JPH07181241A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
- Publication number
- JPH07181241A JPH07181241A JP5328255A JP32825593A JPH07181241A JP H07181241 A JPH07181241 A JP H07181241A JP 5328255 A JP5328255 A JP 5328255A JP 32825593 A JP32825593 A JP 32825593A JP H07181241 A JPH07181241 A JP H07181241A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic sensor
- thin film
- electromagnetic wave
- magnetic
- connection cable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気センサおよび接続ケーブルの小型化が実
現でき、検出感度の高い磁気センサを提供することを目
的としている。 【構成】 絶縁基板２上に形成した感磁部３上に絶縁薄
膜層４を形成して、磁気センサの少なくとも一つの面に
非磁性導電体の電磁波シールド薄膜５を形成し、電磁波
シールド薄膜５は磁気センサ基板上において磁気センサ
のグランド線８ｃに接続している。さらに磁気センサ表
面に耐摩耗性絶縁薄膜６を形成して電磁波シールド薄膜
５を保護する。また前記磁気センサに付帯して磁気セン
サとエンコーダの信号処理部１２とを電気的に接続する
接続ケーブル８の信号線８ｂを絶縁層９ａ，９ｂを介し
て電磁波シールド部材１０で被覆し、磁気センサのグラ
ンド線８ｃに接続する。
現でき、検出感度の高い磁気センサを提供することを目
的としている。 【構成】 絶縁基板２上に形成した感磁部３上に絶縁薄
膜層４を形成して、磁気センサの少なくとも一つの面に
非磁性導電体の電磁波シールド薄膜５を形成し、電磁波
シールド薄膜５は磁気センサ基板上において磁気センサ
のグランド線８ｃに接続している。さらに磁気センサ表
面に耐摩耗性絶縁薄膜６を形成して電磁波シールド薄膜
５を保護する。また前記磁気センサに付帯して磁気セン
サとエンコーダの信号処理部１２とを電気的に接続する
接続ケーブル８の信号線８ｂを絶縁層９ａ，９ｂを介し
て電磁波シールド部材１０で被覆し、磁気センサのグラ
ンド線８ｃに接続する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、外部磁界の変化を検出
する磁気センサの改良に関し、特に外界から受ける電磁
波ノイズのシールドに関する。
する磁気センサの改良に関し、特に外界から受ける電磁
波ノイズのシールドに関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気式エンコーダなどで用いられている
磁気センサを構成する磁気抵抗素子の抵抗変化率は、数
パーセント程度であり、これによってもたらされる電圧
変化、すなわち検出信号の変化は、数十ｍＶという微弱
なものである。このため、高いノイズレベルの使用環境
下では、磁気センサ自体や、磁気センサと信号処理部間
の接続ケーブル部において、電磁波ノイズの影響を受け
て検出信号のＳ／Ｎ比が著しく悪化し、正確な検出を行
うことができなくなるため、電磁波ノイズのシールド対
策が要求されている。特に、磁気抵抗素子の抵抗値が高
い場合には、電磁波ノイズの影響を受けやすくなるた
め、電磁波から磁気センサをシールドする必要がある。
磁気センサを構成する磁気抵抗素子の抵抗変化率は、数
パーセント程度であり、これによってもたらされる電圧
変化、すなわち検出信号の変化は、数十ｍＶという微弱
なものである。このため、高いノイズレベルの使用環境
下では、磁気センサ自体や、磁気センサと信号処理部間
の接続ケーブル部において、電磁波ノイズの影響を受け
て検出信号のＳ／Ｎ比が著しく悪化し、正確な検出を行
うことができなくなるため、電磁波ノイズのシールド対
策が要求されている。特に、磁気抵抗素子の抵抗値が高
い場合には、電磁波ノイズの影響を受けやすくなるた
め、電磁波から磁気センサをシールドする必要がある。
【０００３】これらの磁気センサのシールド対策とし
て、特開平３−１４６８８８号公報には、絶縁基板上に
形成された感磁部の表面を絶縁層で被覆し、前記基板の
少なくとも一つの面に電磁波シールド部材を設けて感磁
部より侵入する不要電磁波ノイズをシールドし、基板の
感磁部形成面の反対側の面に接地用端子と一体形成され
たリードフレームを設けてセンサの小型化を実現したも
のが提案されている。
て、特開平３−１４６８８８号公報には、絶縁基板上に
形成された感磁部の表面を絶縁層で被覆し、前記基板の
少なくとも一つの面に電磁波シールド部材を設けて感磁
部より侵入する不要電磁波ノイズをシールドし、基板の
感磁部形成面の反対側の面に接地用端子と一体形成され
たリードフレームを設けてセンサの小型化を実現したも
のが提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の磁気センサでは、電磁波シールド部材とグランドに
接続する接続線を独立に設けているため、接続線の数が
増加してしまい、接続線の小型化の実現が困難となる問
題点を有していた。
来の磁気センサでは、電磁波シールド部材とグランドに
接続する接続線を独立に設けているため、接続線の数が
増加してしまい、接続線の小型化の実現が困難となる問
題点を有していた。
【０００５】また、上記従来の電磁波シールド付磁気セ
ンサを、高パルスの磁気式エンコーダに適用する場合、
磁気記録媒体と磁気センサの感磁部との間隔を極めて小
さくとらなくてはならないため、磁気式エンコーダの組
立時等に、磁気センサの感磁部側の電磁波シールド部材
と磁気記録媒体とが直接接触したり、磁気記録媒体に付
着した異物が磁気センサの電磁波シールド部材と接触し
たりして、電磁波シールド部材が損傷し、電磁波シール
ドの機能を損なう可能性を有していた。
ンサを、高パルスの磁気式エンコーダに適用する場合、
磁気記録媒体と磁気センサの感磁部との間隔を極めて小
さくとらなくてはならないため、磁気式エンコーダの組
立時等に、磁気センサの感磁部側の電磁波シールド部材
と磁気記録媒体とが直接接触したり、磁気記録媒体に付
着した異物が磁気センサの電磁波シールド部材と接触し
たりして、電磁波シールド部材が損傷し、電磁波シール
ドの機能を損なう可能性を有していた。
【０００６】さらに、従来の電磁波シールド付磁気セン
サでは、磁気センサと信号処理部を結ぶ接続線には電磁
波シールドが施されておらず、当該箇所からの不要電磁
波ノイズの侵入を防ぐことができない。
サでは、磁気センサと信号処理部を結ぶ接続線には電磁
波シールドが施されておらず、当該箇所からの不要電磁
波ノイズの侵入を防ぐことができない。
【０００７】本発明は、上記従来の課題を解決するもの
で、磁気センサおよび接続ケーブルの小型化が実現で
き、検出感度が高く耐久性に優れた磁気センサを提供す
ることを目的とするものである。
で、磁気センサおよび接続ケーブルの小型化が実現で
き、検出感度が高く耐久性に優れた磁気センサを提供す
ることを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、絶縁基板上に形成した感磁部上に絶縁薄
膜層を形成して、絶縁薄膜磁気センサの少なくとも一つ
の面に非磁性の電磁波シールドの薄膜を形成し、前記電
磁波シールド薄膜を磁気センサ基板上において磁気セン
サのグランド部に接続した構成とするものである。
め、本発明は、絶縁基板上に形成した感磁部上に絶縁薄
膜層を形成して、絶縁薄膜磁気センサの少なくとも一つ
の面に非磁性の電磁波シールドの薄膜を形成し、前記電
磁波シールド薄膜を磁気センサ基板上において磁気セン
サのグランド部に接続した構成とするものである。
【０００９】また本発明は前記磁気センサに付帯して磁
気センサとエンコーダの信号処理回路とを電気的に接続
する接続ケーブルの信号線を絶縁体を介して電磁波シー
ルド部材で被覆し、このシールド部材と磁気センサのグ
ランド部を磁気センサ基板上で電気的に接続した構成と
するものである。
気センサとエンコーダの信号処理回路とを電気的に接続
する接続ケーブルの信号線を絶縁体を介して電磁波シー
ルド部材で被覆し、このシールド部材と磁気センサのグ
ランド部を磁気センサ基板上で電気的に接続した構成と
するものである。
【００１０】
【作用】上記の構成により、磁気センサおよび磁気セン
サの検出信号伝送部の耐ノイズ性を向上させることがで
きるものである。これによって、磁気抵抗素子の高抵抗
化が実現でき、磁気センサの消費電流を低減することが
できる。また、磁気センサの電磁波シールドおよび接続
ケーブルの電磁波シールドは、磁気センサ基板上におい
て磁気センサのグランド線と接続しているため、接続ケ
ーブルの信号線の本数を増やす必要が全くないものであ
る。
サの検出信号伝送部の耐ノイズ性を向上させることがで
きるものである。これによって、磁気抵抗素子の高抵抗
化が実現でき、磁気センサの消費電流を低減することが
できる。また、磁気センサの電磁波シールドおよび接続
ケーブルの電磁波シールドは、磁気センサ基板上におい
て磁気センサのグランド線と接続しているため、接続ケ
ーブルの信号線の本数を増やす必要が全くないものであ
る。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例につき、図１〜図３
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１２】図１は磁気センサ１の外観斜視図、図２は
図１のＡ−Ａ断面図、図３は磁気センサ１を用いた磁気
式エンコーダの説明図である。磁気センサ１は、ガラス
などの絶縁基板２上に所定のパターンに形成されたパー
マロイなどの磁性薄膜を蒸着してなる感磁部３と、前記
感磁部３の表面を覆う絶縁薄膜層４と、前記絶縁薄膜層
４上に形成された非磁性の導電体よりなる電磁波シール
ド薄膜５、および前記電磁波シールド薄膜５の表面を覆
う耐摩耗性絶縁薄膜層６からなる。そして電磁波シール
ド薄膜５は、磁気センサ１の基板上で感磁部３のグラン
ド部である接続端子７ｃに接続される。上記の構成によ
り、磁気センサ１は電磁性シールド薄膜５により感磁部
３を設けた面から侵入する電磁波ノイズからシールドさ
れ、耐摩耗性絶縁薄膜６により、電磁波シールド薄膜を
保護することができる。また、電磁波シールド薄膜５は
磁気センサ１基板上において磁気センサのグランド部と
接続するため、接続ケーブルとして磁気センサシールド
用の接続線を設ける必要がない。なお、同様に電磁波シ
ールド薄膜５以外に磁気センサ１に電磁波シールド部材
を形成することにより、上記以外の面から磁気センサに
電磁波ノイズが侵入するのを防止できる。
図１のＡ−Ａ断面図、図３は磁気センサ１を用いた磁気
式エンコーダの説明図である。磁気センサ１は、ガラス
などの絶縁基板２上に所定のパターンに形成されたパー
マロイなどの磁性薄膜を蒸着してなる感磁部３と、前記
感磁部３の表面を覆う絶縁薄膜層４と、前記絶縁薄膜層
４上に形成された非磁性の導電体よりなる電磁波シール
ド薄膜５、および前記電磁波シールド薄膜５の表面を覆
う耐摩耗性絶縁薄膜層６からなる。そして電磁波シール
ド薄膜５は、磁気センサ１の基板上で感磁部３のグラン
ド部である接続端子７ｃに接続される。上記の構成によ
り、磁気センサ１は電磁性シールド薄膜５により感磁部
３を設けた面から侵入する電磁波ノイズからシールドさ
れ、耐摩耗性絶縁薄膜６により、電磁波シールド薄膜を
保護することができる。また、電磁波シールド薄膜５は
磁気センサ１基板上において磁気センサのグランド部と
接続するため、接続ケーブルとして磁気センサシールド
用の接続線を設ける必要がない。なお、同様に電磁波シ
ールド薄膜５以外に磁気センサ１に電磁波シールド部材
を形成することにより、上記以外の面から磁気センサに
電磁波ノイズが侵入するのを防止できる。
【００１３】磁気センサ１に付帯する接続ケーブル８
は、電源供給線８ａ、信号線８ｂ、およびグランド線８
ｃからなり、前記接続ケーブル８を絶縁層９ａと絶縁層
９ｂで上下面を覆い、これを筒状の電磁波シールド部材
１０で覆って、さらにこの外側をカバーフィルム１１で
覆っている。磁気センサ１の感磁部には接続端子７ａ，
７ｂ，７ｃがあり、これに各々接続ケーブルの電源供給
線８ａ，信号線８ｂ，グランド線８ｃが電気的に接続さ
れている。また、接続ケーブル内に設けられた電磁波シ
ールド部材１０は接続端子７ｃにおいてグランド線８ｃ
と電気的に接続されている。このような構成により、接
続ケーブル８に接続して磁気センサ１の検出信号を処理
する信号処理部には、接続ケーブル８の電磁波シールド
部材１０に接続する端子を設ける必要がない。
は、電源供給線８ａ、信号線８ｂ、およびグランド線８
ｃからなり、前記接続ケーブル８を絶縁層９ａと絶縁層
９ｂで上下面を覆い、これを筒状の電磁波シールド部材
１０で覆って、さらにこの外側をカバーフィルム１１で
覆っている。磁気センサ１の感磁部には接続端子７ａ，
７ｂ，７ｃがあり、これに各々接続ケーブルの電源供給
線８ａ，信号線８ｂ，グランド線８ｃが電気的に接続さ
れている。また、接続ケーブル内に設けられた電磁波シ
ールド部材１０は接続端子７ｃにおいてグランド線８ｃ
と電気的に接続されている。このような構成により、接
続ケーブル８に接続して磁気センサ１の検出信号を処理
する信号処理部には、接続ケーブル８の電磁波シールド
部材１０に接続する端子を設ける必要がない。
【００１４】図３は本発明の実施例の磁気センサを磁気
式エンコーダに適用した説明図である。磁気センサ１の
検出信号は、接続ケーブル８を介して信号処理部１２で
波形整形される。上記のように、磁気センサ１の磁気記
録媒体１３に対向する面には、電磁波シールド薄膜５
と、最外層には耐摩耗性絶縁薄膜６が形成されている。
また磁気センサ１の磁気記録媒体１３に対向していない
面は、電気良導体でできた磁気センサホルダ１４でシー
ルドされている。この磁気センサ１と磁気記録媒体１３
は、通常数十μｍの間隔を隔てるように位置調整され
て、エンコーダ基底部１５に固定される。前記耐摩耗性
絶縁薄膜６は、調整の際に誤って磁気記録媒体１３が磁
気センサ１に接触して電磁波シールド薄膜５が損傷する
のを防いでいる。
式エンコーダに適用した説明図である。磁気センサ１の
検出信号は、接続ケーブル８を介して信号処理部１２で
波形整形される。上記のように、磁気センサ１の磁気記
録媒体１３に対向する面には、電磁波シールド薄膜５
と、最外層には耐摩耗性絶縁薄膜６が形成されている。
また磁気センサ１の磁気記録媒体１３に対向していない
面は、電気良導体でできた磁気センサホルダ１４でシー
ルドされている。この磁気センサ１と磁気記録媒体１３
は、通常数十μｍの間隔を隔てるように位置調整され
て、エンコーダ基底部１５に固定される。前記耐摩耗性
絶縁薄膜６は、調整の際に誤って磁気記録媒体１３が磁
気センサ１に接触して電磁波シールド薄膜５が損傷する
のを防いでいる。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、磁気セン
サおよび磁気センサの検出信号伝送部、さらには信号処
理部の耐ノイズ性を向上させ、磁気センサとしての高信
頼性を確保することができることや磁気抵抗素子の高抵
抗化が実現でき、磁気センサの消費電流を低減できるこ
とや磁気センサのおよび接続線のシールドは磁気センサ
基板上において、磁気センサのグランド部と接続してい
るため、信号処理部との接続ケーブルの接続線の本数を
増やす必要がない優れた効果を奏するものである。
サおよび磁気センサの検出信号伝送部、さらには信号処
理部の耐ノイズ性を向上させ、磁気センサとしての高信
頼性を確保することができることや磁気抵抗素子の高抵
抗化が実現でき、磁気センサの消費電流を低減できるこ
とや磁気センサのおよび接続線のシールドは磁気センサ
基板上において、磁気センサのグランド部と接続してい
るため、信号処理部との接続ケーブルの接続線の本数を
増やす必要がない優れた効果を奏するものである。
【図１】本発明の一実施例における磁気センサの外観斜
視図
視図
【図２】図１のＡ−Ａ断面図
【図３】同磁気センサを磁気式エンコーダに適用した説
明図
明図
１ 磁気センサ ２ 絶縁基板 ３ 感磁部 ４ 絶縁薄膜層 ５ 電磁波シールド薄膜 ６ 耐摩耗性絶縁薄膜 ７ａ，７ｂ，７ｃ 接続端子 ８ 接続ケーブル ８ａ 電源供給線 ８ｂ 信号線 ８ｃ グランド線 ９ａ，９ｂ 絶縁層 １０ 電磁シールド部材
Claims (4)
- 【請求項１】 絶縁基板上に形成した感磁部の表面を絶
縁薄膜層で被覆して、磁気センサの少なくとも一つの面
に電磁波シールド薄膜を形成し、かつ前記電磁波シール
ド薄膜が磁気センサのグランド部に接続されていること
を特徴とする磁気センサ。 - 【請求項２】 磁気センサ表面の電磁波シールド薄膜
を、非磁性の導電体で形成することを特徴とする請求項
１記載の磁気センサ。 - 【請求項３】 磁気センサ表面の電磁波シールド薄膜上
に、耐摩耗性絶縁薄膜により、電磁波シールド薄膜を保
護することを特徴とする請求項１記載の磁気センサ。 - 【請求項４】 磁気センサに付帯し、磁気センサと磁気
センサの信号処理部とを電気的に接続するための接続ケ
ーブルを具備し、信号線を絶縁層を介して電磁波シール
ド部材で被覆し、前記電磁波シールド部材と磁気センサ
のグランド線を磁気センサ基板上で電気的に接続したこ
とを特徴とする磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5328255A JPH07181241A (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5328255A JPH07181241A (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07181241A true JPH07181241A (ja) | 1995-07-21 |
Family
ID=18208181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5328255A Pending JPH07181241A (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07181241A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100349316B1 (ko) * | 2001-01-06 | 2002-08-21 | 엘지전선 주식회사 | 부분방전 측정용 저항식 센서 |
| KR20060021649A (ko) * | 2004-09-03 | 2006-03-08 | 엘지전자 주식회사 | 고밀도 미세 패턴의 단락 도선 위치 검출을 위한 자기 센서 |
| JP2007085810A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Denso Corp | 電機変換装置 |
| CN110081912A (zh) * | 2018-01-25 | 2019-08-02 | 日本电产三协株式会社 | 磁传感器装置 |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP5328255A patent/JPH07181241A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100349316B1 (ko) * | 2001-01-06 | 2002-08-21 | 엘지전선 주식회사 | 부분방전 측정용 저항식 센서 |
| KR20060021649A (ko) * | 2004-09-03 | 2006-03-08 | 엘지전자 주식회사 | 고밀도 미세 패턴의 단락 도선 위치 검출을 위한 자기 센서 |
| JP2007085810A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Denso Corp | 電機変換装置 |
| JP4525543B2 (ja) * | 2005-09-21 | 2010-08-18 | 株式会社デンソー | 電機変換装置 |
| CN110081912A (zh) * | 2018-01-25 | 2019-08-02 | 日本电产三协株式会社 | 磁传感器装置 |
| CN110081912B (zh) * | 2018-01-25 | 2021-11-12 | 日本电产三协株式会社 | 磁传感器装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5866583B2 (ja) | 電流センサ | |
| US20090230948A1 (en) | Rogowski Coil Assembly and Methods | |
| EP0021392B1 (en) | Magnetic transducing head assemblies | |
| US20050146811A1 (en) | Method for suppressing tribocharge in the assembly of magnetic heads | |
| EP0301294B1 (en) | A magnetoresistive read transducer with insulator defined trackwidth | |
| EP0605336A2 (en) | A magnetoresistive magnetic field sensor with a very long active region | |
| JP2005534193A (ja) | 磁気検知装置 | |
| JPS63191069A (ja) | 電流検出器 | |
| JP2009180608A (ja) | Ｉｃチップ形電流センサ | |
| JP2004518144A (ja) | 位置測定装置 | |
| JPH07198415A (ja) | 磁気センサおよびそれを用いた磁気式エンコーダ | |
| JPH09127159A (ja) | 電流検出器 | |
| JPH07181241A (ja) | 磁気センサ | |
| US4868351A (en) | Input pen data input tablet | |
| JP2008116429A (ja) | 磁気センサデバイス | |
| EP0470687B1 (en) | Magneto-resistive sensor | |
| US6028748A (en) | Magnetic head apparatus including a quarter wavelength transmission line | |
| US6404180B1 (en) | Technique for sensing current in a conductor with reduced susceptibility to electrical noise on the conductor | |
| JP3058899B2 (ja) | 磁気検出素子 | |
| EP4407333A1 (en) | Magnetic sensor and electronic device | |
| EP0265798B1 (en) | A magnetoresistive read transducer | |
| US6204662B1 (en) | Magnetic field sensing element with processing circuit and input and output side resistors formed from same metal film | |
| US6505513B1 (en) | Arrangement for measuring rotational velocity | |
| JPH03146888A (ja) | 磁気センサ | |
| JP2009180596A (ja) | 磁界プローブ |