JPH07164311A - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents
研磨装置及び研磨方法Info
- Publication number
- JPH07164311A JPH07164311A JP30760893A JP30760893A JPH07164311A JP H07164311 A JPH07164311 A JP H07164311A JP 30760893 A JP30760893 A JP 30760893A JP 30760893 A JP30760893 A JP 30760893A JP H07164311 A JPH07164311 A JP H07164311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- plate
- holder
- rotary table
- holding jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 加工中保治具を支持する回転支持ホルダーの
角度調整を、それを固定している支持アーム軸にウォー
ム、ウォームギヤを配して回転を容易にし、かつ回転支
持ホルダに研磨液滴下ノズルを配して保治具上方に設け
られた回転計の保治具の回転数の値によりノズルより研
磨液を滴下する。 【効果】 回転支持ホルダと保治具の当たり角度を調整
により、加工を継続しながら作業者に負担をかけること
なく行え、研磨液の滴下を自動化したため、作業効率の
改善に寄与し、常に安定した加工を実現できる。
角度調整を、それを固定している支持アーム軸にウォー
ム、ウォームギヤを配して回転を容易にし、かつ回転支
持ホルダに研磨液滴下ノズルを配して保治具上方に設け
られた回転計の保治具の回転数の値によりノズルより研
磨液を滴下する。 【効果】 回転支持ホルダと保治具の当たり角度を調整
により、加工を継続しながら作業者に負担をかけること
なく行え、研磨液の滴下を自動化したため、作業効率の
改善に寄与し、常に安定した加工を実現できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は金属材料からなる板状体
を研磨する研磨装置及びその加工方法に関するものであ
る。
を研磨する研磨装置及びその加工方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の研磨装置で板状体の研磨を行う場
合には、被研磨板を保治具５４に装着した後、図４に示
す研磨装置５１の回転テーブル５２上に貼りつけてある
研磨シート５３上に被研磨板の加工面が研磨シート５３
に接する状態で、保治具５４をおき、回転テーブル５４
を回転させ、作業者が研磨状態を確認、その都度研磨液
を研磨シート５３の上に滴下させながら研磨を行ってい
た。 本加工法で安定した研磨加工を行うためには、保治具に
対する回転支持ホルダーの角度微調整が必要でかつ研磨
加工を行いながら調整作業するほうが適性な当たり角度
を見いだしやすいが、手動のため微調整にてまどり、ま
た加工しながらの調整は極めて危険なため回転テーブル
を停止させ、一定の目安で、研磨シートの濡れ状態及び
保治具の回転状態に対応する研磨液の滴下等を敏速に行
わなくてはならない。保治具に対する回転支持ホルダー
の角度調整が不適切であれば研磨効率が低下し、研磨液
の補給が多すぎても、少なすぎても円滑な研磨加工はで
きない。このため安定した研磨を行うためには一定の熟
練が必要であった。
合には、被研磨板を保治具５４に装着した後、図４に示
す研磨装置５１の回転テーブル５２上に貼りつけてある
研磨シート５３上に被研磨板の加工面が研磨シート５３
に接する状態で、保治具５４をおき、回転テーブル５４
を回転させ、作業者が研磨状態を確認、その都度研磨液
を研磨シート５３の上に滴下させながら研磨を行ってい
た。 本加工法で安定した研磨加工を行うためには、保治具に
対する回転支持ホルダーの角度微調整が必要でかつ研磨
加工を行いながら調整作業するほうが適性な当たり角度
を見いだしやすいが、手動のため微調整にてまどり、ま
た加工しながらの調整は極めて危険なため回転テーブル
を停止させ、一定の目安で、研磨シートの濡れ状態及び
保治具の回転状態に対応する研磨液の滴下等を敏速に行
わなくてはならない。保治具に対する回転支持ホルダー
の角度調整が不適切であれば研磨効率が低下し、研磨液
の補給が多すぎても、少なすぎても円滑な研磨加工はで
きない。このため安定した研磨を行うためには一定の熟
練が必要であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように、上記従来
の研磨装置において、研磨加工を円滑に行うには作業者
の熟練度が必要であり、また作業者が変わるごとに、そ
の加工仕上がり状態、加工時間も異なることが多かっ
た。
の研磨装置において、研磨加工を円滑に行うには作業者
の熟練度が必要であり、また作業者が変わるごとに、そ
の加工仕上がり状態、加工時間も異なることが多かっ
た。
【０００４】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、保治具を支持する回転支持ホルダー、及び回転支持
ホルダーを固定する支持アームに工夫を加え常に安定し
た研磨加工をを保証する研磨装置、及びその加工法を提
供することにある。
で、保治具を支持する回転支持ホルダー、及び回転支持
ホルダーを固定する支持アームに工夫を加え常に安定し
た研磨加工をを保証する研磨装置、及びその加工法を提
供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたもので、板状体からなる被研磨板の
面を研磨する研磨装置において、研磨シートを貼った回
転テーブルと、被研磨板を保持し回転テーブル上で回転
する保治具と、保治具を両端に設けられたカムフォロア
ーで回転可能に支持する回転支持ホルダーと、回転支持
ホルダーを固定する支持アームと、支持アームを固定す
る固定金具とから構成され、支持アーム軸をウォームと
ウォームギヤを介し回転可能にし、回転支持ホルダーの
傾きを微調整する研磨装置を提供するものである。
するためになされたもので、板状体からなる被研磨板の
面を研磨する研磨装置において、研磨シートを貼った回
転テーブルと、被研磨板を保持し回転テーブル上で回転
する保治具と、保治具を両端に設けられたカムフォロア
ーで回転可能に支持する回転支持ホルダーと、回転支持
ホルダーを固定する支持アームと、支持アームを固定す
る固定金具とから構成され、支持アーム軸をウォームと
ウォームギヤを介し回転可能にし、回転支持ホルダーの
傾きを微調整する研磨装置を提供するものである。
【０００６】また、板状体からなる被研磨板の面を研磨
する研磨方法において、被研磨板が保持される保治具を
回転保持する回転支持ホルダーに４個から８個の研磨液
を滴下するノズルを回転テーブル半径方向に２〜８cmの
ピッチで設け、回転支持ホルダーから支持板を介し、保
治具上方に保治具の回転を検知する非接触式の回転計
で、保治具の回転方向及び回転数を認識し、その内容に
基づき制御部より研磨液駆動部を作動させノズルより研
磨液を滴下させ、自動的に研磨加工を行わしめる研磨方
法を提供するものである。
する研磨方法において、被研磨板が保持される保治具を
回転保持する回転支持ホルダーに４個から８個の研磨液
を滴下するノズルを回転テーブル半径方向に２〜８cmの
ピッチで設け、回転支持ホルダーから支持板を介し、保
治具上方に保治具の回転を検知する非接触式の回転計
で、保治具の回転方向及び回転数を認識し、その内容に
基づき制御部より研磨液駆動部を作動させノズルより研
磨液を滴下させ、自動的に研磨加工を行わしめる研磨方
法を提供するものである。
【０００７】
【作用】上記研磨装置によれば支持アームの軸上にウォ
ームギヤが装着され、このウォームギヤに噛み合うウォ
ーム軸が設けられているので、加工中支持アームのロッ
クを緩めても、回転テーブル上の研磨シートと被研磨板
の間に生ずる摩擦抵抗を、支持アーム一端の固定してあ
る回転支持ホルダーで安定的に支持でき、かつ加工をお
こないながら角度調整を実現することが可能となる。
ームギヤが装着され、このウォームギヤに噛み合うウォ
ーム軸が設けられているので、加工中支持アームのロッ
クを緩めても、回転テーブル上の研磨シートと被研磨板
の間に生ずる摩擦抵抗を、支持アーム一端の固定してあ
る回転支持ホルダーで安定的に支持でき、かつ加工をお
こないながら角度調整を実現することが可能となる。
【０００８】また、研磨方法によれば、被研磨板が保持
される保治具を回転保持する回転支持ホルダーに４個か
ら８個の研磨液を滴下するノズルを回転テーブル半径方
向に２〜８cmのピッチで設け、回転支持ホルダーから支
持板を介し、保治具上方に保治具の回転を検知する非接
触式の回転計で、保治具の回転方向、回転数を認識し、
その内容に基づき制御部より研磨液駆動部を作動させノ
ズルより研磨液を滴下させ、自動的に研磨を行わしめる
ことが可能となる。
される保治具を回転保持する回転支持ホルダーに４個か
ら８個の研磨液を滴下するノズルを回転テーブル半径方
向に２〜８cmのピッチで設け、回転支持ホルダーから支
持板を介し、保治具上方に保治具の回転を検知する非接
触式の回転計で、保治具の回転方向、回転数を認識し、
その内容に基づき制御部より研磨液駆動部を作動させノ
ズルより研磨液を滴下させ、自動的に研磨を行わしめる
ことが可能となる。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例について説明する。本実
施例の研磨装置は、図１に示すように研磨装置本体１の
中央部にある回転テーブル２と、回転テーブル２の上に
貼られた研磨シート３を備え、この研磨シート３の上に
図２、図３に示す保治具４に装着された例えばニッケル
メッキによるディスク用スタンパ等の被研磨板５が載置
される。保治具４の側面を２個のカムフォロアー７をそ
の両端に有する回転支持ホルダー６で保持されるように
なっている。これにより回転テーブル２の回転で被研磨
板５を装着した保治具４が回転テーブル面２から脱落す
るのを防ぎ、回転テーブル２の回転に伴う保治具４の自
転を容易にする。回転支持ホルダー６は連結金具８を介
し支持アーム９に固定され、又支持アーム９はアーム保
持金具１０で保持される。アーム保持金具１０の一方の
面には支持アーム９のロック金具１１を備え、ボルト１
２により支持アーム９は固定される。支持アーム９には
ウォームギヤ１２が装着されこれに噛み合うウォーム１
３が支持アーム９の軸芯と直角方向にアーム保持金具１
０に取り付けられた軸受け金具１４でウォーム軸１５を
介し取り付けられる。ウォーム軸１５端にはハンドル１
６が装着されている。円滑な研磨加工を行うためには保
治具４と回転支持ホルダー６に備えられているカムフォ
ロアー７の当たり角度の微調整が必要である。図２、図
３に示すように直角方向からずれている場合保治具４の
回転が不均一になり研磨効率が落ちる。この角度調整は
回転テーブル２を回転させながら微調整すると短時間で
その適性な角度の調整作業を終えることができる。回転
テーブル２の回転中は保治具４からカムフォロアー７を
介し回転支持ホルダー６に大きな負荷がかかるが、本発
明では回転支持ホルダー６と一体になっている支持アー
ム９の軸上にウォームギヤ１２が装着されておりこれに
噛み合うウォーム１３でその負荷を十分に保持すると共
に、ハンドル１６によりウォーム１３からウォームギヤ
１２へは小の力を大に拡大するため、角度調整も容易に
できる。
施例の研磨装置は、図１に示すように研磨装置本体１の
中央部にある回転テーブル２と、回転テーブル２の上に
貼られた研磨シート３を備え、この研磨シート３の上に
図２、図３に示す保治具４に装着された例えばニッケル
メッキによるディスク用スタンパ等の被研磨板５が載置
される。保治具４の側面を２個のカムフォロアー７をそ
の両端に有する回転支持ホルダー６で保持されるように
なっている。これにより回転テーブル２の回転で被研磨
板５を装着した保治具４が回転テーブル面２から脱落す
るのを防ぎ、回転テーブル２の回転に伴う保治具４の自
転を容易にする。回転支持ホルダー６は連結金具８を介
し支持アーム９に固定され、又支持アーム９はアーム保
持金具１０で保持される。アーム保持金具１０の一方の
面には支持アーム９のロック金具１１を備え、ボルト１
２により支持アーム９は固定される。支持アーム９には
ウォームギヤ１２が装着されこれに噛み合うウォーム１
３が支持アーム９の軸芯と直角方向にアーム保持金具１
０に取り付けられた軸受け金具１４でウォーム軸１５を
介し取り付けられる。ウォーム軸１５端にはハンドル１
６が装着されている。円滑な研磨加工を行うためには保
治具４と回転支持ホルダー６に備えられているカムフォ
ロアー７の当たり角度の微調整が必要である。図２、図
３に示すように直角方向からずれている場合保治具４の
回転が不均一になり研磨効率が落ちる。この角度調整は
回転テーブル２を回転させながら微調整すると短時間で
その適性な角度の調整作業を終えることができる。回転
テーブル２の回転中は保治具４からカムフォロアー７を
介し回転支持ホルダー６に大きな負荷がかかるが、本発
明では回転支持ホルダー６と一体になっている支持アー
ム９の軸上にウォームギヤ１２が装着されておりこれに
噛み合うウォーム１３でその負荷を十分に保持すると共
に、ハンドル１６によりウォーム１３からウォームギヤ
１２へは小の力を大に拡大するため、角度調整も容易に
できる。
【００１０】一方回転支持ホルダー６には研磨液吐出用
のノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４，Ｎ５，Ｎ６が挿入固
定されノズル先端から研磨液が回転テーブル２に貼り付
けられた研磨シート３上に滴下する。上記ノズルの本数
及びそのピッチは加工する被研磨板の大きさによって異
なるが、本実施例では3.6cmピッチで６個のノズルを備
えている。その上方に研磨液タンク１７を備え、ノズル
Ｎと研磨液タンク１７は管１８でつながれている。又回
転支持ホルダー６には基板１９を介し非接触式の回転計
２０が固定され、保治具４の回転方向、回転数を検知す
る。その回転計２０の信号は信号線により制御部２１へ
送られる。あらかじめ設定されプログラムに基づき制御
部２１より研磨液駆動部２２を作動させ研磨液タンク１
７より管１８を通じノズルＮから研磨液を滴下させる。
本実施例では研磨シート３上への上記ノズルＮ１，Ｎ
２，Ｎ３，Ｎ４，Ｎ５，Ｎ６からの研磨液供給は以下の
内容で行っている。
のノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４，Ｎ５，Ｎ６が挿入固
定されノズル先端から研磨液が回転テーブル２に貼り付
けられた研磨シート３上に滴下する。上記ノズルの本数
及びそのピッチは加工する被研磨板の大きさによって異
なるが、本実施例では3.6cmピッチで６個のノズルを備
えている。その上方に研磨液タンク１７を備え、ノズル
Ｎと研磨液タンク１７は管１８でつながれている。又回
転支持ホルダー６には基板１９を介し非接触式の回転計
２０が固定され、保治具４の回転方向、回転数を検知す
る。その回転計２０の信号は信号線により制御部２１へ
送られる。あらかじめ設定されプログラムに基づき制御
部２１より研磨液駆動部２２を作動させ研磨液タンク１
７より管１８を通じノズルＮから研磨液を滴下させる。
本実施例では研磨シート３上への上記ノズルＮ１，Ｎ
２，Ｎ３，Ｎ４，Ｎ５，Ｎ６からの研磨液供給は以下の
内容で行っている。
【００１１】被研磨板５の初期研磨は被研磨板５と研磨
シート４のなじみが悪い。制御部２１の初期研磨スイッ
チ２１ａをＯＮすると全ノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ
４，Ｎ５，Ｎ６より研磨液を回転テーブル２が２周する
間吐出させ、その後通常研磨に移行する。次に通常研磨
の加工方法について説明する。加工中研磨液の補充が不
足すると研磨シート３が乾き被研磨板５の研磨面にスク
ラッチが生じたり、研磨シート３が傷んだりするため２
分ごとに全ノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４，Ｎ５，Ｎ６
より回転テーブル２が一周する間研磨液を吐出させる。
保治具４の回転数が４０ｒｐｍ以下の場合、回転テー
ブル２内周側のノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３から１〜２秒の
間欠吐出を、保治具４の回転数が４０ｒｐｍ以上に達す
るまで行い、又保治具４の回転数が１５０ｒｐｍ以上の
場合、回転テーブル２の外周側のノズルＮ４，Ｎ５，Ｎ
６から１〜２秒の間欠吐出を、保治具４の回転数が１５
０ｒｐｍ以下になるまで行う。この通常研磨工程は制御
部２１の通常研磨スイッチを押すと上記工程の加工を設
定された時間行う。又制御部２１の仕上げ研磨スイッチ
２１ｂをＯＮすると微細なスクラッチを除去するために
全ノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４，Ｎ５，Ｎ６より３〜
４秒の間欠吐出を３分間行う。
シート４のなじみが悪い。制御部２１の初期研磨スイッ
チ２１ａをＯＮすると全ノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ
４，Ｎ５，Ｎ６より研磨液を回転テーブル２が２周する
間吐出させ、その後通常研磨に移行する。次に通常研磨
の加工方法について説明する。加工中研磨液の補充が不
足すると研磨シート３が乾き被研磨板５の研磨面にスク
ラッチが生じたり、研磨シート３が傷んだりするため２
分ごとに全ノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４，Ｎ５，Ｎ６
より回転テーブル２が一周する間研磨液を吐出させる。
保治具４の回転数が４０ｒｐｍ以下の場合、回転テー
ブル２内周側のノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３から１〜２秒の
間欠吐出を、保治具４の回転数が４０ｒｐｍ以上に達す
るまで行い、又保治具４の回転数が１５０ｒｐｍ以上の
場合、回転テーブル２の外周側のノズルＮ４，Ｎ５，Ｎ
６から１〜２秒の間欠吐出を、保治具４の回転数が１５
０ｒｐｍ以下になるまで行う。この通常研磨工程は制御
部２１の通常研磨スイッチを押すと上記工程の加工を設
定された時間行う。又制御部２１の仕上げ研磨スイッチ
２１ｂをＯＮすると微細なスクラッチを除去するために
全ノズルＮ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４，Ｎ５，Ｎ６より３〜
４秒の間欠吐出を３分間行う。
【００１２】なお本研磨加工では使用する研磨液、研磨
シート、保治具の重量、被研磨板の必要研磨量等により
上記研磨時間、研磨液の吐出時間、最適回転数は変わる
こともありプログラムの設定値も一定の幅をもって変更
する必要がある。
シート、保治具の重量、被研磨板の必要研磨量等により
上記研磨時間、研磨液の吐出時間、最適回転数は変わる
こともありプログラムの設定値も一定の幅をもって変更
する必要がある。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば被研磨板の
表面を研磨するに際し、適性な回転支持ホルダーと保治
具の当たり角度の調整を、加工を継続しながら行え、作
業効率の向上に寄与すると共に、研磨液の滴下を自動的
に行うことを可能にしたため、作業者の負担を軽減し、
常に安定した加工を実現できる。
表面を研磨するに際し、適性な回転支持ホルダーと保治
具の当たり角度の調整を、加工を継続しながら行え、作
業効率の向上に寄与すると共に、研磨液の滴下を自動的
に行うことを可能にしたため、作業者の負担を軽減し、
常に安定した加工を実現できる。
【図１】本発明の1実施例における構成を示す図であ
る。
る。
【図２】本発明の効果を説明する第１の説明図である。
【図３】本発明の効果を説明する第２の説明図である。
【図４】従来の研磨加工法を示す図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 板状体からなる被研磨板の面を研磨する
研磨装置において、研磨シートを貼った回転テーブル
と、被研磨板を保持し回転テーブル上で回転する保治具
と、保治具を両端に設けられたカムフォロアーで回転可
能に支持する回転支持ホルダーと、回転支持ホルダーを
固定する支持アームと、支持アームを固定する固定金具
とから構成され、支持アーム軸をギアーを介し回転可能
にし、回転支持ホルダーの傾きを微調整することを特徴
とする研磨装置。 - 【請求項２】 板状体からなる被研磨板の面を研磨する
研磨方法において、被研磨板が保持される保治具を回転
保持する回転支持ホルダーに４個から８個の研磨液を滴
下するノズルを回転テーブル半径方向に２〜８cmのピッ
チで設け、回転支持ホルダーから支持板を介し、保治具
上方に保治具の回転を検知する非接触式の回転計で、保
治具の回転方向及び回転数を認識し、その内容に基づき
制御部より研磨液駆動部を作動させノズルより研磨液を
滴下させ、自動的に研磨加工を行うことを特徴とする研
磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30760893A JPH07164311A (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | 研磨装置及び研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30760893A JPH07164311A (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | 研磨装置及び研磨方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07164311A true JPH07164311A (ja) | 1995-06-27 |
Family
ID=17971091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30760893A Pending JPH07164311A (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | 研磨装置及び研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07164311A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108906966A (zh) * | 2018-07-09 | 2018-11-30 | 宁波甬凌新材料科技有限公司 | 一种用于干电池外壳加工的原料冲压装置 |
| CN109822461A (zh) * | 2019-04-11 | 2019-05-31 | 烟台工程职业技术学院(烟台市技师学院) | 一种金属板镜面抛光用抛光液自动供给装置 |
-
1993
- 1993-12-08 JP JP30760893A patent/JPH07164311A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108906966A (zh) * | 2018-07-09 | 2018-11-30 | 宁波甬凌新材料科技有限公司 | 一种用于干电池外壳加工的原料冲压装置 |
| CN109822461A (zh) * | 2019-04-11 | 2019-05-31 | 烟台工程职业技术学院(烟台市技师学院) | 一种金属板镜面抛光用抛光液自动供给装置 |
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