JPH07193990A - 集積回路素子の温度測定装置 - Google Patents
集積回路素子の温度測定装置Info
- Publication number
- JPH07193990A JPH07193990A JP33590393A JP33590393A JPH07193990A JP H07193990 A JPH07193990 A JP H07193990A JP 33590393 A JP33590393 A JP 33590393A JP 33590393 A JP33590393 A JP 33590393A JP H07193990 A JPH07193990 A JP H07193990A
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- JP
- Japan
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- integrated circuit
- temperature
- circuit element
- analog
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 集積回路素子の温度を測定する方法におい
て、測度測定用素子を単純かつ高信頼度のものとし、ま
た測定回路も簡単な構成で実現する。 【構成】 集積回路素子内に、両端が入出力端子に接続
された抵抗体配線を形成し、この抵抗体配線の抵抗値の
温度依存性を利用して集積回路素子の温度を測定する測
定回路を設ける抵抗体配線と測定回路内の３つの抵抗器
とでブリッジ回路を形成し、抵抗体配線の抵抗値が変化
することによりブリッジ回路の対角に端子を接続した検
流計の出力が変化することを利用して温度を測定する。
て、測度測定用素子を単純かつ高信頼度のものとし、ま
た測定回路も簡単な構成で実現する。 【構成】 集積回路素子内に、両端が入出力端子に接続
された抵抗体配線を形成し、この抵抗体配線の抵抗値の
温度依存性を利用して集積回路素子の温度を測定する測
定回路を設ける抵抗体配線と測定回路内の３つの抵抗器
とでブリッジ回路を形成し、抵抗体配線の抵抗値が変化
することによりブリッジ回路の対角に端子を接続した検
流計の出力が変化することを利用して温度を測定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路素子の温度測
定装置に関し、特に情報処理装置等に使用するデジタル
モノリシック集積回路の温度測定装置に関する。
定装置に関し、特に情報処理装置等に使用するデジタル
モノリシック集積回路の温度測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の温度測定方法は、集積回路素子内
にアノード、カソードがそれぞれ入出力端子に接続され
たダイオードと、このダイオードの入出力端子を経由し
て順方向定電流を流し、ダイオードの順方向電圧降下を
測定する測定回路とを有している。ダイオードの順方向
電圧降下には温度依存性があるので、予め温度と電圧降
下との関係を校正して求めておけば集積回路素子の温度
を測定できる。
にアノード、カソードがそれぞれ入出力端子に接続され
たダイオードと、このダイオードの入出力端子を経由し
て順方向定電流を流し、ダイオードの順方向電圧降下を
測定する測定回路とを有している。ダイオードの順方向
電圧降下には温度依存性があるので、予め温度と電圧降
下との関係を校正して求めておけば集積回路素子の温度
を測定できる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の温度測定方
法は、ダイオードの順方向電圧降下の温度依存性が集積
回路素子の製造プロセスによってばらつくため、すべて
のダイオードについて校正が必要であり大型コンピュー
タ等多数の集積回路を使用する装置においては、個々の
集積回路素子の温度を測定、監視することが困難である
こと、ダイオードが静電気で破壊されるのを防止するた
めの保護回路を設ける必要があり、回路が複雑になると
いう欠点がある。
法は、ダイオードの順方向電圧降下の温度依存性が集積
回路素子の製造プロセスによってばらつくため、すべて
のダイオードについて校正が必要であり大型コンピュー
タ等多数の集積回路を使用する装置においては、個々の
集積回路素子の温度を測定、監視することが困難である
こと、ダイオードが静電気で破壊されるのを防止するた
めの保護回路を設ける必要があり、回路が複雑になると
いう欠点がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の装置は、
３つの固定抵抗器および集積回路素子の温度により変化
する抵抗値を有する金属性の抵抗体配線から形成される
ブリッジ回路と、このブリッジ回路の対角線上に配置さ
れた電流計とを含む。
３つの固定抵抗器および集積回路素子の温度により変化
する抵抗値を有する金属性の抵抗体配線から形成される
ブリッジ回路と、このブリッジ回路の対角線上に配置さ
れた電流計とを含む。
【０００５】本発明の第２の装置は、前記電流計の出力
である直流電圧をディジタル信号に変換するアナログ／
デジタル変換器と、このアナログ／デジタル変換器で変
換されたデジタル信号の較正データを記憶する記憶部
と、この記憶部に記憶された較正データをもとに前記ア
ナログ／デジタル変換器からのデジタル信号から前記集
積回路素子の温度を算出する演算器と、この演算器の算
出結果を表示する表示器とを含む。
である直流電圧をディジタル信号に変換するアナログ／
デジタル変換器と、このアナログ／デジタル変換器で変
換されたデジタル信号の較正データを記憶する記憶部
と、この記憶部に記憶された較正データをもとに前記ア
ナログ／デジタル変換器からのデジタル信号から前記集
積回路素子の温度を算出する演算器と、この演算器の算
出結果を表示する表示器とを含む。
【０００６】本発明の第３の装置は、前記電流計の出力
である直流電圧をディジタル信号に変換するアナログ／
デジタル変換器と、このアナログ／デジタル変換器によ
り変換された値が予め定められた前記集積回路素子の上
限値を超えるかを判断する演算器と、この演算器で該上
限値を超えると判断されたとき警報信号を発生する警報
信号発生回路とを含む。
である直流電圧をディジタル信号に変換するアナログ／
デジタル変換器と、このアナログ／デジタル変換器によ
り変換された値が予め定められた前記集積回路素子の上
限値を超えるかを判断する演算器と、この演算器で該上
限値を超えると判断されたとき警報信号を発生する警報
信号発生回路とを含む。
【０００７】
【実施例】次に本発明の一実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【０００８】図１を参照すると、本発明の一実施例は集
積回路素子１の４辺の１つに配置された電源供給または
信号抵抗のためのある複数の入出力端子２１と４辺の他
の１つに配置された他の入出力端子２Ｌとに接続された
測温抵抗体ＲＴ配線３および測定回路４から構成され
る。
積回路素子１の４辺の１つに配置された電源供給または
信号抵抗のためのある複数の入出力端子２１と４辺の他
の１つに配置された他の入出力端子２Ｌとに接続された
測温抵抗体ＲＴ配線３および測定回路４から構成され
る。
【０００９】本発明の第１の実施例における測定回路４
は該入出力端子２１の１つに接続された直流定電圧源
６、該入出力端子２１の他の１つに接続された固定抵抗
器Ｒ３５入出力端子２２に接続された固定抵抗器Ｒ、
５、抵抗器Ｒ、および抵抗器Ｒ３に両端を接続された固
定抵抗Ｒ２、これら抵抗器Ｒ１Ｒ２Ｒ３および測温抵抗
体配線３でブリッジ回路が形成されるような位置に配線
され電流に比例した直流電圧を出力する検流計７、この
検流計の直流電圧をディジタル信号に変換するアナログ
／ディジタル（以下Ａ／Ｄ）変換器８、このＡ／Ｄ変換
器８の出力の較正データを記憶する記憶部１０、この記
憶部１０に記憶された較正データをもとにＡ／Ｄ変換回
路８の出力から集積回路１の温度を算出する演算器９お
よびこの演算器９の出力を表示する表示器１１を含む。
は該入出力端子２１の１つに接続された直流定電圧源
６、該入出力端子２１の他の１つに接続された固定抵抗
器Ｒ３５入出力端子２２に接続された固定抵抗器Ｒ、
５、抵抗器Ｒ、および抵抗器Ｒ３に両端を接続された固
定抵抗Ｒ２、これら抵抗器Ｒ１Ｒ２Ｒ３および測温抵抗
体配線３でブリッジ回路が形成されるような位置に配線
され電流に比例した直流電圧を出力する検流計７、この
検流計の直流電圧をディジタル信号に変換するアナログ
／ディジタル（以下Ａ／Ｄ）変換器８、このＡ／Ｄ変換
器８の出力の較正データを記憶する記憶部１０、この記
憶部１０に記憶された較正データをもとにＡ／Ｄ変換回
路８の出力から集積回路１の温度を算出する演算器９お
よびこの演算器９の出力を表示する表示器１１を含む。
【００１０】抵抗体配線３の材料として本実施例では金
属を使用する。金属抵抗値には温度依存性がありまた静
電気に強いため信頼性が高い、その形成方法としては蒸
着、めっき、スパッタなどを利用する。
属を使用する。金属抵抗値には温度依存性がありまた静
電気に強いため信頼性が高い、その形成方法としては蒸
着、めっき、スパッタなどを利用する。
【００１１】本発明の一実施例では、集積回路素子１上
の抵抗体配線３と３つの抵抗器５とでブリッジ回路が形
成されており、抵抗器Ｒ１、Ｒ２、およびＲ３は固定抵
抗であるから検流計７の出力は抵抗体配線３の抵抗値に
より変化する。すなわち、集積回路素子１の温度により
抵抗体配線３の抵抗値が変化するため、検流計７の出力
は集積回路素子１の温度により変化する。
の抵抗体配線３と３つの抵抗器５とでブリッジ回路が形
成されており、抵抗器Ｒ１、Ｒ２、およびＲ３は固定抵
抗であるから検流計７の出力は抵抗体配線３の抵抗値に
より変化する。すなわち、集積回路素子１の温度により
抵抗体配線３の抵抗値が変化するため、検流計７の出力
は集積回路素子１の温度により変化する。
【００１２】ここで、集積回路素子１の温度と検流計７
の出力との関係を予め較正しておけば検流計７の出力か
ら集積回路素子１の温度を知ることができる。
の出力との関係を予め較正しておけば検流計７の出力か
ら集積回路素子１の温度を知ることができる。
【００１３】次のに本発明の第１の実施例の動作につい
て図１および図２を参照して詳細に説明する。
て図１および図２を参照して詳細に説明する。
【００１４】検流計７の出力から集積回路素子１の温度
を算出する方法について説明する。
を算出する方法について説明する。
【００１５】検流計７の出力１０１はここでは電流ｉに
比例した直流電圧である。
比例した直流電圧である。
【００１６】これをＡ／Ｄ変換器８によりディジタル信
号に変換し、出力１０２を送出する。 演算器９は記憶
部１０に予め記憶された較正データ１０３をもとに集積
回路１の温度を算出し、温度出力１０４として表示器１
１に送り、温度の値を表示器１１に表示させる。
号に変換し、出力１０２を送出する。 演算器９は記憶
部１０に予め記憶された較正データ１０３をもとに集積
回路１の温度を算出し、温度出力１０４として表示器１
１に送り、温度の値を表示器１１に表示させる。
【００１７】次に本発明の第２の実施例について説明す
る。
る。
【００１８】本発明の第２の実施例の特徴は、第１の実
施例で表示器１１に温度を表示させたのに対し、許容さ
れる温度の上限を設定しておき、演算器９が設定された
上限値を超えたかどうかを判断し超えていると判断した
場合、警報信号発生回路（図示さず）が警報信号を発生
することにある。
施例で表示器１１に温度を表示させたのに対し、許容さ
れる温度の上限を設定しておき、演算器９が設定された
上限値を超えたかどうかを判断し超えていると判断した
場合、警報信号発生回路（図示さず）が警報信号を発生
することにある。
【００１９】上述の２つの実施例のように温度測定素子
として金属の抵抗体配線を用いれば、ダイオードやサー
ミスタなどを利用した場合よりも簡単かつ信頼度の高い
温度測定方法が実現できる。
として金属の抵抗体配線を用いれば、ダイオードやサー
ミスタなどを利用した場合よりも簡単かつ信頼度の高い
温度測定方法が実現できる。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、集積回路素子内に設けた抵抗
体配線の抵抗値の温度依存性を利用して素子の温度を測
定することとしたので、温度測定用素子が簡単でかつ信
頼性が高く、また測定回路も複雑なものを必要としない
という効果を有する。
体配線の抵抗値の温度依存性を利用して素子の温度を測
定することとしたので、温度測定用素子が簡単でかつ信
頼性が高く、また測定回路も複雑なものを必要としない
という効果を有する。
【図１】本発明の一実施例を示す図。
【図２】本発明の第１の実施例における温度測定回路を
示す図。
示す図。
１ 集積回路素子 ２ 入出力端子 ３ 抵抗体配線 ４ 測定回路 ５ 抵抗器 ６ 直流電圧源７ ７ 検流計 ８ Ａ／Ｄ変換器 ９ 演算器 １０ 記憶部 １１ 表示器 １０１ 検流計出力 １０２ Ａ／Ｄ変換器出力 １０３ データ １０４ 温度出力
Claims (3)
- 【請求項１】 ３つの固定抵抗器および集積回路素子の
温度により変化する抵抗値を有する金属性の抵抗体配線
から形成されるブリッジ回路と、 このブリッジ回路の対角線上に配置された電流計とを含
むことを特徴とする集積回路素子の温度測定装置 - 【請求項２】 前記電流計の出力である直流電圧をディ
ジタル信号に変換するアナログ／ディジタル変換器と、 このアナログ／ディジタル変換器で変換されたディジタ
ル信号の較正データを記憶する記憶部と、 この記憶部に記憶された較正データをもとに前記アナロ
グ／ディジタル変換器からのデジタル信号から前記集積
回路の温度を算出する演算器と、 この演算器の算出結果を表示する表示器とを含むことを
特徴とする請求項１記載の集積回路素子の温度測定装置 - 【請求項３】 前記電流計の出力である直流電圧をディ
ジタル信号に変換するアナログ／ディジタル変換器と、 このアナログ／ディジタル変換器により変換された値が
予め定められた前記集積回路素子の上限値を超えるかを
判断する演算器と、 この演算器で該上限値を超えると判断されたとき警報信
号を発生する警報信号発生回路とを含むことを特徴とす
る。請求項１記載の集積回路素子の温度測定装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33590393A JPH07193990A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 集積回路素子の温度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33590393A JPH07193990A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 集積回路素子の温度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07193990A true JPH07193990A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18293664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33590393A Pending JPH07193990A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 集積回路素子の温度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07193990A (ja) |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP33590393A patent/JPH07193990A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000321 |