JPH07130823A - チツプ部品位置決め方法及びこれを実施する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】チツプ部品２の位置を検出し、当該検出結果に
基づいて上記チツプ部品２を位置決めするチツプ部品位
置決め装置３において、高速かつ正確にチツプ位置の認
識をすることができるチツプ部品位置決め方法及びこれ
を実施する装置３を提案しようとするものである。 【構成】チツプ部品２の位置決めをするにあたつて、画
像処理によつて位置を検出することにより、高速かつ正
確にチツプ部品２の位置の認識をすることができ、また
様々なタイプのチツプ部品２に対応できると共に簡易な
システムを構築し得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術（図１０及び図１１） 発明が解決しようとする課題（図１０及び図１１） 課題を解決するための手段（図１〜図９） 作用（図１〜図９） 実施例 （１）全体構成（図１） （２）第１の実施例（図１〜図４） （３）第２の実施例（図１及び図５〜図７） （４）第３の実施例（図１及び図８、図９） 発明の効果

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明はチツプ部品位置決め方法
及びこれを実施する装置に関し、特にチツプの位置を検
出した後当該チツプ部品を位置決めする方法及びこれを
実施する装置に適用して好適なものである。

【０００３】

【従来の技術】従来半導体チツプの組立工程において
は、図１０に示すようにウエハ１の表面に所定のパター
ンを形成してなるチツプ部品２Ａを複数配列することに
よりチツプ部品群２を形成し（図１０（Ａ））、この状
態においてウエハ１を伸縮性のあるシートに張り付けて
矢印ａ方向に放射状に延伸すると、チツプ群２の各チツ
プ部品２Ａはシートと共に矢印ａ方向に放射状に移動
し、互いに離間した状態となる（図１０（Ｂ））。これ
によりチツプ部品２Ａを個々に容易に取り出し得るよう
になされている。

【０００４】ここで、図１１は互いに離間した状態にあ
るチツプ部品２Ａの拡大図を示し、各チツプ部品２Ａは
それぞれモニタチツプ２Ａ１及び本チツプ２Ａ２によつ
て構成されている。すなわち本チツプ２Ａ２は実際に製
品として使用されるチツプであり、モニタチツプ２Ａ１
は対応する本チツプ２Ａ２の位置を検出するための目印
として設けられている。

【０００５】従つて全て同一パターンでなる各本チツプ
２Ａ２を対応するモニタチツプ２Ａ１によつて識別する
ようになされており、作業者はモニタチツプ２Ａ１を顕
微鏡で見ながら、このモニタチツプ２Ａ１に対応する本
チツプ２Ａ２を１個１個ピンセツトで取り出すことによ
り、チツプ部品群２の組み立てを行つていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが人手を介した
ハンドリング組立て方法によると、モニタチツプ２Ａ１
のパターンが他のモニタチツプ２Ａ１と類似している場
合が多いことから、組立に必要な本チツプ２Ａ２を誤認
してしまうおそれがあり、その場合は製品の出荷前に再
検査しなければならないという煩雑さが生じる。

【０００７】さらに、取り扱うチツプ部品２Ａのチツプ
幅は数十〔μm 〕から数百〔μm 〕であることから、人
手による組立て時において組立ミスが頻発するおそれが
ある。また、自動組立装置における単純な機械系の精度
のみに基づく制御によるのでは、ウエハセツト位置や駆
動系の精度にわずかなずれがある場合に、組立に必要な
本チツプ２Ａ２とは異なる本チツプ２Ａ２を取り出して
しまうおそれがあつた。

【０００８】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、高速かつ正確にチツプ位置の認識をすることができ
るチツプ部品位置決め方法及びこれを実施する装置を提
案しようとするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、チツプ部品２の位置を検出し、検
出結果に基づいてチツプ部品２を位置決めするチツプ部
品位置決め装置３において、チツプ部品２を載置し、任
意の方向に移動するステージ７と、ステージ７を移動す
ることにより、所定の画枠１３内に移動されたチツプ部
品２を撮像する撮像手段４と、撮像されたチツプ部品２
の画像に基づいてチツプ部品２のステージ７上における
位置を検出する検出手段９、１０とを備えるようにす
る。

【００１０】また本発明においては、チツプ部品２の位
置を検出し、検出結果に基づいてチツプ部品２を位置決
めするチツプ部品位置決め装置３において、チツプ部品
２を載置したステージ７を移動することにより、所定の
チツプ部品２を撮像手段４の所定の画枠１３内に収め、
撮像手段４によつて撮像された画枠内１３のチツプ部品
２の画像に基づいてチツプ部品２のステージ７上におけ
る位置を検出するようにする。

【００１１】また本発明においては、ステージ７上に複
数配列されたチツプ部品２のうち、同一パターンでなる
チツプ部品２が連続して配列された場合に、異なるパタ
ーンのチツプ部品２が画枠１３内に入るまで順次チツプ
部品２を所定方向に移動しながら撮像するようにする。

【００１２】また本発明においては、チツプ部品２が位
置検定に使用できない場合に、チツプ部品２に隣接する
隣接チツプ部品２の位置を検出し、位置検出結果に基づ
いてチツプ部品２の位置を検出するようにする。

【００１３】また本発明においては、複数のチツプ部品
２が形成されてなるウエハ１において、チツプ部品２は
所定のパターンが形成されてなる本チツプ２Ａ２と、本
チツプ２Ａ２にそれぞれ対応し、本チツプ２Ａ２の位置
を検出するモニタチツプ２Ａ１とを備えるようにする。

【００１４】また本発明においては、ウエハ１におい
て、複数のモニタチツプ２Ａ１のうち隣接したモニタチ
ツプ２Ａ１のパターンが異なるようにする。

【００１５】

【作用】撮像手段４によつて撮像された画枠１３内のチ
ツプ部品２の画像に基づいてチツプ部品２のステージ７
上の位置を検出することにより、高速かつ正確にチツプ
部品２の位置の認識をすることができる。

【００１６】

【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。

【００１７】（１）全体構成 図１において３は全体としてチツプ部品位置決め装置を
示し、モータ１５によつてｘ、ｙ及びｚ空間内を任意に
移動し得ると共にθ方向に回動し得るステージ７上にウ
エハ１が載置され、当該ウエハ１に形成されたチツプ部
品群２の各チツプ部品２ＡをＣＣＤカメラ４によつて撮
像し得るようになされている。

【００１８】ＣＣＤカメラ４の周囲にはリングライト８
が設けられており、当該リングライト８によつてウエハ
１のチツプ部品２Ａを照明することにより、各チツプ部
品２Ａの像を十分な照明光のもとで撮像することができ
る。ＣＣＤカメラ４はウエハ１のチツプ部品２Ａを撮像
してなる撮像信号Ｓ１を制御部５の画像処理部９に送出
する。

【００１９】制御部５は、ＣＣＤカメラ４から出力され
る撮像信号Ｓ１を処理する画像処理部９と、当該画像処
理部９から出力されたデータを処理するＣＰＵ（中央処
理ユニツト）部１０と、プログラムデータが格納されて
いるメモリ部１１とを有する。画像処理部９はモニタチ
ツプ２Ａ１及び本チツプ２Ａ２の位置検出及びダイシン
グライン（図示せず）の位置を検出する。

【００２０】また制御部５においては、ＶＭＥバス１２
を経由して命令及びデータの受け渡しがなされ、ＶＭＥ
バス１２を介して設けられたモータ制御部１４が画像処
理の結果に基づいてステージ７を移動制御できるように
なされている。また制御部５による画像及び当該画像処
理の結果はモニタ６上に画面表示するようになされてい
る。このモニタ６の画面中央部には、画像処理部９によ
つて設けられたウインドウ１３が表示され、当該ウイン
ドウ１３内を画像処理部９が画像処理することにより、
他のモニタチツプ２Ａ１を検出してしまうことを防止す
ることができる。

【００２１】ここで、本チツプ２Ａ２はモニタチツプ２
Ａ１よりも小さく形成されており、モニタチツプ２Ａ１
の位置を検出すればその検出結果の位置情報に基づいて
本チツプ２Ａ２の位置を検出することができる。このた
めウインドウ１３をモニタチツプ２Ａ１の大きさに合わ
せれば良いことから、ウインドウ１３を本チツプ２Ａ２
よりも小さく設定することができる。

【００２２】従つて、画像処理速度を上げることができ
ると共に他のチツプとの誤認を防止できるが、ウインド
ウ１３をモニタチツプ２Ａ１よりも少し大きく設定する
ことにより、モニタチツプ２Ａ１の位置を検出する際に
モニタチツプ２Ａ１がずれて撮像されてもウインドウ１
３内に収めることができる。

【００２３】モータ制御部１４はＣＰＵ部１０の命令に
基づいて、ウエハ１を載せたステージ７を各方向に移動
制御できるようにモータ１５を制御できると共に、ステ
ージ７内におけるリミツトスイツチ（図示せず）の監視
及び制御をすることができるようになされている。

【００２４】また、制御部５にはＶＭＥバス１２を経由
して汎用入出力部１６が設けられており、ホストコンピ
ユータ（図示せず）と入出力するようになされている。
チツプ部品２Ａ全体の位置情報は、制御部５のメモリ部
１１に格納されたプログラムデータに基づいて初期設定
すること（以下、テイーチングという）により与えられ
ているが、ウエハ１のセツト位置や延伸条件等の影響に
よりテイーチングした位置からずれてしまうおそれがあ
る。

【００２５】そこで、何らかの方法、例えば、画像処理
により標的となるモニタチツプ２Ａ１の位置を検出し、
この画像処理によつて得られた位置情報に基づいて本チ
ツプ２Ａ２の位置を検出するようになされている。ここ
で、画像処理とは、テイーチングにより予め登録した画
像と処理する画像との相関を取り、この相関値が一番大
きくなる（一番マツチした）ポイント（ｘ，ｙ）を探す
処理をいう。

【００２６】このようにモニタチツプ２Ａ１は、上述の
ような画像処理のためのみに使用することを特徴とする
位置決め用パターンのみならず、プロセスを確認するた
めに標準トランジスタ等を予め入れておくことを特徴と
するプロセスモニタ用パターンとしての役割も果たして
いる。

【００２７】（２）第１の実施例 図１について上述した制御部５内のＣＰＵ部１０は、図
２に示す処理手順に従つてチツプ部品２Ａの位置決め処
理を実行する。すなわち画像処理部９はステツプＳＰ１
から当該処理手順に入り、ステツプＳＰ２において、Ｃ
ＰＵ部１０は標的となるモニタチツプ２Ａ１（ターゲツ
トモニタチツプ）がモニタ６のほぼ中央で画面表示され
るような位置になるようにステージ７を移動制御して、
当該モニタチツプ２Ａ１の概略位置移動が正確になされ
たか否かを判断し、肯定結果が得られるまでＣＰＵ部１
０はステージ７の移動制御を繰り返す。

【００２８】その際、モニタ６の画面中央部には、画像
処理部９によつて設けられたウインドウ１３が表示さ
れ、当該ウインドウ１３内を画像処理部９が画像処理す
ることにより、他のモニタチツプ２Ａ１を検出してしま
うことを防止することができる。やがてＣＰＵ部１０は
ステツプＳＰ２において肯定結果を得ると、ステツプＳ
Ｐ３に移つて、リングライト８による照射の下、ＣＣＤ
カメラ４によつて標的となるモニタチツプ２Ａ１が撮像
され、その画像が制御部５内の画像処理部９に送出され
る。

【００２９】その際、本チツプ２Ａ２はモニタ６上のほ
ぼ画面中央部に表示されるが、機械系の精度の関係に基
づき多少の誤差の発生も避けられないことから、完全に
中央部には表示し得ないため、次のステツプＳＰ４にお
いて、画面中央部に設けられ、モニタチツプ２Ａ１より
少し大きく設定されたウインドウ１３内を画像処理部９
が画像処理することにより、正確な本チツプ２Ａ２の位
置を検出することができる。

【００３０】例えば図３に示すような実際のウエハパタ
ーンにおいて、３列目の１０番目の本チツプ２Ａ２Ｘを
標的として取り出す場合には、まず図４に示すように当
該本チツプ２Ａ２Ｘに対応するモニタチツプ２Ａ１Ｘを
画面中央部に設けられたウインドウ１３内に入るように
し（図４（Ａ））、画像処理部９はこのウインドウ１３
内を画像処理することにより、当該モニタチツプ２Ａ１
Ｘの位置を検出するようにする（図４（Ｂ））。

【００３１】続いてステツプＳＰ５において、ＣＰＵ部
１０は画像処理部９から出力された画像データであるモ
ニタチツプ２Ａ１の位置検出の結果による位置情報に基
づいて、当該画像データをピクセル数からパルス数に変
換するように処理することにより、ステージ７の補正量
を計算する。続いてステツプＳＰ６に移つて、ＣＰＵ部
１０によるステージ７の補正量の計算結果に基づいて、
モータ制御部１４はモータ１５を駆動させてステージ７
を移動制御することにより、位置検出したモニタチツプ
２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ２を標的となる所定位置
に位置補正することができる。

【００３２】このようにＣＰＵ部１０は、上述の処理ス
テツプをウエハ１上の全てのチツプについて順次行い、
最終チツプの位置を検出することができるか否かを判断
し、否定結果が得られたときには上述のステツプＳＰ２
に戻つて標的となるモニタチツプ２Ａ１の概略位置移動
から再度行う。やがてステツプＳＰ７においてＣＰＵ部
１０が肯定結果を得ると、ステツプＳＰ８に移つて当該
処理手順を終了する。

【００３３】以上の構成において、画像処理部９は標的
となる本チツプ２Ａ２に対応するモニタチツプ２Ａ１を
画面中央部に設けられたウインドウ１３内において画像
処理することにより、標的となるモニタチツプ２Ａ１の
位置を検出し、この画像処理によつて得られた位置情報
から当該モニタチツプ２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ２
の位置を検出することができる。

【００３４】さらに画像処理部９から出力されたモニタ
チツプ２Ａ１の位置検出による位置情報に基づいて、Ｃ
ＰＵ部１０はステージ７の補正量を計算し、それによつ
てモータ制御部１４はモータ１５を駆動させてステージ
７を移動制御することにより、位置検出したモニタチツ
プ２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ２を標的となる所定位
置に位置補正することができる。

【００３５】以上の構成によれば、画像処理によつて標
的となるモニタチツプ２Ａ１の位置を検出することによ
り、その得られた位置情報に基づいて当該モニタチツプ
２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ２の位置を検出すること
ができ、従つて当該本チツプ２Ａ２を標的となる所定位
置に位置補正することができる。

【００３６】（３）第２の実施例 次に図５に示すように複数のモニタチツプ２Ａ１のうち
同じパターンでなるモニタチツプパターンＩＤ２が連続
する場合は、ＣＰＵ部１０は連続するモニタチツプパタ
ーンＩＤ２のうちいずれのモニタチツプの位置を検出し
たか判断し得ず、この場合ウインドウ１３のサイズを変
更することなく、１個１個のモニタチツプ２Ａ１のパタ
ーンを順次検出し、特定のパターンの並びであつた場合
を正しい位置情報とする方法を用いることにより、簡単
な方法によつて、また現状のシステム構成のままで簡単
に位置検出し得るようにした。

【００３７】すなわち図１について上述した制御部５内
のＣＰＵ部１０は図６に示す処理手順に従つて本チツプ
の位置決め処理を実行する。すなわちＣＰＵ部１０はス
テツプＳＰ９から当該処理手順に入り、ステツプＳＰ１
０において標的となるモニタチツプ２Ａ１がモニタ６の
ほぼ中央部で画面表示されるような位置になるようにス
テージ７を移動制御して、当該モニタチツプ２Ａ１の概
略位置移動が正確になされたか否かを判断し、肯定結果
が得られるまでＣＰＵ部１０はステージ７の移動制御を
繰り返す。

【００３８】やがてＣＰＵ部１０はステツプＳＰ１０に
おいて肯定結果を得るとステツプＳＰ１１に移つて、リ
ングライト８による照射の下、ＣＣＤカメラ４によつて
標的となるモニタチツプ２Ａ１が撮像され、その画像が
制御部５内の画像処理部９に送出される。続いてステツ
プＳＰ１２において、標的となる本チツプ２Ａ２に対応
するモニタチツプ２Ａ１をモニタ６の画面中央部に設け
られたウインドウ１３内に入るようにし、画像処理部９
はこのウインドウ１３内を画像処理することにより、当
該モニタチツプ２Ａ１の位置を検出するようにする。

【００３９】その際、ＣＰＵ部１０はステツプＳＰ１３
において、順次認識するモニタチツプ２Ａ１を１個づつ
下にずらしながら当該モニタチツプ２Ａ１の並びを確認
するように制御した後、モニタチツプ２Ａ１の位置を検
出するようにする。この結果、モニタチツプ２Ａ１のパ
ターンが同じ場合、例えば、モニタチツプ２Ａ１のパタ
ーンが1222345-1222345-1222345 と繰り返す場合におい
て、このように連続してパターン「２」が３個続く場合
には、単純にパターン「２」を検出したのではどのパタ
ーン「２」であるか認識できず、標的となる本チツプ２
Ａ２を取り出すことができなくなるという問題を防止し
得る。

【００４０】この場合、図７（Ａ）に示すように１個目
のモニタチツプパターンＩＤ２については２−２−２の
パターンが、また図７（Ｂ）に示すように２個目のモニ
タチツプパターンＩＤ２については２−２−３のパター
ンが、さらに図７（Ｃ）に示すように３個目のモニタチ
ツプパターンＩＤ２については２−３−４のパターンが
それぞれ順次検出される。

【００４１】その際、２個目のモニタチツプパターンＩ
Ｄ２を検出するにあたつて、２−２−３の順で位置検出
されなかつた場合は、ＣＰＵ部１０はどこかのモニタチ
ツプ２Ａ１の位置を誤認しているものとみなし、再度上
述のパターンを検出して２−２−３の順で位置検出され
るまで繰り返し制御する。ここで、画像処理部９がモニ
タチツプ２Ａ１の位置を検出するにあたつて、モニタチ
ツプ２Ａ１の位置情報のみならず、モニタチツプ２Ａ１
のパターンが目的のものであるかどうかのチエツクも兼
ねて行つている。

【００４２】続いてステツプＳＰ１４において、ＣＰＵ
部１０は画像処理部９から出力された画像データである
モニタチツプ２Ａ１の位置検出の結果による位置情報に
基づいて、当該画像データをピクセル数からパルス数に
変換するように処理することにより、ステージ７の補正
量を計算する。

【００４３】続いてステツプＳＰ１５に移つて、ＣＰＵ
部１０によるステージ７の補正量の計算結果に基づい
て、モータ制御部１４はモータ１５を駆動させてステー
ジ７を移動制御することにより、位置検出したモニタチ
ツプ２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ２を標的となる所定
位置に位置補正することができる。

【００４４】このようにＣＰＵ部１０は、上述の処理ス
テツプをウエハ１上の全てのチツプについて順次行い、
最終チツプの位置を検出することができるか否かを判断
し、否定結果が得られたときには上述のステツプＳＰ１
０に戻つて標的となるモニタチツプ２Ａ１の概略位置移
動から再度行う。やがてステツプＳＰ１６においてＣＰ
Ｕ部１０が肯定結果を得ると、ステツプＳＰ１７に移つ
て当該プログラムを終了する。

【００４５】以上の構成において、画像処理部９は標的
となる本チツプ２Ａ２に対応するモニタチツプ２Ａ１を
画面中央部に設けられたウインドウ１３内において画像
処理することにより、標的となるモニタチツプ２Ａ１の
位置を検出し、この画像処理によつて得られた位置情報
から当該モニタチツプ２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ２
の位置を検出することができる。

【００４６】さらに画像処理部９から出力されたモニタ
チツプ２Ａ１の位置検出による位置情報に基づいて、Ｃ
ＰＵ部１０はステージ７の補正量を計算し、それによつ
てモータ制御部１４はモータ１５を駆動させてステージ
７を移動制御することにより、位置検出したモニタチツ
プ２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ２を標的となる所定位
置に位置補正することができる。

【００４７】また、モニタチツプ２Ａ１のパターンが全
く同じ場合があるときは、画像処理部９は、順次認識す
るモニタチツプ２Ａ１を１個づつ下にずらしながら当該
モニタチツプ２Ａ１の並びを確認するように制御するこ
とにより、標的となるモニタチツプ２Ａ１の位置を検出
することができ、従つて当該モニタチツプ２Ａ１に対応
する本チツプ２Ａ２の位置を検出することができる。

【００４８】以上の構成によれば、画像処理によつて標
的となるモニタチツプ２Ａ１の位置を検出することによ
り、その得られた位置情報に基づいて当該モニタチツプ
２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ２の位置を検出すること
ができ、従つて当該本チツプ２Ａ２を標的となる所定位
置に位置補正することができる。

【００４９】また、モニタチツプ２Ａ１のパターンが全
く同じ場合があつても、そのモニタチツプ２Ａ１の周囲
に位置するモニタチツプ２Ａ１の位置情報に基づいて位
置を確認することにより、標的となるモニタチツプ２Ａ
１に対応する本チツプ２Ａ２の位置を検出することがで
きる。

【００５０】（４）第３の実施例 通常ＬＳＩなどの組み立てはクリーンルーム内でなされ
るため、ウエハ１を固定した際に、当該ウエハ１の周り
にはモニタチツプ２Ａ１によるキズが付いていることが
多い。

【００５１】例えば図８に示すように、右列の最上部の
モニタチツプ２Ａ１Ｙ及び最下部のモニタチツプ２Ａ１
Ｚにキズが付いており、当該右列の標的となる本チツプ
２Ａ２（図示せず）の位置を検出する場合おいて、チツ
プ部品群２の各チツプ部品２Ａは互いに隣接する列で同
一直線上に配列されていることから、右列の標的となる
モニタチツプ２Ａ１の位置を確認した後、当該モニタチ
ツプ２Ａ１に隣接する左列のモニタチツプ２Ａ１の位置
を確認することにより、その位置確認された位置情報に
基づいて標的となるモニタチツプ２Ａ１に対応する本チ
ツプ２Ａ２の位置を検出することができる。

【００５２】この結果、右列の最上部のモニタチツプ２
Ａ１Ｙ及び最下部のモニタチツプ２Ａ１Ｚにおいて、上
述の画像処理によれば、モニタチツプ２Ａ１Ｙ及び２Ａ
１Ｚに付いているキズに起因して当該モニタチツプ２Ａ
１Ｙ及び２Ａ１Ｚの位置を確認し得ないことにより、テ
イーチングにより予め登録した画像と処理する画像との
相関度が小さくなり、このため標的となるモニタチツプ
２Ａ１の検出率はゼロに近い値となつて画像処理の進行
に支障を来すという問題が生じるのを防止し得る。

【００５３】図１について上述した制御部５内のＣＰＵ
部１０は、図９に示す処理手順に従つてチツプ部品の位
置決め処理を実行する。すなわち画像処理部９はステツ
プＳＰ１８から当該処理手順に入り、ステツプＳＰ１９
において、ＣＰＵ部１０は標的となるモニタチツプ２Ａ
１がモニタ６のほぼ中央部で画面表示されるような位置
になるようにステージ７を移動制御して、当該モニタチ
ツプ２Ａ１の概略位置移動が正確になされたか否かを判
断し、肯定結果が得られるまでＣＰＵ部１０はステージ
７の移動制御を繰り返す。

【００５４】やがてＣＰＵ部１０はステツプＳＰ１９に
おいて肯定結果を得るとステツプＳＰ２０に移つて、リ
ングライト８による照射の下、ＣＣＤカメラ４によつて
標的となるモニタチツプ２Ａ１が撮像され、その画像が
制御部５内の画像処理部９に送出される。

【００５５】続いてステツプＳＰ２１において、標的と
なる本チツプ２Ａ２に対応するモニタチツプ２Ａ１をモ
ニタ６の画面中央部に設けられたウインドウ１３内に入
るようにし、画像処理部９はこのウインドウ１３内を画
像処理することにより、当該モニタチツプ２Ａ１の位置
を検出するようにする。

【００５６】その際、ステツプＳＰ２２においてＣＰＵ
部１０は、画像処理部９によるモニタチツプ２Ａ１の位
置検出がエラーであるか否かを判断し、その肯定結果が
得られたときには、ステツプＳＰ２７に移つてエラーを
処理することにより、標的となるモニタチツプ２Ａ１が
ウエハ１の外周位置にあつてキズが付いている場合に、
画像処理部９が当該モニタチツプ２Ａ１の位置を検出す
ることができなくなることを防止し得る。

【００５７】このステツプＳＰ２７において、ＣＰＵ部
１０がこのモニタチツプ２Ａ１の位置検出のエラーを処
理し、次にステツプＳＰ２８に移つて、画像処理部９は
右列又は左列における標的となるモニタチツプ２Ａ１の
位置を確認した後、当該標的となるモニタチツプ２Ａ１
に隣接するモニタチツプ２Ａ１の位置を確認する。

【００５８】続いてステツプＳＰ２９において、ＣＰＵ
部１０は標的となるモニタチツプ２Ａ１に隣接するモニ
タチツプ２Ａ１の位置確認された位置情報に基づいて、
標的となるモニタチツプ２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ
２の位置を確認し得るか否かを判断し、ＣＰＵ部１０は
否定結果を得ると、ステツプＳＰ３０に移つてエラーで
あるとみなし、ステツプＳＰ３１において当該プログラ
ムを終了する。

【００５９】これに対してステツプＳＰ２９において肯
定結果を得ると、ステツプＳＰ２３に移つてＣＰＵ部１
０は画像処理部９から出力された画像データでなる隣接
するモニタチツプ２Ａ１を基準にした位置検出の結果に
よる位置情報に基づいて、当該画像データをピクセル数
からパルス数に変換するように処理することにより、ス
テージ７の補正量を計算する。

【００６０】これに対して、上述のステツプＳＰ２２に
おいて否定結果が得られると、ステツプＳＰ２３に移つ
てＣＰＵ部１０は上述のようにステージ７の補正量を計
算する。続いてステツプＳＰ２４に移つて、ＣＰＵ部１
０によるステージ７の補正量の計算結果に基づいて、モ
ータ制御部１４はモータ１５を駆動させてステージ７を
移動制御することにより、位置検出したモニタチツプ２
Ａ１に対応する本チツプ２Ａ２を標的となる所定位置に
位置補正することができる。

【００６１】このようにＣＰＵ部１０は、上述の処理ス
テツプをウエハ１上の全てのチツプについて順次行い、
最終チツプの位置を検出することができるか否かを判断
し、否定結果が得られたときには上述のステツプＳＰ１
９に戻つて標的となるモニタチツプ２Ａ１の概略位置移
動から再度行う。やがてステツプＳＰ２５においてＣＰ
Ｕ部１０が肯定結果を得ると、ステツプＳＰ２６に移つ
て当該プログラムを終了する。

【００６２】以上の構成において、画像処理部９は標的
となる本チツプ２Ａ２に対応するモニタチツプ２Ａ１を
画面中央部９に設けられたウインドウ１３内において画
像処理することにより、標的となるモニタチツプ２Ａ１
の位置を検出し、この画像処理によつて得られた位置情
報から当該モニタチツプ２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ
２の位置を検出することができる。

【００６３】さらに画像処理部９から出力されたモニタ
チツプ２Ａ１の位置検出による位置情報に基づいて、Ｃ
ＰＵ部１０はステージ７の補正量を計算し、それによつ
てモータ制御部１４はモータ１５を駆動させてステージ
７を移動制御することにより、位置検出したモニタチツ
プ２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ２を標的となる所定位
置に位置補正することができる。

【００６４】また標的となるモニタチツプ２Ａ１が位置
検定に使用できない場合は、画像処理部９は、当該モニ
タチツプ２Ａ１に隣接する列のモニタチツプ２Ａ１の位
置を確認することにより、その位置確認された位置情報
に基づいて標的となるモニタチツプ２Ａ１に対応する本
チツプ２Ａ２の位置を検出することができる。

【００６５】以上の構成によれば、画像処理によつて標
的となるモニタチツプ２Ａ１の位置を検出することによ
り、その得られた位置情報に基づいて当該モニタチツプ
２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ２の位置を検出すること
ができ、従つて当該本チツプ２Ａ２を標的となる所定位
置に位置補正することができる。

【００６６】また、標的となるモニタチツプ２Ａ１が位
置検定に使用できない場合があつても、そのモニタチツ
プ２Ａ１の周囲に位置するモニタチツプ２Ａ１の位置情
報に基づいて位置を確認することにより、標的となるモ
ニタチツプ２Ａ１に対応する本チツプ２Ａ２の位置を検
出することができる。

【００６７】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、チツプ部
品の位置決めをするにあたつて、画像処理によつて位置
を検出することにより、高速かつ正確にチツプ部品の位
置の認識をすることができ、また様々なタイプのチツプ
部品に対応できると共に簡易なシステムを構築し得るチ
ツプ部品位置決め方法及びこれを実施する装置を実現で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による半導体チツプ位置決め装置の一実
施例を示すブロツク図である。

【図２】本発明における処理手順を示すフローチヤート
である。

【図３】実際のウエハパターン例を示す拡大図である。

【図４】ウインドウ内におけるモニタチツプの位置を示
す拡大図である。

【図５】モニタチツプの同じパターンが連続して並ぶ場
合の拡大図である。

【図６】同じパターンのモニタチツプが連続して並ぶ場
合における処理手順を示すフローチヤートである。

【図７】同一パターンのモニタチツプを示す拡大図であ
る。

【図８】ウエハの外周位置にキズがある場合の平面図で
ある。

【図９】モニタチツプが位置検定に使用できない場合に
おける処理手順を示すフローチヤートである。

【図１０】ウエハの構成を示す平面図である。

【図１１】チツプが互いに離間した状態の拡大図であ
る。

【符号の説明】

１……ウエハ、２……チツプ部品群、３……チツプ部品
位置決め装置、４……ＣＣＤカメラ、５……制御部、６
……モニタ、７……ステージ、８……リングライト、９
……画像処理部、１０……ＣＰＵ部、１１……メモリ
部、１２……ＶＭＥバス、１３……ウインドウ、１４…
…モータ制御部、１５……モータ、１６……汎用入出力
部。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】チツプ部品の位置を検出し、当該検出結果
   に基づいて上記チツプ部品を位置決めするチツプ部品位
   置決め装置において、 上記チツプ部品を載置し、任意の方向に移動するステー
   ジと、 上記ステージを移動することにより、所定の画枠内に移
   動された上記チツプ部品を撮像する撮像手段と、 上記撮像されたチツプ部品の画像に基づいて上記チツプ
   部品の上記ステージ上における位置を検出する検出手段
   とを具えることを特徴とするチツプ部品位置決め装置。
2. 【請求項２】チツプ部品の位置を検出し、当該検出結果
   に基づいて上記チツプ部品を位置決めするチツプ部品位
   置決め装置において、 チツプ部品を載置したステージを移動することにより、
   所定のチツプ部品を撮像手段の所定の画枠内に収め、 上記撮像手段によつて撮像された上記画枠内のチツプ部
   品の画像に基づいて上記チツプ部品の上記ステージ上に
   おける位置を検出することを特徴とするチツプ部品位置
   決め方法。
3. 【請求項３】上記ステージ上に複数配列された上記チツ
   プ部品のうち、同一パターンでなるチツプ部品が連続し
   て配列された場合に、異なるパターンのチツプ部品が上
   記画枠内に入るまで順次上記チツプ部品を所定方向に移
   動しながら撮像するようにしたことを特徴とする請求項
   ２に記載のチツプ部品位置決め方法。
4. 【請求項４】上記チツプ部品が位置検定に使用できない
   場合に、上記チツプ部品に隣接する隣接チツプ部品の位
   置を検出し、 上記位置検出結果に基づいて上記チツプ部品の位置を検
   出するようにしたことを特徴とする請求項２に記載のチ
   ツプ部品位置決め方法。
5. 【請求項５】複数のチツプ部品が形成されてなるウエハ
   において、 上記チツプ部品は所定のパターンが形成されてなる本チ
   ツプと、 上記本チツプにそれぞれ対応し、上記本チツプの位置を
   検出するモニタチツプとを具えることを特徴とするウエ
   ハ。
6. 【請求項６】上記ウエハにおいて、 上記複数のモニタチツプのうち隣接したモニタチツプの
   パターンが異なるようにしたことを特徴とする請求項５
   に記載のウエハ。