JPH07190718A - 非接触測定装置 - Google Patents

非接触測定装置

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JPH07190718A
JPH07190718A JP5348705A JP34870593A JPH07190718A JP H07190718 A JPH07190718 A JP H07190718A JP 5348705 A JP5348705 A JP 5348705A JP 34870593 A JP34870593 A JP 34870593A JP H07190718 A JPH07190718 A JP H07190718A
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JP5348705A
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Kazutoshi Kubo
和俊 久保
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Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 優れたエッジフォーカス制御が可能な非接触
測定装置を提供する。 【構成】 ワーク1を撮像するカメラ2と、このカメラ
2のz方向位置を検出する位置検出器3と、カメラ2の
出力画像を処理してフォーカス制御を行う制御装置4と
を有し、フォーカス制御装置4は、カメラ2の出力画像
データを記憶する画像メモリ42と、この画像メモリ4
2の画像データから所定走査領域内のコントラスト値を
求めるコントラスト演算回路43と、走査領域内の画像
データのノイズが少ない方からの探索により所定しきい
値を越えた最初の位置をエッジ位置として検出するエッ
ジ検出回路45と、前記エッジ位置での前記コントラス
ト値がピークを示すフォーカス方向位置を合焦位置とし
て検出するピーク位置検出回路46とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ビデオカメラによる撮
像データを利用して非接触測定を行う装置に係り、特に
エッジフォーカスを必要とするワーク測定に用いられる
非接触測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】CCDカメラ等による撮像画像をデータ
処理して測定物(ワーク)の形状寸法等を測定する場
合、フォーカス制御が必要である。図6(a)に示すよ
うな平坦面を持つワークでは、その表面にフォーカスを
合わせるサーフェスフォーカス制御が行われる。これに
対して、図6(b)に示すような丸いワークの直径測定
を行う場合には、ワークのエッジ位置を検出するために
そのエッジ位置に焦点を合わせるエッジフォーカス制御
が必要になる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ワークの形状
によっては、エッジフォーカス制御は簡単ではない。C
CDカメラによる明暗画像の明から暗または暗から明へ
の変化点がエッジとなるが、ワークの形状によってエッ
ジ近傍に大きなノイズが乗るからである。
【0004】本発明は、上記した点に鑑みなされたもの
で、優れたエッジフォーカス制御を可能とした非接触測
定装置を提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、ワークを撮像
するビデオカメラと、このビデオカメラのフォーカス方
向位置を検出する位置検出手段と、前記ビデオカメラの
出力画像データを処理してフォーカス制御を行うフォー
カス制御手段とを有する非接触測定装置において、前記
フォーカス制御手段は、前記ビデオカメラの出力画像デ
ータを記憶する画像メモリと、この画像メモリの画像デ
ータから所定走査領域内のコントラスト値を求めるコン
トラスト演算手段と、前記走査領域内の画像データのノ
イズが少ない方からの探索により所定しきい値を越えた
最初の位置をエッジ位置として検出するエッジ検出手段
と、前記エッジ位置での前記コントラスト値がピークを
示すフォーカス方向位置を合焦位置として検出するピー
ク位置検出手段とを備えたことを特徴とする。
【0006】
【作用】本発明においては、エッジ検出手段として、撮
像された明暗画像データのノイズの少ない方に始点をお
いて探索を行い、最初に検出されるエッジを検出すべき
エッジ位置とする手法を用いている。エッジであるかど
うかの判定は、画像の明暗変化の度合いを表す微分画像
即ちコントラスト値を用いて、これに予め所定のしきい
値を設定することにより行う。これにより、確実なエッ
ジ検出が可能になる。更にそのエッジ位置でのコントラ
スト値がフォーカス方向のどこでピークを示すかを検出
するピーク位置検出手段を備えることにより、そのピー
ク位置を合焦点位置とするエッジフォーカスが可能にな
る。
【0007】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を説
明する。図1は、本発明の一実施例に係る非接触測定装
置の構成である。この実施例では、図示のようにナイフ
エッジ状のエッジAを持つワーク1に対して、そのエッ
ジAにフォーカシングする場合を示している。ワーク1
を撮像するビデオカメラとしてCCDカメラ2が用いら
れている。CCDカメラ2のZ方向位置を検出するため
に、リニアセンサのような位置検出器3が設けられてい
る。CCDカメラ2はフオーカシングのためモータ5に
よりz方向駆動がなされる。
【0008】フォーカス制御装置4は、CCDカメラ2
の出力画像データを処理してエッジフォーカス制御を行
う部分である。CCDカメラ2の出力データはA/Dコ
ンバータ41によりディジタル画像データに変換され、
これが画像メモリ42に書き込まれて保持される。この
画像メモリ42のデータを読出して所定走査領域内のコ
ントラスト値を求めるコントラスト値演算回路43が設
けられている。コントラスト値は例えば、隣接する画素
の輝度の差分の2乗値により表される符号付きのものと
する。即ち差分をaとして、a・|a|をコントラスト
値とする。
【0009】コントラスト値演算回路43の出力データ
を利用してエッジ検出回路45により、ワーク1のエッ
ジAの位置検出が行われる。このエッジ位置検出回路4
5でのエッジ検出の原理は、走査領域内の画像データの
ノイズが少ない方からの探索により、コントラスト値が
所定しきい値を越えた最初の位置をエッジ位置とするも
ので、その詳細は後述する。
【0010】エッジ検出回路45により求められたエッ
ジ位置でのコントラスト値は、CCDカメラ2のz方向
位置により異なり、合焦点位置で最もコントラスト値が
大きくなる。ピーク位置検出回路46はこのコントラス
ト値のz方向のピーク位置を検出するためものである。
このピーク位置検出の際、モータ制御回路47によりC
CDカメラ2のz方向移動が制御される。そしてピーク
位置検出回路46は、位置検出器3からの位置データを
記憶するメモリ44のデータ及びエッジ検出回路45の
データを利用してピーク位置検出を行い、そのピーク位
置でCCDカメラ2のz方向移動を停止するように、モ
ータ制御回路47の制御を行うようになっている。
【0011】制御動作の説明に先立って、その前提とな
る画像データ及びコントラスト値データの性質を具体的
に図3及び図4により説明する。図3はCCDカメラ2
のz方向位置により異なる、撮像される画像のx方向の
明暗分布を示している。図3(c)に示すz3位置が合
焦点位置であり、(b)の位置z2,(c)の位置z1
は合焦点位置より順次ワーク1に近い位置でのデータを
示している。図1に示すようなワーク形状の場合、エッ
ジAの近傍での反射により、合焦点位置では、図3
(c)に示したようにエッジAの近傍の明の領域に大き
なノイズが乗る。従ってエッジAの検出を行うために
は、CCDカメラ2のz方向駆動は、z1→z2→z3
の方向、即ちワーク1に近いところからカメラ2を引く
方向に検索を行う。そうしないと、図3(c)に示すノ
イズの大きい明領域で別のエッジを検出するおそれがあ
るからである。
【0012】一方、図4(a)〜(c)は図3(a)〜
(c)に対応して、前述した原理で求められた微分画像
即ちコントラスト値のデータである。合焦点位置では図
4(c)に示すように、微分画像にも大きなノイズが乗
る。従ってこの実施例のように、エッジAの検出を行う
には、暗の領域に始点をとってx方向の探索を行い、最
初のエッジ位置を検出することが必要である。このとき
エッジの判定には、前述のようにコントラスト値を用い
て、且つ所定のしきい値判定を行えばよい。
【0013】更に、コントラスト値のz方向分布は図5
のようになり、そのピーク位置z3が合焦点位置とな
る。従ってエッジ検出がなされた後、CCDカメラ2を
z方向に微小動させてピーク検出を行うことにより、正
確なエッジフォーカス制御がなされる。
【0014】図2は、フォーカス制御装置4の制御フロ
ーである。この実施例の場合上述したようにワーク1に
近い方からCCDカメラ2の駆動を開始し(S1)、各
z位置で画像撮像を行い(S2)、撮像データはディジ
タルデータに変換して画像メモリに書き込む(S3)。
得られた画像データから前述のようにコントラスト値を
演算する(S4)。
【0015】求められたコントラスト値をもとに、ノイ
ズの小さい方、即ち図3のx位置の小さい方からの探索
によるしきい値判定を行い、最初にしきい値を越えたx
方向位置をエッジAの位置とするエッジ検出を行う(S
6)。そしてCCDカメラ2を上下動させでながら(S
6)、求められたエッジ位置でコントラスト値がピーク
を示すz位置を求め(S7)、ピークが検出されたz位
置を合焦点位置としてCCDカメラ2の駆動を停止する
(S8)。
【0016】なお実施例では、ノイズに影響されず正確
なエッジ検出を行う手法として、画像データの暗領域に
始点をとって明領域方向に探索するようにしたが、ワー
クの形状や検出すべきエッジによっては、この探索方向
を逆に指定することが有効となる場合がある。
【0017】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、ノイ
ズに影響されないエッジ検出手法を用いて優れたエッジ
フォーカス制御を可能とした非接触測定装置を提供する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例に係る非接触測定装置を示
す。
【図2】 同実施例の制御フローを示す。
【図3】 同実施例による画像の位置依存性を示す。
【図4】 同実施例による微分画像の位置依存性を示
す。
【図5】 同実施例による微分画像のZ位置依存性を示
す。
【図6】 エッジフォーカスの必要性を説明するための
図である。
【符号の説明】
1…ワーク、2…CCDカメラ、3…位置検出器、4…
フォーカス制御装置、5…モータ、41…A/Dコンバ
ータ、42…画像メモリ、43…コントラスト演算回
路、44…位置データメモリ、45…エッジ検出回路、
46…ピーク位置検出回路、47…モータ制御回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H04N 5/232 A 7/18 C K

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワークを撮像するビデオカメラと、この
    ビデオカメラのフォーカス方向位置を検出する位置検出
    手段と、前記ビデオカメラの出力画像データを処理して
    フォーカス制御を行うフォーカス制御手段とを有する非
    接触測定装置において、前記フォーカス制御手段は、 前記ビデオカメラの出力画像データを記憶する画像メモ
    リと、 この画像メモリの画像データから所定走査領域内のコン
    トラスト値を求めるコントラスト演算手段と、 前記走査領域内の画像データのノイズが少ない方からの
    探索により所定しきい値を越えた最初の位置をエッジ位
    置として検出するエッジ検出手段と、 前記エッジ位置での前記コントラスト値がピークを示す
    フォーカス方向位置を合焦位置として検出するピーク位
    置検出手段とを備えたことを特徴とする非接触測定装
    置。
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