遮断することもできる。
このように開口２０をフィルム１１で塞いだハードカバ
ー２１を設けることにより、圧力センサＣに物が当たっ
た場合でも圧力センサチップ１が破損されず、外部から
の物理的刺激に対してより保護することができる。ま
た、基準圧力を導入するための別な導入装置（図示せ
ず）等の装着も容易に行なうことができる。
【００２２】なお、フイルム１１及びカバー１６は柔軟
性を有しているので、ダイアフラム２の変位による圧力
室６若しくは空間１７内の容積変化、及び外気温の変化
による圧力室６若しくは空間１７内の体積膨張は、フィ
ルム１１やカバー１６の伸縮により吸収することがで
き、圧力センサの特性に影響することなく圧力変化を測
定することができる。
性を有しているので、ダイアフラム２の変位による圧力
室６若しくは空間１７内の容積変化、及び外気温の変化
による圧力室６若しくは空間１７内の体積膨張は、フィ
ルム１１やカバー１６の伸縮により吸収することがで
き、圧力センサの特性に影響することなく圧力変化を測
定することができる。
【００２３】また、本実施例のように可動電極８と固定
電極９とを設けコンデンサを構成した静電容量型の圧力
センサチップ１に限らず、ダイアフラム２上に設けたピ
エゾ抵抗素子などのような歪み検出素子を設けた圧力セ
ンサチップについても適用できるのはいうまでもない。
電極９とを設けコンデンサを構成した静電容量型の圧力
センサチップ１に限らず、ダイアフラム２上に設けたピ
エゾ抵抗素子などのような歪み検出素子を設けた圧力セ
ンサチップについても適用できるのはいうまでもない。
【００２４】
【発明の効果】本発明にあっては、圧力室が非通気性の
シート状材料によって外気と遮断されているので、外部
環境により圧力センサの特性が劣化したりせず、また、
シート状材料は柔軟性を有しているので、圧力室に外気
圧力をそのまま加えることができ、信頼性の高い圧力セ
ンサを提供することができる。特に静電容量型センサの
場合には、圧力室内の誘電率が変化せず、正確な圧力測
定を行なうことができる。
シート状材料によって外気と遮断されているので、外部
環境により圧力センサの特性が劣化したりせず、また、
シート状材料は柔軟性を有しているので、圧力室に外気
圧力をそのまま加えることができ、信頼性の高い圧力セ
ンサを提供することができる。特に静電容量型センサの
場合には、圧力室内の誘電率が変化せず、正確な圧力測
定を行なうことができる。
【００２５】また、少なくとも圧力室を不活性ガスで充
填することにすれば、より効果的に湿気等の影響を防ぐ
ことができる。
填することにすれば、より効果的に湿気等の影響を防ぐ
ことができる。
【図１】本発明の一実施例である圧力センサを示す断面
図である。
図である。
【図２】本発明の別な実施例である圧力センサを示す断
面図である。
面図である。
【図３】本発明のさらに別な実施例である圧力センサを
示す断面図である。
示す断面図である。
【図４】従来例である圧力センサを示す断面図である。
２ ダイアフラム ６ 圧力室 １１ 非通気性で柔軟性を有するフィルム １２ 実装基板 １７ 非通気性で柔軟性を有するカバー １９ 貫通孔 ２０ 基準圧力を導入するための開口 ２１ ハードカバー
Claims (7)
- 【請求項１】 ダイアフラムを支持させた支持基板に固
定基板を貼り合わせ、前記支持基板と前記固定基板との
間に設けた圧力室を外部と空間的につなげ、前記圧力室
を非通気性及び柔軟性を有するシート状材料により外気
から遮断したことを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項２】 前記支持基板に前記固定基板を貼り合わ
せてなる圧力センサチップに前記シート状材料を貼り合
わせて前記圧力室と外部との連通部を塞いだことを特徴
とする請求項１に記載の圧力センサ。 - 【請求項３】 前記支持基板に前記固定基板を貼り合わ
せてなる圧力センサチップ全体を前記シート状材料から
なるカバーで覆ったことを特徴とする請求項１に記載の
圧力センサ。 - 【請求項４】 圧力導入口を設けたカバーにより前記支
持基板に前記固定基板を貼り合わせてなる圧力センサチ
ップ全体を覆い、前記カバーに前記シート状材料を貼り
合わせ前記圧力導入口を塞いだことを特徴とする請求項
１に記載の圧力センサ。 - 【請求項５】 一部が前記シート状材料からなる容器内
に、前記支持基板に前記固定基板を貼り合わせた圧力セ
ンサチップを納めたことを特徴とする請求項１に記載の
圧力センサ。 - 【請求項６】 圧力導入口を設けた容器内に、前記支持
基板に前記固定基板を貼り合わせた圧力センサチップを
納め、前記容器に前記シート状材料を貼り合わせて前記
圧力導入口を塞いだことを特徴とする請求項１に記載の
圧力センサ。 - 【請求項７】 少なくとも前記圧力室に不活性ガスを封
入したことを特徴とする請求項２、３、４、５又は６に
記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35282993A JPH07198515A (ja) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35282993A JPH07198515A (ja) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07198515A true JPH07198515A (ja) | 1995-08-01 |
Family
ID=18426726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35282993A Pending JPH07198515A (ja) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07198515A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09285453A (ja) * | 1996-04-23 | 1997-11-04 | Citizen Watch Co Ltd | 腕時計型血圧計 |
| WO2003014688A1 (de) * | 2001-07-20 | 2003-02-20 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor |
-
1993
- 1993-12-29 JP JP35282993A patent/JPH07198515A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09285453A (ja) * | 1996-04-23 | 1997-11-04 | Citizen Watch Co Ltd | 腕時計型血圧計 |
| WO2003014688A1 (de) * | 2001-07-20 | 2003-02-20 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor |
| US7152477B2 (en) | 2001-07-20 | 2006-12-26 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure sensor |
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