JPH07144929A - 多孔質ガラス母材の製造方法 - Google Patents
多孔質ガラス母材の製造方法Info
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- JPH07144929A JPH07144929A JP31263993A JP31263993A JPH07144929A JP H07144929 A JPH07144929 A JP H07144929A JP 31263993 A JP31263993 A JP 31263993A JP 31263993 A JP31263993 A JP 31263993A JP H07144929 A JPH07144929 A JP H07144929A
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 原料ガスの付着速度を大きくし、付着時間を
短縮できる多孔質ガラス母材の製造方法を提供する。 【構成】 バーナーを構成する原料ガス供給管から原料
ガスをバーナーの火炎中に送り込み、火炎中で火炎加水
分解してガラス微粒子を形成し、該ガラス微粒子をター
ゲットに吹きつけて付着させる多孔質ガラス母材の製造
方法において、原料ガス流量を一定にすることで母材の
材質を変化させることなく、原料ガス供給管の原料ガス
流出口における原料ガス流速を時間とともに変化させな
がら吹きつける。
短縮できる多孔質ガラス母材の製造方法を提供する。 【構成】 バーナーを構成する原料ガス供給管から原料
ガスをバーナーの火炎中に送り込み、火炎中で火炎加水
分解してガラス微粒子を形成し、該ガラス微粒子をター
ゲットに吹きつけて付着させる多孔質ガラス母材の製造
方法において、原料ガス流量を一定にすることで母材の
材質を変化させることなく、原料ガス供給管の原料ガス
流出口における原料ガス流速を時間とともに変化させな
がら吹きつける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、外付け法によって多孔
質ガラス母材を製造する多孔質ガラス母材の製造方法に
関する。
質ガラス母材を製造する多孔質ガラス母材の製造方法に
関する。
【０００２】
【従来技術】一般的に、多孔質ガラス母材を製造するに
は、酸水素バーナーを用いて、原料ガス（例えばＳｉＣ
ｌ4 、ＧｅＣｌ4 ）の蒸気を酸水素火炎中で加水分解し
て、ガラス微粒子（ＳｉＯ2 、ＧｅＯ2 ）を形成し、回
転するターゲット（被堆積物）へ付着させている。例え
ば、光ファイバ母材を製造するには、ターゲットとなる
芯棒に外付け法によりコア、クラッドをそれぞれ連続し
て合成し、または、ＶＡＤ法によってコアおよびクラッ
ドの一部を多孔質ガラス母材として製造し、この母材を
ガラス化後に、外付け法によって残りのクラッド部を合
成している。
は、酸水素バーナーを用いて、原料ガス（例えばＳｉＣ
ｌ4 、ＧｅＣｌ4 ）の蒸気を酸水素火炎中で加水分解し
て、ガラス微粒子（ＳｉＯ2 、ＧｅＯ2 ）を形成し、回
転するターゲット（被堆積物）へ付着させている。例え
ば、光ファイバ母材を製造するには、ターゲットとなる
芯棒に外付け法によりコア、クラッドをそれぞれ連続し
て合成し、または、ＶＡＤ法によってコアおよびクラッ
ドの一部を多孔質ガラス母材として製造し、この母材を
ガラス化後に、外付け法によって残りのクラッド部を合
成している。
【０００３】外付け法は、例えば、図７に示すような方
法でおこなわれる。即ち、回転するターゲット１上にバ
ーナー２からの火炎３を当てて、火炎中で生成するガラ
ス微粒子６をターゲット１に付着させて多孔質ガラス母
材５を形成する。バーナー２はターゲット１の軸方向に
相対的に往復移動し、長手方向に均一な多孔質ガラス母
材５を形成する。なお、図中、７は原料ガス供給管であ
る。図８は図７におけるＡ−Ａ側面図である。図８に示
すように、バーナー２で生成したガラス微粒子６の流れ
は、ターゲット１の周囲を流れていくが、付着に寄与す
るガラス微粒子６は、ターゲット１近傍の流線に沿って
流れる。また、ガラス微粒子６の流れは、ターゲット１
の背後ではターゲット１表面から離れ、付着に寄与せず
に排気される。
法でおこなわれる。即ち、回転するターゲット１上にバ
ーナー２からの火炎３を当てて、火炎中で生成するガラ
ス微粒子６をターゲット１に付着させて多孔質ガラス母
材５を形成する。バーナー２はターゲット１の軸方向に
相対的に往復移動し、長手方向に均一な多孔質ガラス母
材５を形成する。なお、図中、７は原料ガス供給管であ
る。図８は図７におけるＡ−Ａ側面図である。図８に示
すように、バーナー２で生成したガラス微粒子６の流れ
は、ターゲット１の周囲を流れていくが、付着に寄与す
るガラス微粒子６は、ターゲット１近傍の流線に沿って
流れる。また、ガラス微粒子６の流れは、ターゲット１
の背後ではターゲット１表面から離れ、付着に寄与せず
に排気される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで従来の外付け
法では、発生したガラス微粒子のうちターゲットに付着
する割合（付着率）は平均して５０％以下と充分な値で
はなく、製品のコストアップにつながっていた。また、
付着速度という評価基準もあるが、従来の外付け法の場
合、この付着速度は平均して１０ｇ／ｍｉｎであった。
この付着速度も単位時間当たりの製造コストとして製品
コストに関係している。従って、付着率、付着速度の両
方を同時に向上せしめることが製品のコストダウンにと
って必要である。ところが付着率を向上させる条件と、
付着速度を高めるための条件は必ずしも一致しない。通
常、バーナ形状を一定にして原料ガスの流量（バーナ形
状が一定であるから、流量を変えるということは流速を
変えることと同義）を増加させていくと、付着速度は向
上するが、付着率は低下する。また、最初から最後まで
原料ガスの流量を一定にすると、付着速度も付着率もタ
ーゲット外径の増加と共に大きくなるが、それぞれの増
加率はあまり大きくない。そこで、ターゲット外径の増
加に伴って原料ガスの流量を増加していくと、付着速度
は増加するが、付着率は低下する。逆に原料ガスの流量
を減少させていくと、付着率は増加するが、付着速度は
低下してしまう。このように、従来の方法、即ち原料ガ
スの流量（形状の決まった１本のバーナを用いる場合に
は、原料ガスの流速に同義）を単純に変化させるのみで
は、付着速度と付着率を同時に向上せしめることは非常
に困難であった。また同時に、付着率が低いと、その分
排ガス処理設備、例えばスクラバーに捨てられるガラス
微粒子の量が多くなる。その結果、排ガス処理コストが
高くなる、という問題もあった。
法では、発生したガラス微粒子のうちターゲットに付着
する割合（付着率）は平均して５０％以下と充分な値で
はなく、製品のコストアップにつながっていた。また、
付着速度という評価基準もあるが、従来の外付け法の場
合、この付着速度は平均して１０ｇ／ｍｉｎであった。
この付着速度も単位時間当たりの製造コストとして製品
コストに関係している。従って、付着率、付着速度の両
方を同時に向上せしめることが製品のコストダウンにと
って必要である。ところが付着率を向上させる条件と、
付着速度を高めるための条件は必ずしも一致しない。通
常、バーナ形状を一定にして原料ガスの流量（バーナ形
状が一定であるから、流量を変えるということは流速を
変えることと同義）を増加させていくと、付着速度は向
上するが、付着率は低下する。また、最初から最後まで
原料ガスの流量を一定にすると、付着速度も付着率もタ
ーゲット外径の増加と共に大きくなるが、それぞれの増
加率はあまり大きくない。そこで、ターゲット外径の増
加に伴って原料ガスの流量を増加していくと、付着速度
は増加するが、付着率は低下する。逆に原料ガスの流量
を減少させていくと、付着率は増加するが、付着速度は
低下してしまう。このように、従来の方法、即ち原料ガ
スの流量（形状の決まった１本のバーナを用いる場合に
は、原料ガスの流速に同義）を単純に変化させるのみで
は、付着速度と付着率を同時に向上せしめることは非常
に困難であった。また同時に、付着率が低いと、その分
排ガス処理設備、例えばスクラバーに捨てられるガラス
微粒子の量が多くなる。その結果、排ガス処理コストが
高くなる、という問題もあった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決した多孔質ガラス母材の製造方法を提供するもので、
バーナーを構成する原料ガス供給管から原料ガスをバー
ナーの火炎中に送り込み、火炎中で火炎加水分解してガ
ラス微粒子を形成し、該ガラス微粒子をターゲットに吹
きつけて付着させる多孔質ガラス母材の製造方法におい
て、原料ガス流量を一定にした状態で原料ガス供給管の
原料ガス流出口における原料ガス流速を時間の経過とと
もに変化させることを特徴とするものである。
決した多孔質ガラス母材の製造方法を提供するもので、
バーナーを構成する原料ガス供給管から原料ガスをバー
ナーの火炎中に送り込み、火炎中で火炎加水分解してガ
ラス微粒子を形成し、該ガラス微粒子をターゲットに吹
きつけて付着させる多孔質ガラス母材の製造方法におい
て、原料ガス流量を一定にした状態で原料ガス供給管の
原料ガス流出口における原料ガス流速を時間の経過とと
もに変化させることを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】多孔質ガラス母材の製造に当たって、製造され
た母材の密度などを変えることなく、材質を均一にする
ため、原料ガス流量を変えないで、原料ガスをバーナー
の火炎中で火炎加水分解させてガラス微粒子を形成し、
このガラス微粒子をターゲットに吹きつけて付着させた
ところ、付着速度は原料ガス供給管の原料ガス流出口に
おける原料ガス流速により変化するという新しい実験的
知見を得た。この現象は、母材の外径が刻刻と変化する
ために生じる。即ち、原料ガスの流速が遅いと、原料ガ
ス供給管先端部出口からの原料ガス流出角度が広がり、
細い径の母材への付着速度が低下する。また、原料ガス
の流速が速いと、太い径の母材の場合にはガラス微粒子
流が母材の裏側で早いうちにターゲットから離れてしま
うため付着速度が低下する。そこで、予め母材外径に対
応して付着速度が最も大きくなる最適合成条件、即ち原
料ガス流速を把握しておき、これより母材外径が大きく
なるのに合わせて、最適な原料ガス流速を実現すること
により、付着速度を大きくすることができる。しかも、
ガス流量は変化していないので、火炎の温度に大きな変
化はなく、それ故密度を変化させず、最適密度を保持し
ながら製造することができる。また、こうすることによ
り、付着しないガラス微粒子を減少させ、スクラバーで
の処理コストを低減させることができる。
た母材の密度などを変えることなく、材質を均一にする
ため、原料ガス流量を変えないで、原料ガスをバーナー
の火炎中で火炎加水分解させてガラス微粒子を形成し、
このガラス微粒子をターゲットに吹きつけて付着させた
ところ、付着速度は原料ガス供給管の原料ガス流出口に
おける原料ガス流速により変化するという新しい実験的
知見を得た。この現象は、母材の外径が刻刻と変化する
ために生じる。即ち、原料ガスの流速が遅いと、原料ガ
ス供給管先端部出口からの原料ガス流出角度が広がり、
細い径の母材への付着速度が低下する。また、原料ガス
の流速が速いと、太い径の母材の場合にはガラス微粒子
流が母材の裏側で早いうちにターゲットから離れてしま
うため付着速度が低下する。そこで、予め母材外径に対
応して付着速度が最も大きくなる最適合成条件、即ち原
料ガス流速を把握しておき、これより母材外径が大きく
なるのに合わせて、最適な原料ガス流速を実現すること
により、付着速度を大きくすることができる。しかも、
ガス流量は変化していないので、火炎の温度に大きな変
化はなく、それ故密度を変化させず、最適密度を保持し
ながら製造することができる。また、こうすることによ
り、付着しないガラス微粒子を減少させ、スクラバーで
の処理コストを低減させることができる。
【０００７】
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明を詳細に説明
する。図１はターゲットにガラス微粒子を６０分間付着
させた場合に、付着量が原料ガスの流速により変化する
様子を示したものである。原料ガスの流速は、４種類の
内径の異なる原料ガス供給管を用いて変化させた。原料
ガスはＳｉＣｌ4 、その流量は６０ｇ／ｍｉｎとした。
図１からわかるように、付着量と原料ガスの流速との関
係は、ターゲットの最初の径の大きさにより異なる。太
い径（７０ｍｍ）では、流速が遅い方が付着速度は上昇
し、細い径（１０ｍｍ）では、流速が速い方が付着速度
が上昇する。そこで、この場合には、ターゲット径が細
い（１０ｍｍ）状態では流速を４０ｍ／ｓとし、太くな
るにつれて流速を遅くして、７０ｍｍの径では１０ｍ／
ｓとすることにより、付着速度を上げ、付着時間を短く
することができる。
する。図１はターゲットにガラス微粒子を６０分間付着
させた場合に、付着量が原料ガスの流速により変化する
様子を示したものである。原料ガスの流速は、４種類の
内径の異なる原料ガス供給管を用いて変化させた。原料
ガスはＳｉＣｌ4 、その流量は６０ｇ／ｍｉｎとした。
図１からわかるように、付着量と原料ガスの流速との関
係は、ターゲットの最初の径の大きさにより異なる。太
い径（７０ｍｍ）では、流速が遅い方が付着速度は上昇
し、細い径（１０ｍｍ）では、流速が速い方が付着速度
が上昇する。そこで、この場合には、ターゲット径が細
い（１０ｍｍ）状態では流速を４０ｍ／ｓとし、太くな
るにつれて流速を遅くして、７０ｍｍの径では１０ｍ／
ｓとすることにより、付着速度を上げ、付着時間を短く
することができる。
【０００８】一定流量の原料ガスを供給しながら、原料
ガスの流速を変化させる方法には、各種の方法がある。
図２は、本発明にかかる多孔質ガラス母材の製造方法に
用いるバーナーの一実施例の断面図であり、図３は前記
バーナーを構成する原料ガス供給管の縦断面図である。
バーナー１０中に設けられた原料ガス供給管１１は、外
管１２とその内部に挿入された軸方向に先端部の断面積
が小さく変化する棒状の介在物１３から構成されてい
る。図３の外管１２の先端部１７はテーパを有して窄ま
っており、また、介在物１３も先端部１４にテーパを有
している。この介在物１３を原料ガス供給管１１の軸方
向に移動させると、原料ガス供給管１１の先端部の原料
ガス流出口面積（外管１２と介在物１３の間の隙間の面
積）が、外管１２の先端部１７と介在物１３の先端部１
４の相対的位置関係により変化する。即ち、介在物１３
を外管１２の先端方向に突き出すと、原料ガス流出口面
積が減少する。従って、介在物１３を原料ガス供給管１
１の軸方向に移動することにより、原料ガス流出口面積
を変化させ、原料ガスの流速を変化させることができ
る。なお、図中、１５はベローズ、１６はシール材であ
る。
ガスの流速を変化させる方法には、各種の方法がある。
図２は、本発明にかかる多孔質ガラス母材の製造方法に
用いるバーナーの一実施例の断面図であり、図３は前記
バーナーを構成する原料ガス供給管の縦断面図である。
バーナー１０中に設けられた原料ガス供給管１１は、外
管１２とその内部に挿入された軸方向に先端部の断面積
が小さく変化する棒状の介在物１３から構成されてい
る。図３の外管１２の先端部１７はテーパを有して窄ま
っており、また、介在物１３も先端部１４にテーパを有
している。この介在物１３を原料ガス供給管１１の軸方
向に移動させると、原料ガス供給管１１の先端部の原料
ガス流出口面積（外管１２と介在物１３の間の隙間の面
積）が、外管１２の先端部１７と介在物１３の先端部１
４の相対的位置関係により変化する。即ち、介在物１３
を外管１２の先端方向に突き出すと、原料ガス流出口面
積が減少する。従って、介在物１３を原料ガス供給管１
１の軸方向に移動することにより、原料ガス流出口面積
を変化させ、原料ガスの流速を変化させることができ
る。なお、図中、１５はベローズ、１６はシール材であ
る。
【０００９】図４は、原料ガス供給管の他の実施例の部
分縦断面図である。この原料ガス供給管２１は、外管２
２とそれに内接して軸方向に摺動可能に挿入された内管
２３とから構成された二重円管である。外管２２の先端
には、内径が先端方向に向かって次第に拡径する広内径
部２２ａが設けられている。また、内管２３には、先端
に主吹き出し口２４が設けられ、先端から所定位置の管
壁上に副吹き出し口２５が例えば周方向に均一間隔で複
数個設けられている。この原料ガス供給管２１におい
て、副吹き出し口２５が外管２２の内壁に接する位置に
あるときは、原料ガスは主吹き出し口２４からのみ流出
するが、外管２２に対して内管２３を軸方向に摺動して
副吹き出し口２５が広内径部２２ａに位置するときは、
原料ガスは主吹き出し口２４と副吹き出し口２５の両方
から流出し、外管２２と内管２３の隙間からも流出する
ため、原料ガス流出速度は低下する。即ち、内管２３を
軸方向に摺動させて外管２２との相対的な位置を変える
ことにより、原料ガス流出速度を変えることができる。
分縦断面図である。この原料ガス供給管２１は、外管２
２とそれに内接して軸方向に摺動可能に挿入された内管
２３とから構成された二重円管である。外管２２の先端
には、内径が先端方向に向かって次第に拡径する広内径
部２２ａが設けられている。また、内管２３には、先端
に主吹き出し口２４が設けられ、先端から所定位置の管
壁上に副吹き出し口２５が例えば周方向に均一間隔で複
数個設けられている。この原料ガス供給管２１におい
て、副吹き出し口２５が外管２２の内壁に接する位置に
あるときは、原料ガスは主吹き出し口２４からのみ流出
するが、外管２２に対して内管２３を軸方向に摺動して
副吹き出し口２５が広内径部２２ａに位置するときは、
原料ガスは主吹き出し口２４と副吹き出し口２５の両方
から流出し、外管２２と内管２３の隙間からも流出する
ため、原料ガス流出速度は低下する。即ち、内管２３を
軸方向に摺動させて外管２２との相対的な位置を変える
ことにより、原料ガス流出速度を変えることができる。
【００１０】図５（ａ）、（ｂ）は、原料ガス供給管の
他の実施例の部分縦断面図と平面図である。この原料ガ
ス供給管３１は、外管３２とそれに対して同心軸の回り
に回転可能に挿入された内管３３とから構成された二重
円管である。外管３２の先端部には、リング状部３２ａ
が設けられ、このリング状部３２ａには固定側副吹き出
し口３２ｂが、例えば図５（ｂ）のように複数個、周方
向に均一な間隔で設けられている。また、内管３３の先
端部は主吹き出し口３４を形成するとともに、リング状
部３２ａの下側に接するように縮径されており、その肩
部３３ａには回転側副吹き出し口３３ｂが設けられてい
る。内管３３をその軸の回りに回転することにより、副
吹き出し口３２ｂと３３ｂの重なりの割合が変えられ、
原料ガス流出面積を変化させ、原料ガス流出速度を変え
ることができる。
他の実施例の部分縦断面図と平面図である。この原料ガ
ス供給管３１は、外管３２とそれに対して同心軸の回り
に回転可能に挿入された内管３３とから構成された二重
円管である。外管３２の先端部には、リング状部３２ａ
が設けられ、このリング状部３２ａには固定側副吹き出
し口３２ｂが、例えば図５（ｂ）のように複数個、周方
向に均一な間隔で設けられている。また、内管３３の先
端部は主吹き出し口３４を形成するとともに、リング状
部３２ａの下側に接するように縮径されており、その肩
部３３ａには回転側副吹き出し口３３ｂが設けられてい
る。内管３３をその軸の回りに回転することにより、副
吹き出し口３２ｂと３３ｂの重なりの割合が変えられ、
原料ガス流出面積を変化させ、原料ガス流出速度を変え
ることができる。
【００１１】図６（ａ）、（ｂ）は、原料ガス供給管の
さらなる他の実施例の部分縦断面図である。この原料ガ
ス供給管４１は、外管４２とそれに対して同心になるよ
うに挿入された内管４３とから構成されている。外管４
２および内管４３は、先端で窄まるように肩部４２ａ、
４３ａを有している。内管４３は、その先端部が主吹き
出し口４４を形成するとともに、肩部４３ａには副吹き
出し口４３ｂが設けられている。肩部４３ａを肩部４２
ａに内接すると、図６（ａ）に示すように、副吹き出し
口４３ｂが塞がれて、原料ガスは主吹き出し口４４から
のみ流出する。また、肩部４３ａと肩部４２ａを離す
と、図６（ｂ）に示すように、原料ガスは主吹き出し口
４４と副吹き出し口４３ｂの両方から流出する。このよ
うに、内管４３を軸方向に移動させて原料ガス流出面積
を変化させ、原料ガス流出速度を変えることができる。
なお、原料ガス流出速度を変える方法は、上記構造の原
料ガス供給管を用いることに限定されないことはいうま
でもない。
さらなる他の実施例の部分縦断面図である。この原料ガ
ス供給管４１は、外管４２とそれに対して同心になるよ
うに挿入された内管４３とから構成されている。外管４
２および内管４３は、先端で窄まるように肩部４２ａ、
４３ａを有している。内管４３は、その先端部が主吹き
出し口４４を形成するとともに、肩部４３ａには副吹き
出し口４３ｂが設けられている。肩部４３ａを肩部４２
ａに内接すると、図６（ａ）に示すように、副吹き出し
口４３ｂが塞がれて、原料ガスは主吹き出し口４４から
のみ流出する。また、肩部４３ａと肩部４２ａを離す
と、図６（ｂ）に示すように、原料ガスは主吹き出し口
４４と副吹き出し口４３ｂの両方から流出する。このよ
うに、内管４３を軸方向に移動させて原料ガス流出面積
を変化させ、原料ガス流出速度を変えることができる。
なお、原料ガス流出速度を変える方法は、上記構造の原
料ガス供給管を用いることに限定されないことはいうま
でもない。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、バ
ーナーを構成する原料ガス供給管から原料ガスをバーナ
ーの火炎中に送り込み、火炎中で火炎加水分解してガラ
ス微粒子を形成し、該ガラス微粒子をターゲットに吹き
つけて付着させる多孔質ガラス母材の製造方法におい
て、原料ガス流量を一定にすることで母材の材質を変化
させることがなく、原料ガス供給管の原料ガス流出口に
おける原料ガス流速を時間とともに変化させながら吹き
つけるため、最適な原料ガス流速を実現することがで
き、付着速度を大きくして付着時間を短縮できるという
優れた効果がある。また、この結果、ターゲットに付着
しないでスクラバーへ排気されるガラス微粒子の量も低
下するので、スクラバーでの処理コストも低減できる。
ーナーを構成する原料ガス供給管から原料ガスをバーナ
ーの火炎中に送り込み、火炎中で火炎加水分解してガラ
ス微粒子を形成し、該ガラス微粒子をターゲットに吹き
つけて付着させる多孔質ガラス母材の製造方法におい
て、原料ガス流量を一定にすることで母材の材質を変化
させることがなく、原料ガス供給管の原料ガス流出口に
おける原料ガス流速を時間とともに変化させながら吹き
つけるため、最適な原料ガス流速を実現することがで
き、付着速度を大きくして付着時間を短縮できるという
優れた効果がある。また、この結果、ターゲットに付着
しないでスクラバーへ排気されるガラス微粒子の量も低
下するので、スクラバーでの処理コストも低減できる。
【図１】原料ガスの流量を一定にして、流速と付着量と
の関係を示す図である。
の関係を示す図である。
【図２】本発明にかかる多孔質ガラス母材の製造方法に
用いるバーナーの一実施例の断面図である。
用いるバーナーの一実施例の断面図である。
【図３】前記バーナーを構成する原料ガス供給管の縦断
面図である。
面図である。
【図４】原料ガス供給管の他の実施例の部分縦断面図で
ある。
ある。
【図５】（ａ）、（ｂ）は原料ガス供給管の他の実施例
の部分縦断面図と平面図である。
の部分縦断面図と平面図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）は、原料ガス供給管のさらなる
他の実施例の部分縦断面図である。
他の実施例の部分縦断面図である。
【図７】従来の外付け法の説明図である。
【図８】上図のＡ−Ａ側面説明図である。
１０ バーナー １１、２１、３１、４１ 原料ガス供給管 １２、２２、３２、４２ 外管 １３ 介在物 １４、１７ 先端部 １５ ベローズ １６ シール材 ２２ａ 広内径部 ２３、３３、４３ 内管 ２４、３４、４４ 主吹き出し口 ２５、３２ｂ、３３ｂ、４３ｂ 副吹き出し口 ３２ａ リング状部 ３３ａ、４２ａ、４３ａ 肩部
Claims (5)
- 【請求項１】 バーナーを構成する原料ガス供給管から
原料ガスをバーナーの火炎中に送り込み、火炎中で火炎
加水分解してガラス微粒子を形成し、該ガラス微粒子を
ターゲットに吹きつけて付着させる多孔質ガラス母材の
製造方法において、原料ガス流量を一定にした状態で原
料ガス供給管の原料ガス流出口における原料ガス流速を
時間の経過とともに変化させることを特徴とする多孔質
ガラス母材の製造方法。 - 【請求項２】 原料ガス流速を時間の経過とともに遅く
させることを特徴とする請求項１記載の多孔質ガラス母
材の製造方法。 - 【請求項３】 原料ガス供給管は、外管と該外管内部に
挿入された介在物からなり、前記外管は先端開口部が他
の部分よりも縮小しており、前記介在物は端部断面積が
前記外管の先端部方向に減少するように変化しており、
前記介在物を前記外管の軸方向に移動させて、原料ガス
供給管先端部のガス流出口のガス流出面積を変化させる
ことにより原料ガス流速を変化させることを特徴とする
請求項１記載の多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項４】 原料ガス供給管は、外管と該外管に内接
して軸方向に摺動可能な内管とからなる二重管で構成さ
れ、前記外管は先端開口部が他の部分よりも拡大してお
り、前記内管は先端開口部と管壁にガス流出口を有し、
前記内管を前記外管の軸方向に摺動させて、管壁のガス
流出口を開閉し、原料ガス供給管先端部のガス流出口の
ガス流出面積を変化させることにより原料ガス流速を変
化させることを特徴とする請求項１記載の多孔質ガラス
母材の製造方法。 - 【請求項５】 原料ガス供給管は、外管と中心軸の回り
に回転可能な内管とからなる同心二重円筒管で構成さ
れ、前記外管は内面にガス流出口を有するリング状物が
設けられおり、前記内管は前記リング状物に接し、管壁
にガス流出口が設けられた径が変化する肩部を有し、前
記内管を回転させて、管壁のガス流出口をリング状物で
開閉し、原料ガス供給管先端部のガス流出口のガス流出
面積を変化させることにより原料ガス流速を変化させる
ことを特徴とする請求項１記載の多孔質ガラス母材の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31263993A JPH07144929A (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31263993A JPH07144929A (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07144929A true JPH07144929A (ja) | 1995-06-06 |
Family
ID=18031635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31263993A Pending JPH07144929A (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07144929A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008058894A1 (de) * | 2006-11-16 | 2008-05-22 | Wacker Chemie Ag | PYROGENE KIESELSÄURE HERGESTELLT IN EINER PRODUKTIONS-ANLAGE MIT GROßER KAPAZITÄT |
| CN110431116A (zh) * | 2017-03-16 | 2019-11-08 | 康宁股份有限公司 | 可调节烟管燃烧器 |
-
1993
- 1993-11-18 JP JP31263993A patent/JPH07144929A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2008058894A1 (de) * | 2006-11-16 | 2008-05-22 | Wacker Chemie Ag | PYROGENE KIESELSÄURE HERGESTELLT IN EINER PRODUKTIONS-ANLAGE MIT GROßER KAPAZITÄT |
| JP2010510151A (ja) * | 2006-11-16 | 2010-04-02 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト | 大量生産設備でのヒュームドシリカの製造 |
| US8142753B2 (en) | 2006-11-16 | 2012-03-27 | Wacker Chemie Ag | Pyrogenic silica produced in a production facility with high capacity |
| CN110431116A (zh) * | 2017-03-16 | 2019-11-08 | 康宁股份有限公司 | 可调节烟管燃烧器 |
| JP2020512260A (ja) * | 2017-03-16 | 2020-04-23 | コーニング インコーポレイテッド | 調整可能ヒュームチューブバーナ |
| US11577983B2 (en) | 2017-03-16 | 2023-02-14 | Corning Incorporated | Adjustable fume tube burner |
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