JPH07140403A

JPH07140403A - マルチディザー方式補償光学装置

Info

Publication number: JPH07140403A
Application number: JP28935093A
Authority: JP
Inventors: Yuji Ichinose; 祐治一ノ瀬; Hideaki Saito; 英明斉藤; Masakatsu Sugii; 正克杉井; Yasuharu Mine; 康晴嶺
Original assignee: Hitachi Ltd; Japan Steel Works Ltd; Technical Research and Development Institute of Japan Defence Agency
Current assignee: Hitachi Ltd; Japan Steel Works Ltd; Technical Research and Development Institute of Japan Defence Agency
Priority date: 1993-11-18
Filing date: 1993-11-18
Publication date: 1995-06-02
Anticipated expiration: 2014-01-13
Also published as: JP2847019B2

Abstract

(57)【要約】【目的】光波の光学的な波面歪を補正するマルチディ
ザー方式補償光学装置の高性能化，小型化，高速化を図
る。【構成】光信号１をＡ／Ｄ変換器２でディジタル信号
３に変換し、複数のディジタル信号処理部４ａ〜４ｎに
より光信号１に含まれる複数の位相変調信号を夫々検出
し、各ディジタル信号処理部４ａ〜４ｎが自己に対応す
るアクチュエータ用の指令電圧５ａ〜５ｎを演算し、駆
動電源６に出力する。駆動電源６から形状可変鏡の各ア
クチュエータに駆動電圧７を出力する。ディジタル信号
処理部４で位相変調信号を検出する構成ため、アナログ
回路による検出法で生じる回路素子の経年変化による性
能劣化が低減され、複数のディジタル信号処理部４ａ〜
４ｎを設け並列的に処理するため、処理の高速化が図れ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はレーザ等の光波の等位相
面の歪み（波面歪み）を補正する補償光学装置に係り、
特に、特性の経年変化のないマルチディザー補償光学装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】天体を望遠鏡で観測する場合、星から地
球に届いた微弱な光が大気を通過し望遠鏡にとらえられ
る。しかし、大気の密度はムラがあるために、光の波面
は揺らいでしまう。このため、像はぼけてしまい、高精
度の観測ができない。そこで、例えば米国特許第３７３
１１０３号，第３９７５６２９号，第３９７９５８５
号，第３９８８６０８号，第４０１６４１５号等のマル
チディザー方式補償光学装置が使用されることになる。

【０００３】この補償光学装置では、反射面の形状を任
意形状に可変な形状可変鏡を用い、波面の揺らぎに応じ
て反射面形状を歪ませ、波面が揺らいだ入射光をこの反
射面で反射させることで、波面を揃えるようにしてい
る。形状可変鏡の反射面を変形させる制御は、反射面か
らの反射光の一部を取り出しこれを集光し、その光強度
を光検出器で検出し、この光強度から波面の揺らぎを求
めることで行う。

【０００４】反射面の形状を歪ませて波面を制御するに
は、波面の揺らいだ部分の光が反射面のどの部分で反射
したかを知る必要があり、そのため、反射面を複数領域
に分割し各領域毎に異なる周波数で反射面を振動させて
反射光を位相変調し、前記の光検出器による検出データ
中の周波数成分から、反射面上での反射位置を求めてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、マル
チディザー方式補償光学装置の構成について述べられて
いるが、その制御装置は、大部分がアナログ回路により
構成されている。特に、反射面を位相変調させる回路部
分は、位相変調する周波数の特性に合わせたアナログ回
路としている。しかし、アナログ回路は回路規模が大き
く、装置全体が大型化してしまうという問題がある。し
かも、経年的に変化し、位相変調する周波数が設定周波
数からずれてしまう。このように特性の変化したアナロ
グ回路は交換する必要があり、保守・点検が面倒である
という問題もある。また、アナログ回路に設定されてい
る各々の周波数は固定であり、しかも反射面の各領域毎
に異なる周波数を使用する必要があるため、位相変調す
る周波数を別の周波数に変えて試験しようとした場合、
アナログ回路全部を交換しなければならず、装置の自由
度が小さいという問題もある。

【０００６】本発明の目的は、アナログ回路における回
路素子の経年変化による性能劣化及び回路の大型化，装
置の自由度の問題を解決したマルチディザー補償光学装
置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的は、入射光を反
射して出射する反射面と該反射面の形状を変化させる複
数のアクチュエータとを有する形状可変鏡と、前記反射
面で反射した光波を取り込み集光した焦点強度から波形
歪みを検出し該波形歪みを補正する前記各アクチュエー
タの変位量を求めると共に各アクチュエータの各変位位
置で各アクチュエータを夫々異なる周波数で振動させ反
射光に位相変調を与える波面制御装置とを備えるマルチ
ディザー方式補償光学装置において、前記焦点強度の信
号をディジタル値に変換するアナログディジタル変換手
段と、該ディジタル値を取り込み位相変調信号を検出し
て前記各アクチュエータの変位量指令値を決定する複数
の並列処理するディジタル信号処理部とを前記波面制御
装置に設けることで、達成される。

【０００８】

【作用】回路素子としての抵抗やコンデンサは経年変化
が生じ易く、制御装置に必要な同期検波器をアナログ回
路で製作すると、これらの素子を多く使用することにな
る。これに対し、ディジタル処理部で同期検波器を構成
すると、ディジタル処理のため経年変化による性能劣化
は起こりにくい。しかし、単にディジタル処理部にした
だけでは、処理が遅く、また、量子化誤差が生じてしま
う。そこで、処理を独立，並行して実行するように複数
のディジタル処理部で同期検波器を構成することで、高
速処理が可能となる。さらに、利得自動調整器付の増幅
器で光信号を増幅することにより、ディジタル信号に変
換するときに生じる量子化誤差を常に一定レベル抑える
ことができる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。図１は、本発明の一実施例に係る波面制御装置
の構成図であり、図２は、図１に示す波面制御装置を用
いたマルチディザー方式補償光学装置の構成図である。
まず、図２に示すマルチディザー方式補償光学装置につ
いて説明する。

【００１０】補償光学装置は、歪んだレ−ザ波面１１ａ
を持つレ−ザビ−ム９を形状可変鏡１５に入射させ、形
状可変鏡１５で反射させることでレ−ザ波面を補正し、
レ−ザ波面の揃ったレ−ザビ−ムを出力するものであ
る。マルチディザー方式補償光学装置においては、形状
可変鏡１５の反射面を複数領域に分割し、各分割領域に
対応するレ−ザビ−ムの小開口毎に、反射ビームを異な
る周波数で位相変調する。形状可変鏡１５の反射光を出
射する途中にビ−ムスプリッタ１１を介挿して反射光の
一部を取り出し、これをレンズ１２で集光し、このレン
ズ１２の焦点における光強度を光検出器１４で検出す
る。

【００１１】光検出器１４で検出された光信号１は波面
制御装置８に入力される。波面制御装置８は、光信号１
に含まれるビ−ムの小開口の数（前記の分割領域数）と
同数の位相変調信号を分離・検出し、各位相変調信号か
ら各開口の形状可変鏡１５の各開口の変位量を決定す
る。また、波面制御装置８では、形状可変鏡１５で位相
変調を行うための信号（各開口毎に異なる周波数の信
号）を作り、この信号と上述の各開口の変位量を加算し
たものを指令電圧５として駆動電源６に出力し、形状可
変鏡１５でのレ−ザ波面補正とレ−ザ位相変調を実現す
る。

【００１２】形状可変鏡１５としては、図３に示すよう
な二つのタイプの構造が提案されている。一つは、圧電
素子等のアクチュエ−タ１７毎にその先端にミラ−１６
を接着した分割型形状可変鏡１５ａであり、もう一つ
は、複数のアクチュエ−タ１７の各先端に一枚の薄いミ
ラ−１６を接着した一体型形状可変鏡１５ｂである。い
ずれの方式の形状可変鏡にも後述する本発明を実施する
ことができる。マルチディザー方式補償光学装置では、
アクチュエ−タ１７の数と同数の位相変調信号が発生す
るため、波面制御装置８は、アクチュエ−タ１７と同数
の同期検波器が従来の技術では必要であった。反射面を
分割する数つまりアクチュエ−タ数は、多ければ多いほ
ど補償効率が向上する。しかし、波面制御装置８をアナ
ログ回路で構成する場合、アクチュエ−タ１７と同数の
同期検波器を設けなければならず、構成が大規模とな
り、しかも、アナログ回路回路素子の経年変化による性
能劣化が問題となる。

【００１３】そこで本発明の実施例では、アナログ回路
ではなく、ディジタル回路で同期検波回路を構成する。
この実施例に係る波面制御装置８の構成が図１である。
本実施例では、光信号１が入力してくると、Ａ／Ｄ変換
器２によりディジタル信号３に変換する。波面制御装置
８には、アクチュエ−タ数と同数個のディジタル信号処
理部４ａ〜４ｎが設けられており、このディジタル信号
３は、夫々のディジタル信号処理部４ａ〜４ｎに入力す
る。各ディジタル信号処理部４は、詳細は後述する様
に、自己に対応するアクチュエ−タ１７の指令電圧５ａ
〜５ｎを決定し、この指令電圧５ａ〜５ｎを駆動電源６
に出力する。

【００１４】位相変調周波数の帯域は、数ｋＨｚから数
十ｋＨｚにも及ぶために、位相変調信号の検出をディジ
タル処理で演算するには数マイクロ秒以下で全ての演算
を処理しなければならない。従来技術の波面制御装置は
単にＡ／Ｄ変換器とディジタルコンピュ−タで処理する
のみで、高速演算に対する考慮はなされてない。従っ
て、一台のディジタルコンピュ−タで処理することは困
難であった。しかし、本発明実施例では、アクチュエ−
タ数と同数のディジタル信号処理部４ａ〜４ｎを設けて
あるので、高速処理が可能である。

【００１５】上述の実施例では、アクチュエ−タ数と同
数のディジタル信号処理部４ａ〜４ｎで波面制御装置８
を構成したが、勿論、ディジタル信号処理部の数を演算
時間の許容値が許す範囲において減らすことは可能であ
る。このときは、一つのディジタル信号処理部で複数の
アクチュエ−タ１７の夫々の指令電圧５を決定すること
なる。ディジタル信号処理部は、マイクロコンピュ−タ
やディジタルシグナルプロセッサにて実現する。

【００１６】つぎに、図４を用い、ディジタル信号処理
部での処理アルゴリズムについて説明する。図４に示す
フロ−チャ−トは、アクチュエ−タ数と同数のディジタ
ル信号処理部を有する波面制御装置でのものである。

【００１７】先ず、初期設定として、形状可変鏡１５の
アクチュエ−タ１７のバイアス電圧ＶBm，位相変調周波
数ｆm，制御ゲインｋm等の設定を行う。次に、ディジタ
ル信号３を読み込む。そして次の数１に示す基準位相変
調信号を生成する。

【００１８】

【数１】ψ・sinωmｔ但し、 ψ：位相変調振幅 ωm：位相変調角周波数（=２πｆm）ｔ：時刻である。

【００１９】次に、ディジタル信号３に含まれる周波数
ｆmの位相変調信号を検出するため数２に示す計算によ
り、

【００２０】

【数２】ｙm＝(信号３)・sin(ωmｔ+θ) 同期検波を行う。

【００２１】ここで、θは位相差を表し、ディジタル信
号処理部で生成した数１に示す基準位相変調信号と、デ
ィジタル信号３に含まれる周波数ｆmの位相変調信号と
の位相差に設定する。この位相差は、予め測定すること
により設定する。数２の計算結果ｙmの直流成分が位相
変調信号の振幅値であり、フィルタ処理にてｙmの余分
な高調波成分を除去する。以上が、処理アルゴリズムの
中で、位相変調信号を検出する同期検波処理の部分であ
る。

【００２２】検出した位相変調信号は、位相変調した部
分のレ−ザビ−ムと他の部分レ−ザビ−ムとの位相差に
比例する。従って、全ての位相変調信号をゼロにするよ
うに制御すれば、レ−ザ波面を補正できることが分か
る。そこで、各ディジタル信号処理部で夫々検出した位
相変調信号が最小となるようフィ−ドバック制御するよ
うに制御電圧ｖmを計算する。この制御演算は、位相変
調信号を制御系の偏差信号として、積分制御，比例制
御，一次遅れ制御等の制御法により実現すればよい。

【００２３】次に、形状可変鏡１５の駆動電圧７の指令
電圧Ｖmを次の数３により決定する。

【００２４】

【数３】Ｖm＝ｖm＋ＶBm＋ψ・sinωmｔここで、ＶBmは初期設定したアクチュエ−タ１７のバイ
アス電圧であり、(3)式の第３項は位相変調用の駆動電
圧である。以上説明した処理アルゴリズムで、マルチデ
ィザー方式補償光学装置の波面制御が可能となる。

【００２５】上述した波面制御装置８でディジタル信号
処理し指令電圧５を出力する場合、ディジタル信号をア
ナログ信号に変換する必要がある。図５はその一実施例
を示したものである。この実施例では、ディジタル信号
処理回路４で演算され出力される位相変調信号２１と制
御電圧２２を、個々に出力するようにする。そして、夫
々の信号２１，２２をＤ／Ａ変換器１９ａ，１９ｂでア
ナログ信号に変換し、その後、位相変調信号２１のみを
アンプ２０で例えば１／２０にしてから、双方を加算し
て指令電圧５を作る。

【００２６】レ−ザ波長をλとすれば、位相変調信号２
１の振幅はλ/20程度であり、これに対し制御電圧２２
の駆動範囲は数λ程度に設計される。従って、ディジタ
ル信号処理回路４で演算した数３で示される指令電圧Ｖ
mを一つのＤ／Ａ変換器でアナログ信号に変換する場合
には、位相変調信号２１の量子化誤差を考慮して高分解
能のＤ／Ａ変換器が必要となる。これに対し図５の構成
にすれば、位相変調信号２１の振幅をアンプ２０で調整
するため、低い分解能のＤ／Ａ変換器（１９ａ，１９
ｂ）で構成できる。

【００２７】上述した実施例では、形状可変鏡１５のア
クチュエ−タ１７がミラ−１６の駆動方向に対し一つの
場合について述べた。次に、図７に示すように、ミラ−
１６を、位相変調用アクチュエ−タ１７ａと制御用位相
変調用アクチュエ−タ１７ｂを重ねて駆動する形状可変
鏡を用いる実施例を、図６を用いて説明する。

【００２８】この実施例では、ディジタル信号処理回路
４から出力する位相変調信号２１と制御電圧２２を、夫
々のＤ／Ａ変換器１９ａ，１９ｂでアナログ信号に変換
し、駆動電源６に出力するものである。図５の実施例の
様にアンプを用いて位相変調信号２１の振幅を低下させ
る代わりに、位相変調用アクチュエータ１７ａの長さを
制御用アクチュエータ１７ｂより短くして、図５の実施
例と同様の効果を得ている。このような構成により本発
明を実施できる。

【００２９】図８は、本発明の別実施例に係る波面制御
装置の構成図である。本実施例では、各指令電圧５を演
算するディジタル信号処理部４ａ〜４ｎの他に、これら
のディジタル信号処理部４ａ〜４ｎを管理制御するＣＰ
Ｕ２５を設けている。ＣＰＵ２５は、各ディジタル信号
処理部４ａ〜４ｎでの信号処理に必要な変調周波数，バ
イアス電圧等の情報をデュアルアクセスＲＡＭ２３ａ〜
２３ｎを介して各ディジタル信号処理部４ａ〜４ｎに転
送すると共に、各ディジタル信号処理部４ａ〜４ｎの状
態を管理する。このようなＣＰＵ２５を設けることによ
り、ディジタル信号処理部４ａ〜４ｎの処理内容の変更
が容易になり、また状態を管理することにより信頼性の
高い装置が得られる。

【００３０】尚、図８の実施例では、デュアルアクセス
ＲＡＭ２３を介して情報をディジタル信号処理部に転送
したが、各ディジタル信号処理部からバス２４を介して
直接ＣＰＵ２５に転送することも可能である。

【００３１】上述した実施例では、ディジタル信号処理
部４の個数としては、最大で形状可変鏡１５のアクチュ
エ−タ１７の個数と同数必要となる。ここで、例えば図
１０に示す様に、ディジタル信号処理部４ａ〜４ｎを備
えるモジュールを１つのディジタル信号処理装置２７と
し、図９に示す様に、このディジタル信号処理装置２７
ａ〜２７ｎを管理用ＣＰＵ２５にバス２４を介して接続
する構成にすると、装置の拡張が容易となり、またディ
ジタル信号３を各ディジタル信号処理部４に転送するた
めの信号線の長さを短縮できる。

【００３２】次に、本発明の更に別の実施例について図
１１，図１２を用いて説明する。図１１において、光信
号１は、ＡＧＣ付き増幅器２８に入力されて最適な大き
さに増幅され、Ａ／Ｄ変換器２に送られる。その後の動
作については上述した実施例と同様である。ディジタル
信号処理をする場合、アナログ信号をディジタル信号に
変換するときに生じる量子化誤差が問題となる。この量
子化誤差を常に最小に抑えるために、本実施例では、Ａ
ＧＣ付き増幅器２８で光信号１を増幅する。

【００３３】図１２は、ＡＧＣ付き増幅器２８の一構成
例を示す図である。光信号１はプリアンプ２９で増幅さ
れ、光信号１に含まれる位相変調信号のみの周波数成分
を通過させるためのＢＰＦ（バンドパスフィルタ）を設
け、その出力信号を可変増幅器３１でゲイン制御回路３
４の指令に基ずき増幅する。ゲイン制御回路３４では、
自乗検波器３２で検出した位相変調信号の振幅値をＬＰ
Ｆ（ロ−パスフィルタ）で高周波成分を除去した信号と
現在の可変増幅器３１のゲインから、最適なゲインを決
定する。

【００３４】以上の動作により、常に一定レベル以上に
信号強度を保つことができる。尚、光信号１の強度はレ
−ザが伝搬する媒質の密度変化により変わり、さらにマ
ルチディザー方式補償光学装置では制御により光信号１
に含まれる位相変調信号が小さくなっていくため、ＡＧ
Ｃ付き増幅器２８を用いて光信号１を増幅することが重
要となる。

【００３５】

【発明の効果】本発明によれば、回路素子の経年変化に
よる性能劣化の影響が低減し、ディジタル信号処理速度
が向上し、装置構成の小型化及びディジタル信号処理に
よる量子化誤差を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す波面制御装置の構成図
である。

【図２】本発明の一実施例を示すマルチディザー方式補
償光学装置の構成図である。

【図３】補償光学装置を構成する形状可変鏡の構造図で
ある。

【図４】本発明の一実施例を示す波面制御装置で実施す
るデジタル信号処理の処理アルゴリズムのフロ−チャ−
トである。

【図５】本発明の一実施例を示す波面制御装置の構成図
である。

【図６】本発明の一実施例を示す波面制御装置の構成図
である。

【図７】補償光学装置を構成する形状可変鏡の構造図で
ある。

【図８】本発明の一実施例を示す波面制御装置の構成図
である。

【図９】本発明の一実施例を示す波面制御装置の構成図
である。

【図１０】本発明の一実施例を示すデジタル信号処理装
置の構成図である。

【図１１】本発明の一実施例を示す波面制御装置の構成
図である。

【図１２】本発明の一実施例を示すＡＧＣ付き増幅器の
構成図である。

【符号の説明】

１…光信号、２…Ａ／Ｄ変換器、３…ディジタル信号、
４…ディジタル信号処理部、５…指令電圧、６…駆動電
源、７…駆動電圧、８…波面制御装置、９…入射レ−ザ
ビ−ム、１０…レ−ザ波面、１１…ビ−ムスプリッタ
−、１２…レンズ、１３…出射レ−ザビ−ム、１４…光
検出器、１５…形状可変鏡、１６…ミラ−、１７…アク
チュエ−タ、１８…ディジタル信号処理回路、１９…Ｄ
／Ａ変換器、２０…アンプ、２１…位相変調信号、２２
…制御信号、２３…デュアルアクセスＲＡＭ、２４…バ
ス、２５…ＣＰＵ、２６…記憶装置、２７…ディジタル
信号処理装置、２８…ＡＧＣ付き増幅器、２９…プリア
ンプ、３０…ＢＰＦ、３１…可変増幅器、３２…自乗検
波器、３３…ＬＰＦ、３４…ゲイン制御回路。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者杉井正克東京都東久留米市中央町３−20−21 (72)発明者嶺康晴埼玉県草加市草加２−３−15−201

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】入射光を反射して出射する反射面と該反
射面の形状を変化させる複数のアクチュエータとを有す
る形状可変鏡と、前記反射面で反射した光波を取り込み
集光した焦点強度から波形歪みを検出し該波形歪みを補
正する前記各アクチュエータの変位量を求めると共に各
アクチュエータの各変位位置で各アクチュエータを夫々
異なる周波数で振動させ反射光に位相変調を与える波面
制御装置とを備えるマルチディザー方式補償光学装置に
おいて、前記焦点強度の信号をディジタル値に変換する
アナログディジタル変換手段と、該ディジタル値を取り
込み位相変調信号を検出して前記各アクチュエータの変
位量指令値を決定する複数の並列処理するディジタル信
号処理部とを前記波面制御装置に設けたことを特徴とす
るマルチディザー方式補償光学装置。
【請求項２】請求項１において、前記ディジタル信号
処理部を前記アクチュエ−タの個数と同数だけ設けたこ
とを特徴とするマルチディザー方式補償光学装置。
【請求項３】請求項１または請求項２において、複数
のディジタル信号処理部を統括管理する中央制御装置を
設けたことを特徴とするマルチディザー方式補償光学装
置。
【請求項４】請求項３において、前記中央制御装置と
前記各ディジタル信号処理部を共通バスで接続し該共通
バスを介して情報の授受を行う構成としたことを特徴と
するマルチディザー方式補償光学装置。
【請求項５】請求項３において、前記中央制御装置と
前記各ディジタル信号処理部とがデュアルアクセスＲＡ
Ｍを介して情報の授受を行う構成としたことを特徴とす
るマルチディザー方式補償光学装置。
【請求項６】請求項１乃至請求項５のいずれかにおい
て、位相変調用信号と波面補正用信号を各ディジタル信
号処理部で独立にディジタル信号で生成した後にディジ
タルアナログ変換器でアナログ信号に夫々変換してから
位相変調用アナログ信号の振幅を増幅器で低減してから
両者を加算した信号にて各アクチュエータを制御する手
段を設けたことを特徴とするマルチディザー方式補償光
学装置。
【請求項７】請求項１乃至請求項５のいずれかにおい
て、各アクチュエータを波面補正用アクチュエータと該
波面補正用アクチュエータより変位量の小さい位相変調
用アクチュエータを重ねた構造にすると共に、位相変調
用信号と波面補正用信号を各ディジタル信号処理部で独
立にディジタル信号で生成した後にディジタルアナログ
変換器でアナログ信号に夫々変換してから両者を加算し
た信号にて各アクチュエータを制御する手段を設けたこ
とを特徴とするマルチディザー方式補償光学装置。
【請求項８】入射光を反射して出射する反射面と該反
射面の形状を変化させる複数のアクチュエータとを有す
る形状可変鏡と、前記反射面で反射した光波を取り込み
集光した焦点強度から波形歪みを検出し該波形歪みを補
正する前記各アクチュエータの変位量を求めると共に各
アクチュエータの各変位位置で各アクチュエータを夫々
異なる周波数で振動させ反射光に位相変調を与える波面
制御装置とを備えるマルチディザー方式補償光学装置に
おいて、前記焦点強度の信号をディジタル値に変換する
アナログディジタル変換手段と、該ディジタル値を取り
込み位相変調信号を検出して前記各アクチュエータの変
位量指令値を決定する複数の並列処理するディジタル信
号処理部とを有するディジタル信号処理装置を複数並列
に前記波面制御装置に設けたことを特徴とするマルチデ
ィザー方式補償光学装置。
【請求項９】請求項８において、前記ディジタル信号
処理装置の複数のディジタル信号処理部を管理制御する
中央制御装置を設けたことを特徴とするマルチディザー
方式補償光学装置。
【請求項１０】請求項９において、前記中央制御装置
とディジタル信号処理部を共通バスで接続し該共通バス
を介して情報の授受を行う構成としたことを特徴とする
マルチディザー方式補償光学装置。
【請求項１１】特許請求項９において、前記中央制御
装置とディジタル信号処理部がデュアルアクセスＲＡＭ
を用いて情報の授受を行う構成としたことを特徴とする
マルチディザー方式補償光学装置。
【請求項１２】請求項１乃至請求項１１のいずれかに
おいて、焦点強度の信号に含まれる位相変調信号を常に
一定レベル以上となるように自動利得調整する増幅器を
前記アナログディジタル変換器の前段に設けたことを特
徴とするマルチディザー方式補償光学装置。