JPH0719035Y2 - 電子線照射装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、被処理物にカーテン状の電子線を照射する電
子線照射装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第６図は従来の電子線照射装置の概略断面図、第７図は
その窓部の概略拡大断面図、第８図は従来の窓部の支持
状態を示す概略図である。第６図乃至第８図において30
は電子線発生部、40は処理室、50は窓部、60は窓部50の
支持装置である。

電子線発生部30は電子線を放射する、たとえば直線状の
フィラメント（電子源）31と、シールド電極32と、フィ
ラメント31から放射される電子線をコントロールするグ
リッド33とを含むものである。また、電子線発生部30の
内部（加速空間）34は図示しない拡散ポンプ等により真
空に保たれている。

処理室40は被処理物Ａを搬入する搬入口41と、被処理物
Ａを搬出する搬出口42と、被処理物Ａに電子線を照射す
る照射領域43とを含むものである。尚、処理室40内の床
部44の中央下部には後述する窓部50の支持装置60が設け
られている。また、たとえば樹脂塗料の硬化処理を行う
場合には、処理室40内に酸素があると、その酸素によっ
て硬化が抑制されるので、処理室40の内部は不活性雰囲
気、たとえば窒素ガス等で置換する。

窓部50は、第７図に示すように薄膜状のチタン箔51と、
窓枠52と、チタン箔51を押えるクランプ板53とを含むも
のである。窓枠52には図示しないが長方形状の孔52a
（以下、単にスリットと称する。）が複数形成されてい
る。そして、窓枠52の上面には溝54が設けられ、その溝
54には電子線発生部30のフランジ部35と窓枠52とを密閉
するためのＯリング36が嵌入されている。また、窓枠52
の下部には、チタン箔51が下部溝55に嵌入された下部Ｏ
リング56を介してクランプ板53によりネジ57で固定され
ている。チタン箔51は電子線を発生する電子線発生部30
内の真空雰囲気と被処理物Ａに電子線を照射する処理室
40内の照射雰囲気（たとえば窒素ガス）とを仕切ると共
に、電子線を取り出す窓である。

支持装置60はシリンダー61を含むものであり、シリンダ
ー61は窓部50下方に２箇所配置され、図示しない駆動装
置により上下方向に移動する。

尚、矢印Ｘは窓部50の下部を通過する被処理物Ａの通過
方向を、矢印Ｙは電子線の照射方向を示す。

上記の構成により、被処理物Ａに電子線を照射する際に
は、予め電子線発生部30内を真空状態とするため、窓部
50を電子線発生部30のフランジ部35に密着して取り付け
る。電子線発生部30に、窓部50を取り付けるには、先ず
手作業により窓部50の窓枠52を上側に向けてフランジ部
35下面に押し当てる。そして、第８図に示すようにシリ
ンダー61・61を図示しない駆動装置で上方に動かし、シ
リンダー61・61でクランプ板53を下方から押圧すること
により、窓部50を電子線発生部30下部に固定する。この
ように、従来の電子線照射装置では上下方向に移動する
シリンダー61・61を使用して窓部50下面を押圧して窓部
50を電子線発生部30に固定する。

〔考案が解決しようとする課題〕

ところで、窓部50を電子線発生部30のフランジ部35の下
面に取着するときには、一度、窓部50をフランジ部35に
押し当てた後に、何らかの原因で窓部50の位置がずれる
と、たとえば正確な位置合わせをするべく窓部50をずら
したりすると、フランジ部35下面に接触しているＯリン
グ36が溝54から外れてしまう。このため、窓部50をフラ
ンジ部35に取着するときには、Ｏリング36をフランジ部
35下面に当接した後は、窓部50がずれないようにしなけ
ればならない。

しかしながら、従来の電子線照射装置においては、窓部
50と電子線発生部30のフランジ部35との位置決めを手作
業で行っていたので、窓部50をフランジ部35下面の所定
の位置に正確に押し当てるのは容易ではなかった。特
に、処理室40の天井部と側部と底部とが一体的に形成さ
れている小型の電子線照射装置では、作業空間が狭いこ
ともあって、窓部50をフランジ部35の所定の位置に、正
確に押し当てるのは困難であった。

本考案は上記事情に基づいてなされたものであり、従来
のように、シリンダーを含む支持装置及び駆動装置等を
用いることなく窓部の取り付けを容易且つ正確に行うこ
とができる電子線照射装置を提供することを目的とする
ものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するための本考案は、電子線発生部の
下部に取着され電子線発生部と処理室との雰囲気を仕切
ると同時に電子線を透過させる窓部を有し、該窓部を介
して前記処理室内の被処理物に前記電子線発生部で発生
した電子線を照射する電子線照射装置において、 長手方向に垂直な一方の側部に頭部を有する螺旋体を螺
合し、長手方向に平行な両側部の各々に突起を設けた窓
部と、 全体が略Ｕ字形状に形成され、両腕部に設けられた斜面
であって前記窓部の突起が係合し、且つ両腕部の先端に
近づくにつれて下方に傾斜する斜面と、基部に設けられ
前記螺旋体を上下に摺動自在に挟持する挟持部とにより
前記窓部を支持する窓部支持体と、 前記処理室内に固着さ、前記窓部支持体の両腕部を長手
方向に摺動自在に支持し、窓部を取着する所定の位置の
下方に前記窓部を装着した前記窓部支持体を案内する案
内部と、 前記窓部が装着された前記窓部支持体が前記所定位置の
下方に達したときに前記窓部の先端に当接して前記窓部
の長手方向の位置決めをする停止板とを有し、 前記窓部が装着された前記窓部支持体を前記案内部によ
って前記所定位置の下方に案内し、前記窓部の先端を前
記停止板に当接した状態で、前記螺旋体を回転して突起
を斜面の上方にスライドさせることにより、前記窓部を
上方に押し上げて前記窓部を前記所定位置に取着するこ
とを特徴とするものである。

〔作用〕

本考案は前記の構成によって、電子線発生部に窓部を取
着するには、予め、窓部の両側部に設けられた突起を窓
部支持体の斜面に係合し、螺旋体を挟持部に嵌入するこ
とにより窓部を窓部支持体に装着する。そして、窓部を
装着した窓部支持体を案内部に沿ってスライドさせなが
ら、窓部の先端が停止板に当接するまで後方へ押し込
む。次に、窓部支持体を押して窓部の先端が停止板に当
接した状態で、螺旋体を回転して締め付ける。すると、
螺旋体の頭部が窓部支持体の基部に係合し、窓部支持体
は螺旋体の頭部に押されて更に後方に押されるが、窓部
は停止板に当接しているので、後方へは移動せず、その
突起が窓部支持体の斜面をスライドする。これにより窓
部は真上に押しあげられ、窓部の上面が電子線発生部の
下面に当接する。更に、螺旋体を回転すると、窓部の突
起が更に斜面の上方にスライドするので、窓部を上方に
押し上げ、一方窓部支持体を下方に押し下げるようにし
て窓部を所定の位置に取着する。すなわち、窓部の上面
を電子線発生部の下面に押し当て、窓部支持体の両腕部
の下面を案内部に押し当てた状態で、窓部を電子線発生
部の下面に取着する。したがって、たとえば窓部の上面
にシール部材が設けてあれば、そのシール部材を押圧し
て、窓部を気密状態で取着する。

また、窓部の先端が停止板に当接した後、螺旋体を回転
する前に、更に窓部支持体を押し込むようにしてもよ
い。この場合には、窓部が停止板に当接しているので、
窓部支持体のみが更に奥に押し込められ、窓部の突起が
窓部支持体の斜面の上方にスライドして窓部が真上に押
し上げられ、窓部の上面が電子線発生部の下面に当接す
る。この後、螺旋体を回転するようにすれば、螺旋体の
締め付け回転数を少なくすることができる。これによ
り、処理室が狭い場合でも、窓部を所定の位置に容易且
つ正確に取着することができる。

〔実施例〕

以下に本考案の１実施例を第１図乃至第５図を参照して
説明する。第１図は本考案の１実施例である電子線照射
装置の概略斜視図、第２図は窓部及び窓部取着装置の概
略斜視図、第３図はその概略断面図、第４図は窓部支持
体に装着した窓部が上方に押し上げられたときの状態を
示す概略斜視図、第５図（ａ）は窓部を窓部支持体に装
着したときの状態を示す概略平面図、同図（ｂ）はその
概略正面図である。尚、本実施例において、従来の電子
照射装置と同様の機能を有するものは、同一の符号を付
すことにより、その詳細な説明を省略する。

第１図乃至第５図において10は窓部、20は窓部10の取着
装置である。

窓部10は長方形状のスリット11が複数穿設された窓枠12
と、窓枠12の先端に取り付けられたローラ13と、窓枠12
の両側面部に突起して設けられたベアリング14と、窓枠
12の手前側の側部に螺合された螺子15とを含むものであ
る。窓枠12には、図示しないが第７図に示す従来の窓部
50と同様に、その下面には、チタン箔51がクランプ板53
を介して螺子で固定されている。また、窓枠12の上面に
は溝16がスリット11を囲んでロ字状に設けられ、溝16内
には電子線発生部30のフランジ部35と窓部10とを気密状
態で取着するためのＯリング36が取り付けられている。

取着装置20は処理室40内の電子線照射領域43を狭くしな
いように処理室40と電子線発生部30との間に設けられ、
窓部10を支持する窓部支持体21と、窓部支持体21を所定
の位置に案内するスライドガイド22と、停止板23と、取
付枠部24とからなる。

窓部支持体21は全体が略Ｕ字形状に形成され、両腕部21
aには各々２つの長穴25が穿設されている。また、基部2
1bには螺子15を挟持する切欠溝26が設けられている。長
穴25は手前から後方に向かうにしたがって下方に傾斜し
て形成されている。窓部支持体21は長穴25と切欠溝26と
で、窓部10を摺動可能に支持する。

Ｌ字状のスライドガイド22は取付枠部24に固定され、窓
部支持体21の両腕部21aの下面を摺動自在に支持する。

停止板23は取付枠部24に固定され、窓部10が装着された
窓部支持体21がスライドガイド22によって案内され、窓
部10を取り付けるフランジ部35下方の所定の位置まで挿
入されたときに、窓部10のローラ13と係合して窓部支持
体21の摺動を停止する。

尚、処理室40の側面に設けられた開口部27は通常は蓋28
が取り付けられ、窓部10の着脱時のみ、蓋28を取り外
す。また、取付枠部24は電子線照射時に発生するＸ線の
外部漏出を防止するため、鉛遮蔽が施されている。

上記の構成により、電子線発生部30に窓部10を取着する
には、予め窓部10のベアリング14を窓部支持体21の長穴
25に係合させ、螺子15を切欠溝26に挟持させることによ
り、窓部10を窓部支持体21に装着する。そして、先ず蓋
28を取り外し、窓部10を装着した窓部支持体21を開口部
27から挿入し、スライドガイド22に沿ってスライドさ
せ、窓部10のローラ13が、予め調節された位置に固定さ
れた停止板23に当接するまで後方へ押し込む。次に、窓
部支持体21を後方へ押してローラ13を停止板23に当接し
た状態で、螺子15の頭部15aを回転して締め付ける。す
ると、螺子15の頭部15aが窓部支持体21の基部21bに係合
しているので、窓部支持体21は螺子15の頭部15aに押さ
れ、更に後方にスライドするが、窓部10は停止板23に当
接しているので、後方へは移動せず、ベアリング14が窓
部支持体21の長穴25の上方にスライドする。同時に、停
止板23に当接したローラ13が回転して窓部10は水平面上
の位置を変えることなく、ローラ13によって停止板23に
沿って円滑に真上に押しあげられ、窓部10の上面に嵌入
されたＯリング36がフランジ部35に当接する。更に、螺
子15を回転すると、窓部10のベアリング14が更に長穴25
の上方にスライドするので、窓部10を上方に押し上げ、
一方窓部支持体21を下方に押し下げるようにして窓部10
を所定の位置に取着する。すなわち、窓部10の上面をフ
ランジ部35の下面に押し当て、窓部支持体21の両腕部21
aの下面をスライドガイド22に押し当てた状態で、窓部1
0を電子線発生部30のフランジ部35に取着する。また、
これにより、窓部10の上面に設けられたＯリング36が押
圧され、気密性が高くなる。最後に、蓋28を開口部27に
取り付ける。

被処理物Ａに電子線を照射するときには、電子線発生部
30内を真空状態とする。これにより、窓部10は更にフラ
ンジ部35に引き付けられ、Ｏリング36が押圧されて窓部
10とフランジ部35は更に密着するようになる。所定の真
空状態とした後、フィラメント31に電流を流して、電子
線を発生させる。この電子線は窓部10のチタン箔51を通
過して処理室40内を搬送される被処理物Ａに照射され
る。

また、窓部10のローラ13が停止板23に当接した後、螺子
15を回転する前に、更に窓部支持体21を押し込むように
してもよい。これにより、窓部10は停止板23に当接して
いるので、窓部支持体21のみが更に奥に押し込められ、
窓部10のベアリング14が窓部支持体21の長穴25をスライ
ドし、同時に停止板23に当接したローラ13が回転する。
そして、窓部10が真上に押し上げられ、窓部10上面のＯ
リング36がフランジ部35の下面に当接する。この後、螺
子15を回転するようにすれば、螺子15の締め付け回転数
を少なくすることができる。

尚、上記の実施例において、螺子15のピッチ数と長穴25
の長さを適当に選択することにより、窓部10を正確に真
上に押し上げることができる。

上記の実施例によれば、窓部支持体21をスライドガイド
22に沿って押し込み、ローラ13を停止板23に当接した状
態で、螺子15の頭部15aを回転して締めつけることによ
り、窓部10を電子線発生部30のフランジ部35に容易且つ
正確に固着することができる。

また、上記の実施例によれば、頭部15aを回転して窓部1
0を上昇する際に、窓部10はローラ13が停止板23に当接
した状態で真上に上昇するので、窓部10が手前や後方に
ずれることはない。またスライドガイド22を設けてある
ので、窓部10が左右にずれることもない。したがって、
窓部10が前後左右にずれないので、Ｏリング36を溝16か
らはみ出させることなく、窓部10を電子線発生部30のフ
ランジ部35に確実に取着することができる。

尚、上記の実施例では、ベアリング14と長穴25とにより
窓部10を窓部支持体21に装着する場合について説明した
が、装着方法はこれに限定されるものではなく、窓部10
については、突起状のものであればベアリング14に替
え、たとえばピンや車等であってもよい。また、窓部支
持体21の両腕部21aに設けた長穴25は、その上部を開放
状態としたものであってもよいし、溝状のものであって
もよい。更に、ベアリング14及び長穴25を４組設けた場
合について説明したが、ベアリング14及び長穴25の数量
はこれより少なくても多くてもよい。

また、上記の実施例では、取着装置20を処理室40と電子
線発生部30との間に設けた場合について説明したが、取
着装置20は処理室40内に処理室40と一体的に形成しても
よく、また処理室40内に電子線発生部30と一体的に形成
してもよい。

更に、上記の実施例では、停止板23を取付枠部24と別個
に設けた場合について説明したが、これは取付枠部24又
は処理室40の内壁を利用してもよい。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案によれば、案内部により窓部
を所定の取付位置の下方に案内し、窓部支持体と停止板
とにより窓部を容易に真上に押し上げることができるの
で、窓部を電子線発生部に容易且つ正確に取着すること
ができる電子線照射装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の１実施例である電子線照射装置の概略
斜視図、第２図は窓部と取着装置の概略斜視図、第３図
はその概略断面図、第４図は窓部支持体に装着した窓部
が上方に押し上げられたときの状態を示す概略斜視図、
第５図（ａ）は窓部を窓部支持体に装着したときの状態
を示す概略平面図、同図（ｂ）はその概略正面図、第６
図は従来の電子線照射装置の概略断面図、第７図はその
窓部の概略拡大断面図、第８図は従来の窓部の支持状態
を示す図である。 10……窓部、11……スリット、12……窓枠、13……ロー
ラ、14……ベアリング、15……螺子、15a……頭部、16
……溝、20……取着装置、21……窓部支持体、21a……
両腕部、21b……基部、22……スライドガイド、23……
停止板、24……取付枠部、25……長穴、26……切欠溝、
27……開口部、28……蓋、30……電子線発生部、35……
フランジ部、36……Ｏリング、40……処理室。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】電子線発生部の下部に取着され電子線発生
   部と処理室との雰囲気を仕切ると同時に電子線を透過さ
   せる窓部を有し、該窓部を介して前記処理室内の被処理
   物に前記電子線発生部で発生した電子線を照射する電子
   線照射装置において、 長手方向に垂直な一方の側部に頭部を有する螺旋体を螺
   合し、長手方向に平行な両側部の各々に突起を設けた窓
   部と、 全体が略Ｕ字形状に形成され、両腕部に設けられた斜面
   であって前記窓部の突起が係合し、且つ両腕部の先端に
   近づくにつれて下方に傾斜する斜面と、基部に設けられ
   前記螺旋体を上下に摺動自在に挟持する挟持部とにより
   前記窓部を支持する窓部支持体と、 前記処理室内に固着され、前記窓部支持体の両腕部を長
   手方向に摺動自在に支持し、窓部を取着する所定の位置
   の下方に前記窓部を装着した前記窓部支持体を案内する
   案内部と、 前記窓部が装着された前記窓部支持体が前記所定位置の
   下方に達したときに前記窓部の先端に当接して前記窓部
   の長手方向の位置決めをする停止板とを有し、 前記窓部が装着された前記窓部支持体を前記案内部によ
   って前記所定位置の下方に案内し、前記窓部の先端を前
   記停止板に当接した状態で、前記螺旋体を回転して突起
   を斜面の上方にスライドさせることにより、前記窓部を
   上方に押し上げて前記窓部を前記所定位置に取着するこ
   とを特徴とする電子線照射装置。