JPH07162264A

JPH07162264A - 弾性表面波装置及びそれを用いた通信システム

Info

Publication number: JPH07162264A
Application number: JP31018793A
Authority: JP
Inventors: Norihiro Mochizuki; 規弘望月; Akihiro Koyama; 晃広小山; Takahiro Hachisu; 高弘蜂巣; Tadashi Eguchi; 正江口; Kouichi Egara; 光一江柄; Akira Torisawa; 章鳥沢
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1993-12-10
Filing date: 1993-12-10
Publication date: 1995-06-23

Abstract

(57)【要約】【目的】出力電極と出力パッド等の出力手段を接続す
る電極接合部の電気的抵抗による出力低下の少ない弾性
表面波装置を実現することにある。【構成】圧電性基板１上に第１及び第２の弾性表面波
を励振する少なくとも２つの励振電極２，３と、該励振
電極から励振される該第１及び第２の弾性表面波を互い
に反対向きに伝搬させる弾性表面波導波路４と、該弾性
表面波導波路４にて発生する信号を取り出す出力手段５
と、該弾性表面波導波路と該出力手段とを電気的に接続
する電極接合部６とを少なくとも備える弾性表面波装置
において、該電極接合部６が上記弾性表面波導波路４と
接する部分の幅が、上記第１又は第２の弾性表面波の波
長の０．２倍から５倍の範囲であることを特徴とする弾
性表面波装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波装置に関
し、特に２つの信号のコンボリューション信号を取り出
す弾性表面波コンボルバ装置及びそれを用いた通信シス
テムに関する。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波装置、特に弾性表面波コンボ
ルバは、２つの信号のコンボリューション演算を行う信
号処理デバイスであり、近年、スペクトラム拡散通信シ
ステムのキーデバイスとして注目されている。

【０００３】図９は、従来の弾性表面波装置の構成を示
す概略平面図である。図９において、１は圧電性基板で
あり、２，３は該基板１の表面上に適宜距離隔てて対向
配置され形成されている２つの弾性表面波励振用電極で
ある。４は電極２，３間において基板１の表面に形成さ
れている弾性表面波導波路、５は弾性表面波導波路４に
て発生した信号を電気的に取り出す出力タップである。

【０００４】この弾性表面波装置において、弾性表面波
励振用電極２，３に対し適当な角周波数ωの電気信号を
入力すると、弾性表面波が励振され、該弾性表面波は弾
性表面波導波路４を互いに反対向きに伝搬し、該弾性表
面波導波路４にてパラメトリック・ミキシング現象によ
り角周波数２ωで２つの信号の積成分の電気信号が発生
する。該弾性表面波導波路４は導電性材料にて形成され
ており、該弾性表面波導波路４は出力電極としても作用
し、該弾性表面波導波路４にて発生した電気信号は合成
され、弾性表面波導波路４と電気的に接続された出力タ
ップ５からワイヤ等を介して取り出される。

【０００５】このような弾性表面波装置は、文献１（日
本学術振興会弾性波素子技術第１５０委員会編，“弾性
波素子技術ハンドブック”，オーム社，２４６−２５０
（１９９１））により公知である。

【０００６】また、このような弾性表面波装置を改良し
た装置が文献２（ＦＲ−８０１１２２５）により提案さ
れている。

【０００７】文献２では、弾性表面波導波路に発生した
信号を取り出す時に、この信号が出力取り出し口に到達
するまでの時間差による信号の劣化を抑えるために、弾
性表面波導波路の複数箇所から信号を取り出し、さら
に、出力取り出し口が、弾性表面波導波路を伝搬する弾
性表面波の伝搬の妨げにならないように、弾性表面波導
波路と接する電極接合部が、弾性表面波の波長をλ_aと
して、λ_a／５より細くなるように配置形成する。

【０００８】

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記文献２に示される従来例では弾性表面波導波路と接す
る電極接合部を、λ_a／５より細くするため、周波数が
高くなると電極接合部の線幅が非常に細くなり（例え
ば、入力信号の中心周波数を２００ＭＨｚとすると、弾
性表面波の速度は１５００〜４０００ｍ／ｓであるの
で、接合部は１．５〜４μｍとなり）、電極接合部にお
ける抵抗が無視できなくなり、出力が低下するという問
題点があった。

【０００９】ここで、一例として、弾性表面波導波路の
幅を弾性表面波の波長の約２．５倍とし、電極接合部６
を弾性表面波導波路４の両側に弾性表面波導波路４に沿
って８ヵ所設けた場合に、電極接合部６の幅を変化させ
た時の出力を測定した結果（相対値）を図５に示す。こ
こで、測定結果は電極接合部６の幅を弾性表面波の波長
（λ_a）に等しくした場合を基準として、相対値で表し
ている。図より、電極接合部６の幅をλ_a／５より細く
すると出力が大きく低下することがわかる。

【００１０】さらに、電極接合部の線幅が非常に細いた
め、断線が起こりやすく歩留まりが劣化するという問題
点があった。

【００１１】［発明の目的］本発明の目的は、出力電極
と出力パッド又は伝送路等の出力手段とを接続する電極
接合部の電気的抵抗による出力低下の少ない弾性表面波
装置を実現することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波装置
は、圧電性基板上に第１及び第２の弾性表面波を励振す
る少なくとも２つの励振電極と、該励振電極から励振さ
れる該第１及び第２の弾性表面波を互いに反対向きに伝
搬させる弾性表面波導波路と、該弾性表面波導波路にて
発生する信号を取り出す出力パッドあるいは伝送線路等
の出力手段と、該弾性表面波導波路と該出力パッドある
いは伝送線路等の出力手段とを電気的に接続する電極接
合部とを少なくとも備え、該電極接合部が上記弾性表面
波導波路と接する部分の幅が、上記第１又は第２の弾性
表面波の波長の０．２倍から５倍の範囲となるように構
成する。

【００１３】

【作用】本構成により、弾性表面波導波路上を伝搬する
弾性表面波の伝搬損失を増大させることなく、出力の低
下を妨げ、さらに、歩留まりを上げることができる。

【００１４】

【実施例】〔第１実施例〕図１は本発明による弾性表面
波装置の第１実施例を示す概略平面図である。図２は図
１の部分拡大図である。

【００１５】図１において、１は圧電性基板である。該
圧電性基板としては例えばニオブ酸リチウム等の圧電性
基板を用いることができる。

【００１６】２，３は基板１の表面上に適宜距離隔てて
対向配置され形成されている弾性表面波励振用電極であ
る。該電極２，３は櫛形電極であり、例えばアルミニウ
ム，銀，金等の導電体からなる。

【００１７】４は電極２，３間に形成されている弾性表
面波導波路である。弾性表面波導波路４は、例えばアル
ミニウム，銀，金等の導電体からなる。

【００１８】５は弾性表面波導波路４に発生した信号を
電気的に取り出すための出力手段としての出力パッドで
ある。

【００１９】６は弾性表面波導波路４と出力パッド５と
を電気的に接続する電極接合部である。本実施例におい
て、弾性表面波励振用電極２あるいは３にて励振される
弾性表面波の波長をλ_aとして、電極接合部６の幅ｗ
（図２）を、０．２λ_aから５λ_aの範囲とする。

【００２０】なお、図１，図２において、説明を分かり
やすくするため、便宜上、第１の弾性表面波が弾性表面
波導波路４を伝搬する方向をｘ、基板１の表面の法線方
向をｚ、ｘｚ平面の法線方向をｙとする。このｘ，ｙ，
ｚは、基板の結晶軸を意味するものではない。

【００２１】本実施例の弾性表面波素子において、一方
の励振用電極２に対し、該励振用電極２の特性に応じた
中心角周波数ωの電気信号を入力すると第１の弾性表面
波が励振され、弾性表面波導波路４に入射する。また、
同様にして他方の励振用電極３に対し、該励振用電極３
の特性に応じた中心角周波数ωの電気信号を入力すると
第２の弾性表面波が励振され、第１の弾性表面波とは反
対方向から弾性表面波導波路４に入射する。該弾性表面
波導波路４には両端から上記第１及び第２の弾性表面波
が互いに反対方向に伝搬し、弾性表面波導波路４にてパ
ラメトリック・ミキシング現象により中心角周波数２ω
の電気信号が発生する。弾性表面波導波路４は導電体に
て形成されているので、該弾性表面波導波路４は出力電
極としても作用し、この電気信号は該弾性表面波導波路
４上にて合成され、電極接合部６を介して出力パッド５
より取り出される。

【００２２】ここで、弾性表面波導波路４は、導電体に
より電界が短絡された表面を伝搬する弾性表面波の速度
（Ｖｍ）と自由表面を伝搬する弾性表面波の速度（Ｖ
ｏ）の違いにより導波路として機能しているが、Ｖｏと
Ｖｍとの差は僅かであるため、第１および第２の弾性表
面波が弾性表面波導波路４を伝搬する際、図３に示す導
電体によって覆われていない表面にまでエネルギーが広
がっている。図３は、弾性表面波導波路４を伝搬する弾
性表面波の伝搬方向と直交する方向（ｙ方向）における
振幅分布を示している。このような弾性表面波は、通
常、弾性表面波導波路４を低損失で伝搬するが、弾性表
面波導波路４に電極接合部６が接続している箇所では、
導波路幅が広がったかのように見えるため、弾性表面波
エネルギーが弾性表面波導波路の幅方向（ｙ方向）に広
がり、伝搬損失が増大する。

【００２３】一例として、弾性表面波導波路の幅を弾性
表面波の波長の約２．５倍とし、電極接合部６を弾性表
面波導波路４の両側に弾性表面波導波路４に沿って８ヵ
所設けた場合に、電極接合部６の幅ｗを変化させた時の
伝搬損失を測定した結果（相対値）を図４に示す。ここ
で、測定結果は電極接合部がない場合を基準として、相
対値で表している。図より、電極接合部６の幅ｗが増大
するにつれて伝搬損失が増大することがわかり、電極接
合部６の幅ｗを５λ_a以下とすると電極接合部による伝
搬損失を１ｄＢ以下に抑えることができる。

【００２４】また、電極接合部６は、ｙ方向において弾
性表面波のエネルギーが充分小さくなるまでは、幅ｗを
５λ_a以下とする事が望ましく、弾性表面波導波路４の
近傍の領域でｙ方向において少なくとも弾性表面波の全
エネルギーの内、９９％を占める範囲に弾性表面波導波
路４及び電極接合部６以外の導電体が存在しないように
することが望ましい。

【００２５】また、前述した図５より、電極接合部６の
幅ｗを０．２λ_aから５λ_aの範囲とすることにより、
出力の低下を１ｄＢ以内に抑えることができる。

【００２６】従って、電極接合部の幅ｗを０．２λ_aか
ら５λ_aの範囲とすることにより、電極接合部における
伝搬損失を抑え、更に、出力の低下を抑えることができ
る。

【００２７】〔第２実施例〕図６は、本発明による弾性
表面波装置の第２実施例を示す概略平面図である。図６
において、上記第１実施例と同一の部材には、同一の符
号が付せられている。本実施例は、基板１上に伝送線路
７が形成され、伝送線路７と電極接合部６とが電気的に
接続されている点のみ、上記第１実施例と異なる。

【００２８】本実施例においても、上記第１実施例と同
様の作用効果があるが、本実施例では、伝送線路７によ
り、複数の電極接合部６からの出力を合成したり、ま
た、インダクタンスやキャパシタンスなどの回路素子を
基板１上に形成することができるため、弾性表面波装置
の周辺回路を減らすことができる。〔第３実施例〕図７は、本発明による弾性表面波装置の
第３実施例を示す概略平面図である。図７において、上
記第１実施例と同一の部材には、同一の符号が付せられ
ている。本実施例は、電極接合部６が弾性表面波導波路
４の第１の弾性表面波が伝搬する方向の中心線に対し
て、対称に設けられている点のみ、上記第１実施例と異
なる。

【００２９】本実施例においても、上記第１実施例と同
様の作用効果があるが、本実施例では、電極接合部６が
弾性表面波導波路４に対して対称に設けられているた
め、以下のような効果がある。

【００３０】本発明の弾性表面波装置では、出力を高め
るためには、一般に弾性表面波導波路４の幅を狭めて、
その中に弾性表面波のエネルギーを多く集中させるよう
に、構成されている。幅の狭い弾性表面波導波路４にエ
ネルギーを集中させる方法としては、従来より、いくつ
か提案されていて、狭い幅の励振用電極に分散性を持た
せる方法や、広い幅の励振用電極から広いビーム幅の弾
性表面波を励振し、マルチストリップカプラやホーン型
導波路により、ビーム幅を圧縮させる方法や、励振用電
極を湾曲させて円弧状等にして、ビーム幅を圧縮する方
法などがある。これらの方法は本実施例並びに上記第１
及び第２実施例において用いることができる。

【００３１】しかしながら、弾性表面波導波路４の幅が
狭い場合、伝搬する導波モードによる速度差が大きいた
め、周波数特性を良好にするには弾性表面波導波路４を
伝搬するモードが１つになる、すなわち、シングルモー
ドであることが望ましい。図８に、一例として、ｙカッ
トｚ伝搬ニオブ酸リチウム基板における導波路幅と導波
モードの位相速度との関係を示す。図８において、導波
路幅を１次モードが存在できない幅とすれば、０次モー
ドしか存在できず、シングルモードの導波路となる。ま
た、１次モードは非対称モードであるので、弾性表面波
導波路４に入射される弾性表面波が導波路中央線に対し
て略対称となるように励振用電極並びに弾性表面波導波
路を配置すれば、導波路幅を０次モードと１次モードの
みが存在可能な幅としても、シングルモードの導波路と
なる。

【００３２】そこで、弾性表面波導波路４の幅を０次モ
ードのみが存在可能な幅、または、０次モードと１次モ
ードのみが存在可能な幅とすると、弾性表面波導波路４
には、導波路の中心線に対して対称な弾性表面波が伝搬
する。この弾性表面波が電極接合部６が形成されている
部分を伝搬する際、弾性表面波導波路４の両側に電極接
合部６があるので、弾性表面波は導波路の中心線に対す
る対称性を保ち、電極接合部６における損失をさらに抑
圧することができる。

【００３３】本実施例は、シングルモードの導波路以外
でも、弾性表面波が導波路の中心線に対して対称に分布
している場合に有効である。また、本実施例において、
電極接合部６に伝送線が接続されていてもよい。

【００３４】また、上記第１，第２実施例においても、
弾性表面波導波路がシングルモードの導波路であっても
良いことは言うまでもない。

【００３５】上記第１，第２，第３実施例において、電
極接合部６の数は図示の数に限定されるものではない。

【００３６】また、上記第１，第２，第３実施例におけ
る弾性表面波励振用電極２，３をダブル電極（スプリッ
ト電極）とすることにより、該弾性表面波励振用電極
２，３における弾性表面波の反射を抑圧でき、素子の特
性をより一層良好なものにすることができる。

【００３７】さらに、上記第１，第２，第３実施例にお
いて、基板１はニオブ酸リチウム等の圧電体単結晶に限
定されるものではなく、例えば半導体やガラス基板上に
圧電膜を付加した構造等、パラメトリック・ミキシング
効果がある材料及び構造であればよい。

【００３８】図１０は、以上説明したような弾性表面波
装置を用いた通信システムの一例を示すブロック図であ
る。図において、４０は送信機を示す。この送信機は送
信すべき信号を拡散符号を用いて、スペクトラム拡散変
調して、アンテナ４０１より送信する。送信された信号
は、受信機４１で受信され、復調される。受信機４１
は、アンテナ４１１、高周波信号処理部４１２、同期回
路４１３、符号発生器４１４、拡散復調回路４１５、復
調回路４１６より構成される。アンテナ４１１にて受信
された受信信号は高周波信号処理部４１２にて適当にフ
ィルタリング及び増幅され、送信周波数帯信号のまま若
しくは適当な中間周波数帯信号に変換され出力される。
該信号は同期回路４１３に入力される。同期回路４１３
は図１，図６，図７に示す本発明の実施例に記載の弾性
表面波装置４１３１と符号発生器４１４より入力される
参照用拡散符号を変調する変調回路４１３２と弾性表面
波装置４１３１から出力された信号を処理し、送信信号
に対する拡散符号同期信号およびクロック同期信号を符
号発生器４１４に出力する信号処理回路４１３３からな
る。

【００３９】弾性表面波装置４１３１には高周波信号処
理部４１２からの出力信号と変調回路４１３２からの出
力信号が入力され、２つの入力信号のコンボリューショ
ン演算が行われる。ここで符号発生器４１４より変調回
路４１３２に入力される参照用拡散符号が送信側から送
信される拡散符号を時間反転させた符号とすると、弾性
表面波装置４１３１では、受信信号に含まれる同期専用
拡散符号成分と参照用拡散符号とが、弾性表面波装置４
１３１の導波路上にて一致した時に相関ピークが出力さ
れる。

【００４０】信号処理回路４１３３では、弾性表面波装
置４１３１より入力される信号から、相関ピークを検出
し、参照用拡散符号の符号開始から相関ピーク出力まで
の時間から、符号同期のずれ量を割り出し、符号同期信
号及びクロック信号が符号発生器４１４に出力される。
同期確立後、符号発生器４１４は送信側の拡散符号に対
しクロック及び拡散符号位相が一致した拡散符号を発生
する。この拡散符号は、拡散復調回路４１５に入力さ
れ、拡散変調される前の信号が復元される。拡散変復調
回路４１５から出力される信号は、いわゆる周波数変
調、位相変調などの一般に使用されている変調方式によ
り変調されている信号なので、同業者が周知の復調回路
４１６により、データ復調がなされる。

【００４１】また、図１１，図１２は、以上説明したよ
うな弾性表面波装置を用いた他の通信システムの送信機
及び受信機の一例を示すブロック図である。図１１にお
いて、１０１は直列に入力されるデータをｎ個の並列デ
ータに変換する直並列変換器、１０２−１〜ｎは並列化
された各データと拡散符号発生器から出力されるｎ個の
拡散符号とを乗算する乗算器群、１０３はｎ個のそれぞ
れ異なる拡散符号と同期専用の拡散符号を発生する拡散
符号発生器、１０４は拡散符号発生器１０３から出力さ
れる同期専用拡散符号と乗算器群１０２−１〜ｎのｎ個
の出力を加算する加算器、１０５は加算器１０４の出力
を送信周波数信号に変換するための高周波段、１０６は
送信アンテナである。

【００４２】また、図１２において、２０１は受信アン
テナ、２０２は高周波信号処理部、２０３は送信側の拡
散符号とクロックに対する同期を捕捉し維持する同期回
路、２０４は同期回路２０３より入力される符号同期信
号及びクロック信号により、送信側の拡散符号群と同一
のｎ＋１個の拡散符号及び参照用拡散符号を発生する拡
散符号発生器、２０５は拡散符号発生器２０４より出力
されるキャリア再生用拡散符号と高周波信号処理部２０
２の出力から搬送波信号を再生するキャリア再生回路、
２０６はキャリア再生回路２０５の出力と高周波信号処
理部２０２の出力と拡散符号発生器２０４の出力である
ｎ個の拡散符号を用いてベースバンドで復調を行うベー
スバンド復調回路、２０７はベースバンド復調回路２０
６の出力であるｎ個の並列復調データを並直列変換する
並直列変換器である。

【００４３】上記構成において送信側ではまず入力され
たデータが直並列変換器１０１によって符号分割多重数
に等しいｎ個の並列データに変換される。一方、拡散符
号発生器１０３はｎ＋１個の符号周期が同一でそれぞれ
異なる拡散符号ＰＮ₀〜ＰＮ _nを発生している。このう
ちＰＮ₀は同期及びキャリア再生専用であり前記並列デ
ータによって変調されず直接加算器１０４に入力され
る。残りのｎ個の拡散符号は乗算器群１０２−１〜ｎに
てｎ個の並列データにより変調され加算器１０４に入力
される。

【００４４】加算器１０４は入力されたｎ＋１個の信号
を線形に加算し高周波段１０５に加算されたベースバン
ド信号を出力する。該ベースバンド信号は続いて高周波
段１０５にて適当な中心周波数を持つ高周波信号に変換
され、送信アンテナ１０６より送信される。受信側で
は、受信アンテナ２０１で受信された信号は高周波信号
処理部２０２にて適当にフィルタリング及び増幅され、
送信周波数帯信号のまま若しくは適当な中間周波数帯信
号に変換され出力される。該信号は同期回路２０３に入
力される。

【００４５】同期回路２０３は本発明の実施例に記載の
弾性表面波装置２０３１と符号発生器２０４より入力さ
れる参照用拡散符号を変調する変調回路２０３２と弾性
表面波装置２０３１から出力された信号を処理し、送信
信号に対する拡散符号同期信号およびクロック同期信号
を拡散符号発生器２０４に出力する信号処理回路２０３
３からなる。

【００４６】弾性表面波装置２０３１には高周波信号処
理部２０２からの出力信号と変調回路２０３２からの出
力信号が入力され、２つの入力信号のコンボリューショ
ン演算が行われる。ここで符号発生器２０４より変調回
路２０３２に入力される参照用拡散符号が送信側から送
信される同期専用拡散符号を時間反転させた符号とする
と、弾性表面波装置２０３１では、受信信号に含まれる
同期専用拡散符号成分と参照用拡散符号とが、弾性表面
波装置２０３１の導波路上にて一致した時に相関ピーク
が出力される。

【００４７】信号処理回路２０３３では、弾性表面波装
置２０３１より入力される信号から、相関ピークを検出
し、参照用拡散符号の符号開始から相関ピーク出力まで
の時間から、符号同期のずれ量を割り出し、符号同期信
号及びクロック信号が拡散符号発生器２０４に出力され
る。同期確立後、拡散符号発生器２０４は送信側の拡散
符号群に対しクロック及び拡散符号位相が一致した拡散
符号群を発生する。これらの符号群のうち同期専用の拡
散符号ＰＮ₀はキャリア再生回路２０５に入力される。

【００４８】キャリア再生回路２０５では同期専用拡散
符号ＰＮ₀により高周波信号処理部２０２の出力である
送信周波数帯若しくは中間周波数帯に変換された受信信
号を逆拡散し送信周波数帯若しくは中間周波数帯の搬送
波を再生する。キャリア再生回路２０５の構成は、たと
えば位相ロックループを利用した回路が用いられる。受
信信号と同期専用拡散符号ＰＮ₀は乗算器にて乗算され
る。同期確立後は受信信号中の同期専用拡散符号と参照
用の同期専用拡散符号のクロック及び符号位相は一致し
ており、送信側の同期専用拡散符号はデータで変調され
ていないため、乗算器で逆拡散されその出力には搬送波
の成分が現れる。

【００４９】該出力は続いて帯域通過フィルタに入力さ
れ搬送波成分のみが取り出され出力される。該出力は次
に位相検出器、ループ・フィルタ及び電圧制御発振器に
て構成されるよく知られた位相ロック・ループに入力さ
れ、電圧制御発振器より帯域通過フィルタより出力され
る搬送波成分に位相のロックした信号が再生搬送波とし
て出力される。再生された搬送波はベースバンド復調回
路２０６に入力される。

【００５０】ベースバンド復調回路では該再生搬送波と
高周波信号処理部２０２の出力よりベースバンド信号が
生成される。該ベースバンド信号はｎ個に分配され拡散
符号発生器２０４の出力である拡散符号群ＰＮ₁〜ＰＮ
_nにより各符号分割チャネル毎に逆拡散され、続いてデ
ータ復調がなされる。復調されたｎ個の並列復調データ
は並直列変換器２０７にて直列データに変換され出力さ
れる。

【００５１】本実施例は２値変調の場合であるが、直交
変調など、他の変調方式でも良い。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
弾性表面波導波路に電気的に接続される電極接合部が弾
性表面波導波路に接する部分の幅を該弾性表面波導波路
を伝搬する弾性表面波の波長の０．２倍から５倍の範囲
となるようにすることにより、弾性表面波導波路上を伝
搬する弾性表面波の伝搬損失を増大させることなく、出
力の低下を抑えることができ、更に、歩留まりを上げる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による弾性表面波装置の第１実施例を示
す概略平面図。

【図２】第１実施例の部分拡大図。

【図３】弾性表面波導波路を伝搬する弾性表面波の振幅
分布を示す図。

【図４】電極接合部の幅と伝搬損失の関係を示す図。

【図５】電極接合部の幅と出力の関係を示す図。

【図６】本発明による弾性表面波装置の第２実施例を示
す図。

【図７】本発明による弾性表面波装置の第３実施例を示
す図。

【図８】導波路幅と各導波モードの位相速度との関係を
示す図。

【図９】従来例を示す図。

【図１０】本発明による弾性表面波装置を用いた通信シ
ステムの一実施例を示す図。

【図１１】本発明による弾性表面波装置を用いた通信シ
ステムの他の実施例の送信機を示す図。

【図１２】本発明による弾性表面波装置を用いた通信シ
ステムの他の実施例の受信機を示す図である。

【符号の説明】

１基板２，３励振電極４弾性表面波導波路５出力パッド６電極接合部７伝送線路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者江口正東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者江柄光一東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者鳥沢章東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電性基板上に第１及び第２の弾性表面
波を励振する少なくとも２つの励振電極と、該励振電極
から励振される該第１及び第２の弾性表面波を互いに反
対向きに伝搬させる弾性表面波導波路と、該弾性表面波
導波路にて発生する信号を取り出すための出力手段と、
該弾性表面波導波路と該出力手段とを電気的に接続する
電極接合部とを少なくとも備える弾性表面波装置におい
て、上記電極接合部の上記弾性表面波導波路と接する部分の
幅が、上記第１又は第２の弾性表面波の波長の０．２倍
から５倍の範囲であることを特徴とする弾性表面波装
置。
【請求項２】上記出力手段が、出力パッドであること
を特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項３】上記出力手段が、伝送線路であることを
特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項４】上記弾性表面波導波路の導波路幅が、該
弾性表面波導波路を伝搬する上記弾性表面波の０次モー
ド又は０次モードと１次モードの弾性表面波のみ存在す
ることが可能な幅であることを特徴とする請求項１又は
２又は３に記載の弾性表面波装置。
【請求項５】上記電極接合部が、上記弾性表面波導波
路に沿って複数設けられていることを特徴とする請求項
１又は２又は３に記載の弾性表面波装置。
【請求項６】上記電極接合部が、上記弾性表面波導波
路の上記弾性表面波が伝搬する方向と略平行な側面の両
側に設けられていることを特徴とする請求項５に記載の
弾性表面波装置。
【請求項７】請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾
性表面波装置を用いたことを特徴とする通信システム。