JPH07135177A - 材料供給装置 - Google Patents
材料供給装置Info
- Publication number
- JPH07135177A JPH07135177A JP30217393A JP30217393A JPH07135177A JP H07135177 A JPH07135177 A JP H07135177A JP 30217393 A JP30217393 A JP 30217393A JP 30217393 A JP30217393 A JP 30217393A JP H07135177 A JPH07135177 A JP H07135177A
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- JP
- Japan
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- chamber
- crucible
- belt
- boats
- materials
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- Pending
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 成膜室の材料供給箇所に対し、任意の方向か
ら材料を供給できるようにすること。 【構成】 成膜室に取付けた分子線セル１上方のポート
１０に、仕切りバルブ１１を介し、伸縮機構１４を持つ
伸縮可能の材料供給室１２を取付ける。材料搬送機構１
８の循環移動する搬送ベルト２１に、材料を入れる複数
のボート２２を固定する。材料供給室を伸長し、材料搬
送機構を収納し、仕切りバルブを閉じ、供給室を大気圧
に戻す。ベルトを動かし、各ボートに投入口１７から材
料を入れ、供給室を真空排気し、仕切りバルブを開く。
材料供給室を押縮し、材料搬送機構の先端部をるつぼ４
の上に位置させ、ベルトを動かし、ボートをるつぼの上
で反転させて材料ｍをるつぼに落す。任意角度のベルト
に対し、ボート底部の取付位置を変えることにより、ボ
ート搬送時、ボートは水平に保たれる。
ら材料を供給できるようにすること。 【構成】 成膜室に取付けた分子線セル１上方のポート
１０に、仕切りバルブ１１を介し、伸縮機構１４を持つ
伸縮可能の材料供給室１２を取付ける。材料搬送機構１
８の循環移動する搬送ベルト２１に、材料を入れる複数
のボート２２を固定する。材料供給室を伸長し、材料搬
送機構を収納し、仕切りバルブを閉じ、供給室を大気圧
に戻す。ベルトを動かし、各ボートに投入口１７から材
料を入れ、供給室を真空排気し、仕切りバルブを開く。
材料供給室を押縮し、材料搬送機構の先端部をるつぼ４
の上に位置させ、ベルトを動かし、ボートをるつぼの上
で反転させて材料ｍをるつぼに落す。任意角度のベルト
に対し、ボート底部の取付位置を変えることにより、ボ
ート搬送時、ボートは水平に保たれる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空蒸着装置、薄膜形
成装置、特に分子線エピタキシー装置に適する材料供給
装置に関する。
成装置、特に分子線エピタキシー装置に適する材料供給
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜形成装置、真空蒸着装置に係る分子
線エピタキシー（ＭＢＥ）装置にあっては、所要の材料
の蒸発源である分子線セル（クヌードセンセル）が成膜
（成長）室となる真空チャンバに取り付けられており、
分子線セルのるつぼから飛び出た分子（原子）線を被成
膜基板に到達させ、所望の結晶を成長させている。
線エピタキシー（ＭＢＥ）装置にあっては、所要の材料
の蒸発源である分子線セル（クヌードセンセル）が成膜
（成長）室となる真空チャンバに取り付けられており、
分子線セルのるつぼから飛び出た分子（原子）線を被成
膜基板に到達させ、所望の結晶を成長させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】装置の運転に伴い、る
つぼ内の蒸発材料がなくなると、材料を補給しなければ
ならない。単純には、真空チャンバを大気圧に戻し、分
子線セルを取り外して、るつぼに材料を入れればよい
が、この場合、再び真空チャンバ内を超高真空（１０-9
〜１０-11Torr）に排気して装置の運転が行える状態に
するには、かなりの日数、手間がかかる。
つぼ内の蒸発材料がなくなると、材料を補給しなければ
ならない。単純には、真空チャンバを大気圧に戻し、分
子線セルを取り外して、るつぼに材料を入れればよい
が、この場合、再び真空チャンバ内を超高真空（１０-9
〜１０-11Torr）に排気して装置の運転が行える状態に
するには、かなりの日数、手間がかかる。
【０００４】また、分子線セルのるつぼに対する材料供
給装置を真空チャンバに設けたものもあり、図３
（ａ），（ｂ）にその材料供給態様の説明図を示す。分
子線セルのるつぼ３１は成膜室である真空チャンバ３２
の底部ないし側面部に成膜室内に突き出る形で設けられ
ており、材料供給時、真空チャンバの側面部、上部に形
成されたポートを通して材料供給管３３、或いは材料供
給柄杓３４をるつぼ３１の開口部上に斜め上から、或い
は上方から位置させ、るつぼに材料を入れている。
給装置を真空チャンバに設けたものもあり、図３
（ａ），（ｂ）にその材料供給態様の説明図を示す。分
子線セルのるつぼ３１は成膜室である真空チャンバ３２
の底部ないし側面部に成膜室内に突き出る形で設けられ
ており、材料供給時、真空チャンバの側面部、上部に形
成されたポートを通して材料供給管３３、或いは材料供
給柄杓３４をるつぼ３１の開口部上に斜め上から、或い
は上方から位置させ、るつぼに材料を入れている。
【０００５】しかし、特にＭＢＥ装置における成膜室の
側面部及び上部にはかなりの数のポートがあり、それら
は外部からの運転操作に重要な部分となっている。した
がって、成膜室に突き出る形で取り付けられている分子
線セルのるつぼに対し、従来のように斜め上から、或い
は上方からしか材料が供給できない構造の機構では、そ
の取付けが不可能となったり、取付けることができる機
構数が制限される場合が出てくる。
側面部及び上部にはかなりの数のポートがあり、それら
は外部からの運転操作に重要な部分となっている。した
がって、成膜室に突き出る形で取り付けられている分子
線セルのるつぼに対し、従来のように斜め上から、或い
は上方からしか材料が供給できない構造の機構では、そ
の取付けが不可能となったり、取付けることができる機
構数が制限される場合が出てくる。
【０００６】本発明は、成膜室の材料供給箇所に対し、
上から、横から、或いは下からと、任意の方向から材料
の供給を行うことができる装置の提供を目的とするもの
である。
上から、横から、或いは下からと、任意の方向から材料
の供給を行うことができる装置の提供を目的とするもの
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の材料供給装置
は、仕切りバルブを介して成膜室のポートに取り付けら
れ、材料投入口を有する伸縮可能の材料供給室と、循環
移動する搬送ベルト及びこのベルトに固定された材料を
入れる複数のボートを有し、前記材料供給室に取り付け
られた材料搬送機構とを備えてなることを特徴とするも
のである。
は、仕切りバルブを介して成膜室のポートに取り付けら
れ、材料投入口を有する伸縮可能の材料供給室と、循環
移動する搬送ベルト及びこのベルトに固定された材料を
入れる複数のボートを有し、前記材料供給室に取り付け
られた材料搬送機構とを備えてなることを特徴とするも
のである。
【０００８】
【作用】材料収容ボートに材料を入れるとき、材料供給
室を伸長させて循環搬送ベルト機構を同室内に収容し、
仕切りバルブを閉じ、同室内を大気圧に戻す。材料投入
口を開けて、材料収容ボートに材料を入れ、材料供給室
を真空排気する。成膜室のるつぼに材料を供給すると
き、仕切りバルブを開き、材料供給室を押縮して搬送ベ
ルト機構の先端部を成膜室内の材料供給箇所、るつぼ上
に位置させ、搬送ベルトを移動させて材料収容ボートを
反転させることにより、ボート内の材料をるつぼに落下
させる。搬送ベルトの搬送角度に応じて、搬送ベルトに
対する材料収容ボートの取付角度を変えることにより、
成膜室の所要の箇所、るつぼに任意の方向から材料を供
給できる。
室を伸長させて循環搬送ベルト機構を同室内に収容し、
仕切りバルブを閉じ、同室内を大気圧に戻す。材料投入
口を開けて、材料収容ボートに材料を入れ、材料供給室
を真空排気する。成膜室のるつぼに材料を供給すると
き、仕切りバルブを開き、材料供給室を押縮して搬送ベ
ルト機構の先端部を成膜室内の材料供給箇所、るつぼ上
に位置させ、搬送ベルトを移動させて材料収容ボートを
反転させることにより、ボート内の材料をるつぼに落下
させる。搬送ベルトの搬送角度に応じて、搬送ベルトに
対する材料収容ボートの取付角度を変えることにより、
成膜室の所要の箇所、るつぼに任意の方向から材料を供
給できる。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。図１はＭＢＥ装置に適用した実施例の断面構成図
である。分子線セル１は成膜室を形成する真空チャンバ
２に設けた分子線セル・ポート３に取り付けられてい
る。分子線セル１のるつぼ４の周囲にはるつぼヒータ５
が設けられており、これらを熱シールド部材６が囲み、
分子線セル全体は支持部材７を介して分子線セル・ポー
ト３の閉塞部材８に取り付けられている。分子線セル１
の周囲等、真空チャンバ２の内部には液体窒素で冷却さ
れたシュラウド９が設けられており、チャンバ内の不
純、不要ガスを捕捉している。
する。図１はＭＢＥ装置に適用した実施例の断面構成図
である。分子線セル１は成膜室を形成する真空チャンバ
２に設けた分子線セル・ポート３に取り付けられてい
る。分子線セル１のるつぼ４の周囲にはるつぼヒータ５
が設けられており、これらを熱シールド部材６が囲み、
分子線セル全体は支持部材７を介して分子線セル・ポー
ト３の閉塞部材８に取り付けられている。分子線セル１
の周囲等、真空チャンバ２の内部には液体窒素で冷却さ
れたシュラウド９が設けられており、チャンバ内の不
純、不要ガスを捕捉している。
【００１０】真空チャンバ２における分子線セル１の取
付け部より上方のポート１０に、るつぼ４への材料供給
機構を取り付ける。同ポートに、仕切りバルブ（ゲート
バルブ）１１を介して伸縮可能の材料供給室１２が取り
付けられ、同供給室は、仕切りバルブに結合する固定部
１３、ベローズ等の伸縮機構１４を有し、端部が閉塞さ
れている可動部１５からなり、これら各部分はフランジ
により結合している。固定部１２には真空排気システ
ム、大気圧リークシステムに連通する排気ポート１６が
形成されており、可動部１５の上部に材料投入口１７が
設けられている。
付け部より上方のポート１０に、るつぼ４への材料供給
機構を取り付ける。同ポートに、仕切りバルブ（ゲート
バルブ）１１を介して伸縮可能の材料供給室１２が取り
付けられ、同供給室は、仕切りバルブに結合する固定部
１３、ベローズ等の伸縮機構１４を有し、端部が閉塞さ
れている可動部１５からなり、これら各部分はフランジ
により結合している。固定部１２には真空排気システ
ム、大気圧リークシステムに連通する排気ポート１６が
形成されており、可動部１５の上部に材料投入口１７が
設けられている。
【００１１】伸縮機構１４を伸ばし、伸長した材料供給
室１２内に収納される材料搬送機構１８は、支持アーム
１９に軸支された一対のローラ２０、これらローラに掛
け渡された搬送ベルト２１及び同ベルトに固定された複
数の材料を入れるボート２２からなり、支持アームは可
動部１５の端部に取り付けられている。ボート２２は半
球、椀ないし深皿状のものであり、図１では水平に動く
搬送ベルト２１に対し、ボートの底の中央部をベルトに
固定することにより、材料がこぼれないようにボートも
水平に保たれる。一対のローラ２０の何れか一方を材料
供給室１２の外部から、或いは同供給室内に設けた駆動
機構で回転させることにより搬送ベルト２１を矢印方向
に循環移動させ、ボート２２を移動させる。
室１２内に収納される材料搬送機構１８は、支持アーム
１９に軸支された一対のローラ２０、これらローラに掛
け渡された搬送ベルト２１及び同ベルトに固定された複
数の材料を入れるボート２２からなり、支持アームは可
動部１５の端部に取り付けられている。ボート２２は半
球、椀ないし深皿状のものであり、図１では水平に動く
搬送ベルト２１に対し、ボートの底の中央部をベルトに
固定することにより、材料がこぼれないようにボートも
水平に保たれる。一対のローラ２０の何れか一方を材料
供給室１２の外部から、或いは同供給室内に設けた駆動
機構で回転させることにより搬送ベルト２１を矢印方向
に循環移動させ、ボート２２を移動させる。
【００１２】ボート２２に材料を入れるとき、材料供給
室１２の伸縮機構１４を伸ばし、同供給室を伸長させて
材料搬送機構１８を同供給室内に収納する。仕切りバル
ブ１１は閉じ、排気ポート１６に設けたリークバルブを
開けて材料供給室内を大気圧に戻す。材料投入口１７を
開け、ローラ２０を回してボート２２を投入口の下まで
移動させ、各ボートに所要の同一あるいは異なる材料を
順次入れる。全てのボート２２に材料を入れ終わった
ら、排気ポート１６から排気システムにより材料供給室
１２内を真空排気する。所定の真空度になったら仕切り
バルブ１１を開けて材料供給室１２を真空チャンバ２と
接続する。もしも材料供給室１２内に材料のストックを
するだけなら、仕切りバルブ１１は閉じた状態のままで
よい。
室１２の伸縮機構１４を伸ばし、同供給室を伸長させて
材料搬送機構１８を同供給室内に収納する。仕切りバル
ブ１１は閉じ、排気ポート１６に設けたリークバルブを
開けて材料供給室内を大気圧に戻す。材料投入口１７を
開け、ローラ２０を回してボート２２を投入口の下まで
移動させ、各ボートに所要の同一あるいは異なる材料を
順次入れる。全てのボート２２に材料を入れ終わった
ら、排気ポート１６から排気システムにより材料供給室
１２内を真空排気する。所定の真空度になったら仕切り
バルブ１１を開けて材料供給室１２を真空チャンバ２と
接続する。もしも材料供給室１２内に材料のストックを
するだけなら、仕切りバルブ１１は閉じた状態のままで
よい。
【００１３】分子線セル１のるつぼ４に材料を供給する
とき、伸縮可能の材料供給室１２における可動部１５を
押し、伸縮機構１４を縮めることにより材料供給室を押
縮する。これにより、材料供給室１２内の材料搬送機構
１８の先端部をるつぼ４の開口部上に位置させる。ロー
ラ２０を回転させることにより搬送ベルト２１を移動さ
せ、図１に示すように材料が入ったボート２２をるつぼ
４の真上で反転させて材料ｍをるつぼに落下させ、投入
する。
とき、伸縮可能の材料供給室１２における可動部１５を
押し、伸縮機構１４を縮めることにより材料供給室を押
縮する。これにより、材料供給室１２内の材料搬送機構
１８の先端部をるつぼ４の開口部上に位置させる。ロー
ラ２０を回転させることにより搬送ベルト２１を移動さ
せ、図１に示すように材料が入ったボート２２をるつぼ
４の真上で反転させて材料ｍをるつぼに落下させ、投入
する。
【００１４】上述の実施例では水平方向から、るつぼ４
に材料を搬送、投入するものについて説明したが、図２
（ａ），（ｂ）に斜め上方からと斜め下方から、るつぼ
に材料を入れる実施例についての説明図を示す。これら
の実施例にあっては、任意の角度の搬送ベルト２１に対
し、黒丸印で示すように、材料を入れるボート２２の底
部の固定取付け位置を変更することにより、ボートから
材料がこぼれないようにボートをその搬送時、水平に位
置させている。このように、搬送ベルト２１へのボート
２２の取付角度を変えることにより、任意の方向からる
つぼ４に材料を供給することができ、成膜室に材料供給
機構を任意の角度で取付けることができる。
に材料を搬送、投入するものについて説明したが、図２
（ａ），（ｂ）に斜め上方からと斜め下方から、るつぼ
に材料を入れる実施例についての説明図を示す。これら
の実施例にあっては、任意の角度の搬送ベルト２１に対
し、黒丸印で示すように、材料を入れるボート２２の底
部の固定取付け位置を変更することにより、ボートから
材料がこぼれないようにボートをその搬送時、水平に位
置させている。このように、搬送ベルト２１へのボート
２２の取付角度を変えることにより、任意の方向からる
つぼ４に材料を供給することができ、成膜室に材料供給
機構を任意の角度で取付けることができる。
【００１５】上述の実施例では分子線セルのるつぼに材
料を供給するものについて説明したが、本発明は、Ｅ形
電子銃のるつぼに対しても同様に適用することができ
る。
料を供給するものについて説明したが、本発明は、Ｅ形
電子銃のるつぼに対しても同様に適用することができ
る。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、搬送ベルトに対する材料を入れるボートの取付角
度を変えることにより、任意の方向から成膜室内の所要
の箇所に材料を供給することができから、成膜室に材料
供給装置を任意の角度で取付けることが可能となり、成
膜室に多数出ている運転操作用等の他のポートからの制
約を受けずに、材料供給装置を設置することができる。
ので、搬送ベルトに対する材料を入れるボートの取付角
度を変えることにより、任意の方向から成膜室内の所要
の箇所に材料を供給することができから、成膜室に材料
供給装置を任意の角度で取付けることが可能となり、成
膜室に多数出ている運転操作用等の他のポートからの制
約を受けずに、材料供給装置を設置することができる。
【００１７】材料供給室は仕切りバルブを介して成膜室
に取り付けられているから、同供給室内を真空排気し、
ロードロック状態とすることができ、真空排気下の同供
給室のボートに材料を入れた状態でストックさせておく
ことが可能となり、成膜室への材料供給を迅速に行うこ
とができる。
に取り付けられているから、同供給室内を真空排気し、
ロードロック状態とすることができ、真空排気下の同供
給室のボートに材料を入れた状態でストックさせておく
ことが可能となり、成膜室への材料供給を迅速に行うこ
とができる。
【００１８】複数のボートに数種の材料を入れておくこ
とにより、成膜室を大気圧にリークすることなく、数種
の材料による成膜を連続して行うことができる。
とにより、成膜室を大気圧にリークすることなく、数種
の材料による成膜を連続して行うことができる。
【図１】ＭＢＥ装置に適用した実施例の断面構成図であ
る。
る。
【図２】任意の角度方向から材料を搬送投入する実施例
の説明図である。
の説明図である。
【図３】従来の材料供給態様についての説明図である。
１ 分子線セル ２ 成膜室の真空チャンバ ４ るつぼ １１ 仕切りバルブ １２ 伸縮可能の材料供給室 １４ 伸縮機構 １７ 材料投入口 １８ 材料搬送機構 ２１ 搬送ベルト ２２ 材料を入れるボート
Claims (1)
- 【請求項１】 仕切りバルブを介して成膜室のポートに
取り付けられ、材料投入口を有する伸縮可能の材料供給
室と、循環移動する搬送ベルト及びこのベルトに固定さ
れた材料を入れる複数のボートを有し、前記材料供給室
に取り付けられた材料搬送機構とを備えてなることを特
徴とする材料供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30217393A JPH07135177A (ja) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | 材料供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30217393A JPH07135177A (ja) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | 材料供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07135177A true JPH07135177A (ja) | 1995-05-23 |
Family
ID=17905808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30217393A Pending JPH07135177A (ja) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | 材料供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07135177A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103451722A (zh) * | 2013-08-06 | 2013-12-18 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 能供多炉台共用的外部连续投料装置 |
-
1993
- 1993-11-09 JP JP30217393A patent/JPH07135177A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103451722A (zh) * | 2013-08-06 | 2013-12-18 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 能供多炉台共用的外部连续投料装置 |
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