JPH07165444A - Method for producing carbon-coated optical fiber - Google Patents

Method for producing carbon-coated optical fiber

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JPH07165444A
JPH07165444A JP5341678A JP34167893A JPH07165444A JP H07165444 A JPH07165444 A JP H07165444A JP 5341678 A JP5341678 A JP 5341678A JP 34167893 A JP34167893 A JP 34167893A JP H07165444 A JPH07165444 A JP H07165444A
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JP
Japan
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optical fiber
carbon
carbon film
gas
coated
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JP5341678A
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Japanese (ja)
Inventor
Shinichi Arai
慎一 荒井
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Publication date
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  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a method for producing a carbon-coated optical fiber, capable of producing the excellent carbon-coated fiber stabilized in the mechanical strength and the fatigue characteristics in the longitudinal direction. CONSTITUTION:A method for producing a carbon-coated optical fiber comprises forming a carbon coating film on the surface of an optical fiber by a thermal CVD method just after drawn, and subsequently exposing the surface of the carbon coating film to the atmosphere of oxygen within temperatures at which the carbon coating film surface of the optical fiber is oxidized and burned in an oxygen atmosphere, or comprises forming the carbon coating film on the surface of the optical fiber by the thermal CVD method and subsequently exposing the surface of the carbon coating film to the atmosphere of oxidative combustion.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カーボン被覆光ファイ
バの製造方法、特にカーボン膜の形成法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a carbon-coated optical fiber, and more particularly to a method for forming a carbon film.

【0002】[0002]

【従来技術】石英系光ファイバは、水素に接触すると光
ファイバ内に拡散した水素分子により伝送損失が増大す
る。また、長期間、様々な環境で光ファイバを使用する
ときには、充分な強度や疲労特性が要求される。そこ
で、外部からのH2 OやH2 の侵入を防いで耐水素特性
を向上させ、かつ、強度や疲労特性を向上させるため
に、カーボン膜を被覆したカーボン被覆光ファイバが提
案され、通信線路、光学部品などの分野で使用され始め
ている。従来のカーボン被覆光ファイバの製造方法は、
熱化学的気相成長(CVD)法を用いており、原料ガス
を熱分解させて線引き直後の光ファイバ表面に200〜
1000Åのカーボン膜を形成している。
2. Description of the Related Art When a silica-based optical fiber comes into contact with hydrogen, the transmission loss increases due to hydrogen molecules diffused in the optical fiber. Further, when the optical fiber is used in various environments for a long period of time, sufficient strength and fatigue characteristics are required. Therefore, a carbon-coated optical fiber coated with a carbon film has been proposed in order to prevent the intrusion of H 2 O and H 2 from the outside and improve the hydrogen resistance property and the strength and fatigue properties. , Are beginning to be used in fields such as optical components. A conventional carbon-coated optical fiber manufacturing method is
The thermochemical vapor deposition (CVD) method is used, and the raw material gas is thermally decomposed to 200 to 200 on the surface of the optical fiber immediately after drawing.
A 1000Å carbon film is formed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
カーボン被覆光ファイバの製造方法では、カーボン膜形
成後にその表面に気相中で生成した煤(カーボン粒子)
が堆積したり、粗大な結晶子によって部分的に構成され
たカーボン膜表面が形成されることがある。そうする
と、光ファイバケーブルの製造時におけるガイドローラ
の影響、あるいは、光ファイバケーブル敷設後の振動、
さらには部品に使用される光ファイバの実装加工時に加
わる曲げやしごきにより、煤とカーボン膜が擦れたり、
あるいは、粗大な結晶子の剥離などで、カーボン膜表面
に損傷が生じ、その部分が原因となって、カーボン膜に
亀裂や剥離などの異常部が形成され、カーボン被覆光フ
ァイバの強度や疲労特性が低下するという問題があっ
た。本発明は、粗大な結晶子によるカーボン膜表面の凹
凸や、カーボン膜表面に付着した煤の影響を取り除き、
光ファイバ上に形成されたカーボン膜表面を滑らかにし
て、カーボン被覆光ファイバの機械的信頼性を高めるこ
とを目的とするものである。
However, in the above-mentioned method for producing a carbon-coated optical fiber, the soot (carbon particles) produced in the vapor phase on the surface of the carbon film after it has been formed.
May be deposited or a carbon film surface partially formed by coarse crystallites may be formed. Then, the influence of the guide roller at the time of manufacturing the optical fiber cable, or the vibration after laying the optical fiber cable,
In addition, the soot and carbon film may be rubbed due to bending and ironing applied during mounting processing of the optical fiber used for parts,
Alternatively, the carbon film surface may be damaged due to coarse separation of the crystallites, which causes abnormal parts such as cracks and separation to form in the carbon film, resulting in strength and fatigue characteristics of the carbon-coated optical fiber. There was a problem that it decreased. The present invention, the unevenness of the carbon film surface due to the coarse crystallites, removing the effect of soot attached to the carbon film surface,
The purpose is to smooth the surface of the carbon film formed on the optical fiber to enhance the mechanical reliability of the carbon-coated optical fiber.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決したカーボン被覆光ファイバの製造方法を提供するも
ので、線引き直後の光ファイバ表面に熱CVD法にてカ
ーボン膜を形成した後に、前記光ファイバのカーボン膜
表面温度が所定の酸素雰囲気中でカーボンが酸化燃焼す
る温度である間に、前記カーボン膜表面を前記酸素雰囲
気にさらすことを第1発明とし、光ファイバ表面に熱C
VD法にてカーボン膜を形成した後に、前記カーボン膜
表面をカーボンが酸化燃焼する雰囲気にさらすことを第
2発明とするものである。
The present invention provides a method for producing a carbon-coated optical fiber which solves the above-mentioned problems. After forming a carbon film on the surface of an optical fiber immediately after drawing by a thermal CVD method, The first invention is to expose the carbon film surface to the oxygen atmosphere while the carbon film surface temperature of the optical fiber is a temperature at which carbon oxidizes and burns in a predetermined oxygen atmosphere.
A second invention is to form a carbon film by the VD method and then expose the surface of the carbon film to an atmosphere in which carbon oxidizes and burns.

【0005】[0005]

【作用】上述のように、第1および第2の発明の方法
で、光ファイバ表面に形成されたカーボン膜を処理する
と、カーボン膜はその表面が若干の厚さだけ酸化燃焼す
る。そうすると、カーボン膜表面に付着した煤や、カー
ボン膜自体を構成する粗大な結晶子による表面の凸部分
が燃焼し、付着物がなく清浄で、かつ、表面の凹凸が改
善されたカーボン膜表面が得られる。
As described above, when the carbon film formed on the surface of the optical fiber is treated by the methods of the first and second inventions, the surface of the carbon film is oxidatively burned by a slight thickness. Then, the soot adhering to the surface of the carbon film, or the convex portion of the surface due to the coarse crystallites that compose the carbon film itself burns, and the surface of the carbon film is clean with no deposits and the surface irregularities are improved. can get.

【0006】[0006]

【実施例】以下、図面に示した実施例に基づいて本発明
を詳細に説明する。 実施例1 図1(a)は、本発明にかかるカーボン被覆光ファイバ
の製造方法の一実施例に用いた装置の説明図である。図
中、1は線引き炉、2は熱CVD反応炉、3はガスノズ
ル部、4は光ファイバ母材、5は線引き炉1のヒータ
ー、6はカーボン膜形成用の例えば炭化水素であるアセ
チレンガスやプロパンガスなどの原料ガスを導入する導
入口、7は前記原料ガスの排気口、8は光ファイバの外
径測定器、9は光ファイバの外周に樹脂被覆を施す被覆
ダイス部、10は前記樹脂を硬化する硬化炉、11は被
覆外径測定器、12a、12b、12cは光ファイバ、
13はキャプスタンである。また、図1b、1cに、ガ
スノズル部3の平面図と側面図を示した。3aは酸化燃
焼ガス導入口である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below with reference to the embodiments shown in the drawings. Example 1 FIG. 1A is an explanatory diagram of an apparatus used in an example of a method for producing a carbon-coated optical fiber according to the present invention. In the figure, 1 is a drawing furnace, 2 is a thermal CVD reaction furnace, 3 is a gas nozzle part, 4 is an optical fiber base material, 5 is a heater of the drawing furnace 1, 6 is acetylene gas for forming a carbon film such as acetylene gas, An inlet for introducing a raw material gas such as propane gas, 7 an outlet for the raw material gas, 8 an outer diameter measuring device of an optical fiber, 9 a coating die portion for coating the outer circumference of the optical fiber with a resin, 10 a resin A curing furnace for curing the coating material, 11 a coating outer diameter measuring instrument, 12a, 12b and 12c optical fibers,
13 is a capstan. 1b and 1c show a plan view and a side view of the gas nozzle unit 3. Reference numeral 3a is an oxidative combustion gas inlet.

【0007】上記装置を用いて、コア部にGeO2 がド
ーパントとして添加されたシングルモード光ファイバ母
材4を、線引き炉1でファイバ径が125μmになるよ
うに紡糸して光ファイバ12aとする。次いで、光ファ
イバ12aを線引き炉1の直下に設置された熱CVD反
応炉2に導入し、原料ガス導入口6から導入された、例
えばアセチレンガスを熱分解して光ファイバ12aの表
面にカーボン膜を形成して光ファイバ12bを得る。カ
ーボン膜表面が空気中で酸化燃焼する温度を保持してい
る状態のカーボン膜付き光ファイバ12bをガスノズル
部3に通し、所定量の酸化燃焼ガスを吹きつける。次い
で、光ファイバ12bに被覆ダイス部9で例えば紫外線
硬化性樹脂からなる樹脂被覆を施して、これを硬化炉1
0で硬化せしめて外径を250μmの光ファイバ12c
とし、このようにして得られた光ファイバ12cをキャ
プスタン13を経由して巻き取る。なお、線引き炉温度
は約2000℃であり、紡糸速度は6m/secであ
る。また、ガスノズル部3を上下方向に移動させて様々
なカーボン膜表面温度でカーボン膜を若干の厚さ酸化燃
焼させた。なお、ガスノズル部3より線引き炉方向に5
0mm離れた位置でカーボン膜表面温度を走行型放射温
度計で測定した。
Using the above apparatus, the single mode optical fiber preform 4 having GeO 2 added as a dopant in the core is spun in the drawing furnace 1 to have a fiber diameter of 125 μm to form an optical fiber 12a. Next, the optical fiber 12a is introduced into the thermal CVD reaction furnace 2 installed immediately below the drawing furnace 1, and, for example, acetylene gas introduced from the raw material gas introduction port 6 is thermally decomposed to form a carbon film on the surface of the optical fiber 12a. To form an optical fiber 12b. An optical fiber 12b with a carbon film in a state where the temperature of the surface of the carbon film for oxidative combustion in air is maintained is passed through the gas nozzle section 3, and a predetermined amount of oxidative combustion gas is blown. Next, the optical fiber 12b is coated with a resin die made of, for example, an ultraviolet curable resin at the coating die portion 9, and the resin is coated in the curing furnace 1
Optical fiber 12c with an outer diameter of 250 μm after curing with 0
Then, the optical fiber 12c thus obtained is wound via the capstan 13. The drawing furnace temperature is about 2000 ° C., and the spinning speed is 6 m / sec. Further, the gas nozzle portion 3 was moved in the vertical direction to oxidize and burn the carbon film to some extent at various carbon film surface temperatures. In addition, 5 from the gas nozzle part 3 in the drawing furnace direction.
The surface temperature of the carbon film was measured with a traveling type radiation thermometer at a position separated by 0 mm.

【0008】このようにして得られたカーボン被覆光フ
ァイバに、繰り返し曲げやしごきを加えた後、引張試
験、動疲労試験、高温水素試験を行い、繰り返し曲げや
しごきを加える前後の特性を比較した。カーボン被覆光
ファイバに、繰り返し曲げやしごきを加える方法を図3
により説明する。この方法は、先ず、光ファイバ12c
に約1%の引張り歪みが加わるようにダンサー部36に
錘32で荷重を加える。さらに、外径25mmのマンド
レル33に100ターン巻き付けて、このマンドレルを
2個で1組とし、4組のマンドレル33をそれぞれ光フ
ァイバ断面に対し45度づつ捩じるような位置関係でセ
ットする。こうすると、4組のマンドレル33より、光
ファイバ断面に対して合わせて8方向から繰り返し曲げ
としごきが加わる。また、光ファイバ12cをボビン3
4から繰り出し、ボビン35に巻き取り、その後は、反
対にボビン35から繰り出しボビン34に巻き取り、こ
の操作を繰り返す。光ファイバ12cのボビン34から
の繰り出しと巻き取りで1サイクルとし、500サイク
ル経過後、引張試験、動疲労試験、高温水素試験を行っ
た。なお、マンドレル33には螺旋状の溝が彫ってあ
り、マンドレル33はボビン34からの光ファイバ12
cの繰り出しと巻き取りに同調して軸の回りを回転し、
各組の2個のマンドレル33は相対的に軸方向へも動く
ようになっている。
The carbon-coated optical fiber thus obtained was repeatedly subjected to bending and ironing, and then subjected to a tensile test, a dynamic fatigue test and a high temperature hydrogen test to compare the characteristics before and after the repeated bending and ironing. . Figure 3 shows how to repeatedly bend and iron the carbon-coated optical fiber.
Will be described. In this method, first, the optical fiber 12c
A weight 32 is applied to the dancer portion 36 so that a tensile strain of about 1% is applied to the dancer portion 36. Further, 100 turns are wound around the mandrel 33 having an outer diameter of 25 mm, two mandrels 33 are set as one set, and four sets of the mandrels 33 are set in such a positional relationship that they are twisted by 45 degrees with respect to the cross section of the optical fiber. In this way, four sets of mandrels 33 repeatedly bend and squeeze from eight directions in accordance with the cross section of the optical fiber. In addition, the optical fiber 12c is connected to the bobbin 3
Then, the bobbin 35 is unwound from the bobbin 35 and wound on the bobbin 35, and then the bobbin 35 is unwound and wound on the bobbin 34. The optical fiber 12c was unwound from the bobbin 34 and wound up to form one cycle. After 500 cycles, a tensile test, a dynamic fatigue test and a high temperature hydrogen test were performed. The mandrel 33 is engraved with a spiral groove, and the mandrel 33 is provided with the optical fiber 12 from the bobbin 34.
Rotate around the axis in synchronization with the feeding and winding of c,
The two mandrels 33 of each set are also configured to move relatively in the axial direction.

【0009】カーボン膜表面温度が500〜1200℃
の場合について、試験結果を表1に示す。なお、比較例
として、ガスノズル部3から空気の吹き出しを行わない
で製造したカーボン被覆光ファイバについて試験を行っ
た結果も併せて記した。表1からわかるように、本実施
例は、繰り返し曲げやしごきを加えた後の特性につい
て、比較例よりも引張強度と動疲労係数の低下量が少な
い。なお、ガスノズル部3から吹きつけるガスは、空気
以外のガスであっても、酸素の含有率が10%以上であ
れば、同様の効果が得られる。また、カーボン膜表面温
度が150℃であれば、同様の効果が得られる。さら
に、ガスノズル部3から吹きつけるガスの流量が0.1
l/min以上であれば、本発明の効果が得られるが、
50l/min以上することは、光ファイバの振動など
の問題が起こり、好ましくない。0.5〜5l/min
の範囲のガス流量が好ましく、流量が少ない場合には酸
素含有率を大きくした方がよい。
Carbon film surface temperature is 500 to 1200 ° C.
Table 1 shows the test results for the case. In addition, as a comparative example, the results of the test conducted on the carbon-coated optical fiber manufactured without blowing the air from the gas nozzle portion 3 are also shown. As can be seen from Table 1, this example shows less decrease in tensile strength and dynamic fatigue coefficient than the comparative example in the characteristics after repeated bending and ironing. Even if the gas blown from the gas nozzle unit 3 is a gas other than air, the same effect can be obtained as long as the oxygen content is 10% or more. Further, if the carbon film surface temperature is 150 ° C., the same effect can be obtained. Furthermore, the flow rate of the gas blown from the gas nozzle unit 3 is 0.1.
If it is 1 / min or more, the effect of the present invention can be obtained,
If it is 50 l / min or more, problems such as vibration of the optical fiber may occur, which is not preferable. 0.5-5 l / min
The gas flow rate in the range is preferable, and when the flow rate is low, it is better to increase the oxygen content rate.

【0010】[0010]

【表1】 注)測定条件 引張破断強度:条長 10m、引張伸び速度 5%/min 、サン
プル数 50. 動疲労係数: 条長 40cm 、引張伸び速度 0.5、1.0 、
5.0 、10、50%/min、サンプル数 20. 耐水素性: H2 1atm、80℃、144 時間処理後の1.24
μmにおける伝送ロス増加量.
[Table 1] Note) Measurement conditions Tensile rupture strength: 10 m long, tensile elongation rate 5% / min, number of samples 50. Dynamic fatigue coefficient: 40 cm long elongation, 0.5, 1.0 tensile elongation rate,
5.0, 10,50% / min, sample number 20. proof characteristic: H 2 1atm, 80 ℃, 1.24 after 144 hours
Transmission loss increase in μm.

【0011】実施例2 図2(a)は、本発明にかかるカーボン被覆光ファイバ
の製造方法の他の実施例に用いた装置の説明図である。
コア部にGeO2 がドーパントとして添加されたシング
ルモード光ファイバ母材4を、線引き炉1でファイバ径
が125μmになるように紡糸して光ファイバ12aと
する。次いで、光ファイバ12aを線引き炉1の直下に
設置された熱CVD反応炉2に導入し、アセチレンガス
をガス導入口6から導入して、光ファイバ12aの表面
にカーボン膜を形成し、光ファイバ12bとする。ここ
までは、実施例1と同様である。次いで、反応の余熱を
持った光ファイバ12bを、所定の酸素含有率の酸化燃
焼ガスを所定流量で流した酸化燃焼室部23に通し、カ
ーボン膜表面を平滑にした。以後、光ファイバ12bに
被覆ダイス部9で樹脂被覆を施して外径250μmの光
ファイバ12cとし、樹脂被覆されたこの光ファイバ1
2cをキャプスタン13を経由して巻き取ることも、実
施例1と同様である。また、線引き炉温度は約2000
℃であり、紡糸速度は6m/secである。酸化燃焼室
部23は、図2(b)に示すように、長さ450mmの
円筒状をなしており、酸素含有ガスを下部に設けたガス
導入口23aから導入し、上側に設けたガス排出口23
bから排出する。
Example 2 FIG. 2A is an explanatory view of an apparatus used in another example of the method for producing a carbon-coated optical fiber according to the present invention.
The single mode optical fiber preform 4 having GeO 2 added as a dopant in the core is spun in the drawing furnace 1 to have a fiber diameter of 125 μm to form an optical fiber 12a. Then, the optical fiber 12a is introduced into the thermal CVD reaction furnace 2 installed immediately below the drawing furnace 1, and acetylene gas is introduced through the gas introduction port 6 to form a carbon film on the surface of the optical fiber 12a. 12b. Up to this point, the procedure is the same as in the first embodiment. Next, the optical fiber 12b having residual heat of reaction was passed through the oxidation combustion chamber portion 23 in which the oxidation combustion gas having a predetermined oxygen content rate was flowed at a predetermined flow rate to make the surface of the carbon film smooth. Thereafter, the optical fiber 12b is coated with a resin at the coating die portion 9 to form an optical fiber 12c having an outer diameter of 250 μm.
Winding 2c through the capstan 13 is also the same as in the first embodiment. The drawing furnace temperature is about 2000.
C. and the spinning speed is 6 m / sec. As shown in FIG. 2 (b), the oxidation combustion chamber section 23 has a cylindrical shape with a length of 450 mm, and the oxygen-containing gas is introduced from the gas introduction port 23 a provided in the lower part, and the gas exhaust gas provided in the upper part. Exit 23
Discharge from b.

【0012】このようにして得られたカーボン被覆光フ
ァイバに、実施例1と同様の繰り返し曲げやしごきを加
えた後、引張試験、動疲労試験、高温水素試験を行い、
繰り返し曲げしごきを加える前後の特性を比較した。酸
化燃焼ガスの酸素含有率を20〜50%の範囲で変化さ
せた場合について、試験結果を表2に示す。なお、比較
例として、酸化燃焼室部にHeガスを流して製造したカ
ーボン被覆光ファイバについて試験を行った結果も併せ
て記した。表2からわかるように、本実施例は、繰り返
し曲げしごき後の特性を、曲げやしごきを行わない場合
と比較すると、比較例よりも引張強度と動疲労係数の低
下が少ない。なお、上記実施例2a、2b、2cに限定
されず、カーボン膜表面を若干の厚さ酸化燃焼させるた
めに、酸化燃焼室に流すガスのガス流量、酸素含有率、
反応時間は、カーボン膜表面温度により適切に設定する
ことは言うまでもない。カーボン膜表面温度が低けれ
ば、酸素含有率を高くする必要があり、また、カーボン
膜表面温度が高い場合には、酸素含有率の高いガスを流
すと、カーボン膜のかなりの量を酸化燃焼させてしまう
ので、酸素含有率を高くしすぎないようにする。また前
記実施例では、光ファイバ表面にカーボン膜を形成後、
連続してこの光ファイバを酸化燃焼雰囲気にさらしてい
るが、カーボン膜を形成した光ファイバに樹脂被覆を施
すことなく巻き取り、別工程で酸化燃焼雰囲気にさらし
ても同様な効果を得ることができる。
The carbon-coated optical fiber thus obtained was repeatedly bent and ironed as in Example 1, and then subjected to a tensile test, a dynamic fatigue test and a high temperature hydrogen test.
The characteristics before and after repeated bending and ironing were compared. Table 2 shows the test results when the oxygen content of the oxidizing combustion gas was changed in the range of 20 to 50%. As a comparative example, the results of the tests conducted on the carbon-coated optical fiber manufactured by flowing He gas into the oxidizing combustion chamber are also shown. As can be seen from Table 2, in the present example, when the characteristics after repeated bending and ironing are compared with those in the case where bending and ironing are not performed, the tensile strength and the dynamic fatigue coefficient are less decreased than in the comparative example. Note that the present invention is not limited to the above Examples 2a, 2b, and 2c, and in order to oxidize and burn the carbon film surface to a slight thickness, the gas flow rate of the gas flowing into the oxidative combustion chamber, the oxygen content rate,
It goes without saying that the reaction time is appropriately set depending on the surface temperature of the carbon film. If the carbon film surface temperature is low, it is necessary to increase the oxygen content rate.If the carbon film surface temperature is high, flowing a gas with a high oxygen content rate causes a considerable amount of the carbon film to oxidize and burn. Therefore, do not set the oxygen content too high. Further, in the above embodiment, after forming a carbon film on the surface of the optical fiber,
Although this optical fiber is continuously exposed to the oxidizing combustion atmosphere, the same effect can be obtained even if the optical fiber with the carbon film is wound up without resin coating and exposed to the oxidizing combustion atmosphere in another process. it can.

【0012】[0012]

【表2】 注)測定条件は、表1の場合と同一である。[Table 2] Note) The measurement conditions are the same as in Table 1.

【0013】[0013]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、線
引き直後の光ファイバ表面に熱CVD法にてカーボン膜
を形成した後に、前記光ファイバのカーボン膜表面温度
が所定の酸素雰囲気中でカーボンが酸化燃焼する温度で
ある間に、前記カーボン膜表面を前記酸素雰囲気にさら
し、あるいは、光ファイバ表面に熱CVD法にてカーボ
ン膜を形成した後に、前記カーボン膜表面をカーボンが
酸化燃焼する雰囲気にさらすため、付着物がなく清浄
で、かつ、表面の滑らかなカーボン膜が得られるので、
機械的強度や疲労特性が長期間、長手方向に安定し、か
つ優れたカーボン被覆光ファイバを製造することができ
るという著しい効果がある。
As described above, according to the present invention, after the carbon film is formed on the surface of the optical fiber immediately after drawing by the thermal CVD method, the surface temperature of the carbon film of the optical fiber is kept in a predetermined oxygen atmosphere. The carbon film surface is exposed to the oxygen atmosphere while the carbon is at a temperature for oxidative combustion, or after the carbon film is formed on the optical fiber surface by the thermal CVD method, the carbon film surface is oxidatively burned. Since it is exposed to the atmosphere, it is possible to obtain a carbon film that is clean and has a smooth surface with no deposits.
There is a remarkable effect that the mechanical strength and fatigue characteristics are stable in the longitudinal direction for a long period of time and an excellent carbon-coated optical fiber can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)、(b)、(c)は、それぞれ本発明に
係るカーボン被覆光ファイバの製造方法の一実施例の説
明図、本実施例に用いたガスノズル部の平面図および側
面図である。
1 (a), (b), and (c) are explanatory views of one embodiment of a method for producing a carbon-coated optical fiber according to the present invention, a plan view and a side view of a gas nozzle portion used in this embodiment, respectively. It is a figure.

【図2】(a)、(b)は、それぞれ他の実施例の説明
図および酸化燃焼室部の断面図である。
2 (a) and 2 (b) are an explanatory view of another embodiment and a sectional view of an oxidation combustion chamber portion, respectively.

【図3】光ファイバに繰り返し曲げやしごきを加える方
法の説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of a method of repeatedly bending and ironing an optical fiber.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 線引き炉 2 熱CVD反応炉 3 ガスノズル部 3a、23a ガス導入口 4 光ファイバ母材 5 ヒーター 6 導入口 7 排気口 8 外径測定器 9 被覆ダイス部 10 硬化炉 11 被覆外径測定器 12a、12b、12c 光ファイバ 13 キャプスタン 23 酸化燃焼室部 23b ガス排出口 32 錘 33 マンドレル 34、35 ボビン 36 ダンサー部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Drawing furnace 2 Thermal CVD reaction furnace 3 Gas nozzle part 3a, 23a Gas inlet port 4 Optical fiber preform 5 Heater 6 Introducing port 7 Exhaust port 8 Outer diameter measuring instrument 9 Coating die part 10 Curing furnace 11 Coating outer diameter measuring instrument 12a, 12b, 12c Optical fiber 13 Capstan 23 Oxidizing combustion chamber part 23b Gas discharge port 32 Weight 33 Mandrel 34, 35 Bobbin 36 Dancer part

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 線引き直後の光ファイバ表面に熱CVD
法にてカーボン膜を形成した後に、前記光ファイバのカ
ーボン膜表面温度が所定の酸素雰囲気中でカーボンが酸
化燃焼する温度である間に、前記カーボン膜表面を前記
酸素雰囲気にさらすことを特徴とするカーボン被覆光フ
ァイバの製造方法。
1. Thermal CVD on the surface of an optical fiber immediately after drawing
After forming a carbon film by a method, the carbon film surface is exposed to the oxygen atmosphere while the carbon film surface temperature of the optical fiber is a temperature at which carbon oxidizes and burns in a predetermined oxygen atmosphere. Method for producing carbon-coated optical fiber.
【請求項2】 光ファイバ表面に熱CVD法にてカーボ
ン膜を形成した後に、前記カーボン膜表面をカーボンが
酸化燃焼する雰囲気にさらすことを特徴とするカーボン
被覆光ファイバの製造方法。
2. A method for producing a carbon-coated optical fiber, which comprises forming a carbon film on a surface of an optical fiber by a thermal CVD method and then exposing the surface of the carbon film to an atmosphere in which carbon is oxidized and burned.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114966952A (en) * 2022-06-21 2022-08-30 广东工业大学 Preparation method of long-period fiber grating

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