JPH07190818A

JPH07190818A - サーメット電極を有するセラミック部品

Info

Publication number: JPH07190818A
Application number: JP25547494A
Authority: JP
Inventors: Arno Dr Reckziegel; アルノ・レクツイーゲル; Hans Joachim Graf; ハンス・ヨアキム・グラフ
Original assignee: Friatec AG
Current assignee: Friatec AG
Priority date: 1993-10-20
Filing date: 1994-10-20
Publication date: 1995-07-28
Also published as: DE4335697A1; DE4335697C2

Abstract

(57)【要約】【目的】確実な機密性を保証し、許容範囲外の過剰応
力を避けるセラミック管を提供する。【構成】セラミック部品、とりわけ電磁誘導型測定装
置用のセラミック管は、穴（１０）の中にサーメット電
極（１２）を含み、サーメット電極は焼結前に穴（１
０）の中に差し込まれ、その後焼結の際に焼き込まれ
る。このセラミック部品を、さらに改良して一方では確
実な気密性を保証し、他方では許容外の過剰応力を避け
るようにしたい。それの解決のために、ロッドとして形
成したサーメット電極（１２）が凸形を呈し、あるいは
穴（１０）が、中心において最小直径を持つような凸形
を呈し、あるいはその両方であるようにすることを提案
する。さらに、サーメット電極（１２）を生セラミック
の穴（１０）の中に差し込み、それと一緒に焼結して、
電極領域内の物質塑性変形能によって、高い気密性と、
低い応力を有する電極接合個所が生じるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はセラミック部品に関する
ものであり、特に特許請求項１のプレアンブルに記載さ
れた特徴に従うサーメット電極を持った電磁誘導型流量
測定装置用のセラミック管に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】英国特許出願ＥＰ８０５３５Ｂ１から、
電磁誘導型測定装置（これ以降ＭＩＤ装置と呼ぶ）のセ
ラミック管について、直径方向にある２つの対称位置
に、それぞれ１つの測定電極を備えたものが知られてい
る。ＭＩＤ装置の中でセラミック管を使用するために
は、とりわけ腐食性媒体中、つまり酸やアルカリ中の、
それも高圧、高温における普遍的耐性に関する要件が重
要となる。このため、接合技術の実施可能性が大幅に制
限される。そこでこれまでは、合金でない通常の白金で
できた電極ピンをセラミックにはめ込んで、以下の方法
によって焼結してきた。つまり管状のセラミック・プレ
ス加工品に、中央の向かい合った位置に穴を設ける。こ
の穴の中に白金のロッドを差し込む。穴の直径とロッド
の直径は正確に互いに適合していなければならない。焼
結に際してセラミックは収縮してロッドを締め付ける
が、ロッドの寸法は変化しない。その際に、機械的締付
け力により気密性のある接合個所が生じる。この電極・
貫通孔は、厳しい利用条件においては６０バールの圧力
に耐えなければならない。２つの極端な場合から欠陥が
生じることがある。もしセラミック・プレス加工品中の
穴が大き過ぎると、漏れが残ってしまい、もし小さ過ぎ
ると、焼結したセラミック中に大きな応力が発生する。
ひどい場合には、それによって亀裂が生じ、その結果と
してまたしても漏れが生じる。穴直径の許容範囲は比較
的狭く、百分の数ミリメートルである。品質保証には、
高額で費用のかかる処置計画が必要となる。白金はセラ
ミックの焼結温度において粗結晶構造をとり、この構造
がピンの強度を弱めることから別の根本的問題が生じ
る。悪条件の下では、ピンがセラミックの収縮後、高い
応力によって破断することもある。気密性を有する接合
個所は、材料理論にかなった物質移動によってではな
く、単に機械的な締付けによって作られているので、特
定の腐食性化学物質が境界面に拡散することもあり得
る。これは例えば、白金と反応する塩酸の溶液について
当てはまる。高温の強アルカリ溶液は特定のセラミック
材料を徐々に腐食する。中実部品であれば、確かに長時
間耐えられるであろうが、それでもこのような場合、電
極・貫通孔間のセラミック・白金界面は急速に気密性が
失われる。白金とセラミックは熱膨張係数が異なり、温
度が変化すると応力がさらに加わるので、これについて
もおろそかにできない。

【０００３】そこで上記の問題を解決するため、日本の
実用新案ＪＰ１−２７０５５Ｙ２によって、ＭＩＤ装置
のセラミック管のためにサーメット電極が提案され、そ
こでは管と、サーメット中のセラミックは純粋なＡｌ₂
Ｏ₃セラミックからできている。Ａｌ₂Ｏ₃粉末と白金
粉末によるサーメットは役立つことが実証されており、
通常のセラミックと同じ方法でプレス成形および焼結が
行われている。白金粉末は特に高価であるという理由か
ら、金属含有量を、これ以下では十分な電気伝導度が得
られないというぎりぎりの最低値まで減らしている。こ
れは金属粉末の割合が、Ｐｔ−Ａｌ₂Ｏ₃製のサーメッ
ト中でほぼ３０体積パーセントであり、つまり白金の割
合が７０重量パーセントであることを意味する。この電
極を焼き込む際、サーメットのセラミック成分は管のセ
ラミック母材と継目なく癒着する。それ故、電極とセラ
ミック管との間に界面は見いだされない。しかし組織標
本を作る際、填入した白金粒子が出現することで、電極
の始まりを見分けることができる。

【０００４】そこで特に経済的な製作方法は、すでに事
前製作によってロッドの形をしたサーメット電極を、従
来利用していた中実の白金でできた電極と同じように使
用することである。プレス加工品としてのサーメット・
ロッドあるいは前焼成したサーメット・ロッドを使用す
る場合、それの収縮をセラミック管の収縮と適合させな
ければならない。その場合に、本焼成における収縮値
は、サーメット・ロッドやセラミック管のプレス圧力ま
たは前焼成後の事前収縮量によって調整できる。管と電
極の間の継目のない円満な移行は、管が所定の領域にお
いて電極よりも大きい線収縮量を持っている場合に得ら
れる。管と電極の収縮量の差が小さ過ぎると、電極と管
の間の微小隙間が残存し、確実な気密性は確保されな
い。これに対して差が大き過ぎると、またしても過大な
応力が発生し、それ以降の焼結部品の機械加工に際し
て、とりわけダイヤモンド工具を使った研削やホーニン
グなどによって亀裂が生じることがある。過剰応力が大
き過ぎない安全領域はまたしても比較的狭く、費用のか
かる品質保証処置が必要となる。既知の電極・貫通孔に
おいては、セラミック部品つまり電極をはめ込んだセラ
ミック管が収縮する際に、いたるところでほぼ同時に接
触が生じる。こうした場合には、塑性変形能の優れた材
料でさえ、もうほとんど流出できない。

【０００５】さらに、日本の出願第Ｐ２６８３９／８６
号に対応するドイツ公開特許ＤＥ３７０４４１０Ａ１か
ら、最初にロッドを、まだ焼結していないセラミック成
形体の穴の中に差し込むという方法が知られている。穴
の内側で、ロッドはくびれた形の中央領域を持ってお
り、その部分の直径はロッドの残り部分の直径よりも小
さい。ロッドのくびれ部分と残り領域との間には、円環
状の移行領域があり、この領域はとくに末広がりの円錐
状に作られている。焼結に際して、セラミック成形体は
上記ロッドのくびれ部分に入り込む。冷却後、セラミッ
ク成形体とロッドの熱膨張係数の違いに基づいて、上記
移行領域においてのみ付着が円環状に存在し、その一方
で残りの領域では、くびれ部分の円筒状外面と、並びに
ロッドの円筒状外面と、セラミック成形体の穴の、半径
を追従させた内面との間には、隙間が円環状に存在す
る。この方法に従えば、比較的幅の狭い移行領域におい
てしか、セラミック成形体の中でロッドの直接の付着と
気密性のある結合は得られない。穴の全長のほんの一部
しか、ロッドとセラミック成形体との間の接合個所とし
て利用されておらず、こうした場合に局所的過剰応力は
実際上ほとんど避けることができない。またしても、接
合個所において破損と漏れを防ぐために、費用のかかる
品質保証処置が必要となる。気密性を有する付着は軸方
向の全長のごく一部のおいてしか存在しないので、高気
密性を有する結合をそのままで達成することはできな
い。この方法によって製作したセラミック部品において
は、ロッドはもっぱら軸方向にだけ固定されて、穴の中
に固着されており、こうした場合にはやはり、高い気密
性や低い応力を有する接合個所は存在しない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】以上を前提として、一
方では確実な気密性を保証し、他方では許容範囲外の過
剰応力を避けるという趣旨に添って、上記のようなセラ
ミック部品を改良するという課題が当発明の根底に横た
わっている。さらに、製造許容差や製作精度に関して特
別な要件は必要ないものとし、しかも特に費用のかかる
品質保証処置は実施しないものとする。

【０００７】

【問題を解決するための手段】この課題の解決は、請求
項１に記載の特徴に従ってなされる。

【０００８】提案したセラミック部品は、電極または穴
あるいはその両方を特別な形に成形することで、セラミ
ック部品とサーメット電極との接触個所において、材料
の塑性変形により、電極における応力を確実に減少さ
せ、それも臨界値より下に減少させることを可能にする
ものである。セラミックは１４００℃より上の温度で徐
々に柔らかくなり、塑性変形が可能となるということを
前提とする。この変形能は温度とともに上昇し、焼結工
程の最大温度で最大となる。さらに、細結晶組織のほう
が粗結晶より容易に変形可能であるということも考慮す
る。サーメット電極の出口領域では、焼結前、電極の外
面と生セラミックの内面との間には非常に小さな隙間が
存在し、それに対して生成形品の内奥部では、電極はぴ
ったりと付着している。これは、サーメット電極を膨ら
みを持った凸形状にするか、あるいは生成形品の穴の直
径を、出口領域のほうが中央部より大きくなるようにす
ることによって達成される。焼結に際して、電極領域内
にある物質の塑性変形能に基づいて、気密性は高いが、
応力は小さい電極接合個所が生じる。本発明によるサー
メット電極の膨らみを持った凸形状、並びに生セラミッ
クの穴の形状に基づいて、とりわけ出口領域において許
容外の応力過剰増加を低い製作費用で避けるようにし
て、ロッドの塑性変形を可能にしている。

【０００９】一方では穴の内奥部における、他方では出
口領域における直径差が決定的な影響を与えるが、穴に
膨らみを持たせて成形することで、異なった直径の間で
本質的に連続した移行部が得られる。本発明の枠内では
また、同様に小さな階段状の移行部や不連続移行部をも
っていてもよいことは明らかであるが、しかしその場合
には、局所的超過荷重をできるだけ避けるために、その
目的にふさわしく少なくとも段差のかどに丸み付けを行
う。本発明による成形は、中心から出発して、まずそこ
での接触を可能にするが、塑性変形の可能性は軸方向
に、出口領域の方へと与えられている。電極の形状を凸
に膨らませたこと、あるいは穴を出口領域に向けて広が
るように成形したこと、あるいはその両方に基づいて、
焼結の際に接触は電極の外面全体にわたって同時には確
立せず、従って材料の流出が可能となり、許容外の応力
過剰増加が避けられる。上記の成形に基づき、焼き込み
の際に、接触個所において材料の塑性変形が可能とな
り、応力が著しく減少する。接合個所は、本発明によっ
て穴の全長の主要部分にわたって延びている。たとえ出
口領域に焼結後もまだ軸方向に比較的小さな隙間が存在
したとしても、本質的に本発明の枠内に留まっている。
焼結前にサーメット電極は、その外面が穴の中心におい
て穴の内面に実際上直接付着しているが、本発明によれ
ばこの中心は、必ずしも正確に穴の縦延長の中央にある
必要はないということをさらに覚えておくこと。むしろ
決定的なことは、中心を穴の縦延長の中央から所定の距
離だけずらして置いてもよいが、しかし焼結の際にはそ
の中心において最初の付着が生じ、またその後付着が、
初めに存在した隙間に基づいて、応力の均等化を伴って
出口領域の方向に進行することが可能になるということ
である。

【００１０】

【実施例】特別な構成例において、セラミック部品は、
細結晶構造を持ったＡｌ₂Ｏ₃−Ｚｒ０₂分散型セラミ
ックからできている。この特殊材料は、粒径＜４μｍに
おける３〜１２体積パーセントのＺｒ０₂粒子の他に、
さらに０．４〜１．７重量パーセントのＹ₂Ｏ₃を含ん
でいる。酸化アルミニウムと二酸化ジルコニウムから成
り、より高い破壊強度と耐摩耗性を備えたこの種のセラ
ミック成形体がドイツ特許第４０２９０６６号に記載さ
れているが、このセラミック成形体においては、添加物
によって安定化した二酸化ジルコニウムを、主として体
積調整時に、所定の体積割合だけ酸化アルミニウム基質
の中に含ませてある。高い耐食性を備えた分散型セラミ
ックとして利用するために、酸化イットリウムのみが添
加物として０．４〜１．７重量パーセントの含有量が想
定されている。このセラミック成形体の場合もまた、酸
化アルミニウム基質は平均粒径５μｍ未満の細結晶であ
る。このタイプのセラミックは、とりわけ際立って、高
い焼結温度での塑性変形を可能にする。そこからさら
に、このタイプの極端に結晶の細かい変形例は、いわゆ
る超塑性挙動の傾向すら示すことを確認した。このセラ
ミック材料を、上で説明した電極または穴、またはその
両方の成形と組み合わせることで、焼き込む際に電極の
外面および穴の内面の接触個所における材料の塑性変形
によって、応力低下がさらに達成される。さらに、一方
ではセラミック部品のために、また他方ではサーメット
電極、つまりはそれのセラミック成分のために、さまざ
まなセラミック材料を検討することは、とりわけ目的に
かなっていると証明された。この場合、一方ではとりわ
けセラミック部品内の二酸化ジルコニウムの体積パーセ
ントの割合と、他方ではサーメット電極のそれとをさま
ざまに設定した。その他にここでは、二酸化ジルコニウ
ムの割合、とりわけセラミック部品内のそれの割合は、
２〜２０体積パーセントという拡大した範囲内の値をと
ることができ、その場合に、冒頭で説明した穴やサーメ
ット電極の形成法と組み合わせて、焼結後に高い気密性
と低い応力を持った接続個所が生じることが証明され
た。

【００１１】改良と特殊な構成については、従属請求項
に記載してある。

【００１２】図１に、セラミック部品２の、軸を含む平
面で切った断面が描かれているが、ここでセラミック部
品２はＭＩＤ装置のセラミック管として形成されてい
る。セラミック部品２、すなわちセラミック管は縦軸４
と同心であり、また外壁面６と内壁面８を有している。
セラミック部品２の縦軸４に直交する穴１０の中に、サ
ーメット電極１２が差し込まれている。ここでは、焼結
前の生セラミックの状態が描かれている。

【００１３】サーメット電極１２は、外壁面６と内壁面
８の間の中心１４の領域においてはぴったりと付着し、
それに反して出口領域１６、１８においては直径差、す
なわちそれぞれ小さな隙間２０、２２が存在するよう
に、凸に膨らんだ形をしている。これらの関係を明白に
するため、膨らみ、すなわち隙間は大いに誇張して描か
れている。例えば、もし円筒状の穴１０がそれの全長に
わたって１〜４ｍｍの一定の直径を持っており、しかも
サーメット電極１２が、中心１４において穴１０と本質
的に等しい直径を持っているとすると、出口領域１６、
１８において０．０５〜０．１ｍｍの直径差が存在す
る。焼結の際に、矢印２４に対応する圧縮力が中心１４
のところに作用するが、セラミック部品２またはサーメ
ット電極１２あるいはその両方において、出口領域１
６、１８の方向への十分な塑性変形能が可能となるの
で、それにより好ましい応力低下が生じる。サーメット
電極１２並びに穴１０が円筒形の場合には、一点鎖線の
矢印２６で示したように、焼結の際に圧縮力が同時に穴
１０の全長にわたって発生するようようになり、このと
き圧縮力はいたるところで実際上同時に作用するため、
わずかな塑性変形能とわずかな応力低下しか可能となら
ないことを銘記されたい。穴１０並びにサーメット電極
１２を円筒状に成形した場合、焼結後、出口領域１６、
１８に最大の引張り応力が存在することもある。棒状の
サーメット電極はプレス成形品であるか、または前焼成
してあり、この場合にはサーメット電極の収縮量をセラ
ミック部品の収縮量に合わせる。本焼成時の収縮値の調
整は、プレス圧力に関して、あるいはサーメット電極ま
たはセラミック部品２あるいはその両方を前焼成したと
きの前焼成収縮量に関して行う。特にその目的に合わせ
て、この調整は、セラミック部品２がサーメット電極１
２に比べて、１０〜１５％だけ大きな線収縮量を持つよ
うになされる。また製造許容差の観点からも、本発明に
よる成形に基づけば、焼結の際に接触個所における応力
がもっとも大幅に低下することが保証される。

【００１４】本発明によるサーメット電極１２は、その
目的にふさわしく白金成分を７０〜８０重量パーセント
含んでいる。図１に示した実施例によれば、サーメット
電極１２の外面は膨らみを持った凸形に成形されてお
り、また外面の断面輪郭は連続的に湾曲した曲線に対応
している。しかし本発明の枠内で、膨らみを持った外面
の凸形状を不連続に形成し、その際に断面輪郭を多角形
の連なりで形作ってもよい。一点鎖線２８を使ってこの
種の領域を暗示してあるが、それの外面は異なった傾斜
を持った円錐で形成されているが、中央の領域だけは円
筒形の外面を有するほうが目的にかなっている。さら
に、もし傾きが異なっている外面の領域間の移行部が丸
み付けしてあれば有利である。

【００１５】図２は、円筒形のサーメット電極１２と、
膨らみを持った穴１０、つまりその内径が、出口領域１
６、１８より中心領域１４のほうが小さいような穴によ
る構成を示している。たとえこの種の穴１０の作成は、
円筒形の穴よりも費用がかかるとしても、この構成にお
いてもやはり、図１を用いて説明した実施例と同じメカ
ニズムが作用し、またそこで説明したことは同様に当て
はまる。穴１０の内面は、本発明の枠内で、連続的な湾
曲の代わりに、実質上円筒形の段差表面を持った小さな
段差で形成してもよいが、その場合にはやはり目的にふ
さわしく、段差の移行部に丸みを付けて形成する。ここ
で出口領域１６、１８における隙間は、関係を明確にす
るため、大いに誇張して描いてあるが、実際には、サー
メット電極１２を穴１０に差し込んだのち、最大でも
０．０５〜０．１ｍｍの直径差が存在するだけである。

【００１６】部品２のセラミック材料と、サーメット電
極１２のセラミック成分のセラミック材料とを、目的に
ふさわしく同一にしてある。しかしなお、本発明によれ
ば、異なったセラミック材料を想定してもよい。サーメ
ット電極１２の金属成分を、本発明の枠内で白金または
白金粉末から構成することが好ましく、その際に金属粉
末の割合は、３０体積パーセント程度であるのが好まし
い。

【００１７】以下で、図１のセラミック部品２が内径１
５ｍｍ、肉厚５ｍｍのセラミック管として形成され、ま
たそれの縦軸に関して対称位置にそれぞれ直径２ｍｍの
焼結サーメット電極を持った実施例の試験結果を説明す
る。凸形電極の膨らみは０．０５〜０．１ｍｍであっ
た。セラミック管とサーメット電極との間の収縮差は、
線収縮率で１２パーセントであった。両方の部品変形例
の電極は、本焼成を経て高い気密性で接合されていた。
研摩およびホーニングによる加工は、どちらの場合も感
知できるほどの応力を誘発しなかった。電極の気密性を
圧力６０バールのヘリウムで測定し、両者について漏洩
量が１０^-8ｍｂａｒ・ｌ／ｓ未満であることが明らかに
なった。最後に実施した破裂圧力試験では、凸形電極で
はほぼ５００バールの平均値においてセラミック部品の
破壊が生じた。円筒形電極を使い、ただしその他は寸法
および条件を同一とした比較試験においては、セラミッ
ク部品の破壊はすでに約２００バールの平均値で生じ
た。

【００１８】すでに上で説明したように、本発明によ
り、部品または管のセラミックのため、およびサーメッ
トのセラミック成分のために、細結晶構造を有するＡｌ
₂Ｏ₃−ＺｒＯ₂分散型セラミックの元となる粉末調合
を利用する。ここで、特にＭＩＤ装置のために開発さ
れ、ドイツ特許第４０２９０６６号が出願者に対して承
認されている材料タイプが重要である。この材料は、粒
径が４μｍ未満のＺｒＯ_２粒子を３〜１２体積パーセン
ト含んでいる他に、さらに０．４〜１．７重量パーセン
トのＹ_２Ｏ₃を含んでいる。Ａｌ₂Ｏ₃基質もまた、
平均粒径が５μｍ未満の細結晶である。このタイプのセ
ラミックは、文献の記載によれば、高い焼結温度におい
て塑性変形を可能とすることが特に際立っている。これ
の特に微細な結晶の変形例では、いわゆる超塑性挙動さ
え呈する傾向がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】セラミック部品と、凸形に膨らんだサーメット
電極の断面を概略的に示す。

【図２】直径がセラミックの中心よりも出口領域のほう
が大きいような膨らみのある穴を持ったセラミック部品
と、円筒状サーメット電極の断面を概略的に示す。

【符号の説明】

２セラミック部品４縦軸６外面８内面１０穴１２サーメット電極１４中心１６、１８出口領域２０、２２隙間２４鎖線付き矢印２６一点鎖線付き矢印２７一点鎖線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】穴（１０）の中に、棒状に形成したサー
メット電極（１２）を含んでおり、その電極は生セラミ
ックの穴（１０）の中にはめ込んだのち、焼結によって
焼き込んだものであり、また穴（１０）は出口領域（１
６、１８）と、その中間にある中心（１４）とを持って
おり、しかも焼結後に穴（１０）とサーメット電極（１
２）との間に一つの結合個所ができるようにしたセラミ
ック部品、特に電磁誘導型測定装置用のセラミック管で
あって、サーメット電極（１２）または穴（１０）ある
いはその両方が、中心（１４）の領域から出口領域（１
６、１８）に向かって徐々に広がる隙間が存在するよう
に、焼結前に凸形状を持っていること、および焼結後は
結合個所が、少なくとも穴（１０）の全長の主要部分に
わたって切れ目なく続いていることを特徴とするセラミ
ック部品。
【請求項２】焼結後に、穴（１０）の全長の主要部分
にわたって切れ目なく続いている接続個所が、高い気密
性と低い応力とを持つように形成したことを特徴とする
請求項１に記載のセラミック部品。
【請求項３】焼結前に、サーメット電極（１２）また
は穴（１０）あるいはその両方が、穴（１０）の全長に
わたって実質上連続的に変化する直径を持ち、その際に
穴（１０）の内面またはサーメット電極（１２）の外面
あるいはその両面が、膨らみを持った凸形に形成されて
いることを特徴とする請求項１または２のいずれか一項
に記載のセラミック部品。
【請求項４】焼結前に、サーメット電極（１２）また
は穴（１０）あるいはその両方が、穴（１０）の全長に
わたって実質上連続的に変化する直径を持ち、その際に
穴（１０）の内面またはサーメット電極（１２）の外面
あるいはその両面が多角形に、または段差の付いた凸形
に形成されていることを特徴とする請求項１または２の
いずれか一項に記載のセラミック部品。
【請求項５】出口領域（１６、１８）におけるサーメ
ット電極（１２）と穴（１０）との直径差が、サーメッ
ト電極（１２）を穴（１０）に差し込んだのち、ただし
焼結前に、０．０５〜０．１ｍｍの間の大きさであるこ
とを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の
セラミック部品。
【請求項６】セラミック部品（２）が、生セラミック
の中に差し込まれたサーメット電極（１２）よりも１０
〜１５パーセント大きな線収縮率を持つことを特徴とす
る請求項１から５のいずれか一項に記載のセラミック部
品。
【請求項７】セラミック部品（２）またはサーメット
電極（１２）あるいはその両方のために使用にされるセ
ラミックが、ドイツ特許ＤＥ４０２９０６６に従うタイ
プのセラミック成形体であることを特徴とする請求項１
から６のいずれか一項に記載のセラミック部品。
【請求項８】サーメット電極（１２）が、焼結前に２
０〜５０体積パーセント、好ましくは３０〜４０体積パ
ーセントの割合の金属粉末、とりわけ白金粉末を有する
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載
のセラミック部品。
【請求項９】サーメット電極（１２）のセラミック成
分と、セラミック部品のセラミックとを、互いに別々に
作製したことを特徴とする請求項１から８のいずれか一
項に記載のセラミック部品。