JPH07151793A - 電流センサ - Google Patents
電流センサInfo
- Publication number
- JPH07151793A JPH07151793A JP5296952A JP29695293A JPH07151793A JP H07151793 A JPH07151793 A JP H07151793A JP 5296952 A JP5296952 A JP 5296952A JP 29695293 A JP29695293 A JP 29695293A JP H07151793 A JPH07151793 A JP H07151793A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic core
- current sensor
- magnetic
- current
- alloy
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/0206—Manufacturing of magnetic cores by mechanical means
- H01F41/0213—Manufacturing of magnetic circuits made from strip(s) or ribbon(s)
- H01F41/0226—Manufacturing of magnetic circuits made from strip(s) or ribbon(s) from amorphous ribbons
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
- H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/147—Alloys characterised by their composition
- H01F1/153—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
- H01F1/15333—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals containing nanocrystallites, e.g. obtained by annealing
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ヒステリシスが小さく、直線性が良く、高電
流まで検出可能な電流センサの提供。 【構成】 粒径500オンク゛ストローム以下の微細なナノ結晶粒が
組織の少なくとも50%を占めるナノ結晶合金からなる磁
心の磁路の少なくとも1箇所にギャップが形成されてお
り、前記ギャップ部に磁界検出素子が配置されているこ
とを特徴とする電流センサ。
流まで検出可能な電流センサの提供。 【構成】 粒径500オンク゛ストローム以下の微細なナノ結晶粒が
組織の少なくとも50%を占めるナノ結晶合金からなる磁
心の磁路の少なくとも1箇所にギャップが形成されてお
り、前記ギャップ部に磁界検出素子が配置されているこ
とを特徴とする電流センサ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、直流から高周波まで使
用可能な磁気回路と磁界検出素子を一体化させた電流セ
ンサに関する。
用可能な磁気回路と磁界検出素子を一体化させた電流セ
ンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】電流センサにはカレントトランスを用い
たもの等多くの種類がある。これらの中でホ−ル素子等
の磁界検出素子と磁気回路を一体化させた電流センサは
素子に流す電流を一定にすることにより、主回路から絶
縁された状態で主回路に流れている電流を直流から交流
まで検出することができる特徴を有している。また、図
１（ａ）（ｂ）に示すような貫通型の場合はインダクタ
ンスが小さいため応答速度が早い特徴も有している。図
２の様な巻線をほどこした構造のセンサは比較的小さい
電流検出用に使用される。これらの電流センサに用いら
れる磁心は磁路の少なくとも1箇所にギャップが形成さ
れており、このギャップ部分にホ−ル素子等の磁界検出
素子が配置されている。導線を流れる電流による発生磁
界により磁心が磁化され、これに伴いギャップ部に磁界
が発生する。この磁界によりホ−ル素子の抵抗値が変化
する。ホ−ル素子に電流を流し、この両端の電圧を検出
することにより、導線(導体)を流れる電流を検出するこ
とができる。ホ−ル素子としてはゲルマニュウムやガリ
ウム砒素製のもの等が用いられる。ギャップが狭い程実
効透磁率が高くなり検出感度は向上するが測定できる最
大電流は小さくなる。また、直線性も悪くなってくる。
たもの等多くの種類がある。これらの中でホ−ル素子等
の磁界検出素子と磁気回路を一体化させた電流センサは
素子に流す電流を一定にすることにより、主回路から絶
縁された状態で主回路に流れている電流を直流から交流
まで検出することができる特徴を有している。また、図
１（ａ）（ｂ）に示すような貫通型の場合はインダクタ
ンスが小さいため応答速度が早い特徴も有している。図
２の様な巻線をほどこした構造のセンサは比較的小さい
電流検出用に使用される。これらの電流センサに用いら
れる磁心は磁路の少なくとも1箇所にギャップが形成さ
れており、このギャップ部分にホ−ル素子等の磁界検出
素子が配置されている。導線を流れる電流による発生磁
界により磁心が磁化され、これに伴いギャップ部に磁界
が発生する。この磁界によりホ−ル素子の抵抗値が変化
する。ホ−ル素子に電流を流し、この両端の電圧を検出
することにより、導線(導体)を流れる電流を検出するこ
とができる。ホ−ル素子としてはゲルマニュウムやガリ
ウム砒素製のもの等が用いられる。ギャップが狭い程実
効透磁率が高くなり検出感度は向上するが測定できる最
大電流は小さくなる。また、直線性も悪くなってくる。
【０００３】ところで、これらのセンサの磁気回路に使
用される磁心材料には高透磁率の鉄心材料が使用され
る。従来、これらの磁心材料には珪素鋼、パ−マロイや
アモルファス合金等が用いられている。
用される磁心材料には高透磁率の鉄心材料が使用され
る。従来、これらの磁心材料には珪素鋼、パ−マロイや
アモルファス合金等が用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、珪素鋼を用い
た場合は、飽和磁束密度が大きく大電流の測定が可能で
あるが、B-Hル−プのヒステリシスが大きいため出力電
圧と電流の関係をみるとヒステリシスが大きい問題があ
る。また、高周波の電流を検出する場合には磁心損失が
大きいため、磁心の温度上昇が激しくなる問題がある。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであ
って、ヒステリシスが小さく、直線性が良く、高電流ま
で検出可能な電流センサを提供することを目的としてい
る。
た場合は、飽和磁束密度が大きく大電流の測定が可能で
あるが、B-Hル−プのヒステリシスが大きいため出力電
圧と電流の関係をみるとヒステリシスが大きい問題があ
る。また、高周波の電流を検出する場合には磁心損失が
大きいため、磁心の温度上昇が激しくなる問題がある。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであ
って、ヒステリシスが小さく、直線性が良く、高電流ま
で検出可能な電流センサを提供することを目的としてい
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、粒径500オンク゛ス
トローム以下の微細なナノ結晶粒が組織の少なくとも50%を
占めるナノ結晶合金からなる磁心の磁路の少なくとも1
箇所にギャップが形成されており、前記ギャップ部に磁
界検出素子が配置されていることを特徴とする電流セン
サである。
トローム以下の微細なナノ結晶粒が組織の少なくとも50%を
占めるナノ結晶合金からなる磁心の磁路の少なくとも1
箇所にギャップが形成されており、前記ギャップ部に磁
界検出素子が配置されていることを特徴とする電流セン
サである。
【０００６】本発明に係わるナノ結晶合金は次のように
製造される。まず、単ロ−ル法、双ロ−ル法等の液体急
冷法によりアモルファス合金薄帯を作製後この合金薄帯
を巻回す、切断する、打ち抜く、エッチングする等の方
法を選択し磁心を作製する。次にこれを熱処理し結晶化
させることにより粒径500オンク゛ストローム以下の微細なナノ結
晶粒が組織の少なくとも50%を占める合金からなる磁心
を作製するがこの際磁心は樹脂で接着あるいはモ−ルド
する。
製造される。まず、単ロ−ル法、双ロ−ル法等の液体急
冷法によりアモルファス合金薄帯を作製後この合金薄帯
を巻回す、切断する、打ち抜く、エッチングする等の方
法を選択し磁心を作製する。次にこれを熱処理し結晶化
させることにより粒径500オンク゛ストローム以下の微細なナノ結
晶粒が組織の少なくとも50%を占める合金からなる磁心
を作製するがこの際磁心は樹脂で接着あるいはモ−ルド
する。
【０００７】更にこの磁心の磁路の少なくとも一部にギ
ャップを形成するため切断等を行う。更にこのギャップ
部にホ−ル素子等の磁界検出素子を配置する。ホ−ル素
子等の磁界検出素子は一般的には磁心と固定され測定値
の精度を確保するため位置が変化しないようにする。ま
たセンサの片側あるいは両側にスペ−サを配置し、磁界
検出素子のギャップ部の位置精度を向上させる方法を行
っても良い。磁界検出素子としてはヒステリシスを小さ
くしたり、安定性の観点からホ−ル素子が特に適してい
る。磁心として前記ナノ結晶合金を使用することにより
珪素鋼やFe基アモルファス合金を使用した場合よりもヒ
ステリシスが小さく、直線性の良い特性を得ることがで
きる。また、磁心の飽和磁束密度が高いため80%Niパ−
マロイやCo基アモルファス合金のような高透磁率材料に
比べ同形状で高電流まで測定できる。また磁心はカット
コアとしても良い。
ャップを形成するため切断等を行う。更にこのギャップ
部にホ−ル素子等の磁界検出素子を配置する。ホ−ル素
子等の磁界検出素子は一般的には磁心と固定され測定値
の精度を確保するため位置が変化しないようにする。ま
たセンサの片側あるいは両側にスペ−サを配置し、磁界
検出素子のギャップ部の位置精度を向上させる方法を行
っても良い。磁界検出素子としてはヒステリシスを小さ
くしたり、安定性の観点からホ−ル素子が特に適してい
る。磁心として前記ナノ結晶合金を使用することにより
珪素鋼やFe基アモルファス合金を使用した場合よりもヒ
ステリシスが小さく、直線性の良い特性を得ることがで
きる。また、磁心の飽和磁束密度が高いため80%Niパ−
マロイやCo基アモルファス合金のような高透磁率材料に
比べ同形状で高電流まで測定できる。また磁心はカット
コアとしても良い。
【０００８】本発明電流センサは使用する場合に必要に
応じて磁心には電流を流す巻線が施される。巻線をせず
に貫通で使用する場合もある。高電流を計測する必要が
ある場合は巻線をせずに導体を貫通させて使用する場合
が多い。また、センサとして巻線が施されたものや、貫
通した導体と一体化し、電流を流す端子があるものも本
発明に含まれる。この場合は使用者は電流を検出する必
要があるラインに、本センサを取り付けて使用すること
になる。
応じて磁心には電流を流す巻線が施される。巻線をせず
に貫通で使用する場合もある。高電流を計測する必要が
ある場合は巻線をせずに導体を貫通させて使用する場合
が多い。また、センサとして巻線が施されたものや、貫
通した導体と一体化し、電流を流す端子があるものも本
発明に含まれる。この場合は使用者は電流を検出する必
要があるラインに、本センサを取り付けて使用すること
になる。
【０００９】本発明に係わる合金としてはFeを主体とし
Cu,Auから選ばれる少なくとも1種の元素及びTi,V,Zr,N
b,Mo,Hf,Ta,Wを必須成分として含むものが適している。
基本的には特公平4-4393等に記載の合金系であり、具体
的にはFe-A-M-Si-B系(A:Cu,Au、M:Ti,V,Zr,Nb,Mo,Hf,T
a,W)が挙げられる。Si,Bから選ばれた少なくとも一種の
元素は30at%以下含む。これらの元素は高周波特性を改
善したり結晶粒を微細化し、ヒステリシスを小さくする
効果を有する。この他に必要に応じて耐蝕性や磁気特性
等を改善する目的でCr,Mn,Co,Ni,Alを20%以下含んでも
良い。
Cu,Auから選ばれる少なくとも1種の元素及びTi,V,Zr,N
b,Mo,Hf,Ta,Wを必須成分として含むものが適している。
基本的には特公平4-4393等に記載の合金系であり、具体
的にはFe-A-M-Si-B系(A:Cu,Au、M:Ti,V,Zr,Nb,Mo,Hf,T
a,W)が挙げられる。Si,Bから選ばれた少なくとも一種の
元素は30at%以下含む。これらの元素は高周波特性を改
善したり結晶粒を微細化し、ヒステリシスを小さくする
効果を有する。この他に必要に応じて耐蝕性や磁気特性
等を改善する目的でCr,Mn,Co,Ni,Alを20%以下含んでも
良い。
【００１０】本発明電流センサは導線を流れる電流によ
り発生する磁界により、磁心が磁化され、これに伴いギ
ャップ部に磁界が発生しホ−ル素子等の磁界検出素子の
抵抗値が変化し、素子に電流を流すとこの両端の電圧が
変化するためこれを検出することにより、導線(導体)を
流れる電流値を測定することができる。前記磁心および
磁界検出素子は通常はケ−ス内に入った状態、あるいは
周囲を樹脂モ−ルドした状態で使用する。このような構
造とすることにより信頼性が向上する。また、必要に応
じて検出出力の端子や測定する電流を流すための端子を
前記ケ−スに設けても良い。
り発生する磁界により、磁心が磁化され、これに伴いギ
ャップ部に磁界が発生しホ−ル素子等の磁界検出素子の
抵抗値が変化し、素子に電流を流すとこの両端の電圧が
変化するためこれを検出することにより、導線(導体)を
流れる電流値を測定することができる。前記磁心および
磁界検出素子は通常はケ−ス内に入った状態、あるいは
周囲を樹脂モ−ルドした状態で使用する。このような構
造とすることにより信頼性が向上する。また、必要に応
じて検出出力の端子や測定する電流を流すための端子を
前記ケ−スに設けても良い。
【００１１】
【実施例】以下本発明を実施例にしたがって説明するが
本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１２】（実施例１）単ロ−ル法により幅5mm厚さ1
8μmのFebal.Cu1Nb2.5Si14B9(at%)アモルファス合金薄
帯を作製した。次にこの合金薄帯をトロイダル状に巻回
しArガス雰囲気中550゜Cで1時間熱処理を行った。熱処理
後の合金は組織観察の結果、組織のほとんどが粒径12nm
の微細なナノ結晶粒が形成していた。次にこの磁心を含
浸し、図３に示す構造の本発明の電流センサを作製し、
電流と出力電圧の関係を測定した。得られた結果を図４
（ａ）に示す。比較のため珪素鋼板を用いた場合、Fe基
アモルファス合金を用いた場合、Co基アモルファス合金
を用いた場合も示す。
8μmのFebal.Cu1Nb2.5Si14B9(at%)アモルファス合金薄
帯を作製した。次にこの合金薄帯をトロイダル状に巻回
しArガス雰囲気中550゜Cで1時間熱処理を行った。熱処理
後の合金は組織観察の結果、組織のほとんどが粒径12nm
の微細なナノ結晶粒が形成していた。次にこの磁心を含
浸し、図３に示す構造の本発明の電流センサを作製し、
電流と出力電圧の関係を測定した。得られた結果を図４
（ａ）に示す。比較のため珪素鋼板を用いた場合、Fe基
アモルファス合金を用いた場合、Co基アモルファス合金
を用いた場合も示す。
【００１３】本発明電流センサは電流と出力電圧の関係
の直線性がFe基アモルファス合金を使用したセンサより
も優れている。また、Co基アモルファス合金を使用した
ものは電流と出力電圧の関係の直線性は良いが磁心が飽
和しやすく本発明センサよりも測定電流の上限は小さく
なる。図４（ｂ）で定義されるヒステリシス幅は6mVで
あり、珪素鋼を使用したセンサの16mV、Fe基アモルファ
ス合金を使用したセンサの11mVよりも小さく優れている
ことが分かった。以上のように本発明によればヒステリ
シスが小さく、かつ直線性が良く高電流まで検出可能な
両特性ともに優れた従来にない高性能な電流センサを得
ることができる。
の直線性がFe基アモルファス合金を使用したセンサより
も優れている。また、Co基アモルファス合金を使用した
ものは電流と出力電圧の関係の直線性は良いが磁心が飽
和しやすく本発明センサよりも測定電流の上限は小さく
なる。図４（ｂ）で定義されるヒステリシス幅は6mVで
あり、珪素鋼を使用したセンサの16mV、Fe基アモルファ
ス合金を使用したセンサの11mVよりも小さく優れている
ことが分かった。以上のように本発明によればヒステリ
シスが小さく、かつ直線性が良く高電流まで検出可能な
両特性ともに優れた従来にない高性能な電流センサを得
ることができる。
【００１４】（実施例２）単ロ−ル法により幅200mm厚
さ20μmの表１に示す組成のアモルファス合金薄帯を作
製した。次にこの薄帯を一部はスリットし、一部は打ち
抜き磁心用に加工した。次に、スリットした薄帯はトロ
イダル状に巻回し、打ち抜いた合金薄帯はそのままの状
態でArガス雰囲気中570゜Cで1時間熱処理を行った。熱処
理後の合金は組織観察の結果、組織のほとんどが粒径50
0オンク゛ストローム以下の微細なナノ結晶粒が形成していた。次
に、トロイダル巻磁心は含浸し、打ち抜いたナノ結晶合
金薄帯は積層接着し磁心を作製した。次に、この磁心の
磁路の一箇所を外周スライサで切断し、ギャップを形成
し実施例１と同様な測定を行った。ヒステリシス幅、直
線性範囲（電流と出力電圧の関係がほぼ直線関係にある
範囲［１％以内］）を表１に示す。
さ20μmの表１に示す組成のアモルファス合金薄帯を作
製した。次にこの薄帯を一部はスリットし、一部は打ち
抜き磁心用に加工した。次に、スリットした薄帯はトロ
イダル状に巻回し、打ち抜いた合金薄帯はそのままの状
態でArガス雰囲気中570゜Cで1時間熱処理を行った。熱処
理後の合金は組織観察の結果、組織のほとんどが粒径50
0オンク゛ストローム以下の微細なナノ結晶粒が形成していた。次
に、トロイダル巻磁心は含浸し、打ち抜いたナノ結晶合
金薄帯は積層接着し磁心を作製した。次に、この磁心の
磁路の一箇所を外周スライサで切断し、ギャップを形成
し実施例１と同様な測定を行った。ヒステリシス幅、直
線性範囲（電流と出力電圧の関係がほぼ直線関係にある
範囲［１％以内］）を表１に示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】本発明の電流センサは従来の珪素鋼やFe基
アモルファスを磁心として用いた電流センサよりヒステ
リシスが小さく、直線性に優れている。また、Co基アモ
ルファス合金と比較しても高電流まで検出可能であり優
れた特性を有していることが確認された。
アモルファスを磁心として用いた電流センサよりヒステ
リシスが小さく、直線性に優れている。また、Co基アモ
ルファス合金と比較しても高電流まで検出可能であり優
れた特性を有していることが確認された。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、ヒステリシスが小さ
く、直線性が良く、高電流まで検出可能な電流センサを
提供することができるためその効果は著しいものがあ
る。
く、直線性が良く、高電流まで検出可能な電流センサを
提供することができるためその効果は著しいものがあ
る。
【図１】本発明に係わる電流センサの構造の一例を示し
た図である。
た図である。
【図２】本発明に係わる電流センサの構造の一例を示し
た図である。
た図である。
【図３】本発明の電流センサの構造の一実施例を示した
図である。
図である。
【図４】本発明の電流センサおよび従来の電流センサの
電流と出力電圧の関係およびヒステリシス幅の定義を示
した図である。
電流と出力電圧の関係およびヒステリシス幅の定義を示
した図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｆ 1/14 38/28 9469−5Ｅ Ｈ０１Ｆ 40/06
Claims (7)
- 【請求項１】 粒径500オンク゛ストローム以下の微細なナノ結晶
粒が組織の少なくとも50%を占めるナノ結晶合金からな
る磁心の磁路の少なくとも1箇所にギャップが形成され
ており、前記ギャップ部に磁界検出素子が配置されてい
ることを特徴とする電流センサ。 - 【請求項２】 前記磁界検出素子がホ−ル素子であるこ
とを特徴とする請求項１に記載の電流センサ。 - 【請求項３】 前記磁心に導線が巻かれているか、ある
いは導線が貫通していることを特徴とする請求項１また
は請求項２に記載の電流センサ。 - 【請求項４】 Feを主体としCu,Auから選ばれる少なく
とも1種の元素及びTi,V,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,Wから選ばれる
少なくともひとつを必須成分として含むナノ結晶合金の
磁心から構成されていることを特徴とする請求項１乃至
請求項３のいづれかに記載の電流センサ。 - 【請求項５】 Si,Bから選ばれた少なくとも一種の元素
を30at%以下含むことを特徴とする請求項１乃至請求項
４のいづれかに記載の電流センサ。 - 【請求項６】 Cr,Mn,Co,Ni,Alから選ばれる少なくとも
一種の元素を20at%以下含むことを特徴とする請求項４
乃至請求項５のいづれかに記載の電流センサ。 - 【請求項７】 前記磁心および磁界検出素子がケ−ス内
に挿入されている、あるいは周囲を樹脂モ−ルドされて
いることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいづれか
に記載の電流センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5296952A JPH07151793A (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 電流センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5296952A JPH07151793A (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 電流センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07151793A true JPH07151793A (ja) | 1995-06-16 |
Family
ID=17840314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5296952A Pending JPH07151793A (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 電流センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07151793A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100518677B1 (ko) * | 1997-03-18 | 2005-10-05 | 메트글라스, 인코포레이티드 | 전기 초크 |
| CN109782047A (zh) * | 2019-02-26 | 2019-05-21 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种基于非晶纳米晶异型磁芯的直放式电流传感器 |
| CN117153549A (zh) * | 2023-09-01 | 2023-12-01 | 江苏京沂电器有限公司 | 一种抗直流纳米晶双磁芯电流互感器的生产工艺 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS62151765A (ja) * | 1985-12-26 | 1987-07-06 | Toyoda Autom Loom Works Ltd | 電流検出器 |
| JPH01235213A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-20 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサー及び電流センサー並びにこれを用いた装置 |
| JPH044393B2 (ja) * | 1986-12-15 | 1992-01-28 | ||
| JPH0564778U (ja) * | 1992-02-07 | 1993-08-27 | 株式会社トーキン | 電流センサ |
-
1993
- 1993-11-26 JP JP5296952A patent/JPH07151793A/ja active Pending
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