JPH0719369A - 緩作動開閉弁 - Google Patents
緩作動開閉弁Info
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- JPH0719369A JPH0719369A JP16543893A JP16543893A JPH0719369A JP H0719369 A JPH0719369 A JP H0719369A JP 16543893 A JP16543893 A JP 16543893A JP 16543893 A JP16543893 A JP 16543893A JP H0719369 A JPH0719369 A JP H0719369A
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Abstract
ず、該応答遅れを消去し、パイロット圧作用後の応答性
を常に良好にすることが可能な緩作動開閉弁を提供する
こと。 【構成】 弁座に対して接離して流路を開閉する弁体を
有するバルブロッド;このバルブロッドを接続したダイ
アフラム;このダイアフラムにより画成された、該ダイ
アフラムに開弁圧力を及ぼす開弁圧力室;該ダイアフラ
ムを挟んで開弁圧力室と反対側に位置し、この開弁圧力
室の開弁圧力に抗する付勢力をバルブロッドに対して及
ぼす付勢手段;このバルブロッドに対して及ぼされる付
勢手段の付勢力を調節する調圧手段;開弁圧力室に連通
するパイロット圧通路;このパイロット圧通路に設けた
流量制御弁;開弁圧力室とパイロット圧力源とを連通さ
せる、パイロット圧通路とは別の予圧通路;この予圧通
路に設けた、常時閉弁方向に付勢された予圧開閉弁;お
よび、バルブロッドが閉弁位置にあるときこの予圧開閉
弁をその付勢力に抗して開く予圧開閉弁作動部材を備え
た緩作動開閉弁。
Description
が得られる緩作動開閉弁に関する。
気体を混合する際には、混合すべき気体をできるだけゆ
っくりと反応室に供給することが要求されることがあ
る。本出願人は、このような要求に答えるため、開弁動
作自体はゆっくりでありながら、開弁信号を与えてから
開弁動作に至る応答性に優れた緩作動開閉弁を案出した
(特開平3-134387号参照)。
開閉弁によると、ライン圧力、操作圧力、或は使用され
るばね反力や各部品のバラツキ等に起因して、パイロッ
ト圧の作用から開弁開始までにかなりの時間的な遅れ
(応答遅れ)を生じる場合があることが判明した。
題点に鑑み成されたものであって、上記応答遅れを発生
させる要因の存在に拘わらず、該応答遅れを消去し、パ
イロット圧作用後の応答性を常に良好にすることが可能
な緩作動開閉弁を提供することを目的とする。
して接離して流路を開閉する弁体を有するバルブロッ
ド;このバルブロッドを接続したダイアフラム;このダ
イアフラムにより画成された、該ダイアフラムに開弁圧
力を及ぼす開弁圧力室;該ダイアフラムを挟んで上記開
弁圧力室と反対側に位置し、この開弁圧力室の開弁圧力
に抗する付勢力を上記バルブロッドに対して及ぼす付勢
手段;このバルブロッドに対して及ぼされる上記付勢手
段の付勢力を調節する調圧手段;上記開弁圧力室に連通
するパイロット圧通路;このパイロット圧通路に設けた
流量制御弁;上記開弁圧力室とパイロット圧力源とを連
通させる、上記パイロット圧通路とは別の予圧通路;こ
の予圧通路に設けた、常時閉弁方向に付勢された予圧開
閉弁;および、上記バルブロッドが閉弁位置にあるとき
この予圧開閉弁をその付勢力に抗して開く予圧開閉弁作
動部材を備えたことを特徴としている。
が閉弁位置にあるとき、開弁圧力室が、流量制御弁を有
するパイロット圧通路だけでなく、予圧開閉弁を有する
予圧通路とも連通しているから、パイロット圧をパイロ
ット圧通路および予圧通路に導入したとき、開弁圧力室
の圧力を速やかに上昇させて、バルブロッドを開弁方向
に迅速に移動開始させることができる。このバルブロッ
ドを閉弁方向に付勢する力は、調圧手段によって適宜調
節することができるから、応答遅れを消去して、パイロ
ット圧導入時の応答性を常に良好とすることができる。
そしてバルブロッドが開弁方向に移動すると、予圧開閉
弁が自身の付勢力によって閉じるため、開弁圧力室に
は、流量制御弁のみを介してパイロット圧が導入され、
よってゆっくりとした開弁速度を得ることができる。
る。図1は本発明による緩作動開閉弁の全体構造を示す
断面図、図2は図1の要部を拡大して示す断面図、およ
び図3は同一の開閉弁の別の断面を示す一部断面図であ
る。
は、流体通路12が設けられ、その一部に、環状弁座1
3が形成されている。環状弁座13に、バルブロッド1
4の下端に設けた弁体15が接離し、よって流体通路1
2が開閉される。
コネクタスリーブ17を貫通して、図1の上方に突出し
ている。バルブロッド14の下部とスぺーサ16の間に
は、蛇腹18が張設されていて、流体通路12を流れる
流体が、バルブロッド14の軸部に達しないようにされ
ている。すなわちこの開閉弁は、流体通路12を流れる
流体のクリーン度を蛇腹18によって保証するクリーン
バルブである。コネクタスリーブ17内には、ワッシャ
19を介してバルブロッド14を閉弁方向に移動付勢す
る圧縮ばね20が挿入されている。21は、コネクタス
リーブ17をバルブボディ11に固定する袋ナットであ
る。以上の要素は、予めクリーンルーム内で組み立てら
れ、ユニット化される。
ダ22が嵌められ、これがワッシャ23aおよびストッ
プリング23bを介して、該コネクタスリーブ17に固
定されている。
からの突出部には、ダイアフラム組立体27が摺動可能
に、かつ弁体15側に移動付勢されて設けられている。
このダイアフラム組立体27は、ローリングダイアフラ
ム24と、このローリングダイアフラム24の中心部を
挟着したメインブロック25とリテーナ26を有してい
る。図2に示されるように、メインブロック25の中心
にはバルブロッド14を貫通させるボス部25bが形成
され、このボス部25bの周囲に、圧縮ばね30の一端
部を当接させる凹部25aが形成されている。ボス部2
5bとバルブロッド14との間には、Oリング52が介
在されている。またボス部25bの下面には、バルブロ
ッド14の拡径段部14aを係合させる縮径段部25c
が形成されていて、これによりダイアフラム組立体27
はその下方移動時の移動端を規制されている。
ック25の上方において調圧ねじ部材53が嵌合されて
いる。この調圧ねじ部材53は、その外周に雄ねじ部5
3aを有し、メインブロック25のボス部25bに嵌合
すべき嵌合突起部53bを有している。バルブロッド1
4の先端には、ワッシャプレート55が嵌められ、さら
にストップリング54が固定されている。
には、ばね受部材58の中心に形成した雌ねじ部58d
が螺合している。ばね受部材58の外周部の一部には、
回転止め部材57を挿入させる挿入孔58aが形成され
ている。シリンダ22の上部には、ロックリング32を
介してボンネット31が嵌合されており、このボンネッ
ト31の内周一部の上下方向に形成した直進案内溝31
aに、上記回転止め部材57が摺動自在に嵌まってい
る。また調圧ねじ部材53の上部には、図4に示すよう
に、平面視矩形状の調圧回転部53cが形成されてい
る。
には、ローリングダイアフラム24を挟んで開弁圧力室
33と反対側に位置し、この開弁圧力室33の開弁圧力
に抗する付勢力を、ダイアフラム組立体27を介してバ
ルブロッド14に及ぼす圧縮ばね(付勢手段)30が縮
設されている。この圧縮ばね30はその他端部を、ばね
受部材58のばね受部58bの下面に当接させている。
ばね受部材58は、ばね受部58bの上部に止めねじ孔
58eを有しており、この止めねじ孔58eに螺合させ
た止めねじ59をねじ込んでばね受部58bを押圧する
ことにより、ばね受部材58の調圧ねじ部材53に対す
る相対移動を規制することができる。上記バルブロッド
14にこのロッド14に対する相対回転のみ可能に設け
られた調圧ねじ部材53と、このバルブロッド14の回
転時に該調圧ねじ部材53に対して相対移動されるばね
受部材58により、バルブロッド14に対して及ぼされ
る圧縮ばね30の付勢力を調節する調圧手段が構成され
ている。
部24aは、シリンダ22とボンネット31との間に挟
まれ、シリンダ22とボンネット31とは、周縁ビード
部24aを圧縮した状態で、ロックリング32によって
固定されている。
ム24の下部には開弁圧力室33が形成されている。こ
のローリングダイアフラム24は変位してもその受圧面
積が変化しないダイアフラムである。
するパイロット圧通路36が形成されている。このパイ
ロット圧通路36は、符号36aで示す通路によりまず
予圧開閉弁室38に連通し、次に予圧開閉弁45に穿け
た連通孔45a、別の通路36bを介してニードル弁4
0に連通し、さらに通路36cを介して開弁圧力室33
に連通している。
内に臨むニードル41aを有する雄ねじ体41をシリン
ダ22に螺合させたもので、その螺合位置を調節するこ
とにより、ニードル41aによる流路絞量を大小に変化
させる。
ように、予圧通路43を介して、開弁圧力室33に連通
しており、この開弁圧力室33には予圧開閉弁45が設
けられている。この予圧開閉弁45は圧縮ばね46によ
ってそのOリング47が開弁圧力室33の下面に着座す
る方向、つまり閉弁方向に付勢されており、従って、予
圧開閉弁45に外力が加わらない状態では、予圧通路4
3は閉じる。またこの予圧開閉弁45は、その上端が開
弁圧力室33内に延びていて、圧縮ばね20の力により
バルブロッド14が閉弁位置にあるとき、ダイアフラム
組立体27のリテーナ26によってその頭部を押圧され
て変位する。すなわち圧縮ばね30のばね力は、圧縮ば
ね46のばね力より強く、圧縮ばね20のばね力により
バルブロッド14が同図の閉弁位置にあるときには、予
圧開閉弁45がリテーナ26により押圧されて圧縮ばね
46の力に抗して変位し、予圧通路43が開く。つまり
リテーナ26は、予圧開閉弁作動部材である。
してパイロット圧源Pに通じている。またこのパイロッ
ト圧源Pは、開閉弁51を介して、開弁圧力室33に開
口させた急速開弁通路49(図3)に連通している。こ
の開閉弁51は、常時は閉じている。
33にパイロット圧を導入しない状態では、圧縮ばね2
0の力によって、バルブロッド14の弁体15が環状弁
座13に着座し、流体通路12を閉じている。この状態
においてはまた、ダイアフラム組立体27のリテーナ2
6が予圧開閉弁45の頭部を押し、予圧通路43を開い
ている。つまり開弁圧力室33は、パイロット圧通路3
6だけでなく、予圧通路43を介して、パイロット圧源
Pと連通できる状態にある。
0aを流路に接続すると、パイロット圧源Pからのパイ
ロット圧が、ニードル弁40を有するパイロット圧通路
36だけでなく、予圧通路43を介して、開弁圧力室3
3に導かれる。よって、開弁圧力室33内の圧力は速や
かに上昇し、やがてその圧力が圧縮ばね30の力に打ち
勝つと、ダイアフラム組立体27が圧縮ばね30を圧縮
しながら上昇する。
定値に達すると、リテーナ26が予圧開閉弁45から離
れ、このとき予圧開閉弁45のOリング47が圧縮ばね
46の力により予圧通路43の下面に着座して該予圧通
路43を閉じる。よって開弁圧力室33は、ニードル弁
40を介してのみ、パイロット圧源Pと連通することと
なる。圧縮ばね30は、このとき殆ど全圧縮状態とな
り、この後は、ダイアフラム組立体27はバルブロッド
14と一体に上昇する。
ト圧の供給を継続すると、この後は、ニードル弁40の
開度に応じた速度で、バルブロッド14が一体に上昇し
て、流体通路12を開く。この開弁の速度は、ニードル
弁40の開度の調整によって自由に設定できるから、特
にゆっくりと開弁することができる。すなわち、切換弁
50のポート50aを流路に接続してから、流体通路1
2が開き始める迄の時間を短縮して応答性を高めること
ができ、しかも開き始めてからの開弁速度はゆっくりし
たものとすることができる。
答時間を調節する場合は、先ず、調圧回転部53cを適
宜の方向に回転させる。すると、回転止め部材57を直
進案内溝31aに係合させて回転止めされたばね受部材
58が、その雌ねじ部58dと雄ねじ部53aの関係に
より、ばね受部材58、即ちバルブロッド14に対して
上下方向に移動される。これにより、ばね受部材58と
メインブロック25間の距離が変り、両者間に縮設され
た圧縮ばね30がばね圧を変化される。従って、メイン
ブロック25、即ちダイアフラム組立体27を押下する
ばね力を増減させて、図5に示す開弁圧力室33の圧力
とその昇圧時間との相関関係のように、ある設定状態で
の圧力変化aに対し圧力変化をbのように変化させて、
パイロット圧の作用から開弁開始までの時間的な遅れ
(応答遅れ)tを消去することができる。よって、応答
遅れの要因の存在に拘わらず応答性をより向上させるこ
とができる。
接続すると、開弁圧力室33内のパイロット圧がニード
ル弁40およびパイロット圧通路36を介してやがて排
出されるため、圧縮ばね20の力により、バルブロッド
14は図1に示す位置に復帰し、このときダイアフラム
組立体27のリテーナ26が予圧開閉弁45を押して開
き、予圧通路43を開く。
ときには、開閉弁51を開く。すると、流路絞作用のな
い急速開弁通路49を介して開弁圧力室33にパイロッ
ト圧が急速に導かれ、その結果、ダイアフラム組立体2
7およびバルブロッド14は急速に上昇して、弁体15
が環状弁座13から離れ、流体通路12が開く。
れば、開弁圧力室へパイロット圧を導入する作動初期で
は、開弁圧力室がパイロット圧通路だけでなく予圧通路
によっても連通するため、開弁圧力室へのパイロット圧
の導入を速やかに行なうことができる。そして、このパ
イロット圧の作用から開弁開始までの応答遅れは、調圧
手段によって自由に調節することができるから、該応答
遅れを消去して開弁信号後の立ち上がりをより向上させ
ることができる。そして、開閉弁動作開始後は、予圧開
閉弁が閉じて流量制御弁によりパイロット圧の導入速度
を制御するため、ダイアフラムの開弁方向への変位をゆ
っくりと行なわせることができる。
面図である。
面図である。
分で断面した断面図である。
を示す図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 弁座に対して接離して流路を開閉する弁
体を有するバルブロッド;このバルブロッドを接続した
ダイアフラム;このダイアフラムにより画成された、該
ダイアフラムに開弁圧力を及ぼす開弁圧力室;該ダイア
フラムを挟んで上記開弁圧力室と反対側に位置し、この
開弁圧力室の開弁圧力に抗する付勢力を上記バルブロッ
ドに対して及ぼす付勢手段;このバルブロッドに対して
及ぼされる上記付勢手段の付勢力を調節する調圧手段;
上記開弁圧力室に連通するパイロット圧通路;このパイ
ロット圧通路に設けた流量制御弁;上記開弁圧力室とパ
イロット圧力源とを連通させる、上記パイロット圧通路
とは別の予圧通路;この予圧通路に設けた、常時閉弁方
向に付勢された予圧開閉弁;および、 上記バルブロッドが閉弁位置にあるときこの予圧開閉弁
をその付勢力に抗して開く予圧開閉弁作動部材;を備え
たことを特徴とする緩作動開閉弁。 - 【請求項2】 請求項1において、上記調圧手段は、バ
ルブロッドに対する相対回転のみ可能な該バルブロッド
に設けられた調圧ねじ部材;および、このバルブロッド
の回転時に該調圧ねじ部材に対して相対移動されるばね
受部材からなり、上記付勢手段は、これらの調圧ねじ部
材とばね受部材との間に縮設された圧縮ばねである、緩
作動開閉弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16543893A JP3359953B2 (ja) | 1993-07-05 | 1993-07-05 | 緩作動開閉弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16543893A JP3359953B2 (ja) | 1993-07-05 | 1993-07-05 | 緩作動開閉弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0719369A true JPH0719369A (ja) | 1995-01-20 |
JP3359953B2 JP3359953B2 (ja) | 2002-12-24 |
Family
ID=15812439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16543893A Expired - Lifetime JP3359953B2 (ja) | 1993-07-05 | 1993-07-05 | 緩作動開閉弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3359953B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005111485A1 (ja) * | 2004-05-13 | 2005-11-24 | Fujikin Incorporated | 制御器 |
JP2012057720A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Neriki:Kk | 開弁装置およびガス供給設備 |
JP2017530858A (ja) * | 2014-09-12 | 2017-10-19 | イヴァネイコ エレクトロニクス−ズシスワフ イヴァネイコ | 液体吐出バルブを有するスパウト |
-
1993
- 1993-07-05 JP JP16543893A patent/JP3359953B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005111485A1 (ja) * | 2004-05-13 | 2005-11-24 | Fujikin Incorporated | 制御器 |
CN100402906C (zh) * | 2004-05-13 | 2008-07-16 | 株式会社富士金 | 控制器 |
US7677528B2 (en) | 2004-05-13 | 2010-03-16 | Fujikin Incorporated | Controller |
JP2012057720A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Neriki:Kk | 開弁装置およびガス供給設備 |
JP2017530858A (ja) * | 2014-09-12 | 2017-10-19 | イヴァネイコ エレクトロニクス−ズシスワフ イヴァネイコ | 液体吐出バルブを有するスパウト |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3359953B2 (ja) | 2002-12-24 |
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