JPH10226541A - Production of carbon coated optical fiber - Google Patents
Production of carbon coated optical fiberInfo
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- JPH10226541A JPH10226541A JP9026604A JP2660497A JPH10226541A JP H10226541 A JPH10226541 A JP H10226541A JP 9026604 A JP9026604 A JP 9026604A JP 2660497 A JP2660497 A JP 2660497A JP H10226541 A JPH10226541 A JP H10226541A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C25/00—Surface treatment of fibres or filaments made from glass, minerals or slags
- C03C25/10—Coating
- C03C25/12—General methods of coating; Devices therefor
- C03C25/22—Deposition from the vapour phase
- C03C25/223—Deposition from the vapour phase by chemical vapour deposition or pyrolysis
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、カーボン被覆光フ
ァイバの製造装置に関するもので、更に詳しくは裸光フ
ァイバの周囲に均質な厚さのカーボン膜を形成する装置
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for producing a carbon-coated optical fiber, and more particularly to an apparatus for forming a carbon film having a uniform thickness around a bare optical fiber.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ハーメチック被覆光ファイバの製造方法
としては、線引直後の光ファイバの表面に熱ＣＶＤ法を
用いて２００〜１０００Åの無機材料層を生成するもの
が一般的である。このような方法で製造されるハーメチ
ックの無機材料層としては、カーボン膜及びカーボン化
合物膜がよく知られいる。特にカーボン膜はＨ2 の侵入
をほぼ完全に防ぐため、光ファイバの表面にカーボン膜
を設けると光ファイバの耐水素特性は著しく改善され
る。同時に、カーボン膜はＨ2 Ｏの侵入を防ぐので、石
英ガラスに見られるＨ2 Ｏに起因する応力腐食が起こら
ず、当然疲労特性も著しく改善される。更に初期強度も
通常の光ファイバと同等あるいはそれ以上であるカーボ
ン被覆光ファイバが製造可能となっており、現在通信線
路、光学部品等の分野で使われ始めている。2. Description of the Related Art As a method for producing a hermetic-coated optical fiber, an inorganic material layer of 200 to 1000 ° is generally formed on the surface of an optical fiber immediately after drawing by using a thermal CVD method. As the hermetic inorganic material layer manufactured by such a method, a carbon film and a carbon compound film are well known. In particular, since the carbon film almost completely prevents H 2 from entering, the provision of the carbon film on the surface of the optical fiber significantly improves the hydrogen resistance of the optical fiber. At the same time, since the carbon film prevents H 2 O from entering, stress corrosion due to H 2 O found in quartz glass does not occur, and naturally, fatigue characteristics are significantly improved. Further, a carbon-coated optical fiber having an initial strength equal to or higher than that of a normal optical fiber can be manufactured, and is now beginning to be used in fields such as communication lines and optical components.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来のカーボン被覆光
ファイバは、線引直後に光ファイバ自身が持っている余
熱を熱源として熱ＣＶＤ法によって炭化水素とハロゲン
からなる原料ガスを熱分解させ、石英ガラス製光ファイ
バのクラッド上にカーボン膜を形成することにより製造
されている。しかしながらこの方法では、光ファイバ
自身の持っている余熱が有限であること、光ファイバ
の熱ＣＶＤ炉中の移動が高速であること、光ファイバ
の表面温度が線引方向で変化していること等により長手
方向に対して均質なカーボン膜を形成することが困難で
あった。これを解決するために、熱ＣＶＤ炉中でプラズ
マや火炎等を使用する方法等が提案されているが、十分
に実用に供する品質性能が得られていないこと、装置が
大がかりになること等の欠点があった。A conventional carbon-coated optical fiber uses a residual heat of the optical fiber itself as a heat source immediately after drawing to thermally decompose a raw material gas consisting of hydrocarbons and halogens by a thermal CVD method to produce quartz. It is manufactured by forming a carbon film on the cladding of a glass optical fiber. However, in this method, the residual heat of the optical fiber itself is finite, the optical fiber moves at high speed in the thermal CVD furnace, the surface temperature of the optical fiber changes in the drawing direction, and the like. Therefore, it was difficult to form a uniform carbon film in the longitudinal direction. In order to solve this, a method using plasma, flame, or the like in a thermal CVD furnace has been proposed, but the quality performance that can be sufficiently provided for practical use has not been obtained, and the apparatus becomes large-scale. There were drawbacks.
【０００４】本発明は上記の課題を解決し、光ファイバ
の周囲に均質な厚さのカーボン膜を簡単に形成すること
ができるカーボン被覆光ファイバの製造装置を提供する
ことを目的とするものである。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide an apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber capable of easily forming a carbon film having a uniform thickness around an optical fiber. is there.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するために以下のような手段を有している。The present invention has the following means to solve the above problems.
【０００６】本発明のうち請求項１のカーボン被覆光フ
ァイバの製造装置は、線引後の光ファイバを熱ＣＶＤ反
応炉を備えたカーボン膜被覆装置を通過させて前記光フ
ァイバの表面にカーボン膜を形成するカーボン被覆光フ
ァイバの製造装置において、前記熱ＣＶＤ反応炉内には
高周波誘導コイルが配置されていて、該高周波誘導コイ
ル中を通過する前記光ファイバの表面に形成中のカーボ
ン膜に誘導電流を流し、前記形成中のカーボン膜を加熱
してカーボン膜の形成を促進することを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided an apparatus for producing a carbon-coated optical fiber, wherein the drawn optical fiber is passed through a carbon-film coating apparatus provided with a thermal CVD reactor to form a carbon film on the surface of the optical fiber. In the apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber, a high-frequency induction coil is disposed in the thermal CVD reactor, and is guided to a carbon film being formed on the surface of the optical fiber passing through the high-frequency induction coil. The method is characterized in that a current is passed to heat the carbon film being formed, thereby promoting the formation of the carbon film.
【０００７】本発明のうち請求項２のカーボン被覆光フ
ァイバの製造装置は、高周波誘導コイルは内部に冷却剤
が循環するパイプで構成されていることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, in the apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber, the high-frequency induction coil comprises a pipe in which a coolant circulates.
【０００８】本発明のうち請求項３のカーボン被覆光フ
ァイバの製造装置は、高周波誘導コイル中を通過する光
ファイバの表面温度により高周波誘導コイルの誘導電流
の大きさを制御することを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, there is provided an apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber, wherein the magnitude of the induced current of the high-frequency induction coil is controlled by the surface temperature of the optical fiber passing through the high-frequency induction coil. .
【０００９】本発明のうち請求項４のカーボン被覆光フ
ァイバの製造装置は、高周波誘導コイルの表面にハロゲ
ンに対して安定な物質がコーティングされていることを
特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, in the apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber, the surface of the high-frequency induction coil is coated with a halogen-stable substance.
【００１０】本発明の請求項１のカーボン被覆光ファイ
バの製造装置によれば、高周波誘導コイル中を通過する
光ファイバの表面に形成中のカーボン膜に誘導電流を流
して形成中のカーボン膜を加熱するので、光ファイバ
自身の持っている余熱が有限であっても、光ファイバ
熱ＣＶＤ炉中の移動が高速であっても、光ファイバの
表面温度が線引方向で変化していても、誘導電流を制御
することによって光ファイバの表面を所定の温度に加熱
することができる。その結果、光ファイバ表面の円周方
向にも、長手方向にもきわめて均質なカーボン膜を形成
することができる。According to the apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber according to the first aspect of the present invention, an induced current is applied to the carbon film being formed on the surface of the optical fiber passing through the high-frequency induction coil, thereby forming the carbon film being formed. Because heating, even if the residual heat of the optical fiber itself is finite, even if the movement in the optical fiber thermal CVD furnace is fast, even if the surface temperature of the optical fiber is changing in the drawing direction, By controlling the induced current, the surface of the optical fiber can be heated to a predetermined temperature. As a result, a very uniform carbon film can be formed both in the circumferential direction and in the longitudinal direction on the surface of the optical fiber.
【００１１】すなわち、高周波誘導コイルによる誘導電
流はカーボン膜内を円周方向に流れるため、仮にカーボ
ン膜において厚さの薄い部分が発生した場合でも、厚さ
の薄い部分は他の厚さの厚い部分より高温になり、厚さ
の薄い部分ほどカーボン膜の形成が促進されるので均質
なカーボン膜が形成される。また、熱ＣＶＤ反応炉内に
高周波誘導コイルを配置しても熱ＣＶＤ反応炉構造が特
別に複雑になることもなく、また大がかりな熱ＣＶＤ反
応炉となることもない。That is, since the induction current by the high-frequency induction coil flows in the circumferential direction in the carbon film, even if a thin portion occurs in the carbon film, the thin portion is replaced by another thick portion. The temperature becomes higher than that of the portion, and the thinner portion promotes the formation of the carbon film, so that a uniform carbon film is formed. Further, even if the high-frequency induction coil is disposed in the thermal CVD reactor, the structure of the thermal CVD reactor does not become particularly complicated, and the thermal CVD reactor does not become large.
【００１２】本発明の請求項２のカーボン被覆光ファイ
バの製造装置によれば、高周波誘導コイルは内部に冷却
剤が潤滑するパイプで構成されており、高周波誘導コイ
ルの表面は加熱されにくくなっているので、高周波誘導
コイルの表面のカーボン膜形成は抑制される。According to the second aspect of the present invention, the high-frequency induction coil is formed of a pipe in which a coolant is lubricated, and the surface of the high-frequency induction coil is hardly heated. Therefore, formation of a carbon film on the surface of the high-frequency induction coil is suppressed.
【００１３】本発明の請求項３のカーボン被覆光ファイ
バの製造装置によれば、高周波誘導コイル中を通過する
光ファイバの表面温度により高周波誘導コイルの誘導電
流の大きさを制御するので、カーボン膜の厚みをより正
確に制御することができる。According to the third aspect of the present invention, since the magnitude of the induced current of the high-frequency induction coil is controlled by the surface temperature of the optical fiber passing through the high-frequency induction coil, the carbon film is formed. Can be more accurately controlled.
【００１４】本発明の請求項４のカーボン被覆光ファイ
バの製造装置によれば、高周波誘導コイルの表面にハロ
ゲンに対して安定な物質がコーティングされているの
で、高周波誘導コイル表面のカーボン膜の形成が抑制さ
れる。According to the apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber according to the fourth aspect of the present invention, since the surface of the high-frequency induction coil is coated with a material that is stable against halogen, the formation of the carbon film on the surface of the high-frequency induction coil Is suppressed.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下に本発明のカーボン被覆光フ
ァイバの製造装置の実施の形態について図１および図２
を参照してより詳細に説明する。図１は本発明のカーボ
ン被覆光ファイバの製造装置全体の概要を示す説明図で
ある。図１において、１は光ファイバ母材、２はヒータ
ー、３は線引炉、４は光ファイバ、５は熱ＣＶＤ炉から
なるカーボン膜被覆装置である。カーボン膜被覆装置５
は、原料ガス供給口６、ガス排気口７および本発明の特
徴である高周波誘導コイル８を備えている。高周波誘導
コイル８はその中心に光ファイバ４を通過させるように
カーボン膜被覆装置５内に配置されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber of the present invention will be described below with reference to FIGS.
This will be described in more detail with reference to FIG. FIG. 1 is an explanatory view showing an outline of an entire apparatus for producing a carbon-coated optical fiber of the present invention. In FIG. 1, 1 is an optical fiber preform, 2 is a heater, 3 is a drawing furnace, 4 is an optical fiber, and 5 is a carbon film coating apparatus composed of a thermal CVD furnace. Carbon film coating device 5
Has a source gas supply port 6, a gas exhaust port 7, and a high-frequency induction coil 8 which is a feature of the present invention. The high-frequency induction coil 8 is disposed in the carbon film coating apparatus 5 so that the optical fiber 4 passes through the center thereof.
【００１６】高周波誘導コイル８は図２に示すように、
例えば内径６ｍｍφの中空の銅パイプで構成されたもの
で、その表面にはハロゲンに対して安定な物質である、
例えばセラミック（例えば２酸化ケイ素等）がコーティ
ングされていて、そのパイプ内部に水等の冷却媒体を循
環させるようになっている。上述のように構成されたカ
ーボン被覆光ファイバの製造装置で、カーボン被覆光フ
ァイバは以下のようにして製造される。シングルモード
光ファイバ用母材１をヒーター２を内包する線引炉３で
外径１２５μｍの光ファイバ４に線引きする。この線引
き直後の光ファイバ４を線引炉３の下方に設置された熱
ＣＶＤ炉からなるカーボン膜被覆装置５に導入する。こ
のカーボン膜被覆装置５内には原料ガス供給口６より炭
化水素とハロゲンからなる原料ガスが供給され、この原
料ガスの熱分解により線引き直後の光ファイバ４の表面
にカーボン膜Ｃを形成する。The high frequency induction coil 8 is, as shown in FIG.
For example, it is made of a hollow copper pipe with an inner diameter of 6 mmφ, and its surface is a substance that is stable against halogen.
For example, ceramic (for example, silicon dioxide) is coated, and a cooling medium such as water is circulated inside the pipe. With the apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber configured as described above, the carbon-coated optical fiber is manufactured as follows. A single mode optical fiber preform 1 is drawn into an optical fiber 4 having an outer diameter of 125 μm by a drawing furnace 3 containing a heater 2. The optical fiber 4 immediately after drawing is introduced into a carbon film coating apparatus 5 composed of a thermal CVD furnace installed below the drawing furnace 3. A raw material gas composed of hydrocarbon and halogen is supplied into the carbon film coating apparatus 5 from a raw material gas supply port 6, and a carbon film C is formed on the surface of the optical fiber 4 immediately after drawing by thermal decomposition of the raw material gas.
【００１７】また、光ファイバ４上に形成されたカーボ
ン膜Ｃにはカーボン膜被覆装置５内に配置された高周波
誘導コイル８の中心を通過する際に誘導電流が発生し、
この誘導電流によりカーボン膜Ｃは発熱する。このカー
ボン膜Ｃの発熱に伴いカーボン膜Ｃ周辺の原料ガスが熱
分解されてカーボン膜Ｃの形成が促進され十分な膜厚及
び良質な膜質のカーボン膜Ｃがより確実かつ均一に生成
される。この結果、カーボン膜Ｃの強度及びハーメチッ
ク特性が向上したカーボン被覆光ファイバ９が得られ
る。上記のようにして得られたカーボン被覆光ファイバ
９は、しかる後その表面にＵＶ樹脂を施すダイス１０に
導かれて、ＵＶ樹脂が塗布され、その後ＵＶ灯を有する
硬化装置１１においてＵＶ樹脂が硬化される。カーボン
膜Ｃ及びＵＶ樹脂被覆を施された光ファイバ心線は引取
機により引き取られ図示しない巻取機に巻き取られる。
なお、図１において符号１２は外径測定器である。Further, an induced current is generated in the carbon film C formed on the optical fiber 4 when passing through the center of the high-frequency induction coil 8 arranged in the carbon film coating device 5,
The carbon film C generates heat due to the induced current. The raw material gas around the carbon film C is thermally decomposed due to the heat generation of the carbon film C, and the formation of the carbon film C is promoted, so that the carbon film C having a sufficient film thickness and good quality is more reliably and uniformly generated. As a result, a carbon-coated optical fiber 9 in which the strength and hermetic properties of the carbon film C are improved is obtained. The carbon-coated optical fiber 9 obtained as described above is guided to a die 10 for applying a UV resin to the surface thereof, where the UV resin is applied. Thereafter, the UV resin is cured in a curing device 11 having a UV lamp. Is done. The carbon fiber C and the optical fiber core coated with the UV resin are taken by a take-up machine and taken up by a take-up machine (not shown).
In FIG. 1, reference numeral 12 denotes an outer diameter measuring device.
【００１８】[0018]
【発明の効果】以上述べたように、本発明のうち請求項
１のカーボン被覆光ファイバの製造装置によれば、高周
波誘導コイル中を通過する光ファイバの表面に形成中の
カーボン膜に誘導電流を流して形成中のカーボン膜を加
熱するので、光ファイバ自身の持っている余熱が有限
であっても、光ファイバ熱ＣＶＤ炉中の移動が高速で
あっても、光ファイバの表面温度が線引方向で変化し
ていても、誘導電流を制御することによって光ファイバ
の表面を所定の温度に加熱することができる。その結
果、光ファイバ表面の円周方向にも、長手方向にもきわ
めて均質なカーボン膜を形成することができる。As described above, according to the apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber according to the first aspect of the present invention, the induced current is applied to the carbon film being formed on the surface of the optical fiber passing through the high-frequency induction coil. To heat the carbon film being formed, so that the surface temperature of the optical fiber is linear even if the residual heat of the optical fiber itself is finite or the optical fiber moves at a high speed in a thermal CVD furnace. Even if it changes in the pulling direction, the surface of the optical fiber can be heated to a predetermined temperature by controlling the induced current. As a result, a very uniform carbon film can be formed both in the circumferential direction and in the longitudinal direction on the surface of the optical fiber.
【００１９】すなわち、高周波誘導コイルによる誘導電
流はカーボン膜内を円周方向に流れるため、仮にカーボ
ン膜において厚さの薄い部分が発生した場合でも、厚さ
の薄い部分は他の厚さの厚い部分より高温になり、厚さ
の薄い部分ほどカーボン膜の形成が促進されるので均質
なカーボン膜が形成される。また、熱ＣＶＤ反応炉内に
高周波誘導コイルを配置しても熱ＣＶＤ反応炉構造が特
別に複雑になることもなく、また大がかりな熱ＣＶＤ反
応炉となることもない。That is, since the induction current by the high-frequency induction coil flows in the carbon film in the circumferential direction, even if a thin portion occurs in the carbon film, the thin portion is replaced by another thick portion. The temperature becomes higher than that of the portion, and the thinner portion promotes the formation of the carbon film, so that a uniform carbon film is formed. Further, even if the high-frequency induction coil is disposed in the thermal CVD reactor, the structure of the thermal CVD reactor does not become particularly complicated, and the thermal CVD reactor does not become large.
【００２０】本発明の請求項２のカーボン被覆光ファイ
バの製造装置によれば、高周波誘導コイルは内部に冷却
剤が潤滑するパイプで構成されており、高周波誘導コイ
ルの表面は加熱されにくくなっているので、高周波誘導
コイルの表面のカーボン膜形成は抑制される。According to the apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber according to the second aspect of the present invention, the high-frequency induction coil comprises a pipe in which a coolant is lubricated, and the surface of the high-frequency induction coil is hardly heated. Therefore, formation of a carbon film on the surface of the high-frequency induction coil is suppressed.
【００２１】本発明の請求項３のカーボン被覆光ファイ
バの製造装置によれば、高周波誘導コイル中を通過する
光ファイバの表面温度により高周波誘導コイルの誘導電
流の大きさを制御するので、カーボン膜の厚みをより正
確に制御することができる。According to the third aspect of the present invention, the magnitude of the induced current of the high-frequency induction coil is controlled by the surface temperature of the optical fiber passing through the high-frequency induction coil. Can be more accurately controlled.
【００２２】本発明の請求項４のカーボン被覆光ファイ
バの製造装置によれば、高周波誘導コイルの表面にハロ
ゲンに対して安定な物質がコーティングされているの
で、高周波誘導コイル表面のカーボン膜の形成が抑制さ
れる。According to the apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber according to the fourth aspect of the present invention, since the surface of the high-frequency induction coil is coated with a material stable against halogen, the formation of the carbon film on the surface of the high-frequency induction coil Is suppressed.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本発明のカーボン被覆光ファイバの製造装置の
一実施の形態を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing one embodiment of a manufacturing apparatus of a carbon-coated optical fiber of the present invention.
【図２】図１のカーボン被覆光ファイバの製造装置の主
要部の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a main part of the apparatus for manufacturing the carbon-coated optical fiber of FIG.
１ 光ファイバ用母材 ２ ヒータ ３ 線引炉 ４ 光ファイバ ５ カーボン膜被覆装置 ８ 高周波誘導コイル ９ カーボン被覆光ファイバ Ｃ カーボン膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Preform for optical fibers 2 Heater 3 Drawing furnace 4 Optical fiber 5 Carbon film coating device 8 High frequency induction coil 9 Carbon coated optical fiber C Carbon film
Claims (4)
備えたカーボン膜被覆装置を通過させて前記光ファイバ
の表面にカーボン膜を形成するカーボン被覆光ファイバ
の製造装置において、前記熱ＣＶＤ反応炉内には高周波
誘導コイルが配置されていて、該高周波誘導コイル中を
通過する前記光ファイバの表面に形成中のカーボン膜に
誘導電流を流し、前記形成中のカーボン膜を加熱してカ
ーボン膜の形成を促進することを特徴とするカーボン被
覆光ファイバの製造装置。1. An apparatus for manufacturing a carbon-coated optical fiber, wherein the drawn optical fiber is passed through a carbon-film coating apparatus provided with a thermal CVD reactor to form a carbon film on the surface of the optical fiber. A high-frequency induction coil is disposed in the reaction furnace, and an induction current is applied to a carbon film being formed on the surface of the optical fiber passing through the high-frequency induction coil, and the carbon film being formed is heated so that the carbon film is heated. An apparatus for producing a carbon-coated optical fiber, characterized by promoting the formation of a film.
するパイプで構成されていることを特徴とする請求項１
記載のカーボン被覆光ファイバの製造装置。2. The high-frequency induction coil comprises a pipe in which a coolant circulates.
An apparatus for producing a carbon-coated optical fiber according to the above.
バの表面温度により高周波誘導コイルの誘導電流の大き
さを制御することを特徴とする請求項１または請求項２
記載のカーボン被覆光ファイバの製造装置。3. The high-frequency induction coil according to claim 1, wherein the magnitude of the induced current of the high-frequency induction coil is controlled by the surface temperature of the optical fiber passing through the high-frequency induction coil.
An apparatus for producing a carbon-coated optical fiber according to the above.
して安定な物質がコーティングされていることを特徴と
する請求項１ないし請求項３記載のカーボン被覆光ファ
イバの製造装置。4. The apparatus for producing a carbon-coated optical fiber according to claim 1, wherein the surface of the high-frequency induction coil is coated with a material stable to halogen.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9026604A JPH10226541A (en) | 1997-02-10 | 1997-02-10 | Production of carbon coated optical fiber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9026604A JPH10226541A (en) | 1997-02-10 | 1997-02-10 | Production of carbon coated optical fiber |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10226541A true JPH10226541A (en) | 1998-08-25 |
Family
ID=12198124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9026604A Pending JPH10226541A (en) | 1997-02-10 | 1997-02-10 | Production of carbon coated optical fiber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10226541A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008028231A (en) * | 2006-07-24 | 2008-02-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Apparatus and method for forming semiconductor film and line body formed with semiconductor film |
| JP2014033186A (en) * | 2012-07-09 | 2014-02-20 | Tokyo Electron Ltd | Carbon film deposition method and deposition device |
-
1997
- 1997-02-10 JP JP9026604A patent/JPH10226541A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008028231A (en) * | 2006-07-24 | 2008-02-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Apparatus and method for forming semiconductor film and line body formed with semiconductor film |
| JP2014033186A (en) * | 2012-07-09 | 2014-02-20 | Tokyo Electron Ltd | Carbon film deposition method and deposition device |
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