JPH0714696A - シングルプローブによるプラズマ測定方法とその装置 - Google Patents
シングルプローブによるプラズマ測定方法とその装置Info
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- JPH0714696A JPH0714696A JP5155895A JP15589593A JPH0714696A JP H0714696 A JPH0714696 A JP H0714696A JP 5155895 A JP5155895 A JP 5155895A JP 15589593 A JP15589593 A JP 15589593A JP H0714696 A JPH0714696 A JP H0714696A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】一回の測定でプラズマの諸特性の時間的な変化
（位相に対する変化）を測定することができるシングル
プローブによるプラズマ測定方法及びその装置を提供す
るにある。 【構成】プローブ用電源５の電圧はコンピュータ８の制
御の下で変化させられる。この変化に応じてトリガ信号
発生装置９はトリガ信号を発生させる。このトリガ信号
を受けたデジタルオシロスコープ７はプローブ電位、プ
ローブ電流のデータのサンプリングを開始する。このサ
ンプリングの間隔、サンプル数はコンピュータ８で制御
設定される。
（位相に対する変化）を測定することができるシングル
プローブによるプラズマ測定方法及びその装置を提供す
るにある。 【構成】プローブ用電源５の電圧はコンピュータ８の制
御の下で変化させられる。この変化に応じてトリガ信号
発生装置９はトリガ信号を発生させる。このトリガ信号
を受けたデジタルオシロスコープ７はプローブ電位、プ
ローブ電流のデータのサンプリングを開始する。このサ
ンプリングの間隔、サンプル数はコンピュータ８で制御
設定される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体プロセスや照明
用光源等の気体プラズマの性質を測定するシングルプロ
ーブによるプラズマ測定方法とその装置に関するもので
ある。
用光源等の気体プラズマの性質を測定するシングルプロ
ーブによるプラズマ測定方法とその装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体プロセスや照明用光源等
の気体プラズマの性質を測定する場合に用いられるプロ
ーブとしては、シングルプローブ、ダブルプローブ、ト
リプルプローブがある。夫々のプローブには特徴がある
が、ダブルプローブはプラズマ電位が評価しにくいこ
と、またトリプルプローブは、プラズマ電位、プラズマ
の電子エネルギー密度（電子温度）、電子密度等の一連
の情報が得られるという利点がある。
の気体プラズマの性質を測定する場合に用いられるプロ
ーブとしては、シングルプローブ、ダブルプローブ、ト
リプルプローブがある。夫々のプローブには特徴がある
が、ダブルプローブはプラズマ電位が評価しにくいこ
と、またトリプルプローブは、プラズマ電位、プラズマ
の電子エネルギー密度（電子温度）、電子密度等の一連
の情報が得られるという利点がある。
【０００３】そのシングルプローブを使用しての高周波
におけるプローブ特性の測定方法としてはボックスカー
積分器を用いて行われる方法が従来ある。しかしこの方
法は図１０に示すようにある特定の位相（図集の点の部
分）でのプローブ特性は正確に測定できるが、一回の測
定ではその特定位相での現象しか測定することができな
い、というデメリットがある。勿論、測定時間も可なり
長くかかるという問題もある。
におけるプローブ特性の測定方法としてはボックスカー
積分器を用いて行われる方法が従来ある。しかしこの方
法は図１０に示すようにある特定の位相（図集の点の部
分）でのプローブ特性は正確に測定できるが、一回の測
定ではその特定位相での現象しか測定することができな
い、というデメリットがある。勿論、測定時間も可なり
長くかかるという問題もある。
【０００４】またその他の従来例として、プラズマ特性
を高速に（つまり短時間に）測定する方法が特公昭５７
−２８１１１号、特開平１−９５４９６号、特開平２−
３００９８号に述べれられているが、これらは各位相の
変化を測定しようとするものではない。
を高速に（つまり短時間に）測定する方法が特公昭５７
−２８１１１号、特開平１−９５４９６号、特開平２−
３００９８号に述べれられているが、これらは各位相の
変化を測定しようとするものではない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】シングルプローブを使
用しての高周波におけるプローブ特性の測定において、
従来の方法では、ある特定の位相（図１０の実線部分）
でのプローブ特性は正確に測定できるが、一回の測定で
はその特定位相での現象しか測定することができなかっ
た。
用しての高周波におけるプローブ特性の測定において、
従来の方法では、ある特定の位相（図１０の実線部分）
でのプローブ特性は正確に測定できるが、一回の測定で
はその特定位相での現象しか測定することができなかっ
た。
【０００６】これは各位相でのプラズマの変化を調べる
には何度も測定を繰り返さねばならず、測定時間がかか
るという問題がある。またプラズマが非常に安定してい
る場合は良いが、そいでない場合は位相間のプラズマ特
性を正確に比較できない、という問題があった。本発明
は上記の問題点に鑑みて為されたもので、その目的とす
るところは一回の測定でプラズマの諸特性の時間的な変
化（位相に対する変化）を測定することができるシング
ルプローブによるプラズマ測定方法及びその装置を提供
するにある。
には何度も測定を繰り返さねばならず、測定時間がかか
るという問題がある。またプラズマが非常に安定してい
る場合は良いが、そいでない場合は位相間のプラズマ特
性を正確に比較できない、という問題があった。本発明
は上記の問題点に鑑みて為されたもので、その目的とす
るところは一回の測定でプラズマの諸特性の時間的な変
化（位相に対する変化）を測定することができるシング
ルプローブによるプラズマ測定方法及びその装置を提供
するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１の発明は、気体プラズマの性質をシング
ルプローブにより測定するプラズマ測定方法において、
シングルプローブ用電源電圧を変化させ、その変化の直
後に時間的に変動しているプラズマの特定位相を検知
し、その検知に応じてオシロスコープのデータサンプリ
ング開始のトリガ信号を発生させ、このトリガ信号の発
生後、任意に設定した時間毎にプローブ電位及びプロー
ブ電流のデータをオシロスコープに取り込んで測定を行
うことを特徴とする。
めに、請求項１の発明は、気体プラズマの性質をシング
ルプローブにより測定するプラズマ測定方法において、
シングルプローブ用電源電圧を変化させ、その変化の直
後に時間的に変動しているプラズマの特定位相を検知
し、その検知に応じてオシロスコープのデータサンプリ
ング開始のトリガ信号を発生させ、このトリガ信号の発
生後、任意に設定した時間毎にプローブ電位及びプロー
ブ電流のデータをオシロスコープに取り込んで測定を行
うことを特徴とする。
【０００８】請求項２の発明は、シングルプローブ用電
源電圧を変化させる手段と、シングルプローブ用電源電
圧の変化の直後、時間的に変動しているプラズマの特定
位相を検知する手段と、プラズマの特定位相の検知に応
じてオシロスコープのデータサンプリング開始のトリガ
信号を発生させる手段と、このトリガ信号の発生後、任
意に設定して時間毎にデータをサンプリングして取り込
むオシロスコープとから成る。
源電圧を変化させる手段と、シングルプローブ用電源電
圧の変化の直後、時間的に変動しているプラズマの特定
位相を検知する手段と、プラズマの特定位相の検知に応
じてオシロスコープのデータサンプリング開始のトリガ
信号を発生させる手段と、このトリガ信号の発生後、任
意に設定して時間毎にデータをサンプリングして取り込
むオシロスコープとから成る。
【０００９】請求項３の発明は、一定の期間サンプリン
グによりオシロスコープにデータを取り込んだ後に、オ
シロスコープ次のオシロスコープのデータサンプリング
開始用のトリガ信号を発生させる手段を備えたものであ
る。
グによりオシロスコープにデータを取り込んだ後に、オ
シロスコープ次のオシロスコープのデータサンプリング
開始用のトリガ信号を発生させる手段を備えたものであ
る。
【００１０】
【作用】請求項１の発明によれば、変動プラズマの特定
位相から一定期間オシロスコープにプローブ電位及びプ
ローブ電流からなるデータをサンプングにより取り込む
ことができるため、一回の測定でプラズマの諸特性の時
間的な変化を測定できる。
位相から一定期間オシロスコープにプローブ電位及びプ
ローブ電流からなるデータをサンプングにより取り込む
ことができるため、一回の測定でプラズマの諸特性の時
間的な変化を測定できる。
【００１１】請求項２の発明によれば、シングルプロー
ブ用電源電圧の変化に同期させて時間的に変動している
プラズマの特定位相を検知することができ、この検知し
た特定位相から一回の測定でプラズマの諸特性の時間的
な変化を自動的に測定できる。請求項３の発明によれ
ば、請求項２の発明において、自動的に測定を繰り返し
て行うことができ、平均化した測定結果を簡単に得るこ
とができる。
ブ用電源電圧の変化に同期させて時間的に変動している
プラズマの特定位相を検知することができ、この検知し
た特定位相から一回の測定でプラズマの諸特性の時間的
な変化を自動的に測定できる。請求項３の発明によれ
ば、請求項２の発明において、自動的に測定を繰り返し
て行うことができ、平均化した測定結果を簡単に得るこ
とができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は、本発明の実施例装置の全体構成を示して
おり、この実施例ではプラズマ点灯用電源３の電圧がカ
プラ（又はバラスト）２を介して電圧が印加される放電
灯１のプラズマＰを被測定対象としており、この放電灯
１内にシングルプロープ４が挿入される。
する。図１は、本発明の実施例装置の全体構成を示して
おり、この実施例ではプラズマ点灯用電源３の電圧がカ
プラ（又はバラスト）２を介して電圧が印加される放電
灯１のプラズマＰを被測定対象としており、この放電灯
１内にシングルプロープ４が挿入される。
【００１３】このシングルプロープ４は、プローブ用電
源５から電流計（又は抵抗）６を介して電圧が印加され
るようになっている。シングルプローブ４の電位及びプ
ローブ電流（電流計６の測定値）のデータはデジタルオ
シロスコープ７に取り込まれるようになっている。この
デジタルオシロスコープ７のデータのサンプリング開始
はプラズマ点灯用電源３の電圧の特定位相に同期して、
つまりプラズマ点灯用電源３の電圧で発生するプラズマ
Ｐの特定位相に同期してトリガ信号発生装置９から発生
するトリガ信号により設定される。
源５から電流計（又は抵抗）６を介して電圧が印加され
るようになっている。シングルプローブ４の電位及びプ
ローブ電流（電流計６の測定値）のデータはデジタルオ
シロスコープ７に取り込まれるようになっている。この
デジタルオシロスコープ７のデータのサンプリング開始
はプラズマ点灯用電源３の電圧の特定位相に同期して、
つまりプラズマ点灯用電源３の電圧で発生するプラズマ
Ｐの特定位相に同期してトリガ信号発生装置９から発生
するトリガ信号により設定される。
【００１４】またデジタルオシロスコープ７のデータの
サンプリング間隔とサンプル数はコンピュータ８により
制御される。コンピュータ８は上記プローブ用電源５を
制御して出力電圧を変化させる制御手段をも構成してお
り、この電圧変化のタイミングはデジタルオシロスコー
プ７がデータをサプンリングする動作と関連付けて制御
される。
サンプリング間隔とサンプル数はコンピュータ８により
制御される。コンピュータ８は上記プローブ用電源５を
制御して出力電圧を変化させる制御手段をも構成してお
り、この電圧変化のタイミングはデジタルオシロスコー
プ７がデータをサプンリングする動作と関連付けて制御
される。
【００１５】図２は上記トリガ信号発生装置９の構成を
示しており、図３（ａ）に示すプローブ電源電圧の変化
点を検出して図３（ｃ）に示す微分出力を発生する微分
回路１０と、図３（ｂ）に示すプラズマ点灯用電源３の
電源同期波形と上記微分回路１０の出力を取り込み、微
分回路１０の出力の立ち上がりがあってからの最初の電
源同期波形の立ち上がりで出力を図３（ｄ）に示すよう
に一定時間発生させるシーケンスン回路１１と、このシ
ーケンス回路１１の出力と電源同期波形とを入力してシ
ーケンス回路１１の出力発生期間中において電源同期波
形の最初の立ち下がりで一定幅のパルスを図３（ｅ）に
示すようにトリガ信号として発生する論理回路１２とか
ら構成される。
示しており、図３（ａ）に示すプローブ電源電圧の変化
点を検出して図３（ｃ）に示す微分出力を発生する微分
回路１０と、図３（ｂ）に示すプラズマ点灯用電源３の
電源同期波形と上記微分回路１０の出力を取り込み、微
分回路１０の出力の立ち上がりがあってからの最初の電
源同期波形の立ち上がりで出力を図３（ｄ）に示すよう
に一定時間発生させるシーケンスン回路１１と、このシ
ーケンス回路１１の出力と電源同期波形とを入力してシ
ーケンス回路１１の出力発生期間中において電源同期波
形の最初の立ち下がりで一定幅のパルスを図３（ｅ）に
示すようにトリガ信号として発生する論理回路１２とか
ら構成される。
【００１６】而して、今コンピュータ８の制御の下で、
プローブ用電源５の電圧が変化すると、この変化に応じ
てトリガ信号発生装置９は図４に示すタイミングｔ0 で
トリガ信号を発生させる。このトリガ信号を受けたデジ
タルオシロスコープ７はプローブ電位、プローブ電流の
データのサンプリングを開始する。このサンプリングの
間隔、サンプル数はコンピュータ８で制御設定される。
図４の黒点はサンプリングのタイミングを示している。
本実施例の場合サンプリングの開始から終了までは丁度
電源電圧波形の一周期に対応させている。このようにし
て１回の測定で時間的に変動するプラズマの任意の特定
位相でのプローブ特性が測定できるのである。
プローブ用電源５の電圧が変化すると、この変化に応じ
てトリガ信号発生装置９は図４に示すタイミングｔ0 で
トリガ信号を発生させる。このトリガ信号を受けたデジ
タルオシロスコープ７はプローブ電位、プローブ電流の
データのサンプリングを開始する。このサンプリングの
間隔、サンプル数はコンピュータ８で制御設定される。
図４の黒点はサンプリングのタイミングを示している。
本実施例の場合サンプリングの開始から終了までは丁度
電源電圧波形の一周期に対応させている。このようにし
て１回の測定で時間的に変動するプラズマの任意の特定
位相でのプローブ特性が測定できるのである。
【００１７】ここでその測定結果を平均化するために、
特定位相毎にコンピュータ８は図３（ａ）に示すように
プローブ用電源電圧を一定値上昇させる制御を行って上
述の同様にトリガ信号発生装置９からトリガ信号を発生
させ、デジタルオシロスコープ７のデータサンプンリン
グを繰り返すのである。この繰り返しはプローブ電源電
圧がプローブ電位よりも大きくなるまで行う。
特定位相毎にコンピュータ８は図３（ａ）に示すように
プローブ用電源電圧を一定値上昇させる制御を行って上
述の同様にトリガ信号発生装置９からトリガ信号を発生
させ、デジタルオシロスコープ７のデータサンプンリン
グを繰り返すのである。この繰り返しはプローブ電源電
圧がプローブ電位よりも大きくなるまで行う。
【００１８】図５は実施例におけるプラズマ点灯電源波
形とデータのサンプリング点の関係を示しており、また
図６は各サンプリング点におけるプローブ電位Ｖｐとプ
ローブ電流Ｉｐの測定結果を示す。ところで上記実施例
ではプローブ電源電圧を段階的に上昇させて変化させる
ようにしているが、図７（ａ）に示すように一定周期で
一定期間プローブ電源電圧を上昇させるようにプローブ
電源５をコンピュータ８が制御するようにしてもよい。
つまりトリガ信号発生装置９の微分回路１０が電圧変化
を検出することができればよいのである。
形とデータのサンプリング点の関係を示しており、また
図６は各サンプリング点におけるプローブ電位Ｖｐとプ
ローブ電流Ｉｐの測定結果を示す。ところで上記実施例
ではプローブ電源電圧を段階的に上昇させて変化させる
ようにしているが、図７（ａ）に示すように一定周期で
一定期間プローブ電源電圧を上昇させるようにプローブ
電源５をコンピュータ８が制御するようにしてもよい。
つまりトリガ信号発生装置９の微分回路１０が電圧変化
を検出することができればよいのである。
【００１９】図７（ａ）はプラズマの特定位相で上記の
プローブ電源５の制御を３回行って、３回の測定結果に
基づいて平均化する場合に対応しているが、平均化の回
数はコンピュータ８で任意に設定できる。図７（ｂ）〜
（ｅ）は図３（ｂ）〜（ｅ）に対応する各部の信号を示
す。上記実施例ではトリガ信号発生装置９はプローブ電
源電圧の変化を変化を電圧の立ち下がりで検出するよう
になっているが、立ち上がりを検出するようにしてもよ
い。図８はこの場合に対応してプローブ電源電圧をコン
ピュータ８で変化させた状態を示す。
プローブ電源５の制御を３回行って、３回の測定結果に
基づいて平均化する場合に対応しているが、平均化の回
数はコンピュータ８で任意に設定できる。図７（ｂ）〜
（ｅ）は図３（ｂ）〜（ｅ）に対応する各部の信号を示
す。上記実施例ではトリガ信号発生装置９はプローブ電
源電圧の変化を変化を電圧の立ち下がりで検出するよう
になっているが、立ち上がりを検出するようにしてもよ
い。図８はこの場合に対応してプローブ電源電圧をコン
ピュータ８で変化させた状態を示す。
【００２０】更に上記実施例では平均化をとるためにプ
ローブ電源電圧を変化させ、その変化を検出することに
よりデジタルオシロスコープ７のデータサンプリング開
始のトリガ信号を発生させるようにしているが、平均化
するための測定回数を予めコンピュータ８に設定し、図
９（ａ）に示すようにプローブ電源電圧の投入時の立ち
上がりに対応してトリガ信号を図９（ｅ）に示すように
発生させた後は、コンピュータ８の制御の下で任意の周
期Ｔでトリガ信号を測定回数分だけ発生させるようにし
ても良い。この場合トリガ信号のインターバル（Ｔ）は
点灯周波数と（同一プローブ電源電圧の場合の）データ
のサンプリング数によって異なるが数秒あれば充分であ
るので、そのように設計すれば良い。尚図９（ｂ）〜
（ｄ）は図３（ｂ）〜（ｄ）に対応する波形である。
ローブ電源電圧を変化させ、その変化を検出することに
よりデジタルオシロスコープ７のデータサンプリング開
始のトリガ信号を発生させるようにしているが、平均化
するための測定回数を予めコンピュータ８に設定し、図
９（ａ）に示すようにプローブ電源電圧の投入時の立ち
上がりに対応してトリガ信号を図９（ｅ）に示すように
発生させた後は、コンピュータ８の制御の下で任意の周
期Ｔでトリガ信号を測定回数分だけ発生させるようにし
ても良い。この場合トリガ信号のインターバル（Ｔ）は
点灯周波数と（同一プローブ電源電圧の場合の）データ
のサンプリング数によって異なるが数秒あれば充分であ
るので、そのように設計すれば良い。尚図９（ｂ）〜
（ｄ）は図３（ｂ）〜（ｄ）に対応する波形である。
【００２１】尚本発明の実施例で用いるデジタルオシロ
スコープ７の定義は、ある信号を時間の変化に応じて測
定出来るものであるという意味であり、例えば高性能ア
ナログオシロスコープと高性能コンピュータの組み合わ
せで同等のことができるように構成されるものでも良
い。
スコープ７の定義は、ある信号を時間の変化に応じて測
定出来るものであるという意味であり、例えば高性能ア
ナログオシロスコープと高性能コンピュータの組み合わ
せで同等のことができるように構成されるものでも良
い。
【００２２】
【発明の効果】請求項１の発明は、気体プラズマの性質
をシングルプローブにより測定するプラズマ測定方法に
おいて、シングルプローブ用電源電圧を変化させ、その
変化の直後に時間的に変動しているプラズマの特定位相
を検知し、その検知に応じてオシロスコープのデータサ
ンプリング開始のトリガ信号を発生させ、このトリガ信
号の発生後、任意に設定した時間毎にプローブ電位及び
プローブ電流のデータをオシロスコープに取り込んで測
定を行うので、変動プラズマの特定位相から一定期間オ
シロスコープにプローブ電位及びプローブ電流からなる
データをサンプングにより取り込むことができ、そのた
め一回の測定でプラズマの諸特性の時間的な変化を正確
に測定できるという効果がある。
をシングルプローブにより測定するプラズマ測定方法に
おいて、シングルプローブ用電源電圧を変化させ、その
変化の直後に時間的に変動しているプラズマの特定位相
を検知し、その検知に応じてオシロスコープのデータサ
ンプリング開始のトリガ信号を発生させ、このトリガ信
号の発生後、任意に設定した時間毎にプローブ電位及び
プローブ電流のデータをオシロスコープに取り込んで測
定を行うので、変動プラズマの特定位相から一定期間オ
シロスコープにプローブ電位及びプローブ電流からなる
データをサンプングにより取り込むことができ、そのた
め一回の測定でプラズマの諸特性の時間的な変化を正確
に測定できるという効果がある。
【００２３】請求項２の発明は、シングルプローブ用電
源電圧を変化させる手段と、シングルプローブ用電源電
圧の変化の直後、時間的に変動しているプラズマの特定
位相を検知する手段と、プラズマの特定位相の検知に応
じてオシロスコープのデータサンプリング開始のトリガ
信号を発生させる手段と、このトリガ信号の発生後、任
意に設定して時間毎にデータをサンプリングして取り込
むオシロスコープとからなるので、シングルプローブ用
電源電圧の変化に同期させて時間的に変動しているプラ
ズマの特定位相を検知することができ、この検知した特
定位相から一回の測定でプラズマの諸特性の時間的な変
化を自動的に測定できるという効果がある。
源電圧を変化させる手段と、シングルプローブ用電源電
圧の変化の直後、時間的に変動しているプラズマの特定
位相を検知する手段と、プラズマの特定位相の検知に応
じてオシロスコープのデータサンプリング開始のトリガ
信号を発生させる手段と、このトリガ信号の発生後、任
意に設定して時間毎にデータをサンプリングして取り込
むオシロスコープとからなるので、シングルプローブ用
電源電圧の変化に同期させて時間的に変動しているプラ
ズマの特定位相を検知することができ、この検知した特
定位相から一回の測定でプラズマの諸特性の時間的な変
化を自動的に測定できるという効果がある。
【００２４】請求項３の発明は、一定の期間サンプリン
グによりオシロスコープにデータを取り込んだ後に、次
のオシロスコープのデータサンプリング開始用のトリガ
信号を発生させる手段を備えたものであるから、自動的
に測定を繰り返して行うことができ、平均化した測定結
果を簡単に得ることができる。
グによりオシロスコープにデータを取り込んだ後に、次
のオシロスコープのデータサンプリング開始用のトリガ
信号を発生させる手段を備えたものであるから、自動的
に測定を繰り返して行うことができ、平均化した測定結
果を簡単に得ることができる。
【図１】本発明の実施例装置の全体構成図である。
【図２】同上に用いるトリガ信号発生装置の構成図であ
る。
る。
【図３】同上のトリガ信号発生装置の動作説明用タイミ
ングチャートである。
ングチャートである。
【図４】同上のトリガ信号とデータサンプリングの説明
図である。
図である。
【図５】同上のサンプリング点と電源電圧の関係説明図
である。
である。
【図６】同上の測定結果を示すプローブ電流−プローブ
電位の特性図である。
電位の特性図である。
【図７】本発明の他の実施例のプローブ電源電圧の変化
制御の説明図である。
制御の説明図である。
【図８】本発明の他の実施例のプローブ電源電圧の別の
例の変化制御の説明図である。
例の変化制御の説明図である。
【図９】本発明のその他の実施例のトリガ信号発生装置
の動作説明用タイミングチャートである。
の動作説明用タイミングチャートである。
【図１０】従来例の説明図である。
１ 放電灯 ２ カプラ ３ プラズマ点灯用電源 ４ シングルプローブ ５ プローブ用電源 ６ 電流計 ７ デジタルオシロスコープ ８ コンピュータ ９ トリガ信号発生装置 Ｐ プラズマ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年９月１３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体プロセスや照明用光源等
の気体プラズマの性質を測定する場合に用いられるプロ
ーブとしては、シングルプローブ、ダブルプローブ、ト
リプルプローブがある。夫々のプローブには特徴がある
が、ダブルプローブはプラズマ電位が評価しにくいこ
と、またトリプルプローブは電子温度の瞬時測定が可能
であるが電子エネルギー分布状態を評価できない。これ
に対してシングルプローブは、プラズマ電位、プラズマ
の電子エネルギー密度（電子温度）、電子密度等の一連
の情報が得られるという利点がある。
の気体プラズマの性質を測定する場合に用いられるプロ
ーブとしては、シングルプローブ、ダブルプローブ、ト
リプルプローブがある。夫々のプローブには特徴がある
が、ダブルプローブはプラズマ電位が評価しにくいこ
と、またトリプルプローブは電子温度の瞬時測定が可能
であるが電子エネルギー分布状態を評価できない。これ
に対してシングルプローブは、プラズマ電位、プラズマ
の電子エネルギー密度（電子温度）、電子密度等の一連
の情報が得られるという利点がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】そのシングルプローブを使用しての高周波
におけるプローブ特性の測定方法としてはボックスカー
積分器を用いて行われる方法が従来ある。しかしこの方
法は図１０に示すようにある特定の位相（図１０の点の
部分）でのプローブ特性は正確に測定できるが、一回の
測定ではその特定位相での現象しか測定することができ
ない、というデメリットがある。勿論、測定時間もかな
り長くかかるという問題もある。
におけるプローブ特性の測定方法としてはボックスカー
積分器を用いて行われる方法が従来ある。しかしこの方
法は図１０に示すようにある特定の位相（図１０の点の
部分）でのプローブ特性は正確に測定できるが、一回の
測定ではその特定位相での現象しか測定することができ
ない、というデメリットがある。勿論、測定時間もかな
り長くかかるという問題もある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】請求項３の発明は、一定の期間サンプリン
グによりオシロスコープにデータを取り込んだ後に、オ
シロスコープの次のデータサンプリング開始用のトリガ
信号を発生させる手段を備えたものである。
グによりオシロスコープにデータを取り込んだ後に、オ
シロスコープの次のデータサンプリング開始用のトリガ
信号を発生させる手段を備えたものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２４】請求項３の発明は、一定の期間サンプリン
グによりオシロスコープにデータを取り込んだ後に、オ
シロスコープの次のデータサンプリング開始用のトリガ
信号を発生させる手段を備えたものであるから、自動的
に測定を繰り返して行うことができ、平均化して測定結
果を簡単に得ることができる。
グによりオシロスコープにデータを取り込んだ後に、オ
シロスコープの次のデータサンプリング開始用のトリガ
信号を発生させる手段を備えたものであるから、自動的
に測定を繰り返して行うことができ、平均化して測定結
果を簡単に得ることができる。
Claims (3)
- 【請求項１】気体プラズマの性質をシングルプローブに
より測定するプラズマ測定方法において、シングルプロ
ーブ用電源電圧を変化させ、その変化の直後に時間的に
変動しているプラズマの特定位相を検知し、その検知に
応じてオシロスコープのデータサンプリング開始のトリ
ガ信号を発生させ、このトリガ信号の発生後、任意に設
定した時間毎にプローブ電位及びプローブ電流のデータ
をオシロスコープに取り込んで測定を行うことを特徴と
するシングルプローブによるプラズマ測定方法。 - 【請求項２】シングルプローブ用電源電圧を変化させる
手段と、シングルプローブ用電源電圧の変化の直後、時
間的に変動しているプラズマの特定位相を検知する手段
と、プラズマの特定位相の検知に応じてオシロスコープ
のデータサンプリング開始のトリガ信号を発生させる手
段と、このトリガ信号の発生後、任意に設定して時間毎
にデータをサンプリングして取り込むオシロスコープと
から成ることを特徴とするシングルプローブによるプラ
ズマ測定装置。 - 【請求項３】一定の期間サンプリングによりオシロスコ
ープにデータを取り込んだ後に、次のオシロスコープの
データサンプリング開始用のトリガ信号を発生させる手
段を備えたことを特徴とする請求項２記載のシングルプ
ローブによるプラズマ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5155895A JP2889789B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | シングルプローブによるプラズマ測定方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5155895A JP2889789B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | シングルプローブによるプラズマ測定方法とその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0714696A true JPH0714696A (ja) | 1995-01-17 |
| JP2889789B2 JP2889789B2 (ja) | 1999-05-10 |
Family
ID=15615859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5155895A Expired - Fee Related JP2889789B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | シングルプローブによるプラズマ測定方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2889789B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013187218A1 (ja) * | 2012-06-11 | 2013-12-19 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプローブ装置 |
| CN106888543A (zh) * | 2017-03-24 | 2017-06-23 | 大连理工常州研究院有限公司 | 一种自动扫描发射探针装置 |
-
1993
- 1993-06-25 JP JP5155895A patent/JP2889789B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013187218A1 (ja) * | 2012-06-11 | 2013-12-19 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプローブ装置 |
| JP2013257977A (ja) * | 2012-06-11 | 2013-12-26 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置及びプローブ装置 |
| TWI576891B (zh) * | 2012-06-11 | 2017-04-01 | 東京威力科創股份有限公司 | 電漿處理裝置及探針裝置 |
| US10229819B2 (en) | 2012-06-11 | 2019-03-12 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus and probe apparatus |
| CN106888543A (zh) * | 2017-03-24 | 2017-06-23 | 大连理工常州研究院有限公司 | 一种自动扫描发射探针装置 |
| CN106888543B (zh) * | 2017-03-24 | 2019-04-16 | 大连理工常州研究院有限公司 | 一种自动扫描发射探针装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2889789B2 (ja) | 1999-05-10 |
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|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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