JPH07128356A - ２軸角速度／加速度センサ - Google Patents
２軸角速度／加速度センサInfo
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- JPH07128356A JPH07128356A JP5271798A JP27179893A JPH07128356A JP H07128356 A JPH07128356 A JP H07128356A JP 5271798 A JP5271798 A JP 5271798A JP 27179893 A JP27179893 A JP 27179893A JP H07128356 A JPH07128356 A JP H07128356A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 機構的に極く簡素でありながら、小型、軽
量、安価、長寿命、高信頼性を示す２軸角速度／加速度
センサを提供する。 【構成】 ２本のビーム４１を有する捻れ式音叉型水晶
振動子を構成する水晶薄板４０の支持部４２を、水晶薄
板４０より剛性が高くビームの振動を妨げない形状寸法
を有する２本の溝部５５および５６を形成した水晶板５
０の２枚によりビームの振動を妨げない様に両側から挟
み込み、２本のビーム４１が２軸角速度／加速度により
変位する量を検出する変位検出電極Ｃを２本のビーム４
１および２枚の水晶板４０に独立して２組形成した可変
静電容量型変位検出器を具備する２軸角速度／加速度セ
ンサ。
量、安価、長寿命、高信頼性を示す２軸角速度／加速度
センサを提供する。 【構成】 ２本のビーム４１を有する捻れ式音叉型水晶
振動子を構成する水晶薄板４０の支持部４２を、水晶薄
板４０より剛性が高くビームの振動を妨げない形状寸法
を有する２本の溝部５５および５６を形成した水晶板５
０の２枚によりビームの振動を妨げない様に両側から挟
み込み、２本のビーム４１が２軸角速度／加速度により
変位する量を検出する変位検出電極Ｃを２本のビーム４
１および２枚の水晶板４０に独立して２組形成した可変
静電容量型変位検出器を具備する２軸角速度／加速度セ
ンサ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、２軸角速度／加速度
センサに関し、特に捻れ式音叉型水晶振動子を使用した
小型、軽量、安価、長寿命、高信頼性を示す２軸角速度
／加速度センサに関する。
センサに関し、特に捻れ式音叉型水晶振動子を使用した
小型、軽量、安価、長寿命、高信頼性を示す２軸角速度
／加速度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】この発明の従来例を図１および図２を参
照して説明する。図１は回転ビーム型２軸角速度／加速
度センサを示す。円筒ケース１１の両端板１１ａおよび
１１ｂに軸受１２および１３が固着せしめられており、
これらの軸受に軸支された回転軸２１に圧電ビーム回転
体２０が固着定されている。圧電ビーム回転体２０は２
本のビーム状圧電検出器２２ａおよび２２ｂより成り、
これらは回転軸２１に直角であると共に支持板２４を介
して回転軸２１に対称的に固定されている。圧電検出器
２２ａおよび２２ｂは例えば、バイモルフ圧電結晶ビー
ムの両面に電極２５ａおよび２５ｂを形成したものとす
ることができる。圧電検出器２２ａおよび２２ｂの自由
端には角速度検出感度を向上せしめるための錘２３ａお
よび２３ｂが具備される。１４はモータ・ステータ、１
５はそのモータ・ロータであり、このロータ１５により
回転軸２１を高速回転させる。圧電検出器２２ａおよび
２２ｂの電極２５ａおよび２５ｂにより検出される検出
出力は回転軸２１内の配線を介してスリップ・リング２
４ａ、２４ｂおよび２４ｃに到達し、ここからブラシ１
６ａ、１６ｂおよび１６ｃ、プリアンプ３１ａおよび３
１ｂを介して信号処理回路に送り込まれる。
照して説明する。図１は回転ビーム型２軸角速度／加速
度センサを示す。円筒ケース１１の両端板１１ａおよび
１１ｂに軸受１２および１３が固着せしめられており、
これらの軸受に軸支された回転軸２１に圧電ビーム回転
体２０が固着定されている。圧電ビーム回転体２０は２
本のビーム状圧電検出器２２ａおよび２２ｂより成り、
これらは回転軸２１に直角であると共に支持板２４を介
して回転軸２１に対称的に固定されている。圧電検出器
２２ａおよび２２ｂは例えば、バイモルフ圧電結晶ビー
ムの両面に電極２５ａおよび２５ｂを形成したものとす
ることができる。圧電検出器２２ａおよび２２ｂの自由
端には角速度検出感度を向上せしめるための錘２３ａお
よび２３ｂが具備される。１４はモータ・ステータ、１
５はそのモータ・ロータであり、このロータ１５により
回転軸２１を高速回転させる。圧電検出器２２ａおよび
２２ｂの電極２５ａおよび２５ｂにより検出される検出
出力は回転軸２１内の配線を介してスリップ・リング２
４ａ、２４ｂおよび２４ｃに到達し、ここからブラシ１
６ａ、１６ｂおよび１６ｃ、プリアンプ３１ａおよび３
１ｂを介して信号処理回路に送り込まれる。
【０００３】図２（ａ）についてみるに、ＸおよびＹ軸
は圧電検出器２２ａおよび２２ｂの共面内にある直交軸
であり、Ｚ軸はＸおよびＹ軸に直交する軸であって回転
軸２１と同軸状態にある。角速度／加速度センサのケー
ス１１をＸ軸を中心に角速度ΩX で回転させると、Ｚ軸
を中心に角速度ΩZ で高速回転している圧電検出器２２
ａおよび２２ｂにはコリオリ・フォースが作用し、圧電
検出器２２ａおよび２２ｂは図２（ａ）において鎖線に
より示される如くに互いに逆位相にたわむ。その結果、
圧電検出器２２ａおよび２２ｂからは、図２（ｂ）に示
されるが如く、振幅が相等しく位相が１８０°の正弦波
電圧信号Ｘａ、Ｘｂが得られる。
は圧電検出器２２ａおよび２２ｂの共面内にある直交軸
であり、Ｚ軸はＸおよびＹ軸に直交する軸であって回転
軸２１と同軸状態にある。角速度／加速度センサのケー
ス１１をＸ軸を中心に角速度ΩX で回転させると、Ｚ軸
を中心に角速度ΩZ で高速回転している圧電検出器２２
ａおよび２２ｂにはコリオリ・フォースが作用し、圧電
検出器２２ａおよび２２ｂは図２（ａ）において鎖線に
より示される如くに互いに逆位相にたわむ。その結果、
圧電検出器２２ａおよび２２ｂからは、図２（ｂ）に示
されるが如く、振幅が相等しく位相が１８０°の正弦波
電圧信号Ｘａ、Ｘｂが得られる。
【０００４】角速度／加速度センサのケース１１をＹ軸
を中心に角速度ΩY 回転させた場合も同様である。今度
は、圧電検出器２２ａおよび２２ｂにＺ軸方向の振動加
速度αが加わった場合は、圧電検出器２２ａおよび２２
ｂは図２（ｃ）において鎖線により示される如く同相に
たわむ。その結果、圧電検出器２２ａおよび２２ｂから
は図２（ｄ）に示されるが如く、振幅が相等しく同相の
正弦波電圧信号ＺａおよびＺｂが得られる。
を中心に角速度ΩY 回転させた場合も同様である。今度
は、圧電検出器２２ａおよび２２ｂにＺ軸方向の振動加
速度αが加わった場合は、圧電検出器２２ａおよび２２
ｂは図２（ｃ）において鎖線により示される如く同相に
たわむ。その結果、圧電検出器２２ａおよび２２ｂから
は図２（ｄ）に示されるが如く、振幅が相等しく同相の
正弦波電圧信号ＺａおよびＺｂが得られる。
【０００５】ここで、圧電検出器２２ａおよび２２ｂの
出力電圧信号の差をとる。この場合、Ｚ軸方向の振動加
速度αに起因する出力電圧信号成分については、互いに
同相であるところから相殺されて零となる一方、Ｘ軸回
転角速度成分Ｘ＝Ｘａ−ＸｂおよびＹ軸回転角速度成分
Ｙ＝Ｙａ−Ｙｂが得られる。Ｘ軸回転角速度成分ＸとＹ
軸回転角速度成分Ｙとは位相が９０°異なるところか
ら、同期検波することによりこれら両成分を分離取り出
すことができる。
出力電圧信号の差をとる。この場合、Ｚ軸方向の振動加
速度αに起因する出力電圧信号成分については、互いに
同相であるところから相殺されて零となる一方、Ｘ軸回
転角速度成分Ｘ＝Ｘａ−ＸｂおよびＹ軸回転角速度成分
Ｙ＝Ｙａ−Ｙｂが得られる。Ｘ軸回転角速度成分ＸとＹ
軸回転角速度成分Ｙとは位相が９０°異なるところか
ら、同期検波することによりこれら両成分を分離取り出
すことができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図１に示される２軸角
速度／加速度センサは角速度／加速度を検出する材料と
して圧電検出器を使用したものであるが、図示される通
り部品点数が多く、構造が複雑であり、特にスピン・モ
ータを使用してその回転部の軸受けの摩耗、摩滅による
寿命の制約のあるものである。
速度／加速度センサは角速度／加速度を検出する材料と
して圧電検出器を使用したものであるが、図示される通
り部品点数が多く、構造が複雑であり、特にスピン・モ
ータを使用してその回転部の軸受けの摩耗、摩滅による
寿命の制約のあるものである。
【０００７】この発明は、摩耗、摩滅部のない捻れ式音
叉型水晶振動子を使用して上述の通りの問題を解消した
２軸角速度／加速度センサを提供するものである。
叉型水晶振動子を使用して上述の通りの問題を解消した
２軸角速度／加速度センサを提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】２本のビーム４１を有す
る捻れ式音叉型水晶振動子を構成する水晶薄板４０の支
持部４２を、水晶薄板４０より剛性が高くビームの振動
を妨げない形状寸法を有する２本の溝部５５および５６
を形成した水晶板５０の２枚によりビームの振動を妨げ
ない様に両側から挟み込み、２本のビーム４１が２軸角
速度／加速度により変位する量を検出する変位検出電極
Ｃを２本のビーム４１および２枚の水晶板４０に独立し
て２組形成した可変静電容量型変位検出器を具備する２
軸角速度／加速度センサを構成した。
る捻れ式音叉型水晶振動子を構成する水晶薄板４０の支
持部４２を、水晶薄板４０より剛性が高くビームの振動
を妨げない形状寸法を有する２本の溝部５５および５６
を形成した水晶板５０の２枚によりビームの振動を妨げ
ない様に両側から挟み込み、２本のビーム４１が２軸角
速度／加速度により変位する量を検出する変位検出電極
Ｃを２本のビーム４１および２枚の水晶板４０に独立し
て２組形成した可変静電容量型変位検出器を具備する２
軸角速度／加速度センサを構成した。
【０００９】そして、上述の２軸角速度／加速度センサ
において、角速度が印加された場合にコリオリ力Ｆによ
り２本のビーム４１が捻れ方向と直角な方向にも角速度
の量に比例する捻れ成分を有して才差運動することによ
り、或は加速度が印加された場合に２本のビーム４１が
加速度の量に比例して変位することにより、この角速度
の量に比例した捻れ成分或は加速度の量に比例した変位
成分を検出してこれを電気回路により処理する２軸角速
度／加速度センサを構成した。
において、角速度が印加された場合にコリオリ力Ｆによ
り２本のビーム４１が捻れ方向と直角な方向にも角速度
の量に比例する捻れ成分を有して才差運動することによ
り、或は加速度が印加された場合に２本のビーム４１が
加速度の量に比例して変位することにより、この角速度
の量に比例した捻れ成分或は加速度の量に比例した変位
成分を検出してこれを電気回路により処理する２軸角速
度／加速度センサを構成した。
【００１０】また、上述の２軸角速度／加速度センサに
おいて、可変静電容量型変位検出器を水晶振動子の発振
周波数より充分に高い安定化された交流電圧１００によ
り励磁し、角速度印加によるビームの才差運動の振動成
分或は加速度印加によるビームの変位成分である交流信
号を検出し、この交流信号を水晶振動子の発振周波数に
同期１３０して検出する２軸角速度／加速度センサを構
成した。
おいて、可変静電容量型変位検出器を水晶振動子の発振
周波数より充分に高い安定化された交流電圧１００によ
り励磁し、角速度印加によるビームの才差運動の振動成
分或は加速度印加によるビームの変位成分である交流信
号を検出し、この交流信号を水晶振動子の発振周波数に
同期１３０して検出する２軸角速度／加速度センサを構
成した。
【００１１】更に、可変静電容量型変位検出器を安定化
された直流電圧により励磁し、角速度印加によるビーム
の才差運動の振動成分或は加速度印加によるビームの変
位成分である交流信号を検出し、この交流信号を水晶振
動子の発振周波数に同期１３３０して検出する２軸角速
度／加速度センサをも構成した。
された直流電圧により励磁し、角速度印加によるビーム
の才差運動の振動成分或は加速度印加によるビームの変
位成分である交流信号を検出し、この交流信号を水晶振
動子の発振周波数に同期１３３０して検出する２軸角速
度／加速度センサをも構成した。
【００１２】
【実施例】この発明の２軸角速度／加速度センサを図を
参照して説明する。先ず、図３はこの発明の２軸角速度
／加速度センサに使用される可変静電容量変位検出器の
分解斜視図である。この可変静電容量変位検出器は、捻
れ式音叉型水晶振動子４０とこれをその両側から挟み込
む２枚の水晶板５０1 および水晶板５０2 より成る。こ
の捻れ式音叉型水晶振動子４０は捻れ式音叉型振動をす
る２本のビーム４１1 、ビーム４１2 および支持部４２
より成る。水晶振動子４０は、水晶薄板を捻れ振動する
音叉を構成する２本のビーム４１1 、ビーム４１2 およ
び支持部４２を残して切除することにより切り出された
ものである。捻れ振動する音叉の２本のビーム４１1 お
よびビーム４１2 の双方には、それぞれの上下、左右の
計４面に変位検出電極が形成される。ビーム４１に形成
される変位検出電極は、図４に示される通り、ビーム４
１1 については電極Ｃ11、電極Ｃ12、電極Ｃ13および電
極Ｃ14であり、ビーム４１2 については電極Ｃ21、電極
Ｃ22、電極Ｃ23および電極Ｃ24である。これらの変位検
出電極は、２本のビーム４１1 およびビーム４１2 が２
軸角速度／加速度により変位したときにこの変位量を検
出する電極であるが、この点については後で説明され
る。
参照して説明する。先ず、図３はこの発明の２軸角速度
／加速度センサに使用される可変静電容量変位検出器の
分解斜視図である。この可変静電容量変位検出器は、捻
れ式音叉型水晶振動子４０とこれをその両側から挟み込
む２枚の水晶板５０1 および水晶板５０2 より成る。こ
の捻れ式音叉型水晶振動子４０は捻れ式音叉型振動をす
る２本のビーム４１1 、ビーム４１2 および支持部４２
より成る。水晶振動子４０は、水晶薄板を捻れ振動する
音叉を構成する２本のビーム４１1 、ビーム４１2 およ
び支持部４２を残して切除することにより切り出された
ものである。捻れ振動する音叉の２本のビーム４１1 お
よびビーム４１2 の双方には、それぞれの上下、左右の
計４面に変位検出電極が形成される。ビーム４１に形成
される変位検出電極は、図４に示される通り、ビーム４
１1 については電極Ｃ11、電極Ｃ12、電極Ｃ13および電
極Ｃ14であり、ビーム４１2 については電極Ｃ21、電極
Ｃ22、電極Ｃ23および電極Ｃ24である。これらの変位検
出電極は、２本のビーム４１1 およびビーム４１2 が２
軸角速度／加速度により変位したときにこの変位量を検
出する電極であるが、この点については後で説明され
る。
【００１３】水晶板５０1 および水晶板５０2 は、その
両側部および中央部に軸方向全長に亘って隆起部５２な
い隆起部し５４が形成され、結局、両側部の隆起部５２
および隆起部５４と中央部の隆起部５３との間は溝部５
５および溝部５６とされる。そして、隆起部５２および
隆起部５４の内側面、溝部５５および溝部５６の底面、
および中央の隆起部５３の両側面にも、水晶振動子４０
の２本のビーム４１1およびビーム４１2 に形成される
上述の変位検出電極に対向する変位検出電極が形成され
る。ここで、図５を参照するに、ビーム４１1 の電極Ｃ
11に対向する溝部５５1 の電極はＣ11’、電極Ｃ12に対
向する隆起部５２の電極はＣ12’、電極Ｃ13に対向する
溝部５５2 の電極はＣ13’、電極Ｃ14に対向する隆起部
５３内側面の電極はＣ14’である。同様に、ビーム４１
2 の電極Ｃ21に対向する溝部５６ 1 の電極はＣ21’、電
極Ｃ22に対向する隆起部５３の電極はＣ22’、電極Ｃ23
に対向する溝部５６2 の電極はＣ23’、電極Ｃ24に対向
する隆起部５４内側面の電極はＣ24’である。
両側部および中央部に軸方向全長に亘って隆起部５２な
い隆起部し５４が形成され、結局、両側部の隆起部５２
および隆起部５４と中央部の隆起部５３との間は溝部５
５および溝部５６とされる。そして、隆起部５２および
隆起部５４の内側面、溝部５５および溝部５６の底面、
および中央の隆起部５３の両側面にも、水晶振動子４０
の２本のビーム４１1およびビーム４１2 に形成される
上述の変位検出電極に対向する変位検出電極が形成され
る。ここで、図５を参照するに、ビーム４１1 の電極Ｃ
11に対向する溝部５５1 の電極はＣ11’、電極Ｃ12に対
向する隆起部５２の電極はＣ12’、電極Ｃ13に対向する
溝部５５2 の電極はＣ13’、電極Ｃ14に対向する隆起部
５３内側面の電極はＣ14’である。同様に、ビーム４１
2 の電極Ｃ21に対向する溝部５６ 1 の電極はＣ21’、電
極Ｃ22に対向する隆起部５３の電極はＣ22’、電極Ｃ23
に対向する溝部５６2 の電極はＣ23’、電極Ｃ24に対向
する隆起部５４内側面の電極はＣ24’である。
【００１４】そして、水晶板５０1 および水晶板５０2
は水晶振動子４０より剛性を高く構成する。水晶板５０
1 および水晶板５０2 と水晶振動子４０とは、図３に示
される順序に重ね合わせて３者一体に接合される。この
接合は水晶振動子４０の支持部４２と水晶板５０1 およ
び水晶板５０2 の支持部との間、および水晶板５０1の
隆起部と水晶板５０2 の隆起部との間において行われ
る。この接合により形成される水晶板５０1 と水晶板５
０2 との間の空間はは音叉の２本のビーム４１1および
ビーム４１2 に対してその振動を妨げることのない形状
寸法の空間とされる。
は水晶振動子４０より剛性を高く構成する。水晶板５０
1 および水晶板５０2 と水晶振動子４０とは、図３に示
される順序に重ね合わせて３者一体に接合される。この
接合は水晶振動子４０の支持部４２と水晶板５０1 およ
び水晶板５０2 の支持部との間、および水晶板５０1の
隆起部と水晶板５０2 の隆起部との間において行われ
る。この接合により形成される水晶板５０1 と水晶板５
０2 との間の空間はは音叉の２本のビーム４１1および
ビーム４１2 に対してその振動を妨げることのない形状
寸法の空間とされる。
【００１５】ここで、捻れ式音叉型水晶振動子の振動の
仕方について説明する。図６は捻れ式音叉型水晶振動子
の振動モードを概念的に示す図である。図６（ａ）は角
速度／加速度信号が入力されていない場合のビームの振
動状態を示す無入力捻れ振動モードを示す。この無入力
捻れ振動モードは、図示される通り、捻れ式音叉型水晶
振動子の長さ方向軸についてビームは捻れ振動をしてい
る。
仕方について説明する。図６は捻れ式音叉型水晶振動子
の振動モードを概念的に示す図である。図６（ａ）は角
速度／加速度信号が入力されていない場合のビームの振
動状態を示す無入力捻れ振動モードを示す。この無入力
捻れ振動モードは、図示される通り、捻れ式音叉型水晶
振動子の長さ方向軸についてビームは捻れ振動をしてい
る。
【００１６】図６（ｂ）はビームに縦方向軸回りの角速
度が印加された場合のビームの振動状態を示す角速度印
加振動モードを示す。２本のビームはコリオリ力により
捻れ方向と直角な方向にも角速度の量に比例した捻れ成
分を有して才差運動をしている状態である。図６（ｃ）
はビームに縦方向加速度が印加された場合のビームの振
動状態を示す加速度印加振動モードを示す。ビームの慣
性に起因してその自由端側は加えられる力の向きとは逆
の向きに屈曲する。
度が印加された場合のビームの振動状態を示す角速度印
加振動モードを示す。２本のビームはコリオリ力により
捻れ方向と直角な方向にも角速度の量に比例した捻れ成
分を有して才差運動をしている状態である。図６（ｃ）
はビームに縦方向加速度が印加された場合のビームの振
動状態を示す加速度印加振動モードを示す。ビームの慣
性に起因してその自由端側は加えられる力の向きとは逆
の向きに屈曲する。
【００１７】図７および図８を参照して実際の捻れ式音
叉型水晶振動子の振動の状態を説明する。図７（ａ）お
よび図８（ｃ）の如くビームに縦方向軸回りの角速度ω
の回転が加えられると、２本のビーム４１1 およびビー
ム４１2 にコリオリ力Ｆが加えられるので、これらビー
ムは捻れ方向と直角な方向にも捻れ振動成分を有して、
その自由端は縦方向に長い才差運動をするに到る。即
ち、図７（ａ）において、算用数字１→２→３→４の経
路に沿って縦方向に長い才差運動をする。この縦方向に
長い才差運動により、結局、２本のビーム４１1 および
ビーム４１2 は縦方向の単振動をすることとなる。
叉型水晶振動子の振動の状態を説明する。図７（ａ）お
よび図８（ｃ）の如くビームに縦方向軸回りの角速度ω
の回転が加えられると、２本のビーム４１1 およびビー
ム４１2 にコリオリ力Ｆが加えられるので、これらビー
ムは捻れ方向と直角な方向にも捻れ振動成分を有して、
その自由端は縦方向に長い才差運動をするに到る。即
ち、図７（ａ）において、算用数字１→２→３→４の経
路に沿って縦方向に長い才差運動をする。この縦方向に
長い才差運動により、結局、２本のビーム４１1 および
ビーム４１2 は縦方向の単振動をすることとなる。
【００１８】図７（ｂ）および図８（ｄ）の如くビーム
に横方向軸回りの角速度ωの回転が加えられる場合も同
様であり、２本のビーム４１1 およびビーム４１2 にコ
リオリ力Ｆが加えられるので、これらビームは捻れ方向
と直角な方向にも捻れ振動成分を有して、その自由端は
横方向に長い才差運動１→２→３→４をする。図８
（ａ）は捻れ式音叉型水晶振動子に縦方向加速度αが印
加された場合のビームの振動状態を示す。ビームは双方
共加えられる加速度αの向きとは逆の向きに同相の力を
受け、その向きに屈曲振動する。
に横方向軸回りの角速度ωの回転が加えられる場合も同
様であり、２本のビーム４１1 およびビーム４１2 にコ
リオリ力Ｆが加えられるので、これらビームは捻れ方向
と直角な方向にも捻れ振動成分を有して、その自由端は
横方向に長い才差運動１→２→３→４をする。図８
（ａ）は捻れ式音叉型水晶振動子に縦方向加速度αが印
加された場合のビームの振動状態を示す。ビームは双方
共加えられる加速度αの向きとは逆の向きに同相の力を
受け、その向きに屈曲振動する。
【００１９】図８（ｂ）は捻れ式音叉型水晶振動子に横
方向加速度αが印加された場合のビームの振動状態を示
す。ビームは、図８（ａ）の場合と同様に、加えられる
加速度αの向きとは逆の向きに同相の力を受け、その向
きに屈曲振動する。この発明の可変静電容量変位検出器
の捻れ式音叉型水晶振動子４０は、上述した通りの振動
をする。ここで、捻れ式音叉型水晶振動子がこの如く振
動した場合、この発明の可変静電容量変位検出器に形成
された変位検出電極Ｃがどの様な関係になるかについ
て、特に、図５および図８を参照して説明する。
方向加速度αが印加された場合のビームの振動状態を示
す。ビームは、図８（ａ）の場合と同様に、加えられる
加速度αの向きとは逆の向きに同相の力を受け、その向
きに屈曲振動する。この発明の可変静電容量変位検出器
の捻れ式音叉型水晶振動子４０は、上述した通りの振動
をする。ここで、捻れ式音叉型水晶振動子がこの如く振
動した場合、この発明の可変静電容量変位検出器に形成
された変位検出電極Ｃがどの様な関係になるかについ
て、特に、図５および図８を参照して説明する。
【００２０】（Ａ） 可変静電容量変位検出器に縦方向
角速度ωが印加された場合 捻れ式音叉型水晶振動子４０のビーム４１1 およびビー
ム４１2 はコリオリ力により捻れ方向と直角な方向にも
角速度の量に比例した捻れ成分を有するに到り、図示さ
れる如く逆相に振動する。従って、電極Ｃ11相互間およ
び電極Ｃ13相互間が接近し或は離間すると共に、電極Ｃ
21相互間および電極Ｃ23相互間が接近し或は離間する。
角速度ωが印加された場合 捻れ式音叉型水晶振動子４０のビーム４１1 およびビー
ム４１2 はコリオリ力により捻れ方向と直角な方向にも
角速度の量に比例した捻れ成分を有するに到り、図示さ
れる如く逆相に振動する。従って、電極Ｃ11相互間およ
び電極Ｃ13相互間が接近し或は離間すると共に、電極Ｃ
21相互間および電極Ｃ23相互間が接近し或は離間する。
【００２１】（Ｂ） 可変静電容量変位検出器に横方向
角速度ωが印加された場合 捻れ式音叉型水晶振動子４０のビーム４１1 およびビー
ム４１2 はコリオリ力により捻れ方向と直角な方向にも
角速度の量に比例した捻れ成分を有するに到り、図示さ
れる如く逆相に振動する。従って、電極Ｃ12相互間およ
び電極Ｃ14相互間が接近し或は離間すると共に、電極Ｃ
22相互間および電極Ｃ24相互間が接近し或は離間する。
角速度ωが印加された場合 捻れ式音叉型水晶振動子４０のビーム４１1 およびビー
ム４１2 はコリオリ力により捻れ方向と直角な方向にも
角速度の量に比例した捻れ成分を有するに到り、図示さ
れる如く逆相に振動する。従って、電極Ｃ12相互間およ
び電極Ｃ14相互間が接近し或は離間すると共に、電極Ｃ
22相互間および電極Ｃ24相互間が接近し或は離間する。
【００２２】（Ｃ） 可変静電容量変位検出器に縦方向
加速度αが印加された場合 捻れ式音叉型水晶振動子４０のビーム４１1 およびビー
ム４１2 は、双方共加えられる縦方向加速度αの向きと
は逆の向きに同相の力を受け、その向きに屈曲する。従
って、電極Ｃ11相互間および電極Ｃ21相互間が離間する
一方電極Ｃ13相互間および電極Ｃ23相互間が接近する
か、或はその逆に電極Ｃ11相互間および電極Ｃ21相互間
が接近する一方電極Ｃ13相互間および電極Ｃ23相互間が
離間する。
加速度αが印加された場合 捻れ式音叉型水晶振動子４０のビーム４１1 およびビー
ム４１2 は、双方共加えられる縦方向加速度αの向きと
は逆の向きに同相の力を受け、その向きに屈曲する。従
って、電極Ｃ11相互間および電極Ｃ21相互間が離間する
一方電極Ｃ13相互間および電極Ｃ23相互間が接近する
か、或はその逆に電極Ｃ11相互間および電極Ｃ21相互間
が接近する一方電極Ｃ13相互間および電極Ｃ23相互間が
離間する。
【００２３】（Ｄ） 可変静電容量変位検出器に横方向
加速度αが印加された場合 捻れ式音叉型水晶振動子４０のビーム４１1 およびビー
ム４１2 は、双方共加えられる横方向加速度αの向きと
は逆の向きに同相の力を受け、その向きに屈曲する。従
って、電極Ｃ12相互間および電極Ｃ22相互間が離間する
一方電極Ｃ14相互間および電極Ｃ24相互間が接近する
か、或はその逆に電極Ｃ12相互間および電極Ｃ22相互間
が接近する一方電極Ｃ14相互間および電極Ｃ24相互間が
離間する。
加速度αが印加された場合 捻れ式音叉型水晶振動子４０のビーム４１1 およびビー
ム４１2 は、双方共加えられる横方向加速度αの向きと
は逆の向きに同相の力を受け、その向きに屈曲する。従
って、電極Ｃ12相互間および電極Ｃ22相互間が離間する
一方電極Ｃ14相互間および電極Ｃ24相互間が接近する
か、或はその逆に電極Ｃ12相互間および電極Ｃ22相互間
が接近する一方電極Ｃ14相互間および電極Ｃ24相互間が
離間する。
【００２４】次に、この発明の２軸角速度／加速度セン
サを図９および図１０を参照して説明する。図９は縦方
向軸角速度／加速度に対応し、図１０は横方向軸角速度
／加速度に対応するものと考える。可変静電容量型変位
検出器の合計１６枚の変位検出電極は、図示される通
り、上述の如く対向して合計８個の可変容量を構成す
る。これら８個の可変容量の参照記号は簡単のために、
Ｃ11、Ｃ12、Ｃ13、Ｃ14、Ｃ21、Ｃ22、Ｃ23、Ｃ24とす
る。これら８個の可変容量を使用して変位検出用の４個
の差動ブリッヂ回路を構成する。即ち、捻れ式音叉型水
晶振動子４０のビーム４１1 により形成される可変容量
Ｃ11および可変容量Ｃ13を使用して第１のブリッヂ回路
を構成する。ビーム４１2 により形成される可変容量Ｃ
21および可変容量Ｃ23を使用して第２のブリッヂ回路を
構成する。ビーム４１1 により形成される可変容量Ｃ12
および可変容量Ｃ14を使用して第３のブリッヂ回路を構
成する。そして、ビーム４１2 により形成される可変容
量Ｃ22および可変容量Ｃ24を使用して第４のブリッヂ回
路を構成する。そして、これら差動ブリッヂ回路はその
Ａ接続端子およびＢ接続端子を介して、或はα接続端子
およびβ接続端子を介して交流励磁回路１００により交
流励振される。
サを図９および図１０を参照して説明する。図９は縦方
向軸角速度／加速度に対応し、図１０は横方向軸角速度
／加速度に対応するものと考える。可変静電容量型変位
検出器の合計１６枚の変位検出電極は、図示される通
り、上述の如く対向して合計８個の可変容量を構成す
る。これら８個の可変容量の参照記号は簡単のために、
Ｃ11、Ｃ12、Ｃ13、Ｃ14、Ｃ21、Ｃ22、Ｃ23、Ｃ24とす
る。これら８個の可変容量を使用して変位検出用の４個
の差動ブリッヂ回路を構成する。即ち、捻れ式音叉型水
晶振動子４０のビーム４１1 により形成される可変容量
Ｃ11および可変容量Ｃ13を使用して第１のブリッヂ回路
を構成する。ビーム４１2 により形成される可変容量Ｃ
21および可変容量Ｃ23を使用して第２のブリッヂ回路を
構成する。ビーム４１1 により形成される可変容量Ｃ12
および可変容量Ｃ14を使用して第３のブリッヂ回路を構
成する。そして、ビーム４１2 により形成される可変容
量Ｃ22および可変容量Ｃ24を使用して第４のブリッヂ回
路を構成する。そして、これら差動ブリッヂ回路はその
Ａ接続端子およびＢ接続端子を介して、或はα接続端子
およびβ接続端子を介して交流励磁回路１００により交
流励振される。
【００２５】ここで、図９を参照して第１のブリッヂ回
路および第２のブリッヂ回路を含む可変静電容量型変位
検出器に縦方向軸回りの角速度αが印加された図８
（ｃ）の場合について考慮してみる。無入力の場合は、
何れのキャパシタＣにも変化は生じていないところか
ら、Ｃ、Ｄ、Ｃ’、Ｄ’接続端子の電圧は、図１１
（ａ）に示される如く振幅一定の出力電圧波形となる。
ところが、上述の通りに角速度ωの回転が加えられる
と、２本のビーム４１1 およびビーム４１2 にコリオリ
力Ｆが加えられるので、これらビームは捻れ方向と直角
な方向にも捻れ振動成分を有して、その自由端は図７
（ａ）に示される如く縦方向に長い才差運動をするに到
る。即ち、図７（ａ）において、算用数字１→２→３→
４の経路に沿って縦方向に長い才差運動をする。縦方向
に長い才差運動により、結局、２本のビーム４１ 1 およ
びビーム４１2 は縦方向の単振動をすることとなる。キ
ャパシタＣ11およびキャパシタＣ23の静電容量は図示さ
れる瞬間においては増加する一方、キャパシタＣ13およ
びキャパシタＣ21の静電容量は逆に減少する。しかし、
２本のビーム４１1 およびビーム４１2 は縦方向に単振
動しているので、次の瞬間は逆にキャパシタＣ11および
キャパシタＣ23の静電容量は減少する一方、キャパシタ
Ｃ13およびキャパシタＣ21の静電容量は増加する。以
降、これを繰り返す。キャパシタＣ11ないしキャパシタ
Ｃ24の静電容量が上述した通りに変化することに起因し
て、Ｃ、Ｄ接続端子の電圧は図１１（ｂ）に示される如
くビームの振動周波数により振幅変調された様な電圧波
形となる。同様に、Ｃ’、Ｄ’接続端子の電圧は図１１
（ｃ）に示される如くビームの振動周波数により振幅変
調された様な電圧波形となる。図１１（ｂ）に示される
電圧波形と図１１（ｃ）に示される電圧波形とは互いに
逆位相である。
路および第２のブリッヂ回路を含む可変静電容量型変位
検出器に縦方向軸回りの角速度αが印加された図８
（ｃ）の場合について考慮してみる。無入力の場合は、
何れのキャパシタＣにも変化は生じていないところか
ら、Ｃ、Ｄ、Ｃ’、Ｄ’接続端子の電圧は、図１１
（ａ）に示される如く振幅一定の出力電圧波形となる。
ところが、上述の通りに角速度ωの回転が加えられる
と、２本のビーム４１1 およびビーム４１2 にコリオリ
力Ｆが加えられるので、これらビームは捻れ方向と直角
な方向にも捻れ振動成分を有して、その自由端は図７
（ａ）に示される如く縦方向に長い才差運動をするに到
る。即ち、図７（ａ）において、算用数字１→２→３→
４の経路に沿って縦方向に長い才差運動をする。縦方向
に長い才差運動により、結局、２本のビーム４１ 1 およ
びビーム４１2 は縦方向の単振動をすることとなる。キ
ャパシタＣ11およびキャパシタＣ23の静電容量は図示さ
れる瞬間においては増加する一方、キャパシタＣ13およ
びキャパシタＣ21の静電容量は逆に減少する。しかし、
２本のビーム４１1 およびビーム４１2 は縦方向に単振
動しているので、次の瞬間は逆にキャパシタＣ11および
キャパシタＣ23の静電容量は減少する一方、キャパシタ
Ｃ13およびキャパシタＣ21の静電容量は増加する。以
降、これを繰り返す。キャパシタＣ11ないしキャパシタ
Ｃ24の静電容量が上述した通りに変化することに起因し
て、Ｃ、Ｄ接続端子の電圧は図１１（ｂ）に示される如
くビームの振動周波数により振幅変調された様な電圧波
形となる。同様に、Ｃ’、Ｄ’接続端子の電圧は図１１
（ｃ）に示される如くビームの振動周波数により振幅変
調された様な電圧波形となる。図１１（ｂ）に示される
電圧波形と図１１（ｃ）に示される電圧波形とは互いに
逆位相である。
【００２６】これら電圧波形を半波整流回路１１０によ
り半波整流した結果の電圧であるＦ点、Ｅ点、Ｊ点、Ｈ
点の電圧は図１２（ａ）ないし図１２（ｄ）に示される
如きものとなる。差動回路の出力であるＧ点およびＫ点
の電圧を図１３（ａ）、図１３（ｂ）に示すが、これを
入力電圧とする差動回路１２０の出力電圧であるＬ点の
電圧は図１３（ｃ）に示される如きものである。ここ
で、図１３（ｃ）は角速度ωの極性に左右されて、ビー
ムの発振周波数とＬ点の電圧とが同相である場合を示
す。これは図１３（ａ）と相似形である。ビームの発振
周波数とＬ点の電圧とが逆相である場合、図１３（ｃ）
とは逆になり丁度図１３（ｂ）と相似形となる。１３０
はビームの変位成分である交流信号を検出し、この交流
信号を水晶振動子の発振周波数に同期して検出する同期
検波回路であり、この出力電圧であるＮ点の電圧は図１
３（ｃ）の場合、図１４（ａ）に示されるが如きもので
あり、図１３（ｃ）と逆の場合は図１４（ｂ）に示され
るが如きものである。図１４（ａ）および図１４（ｂ）
において、直線Ｐは角速度ωに比例した電圧を示す。
り半波整流した結果の電圧であるＦ点、Ｅ点、Ｊ点、Ｈ
点の電圧は図１２（ａ）ないし図１２（ｄ）に示される
如きものとなる。差動回路の出力であるＧ点およびＫ点
の電圧を図１３（ａ）、図１３（ｂ）に示すが、これを
入力電圧とする差動回路１２０の出力電圧であるＬ点の
電圧は図１３（ｃ）に示される如きものである。ここ
で、図１３（ｃ）は角速度ωの極性に左右されて、ビー
ムの発振周波数とＬ点の電圧とが同相である場合を示
す。これは図１３（ａ）と相似形である。ビームの発振
周波数とＬ点の電圧とが逆相である場合、図１３（ｃ）
とは逆になり丁度図１３（ｂ）と相似形となる。１３０
はビームの変位成分である交流信号を検出し、この交流
信号を水晶振動子の発振周波数に同期して検出する同期
検波回路であり、この出力電圧であるＮ点の電圧は図１
３（ｃ）の場合、図１４（ａ）に示されるが如きもので
あり、図１３（ｃ）と逆の場合は図１４（ｂ）に示され
るが如きものである。図１４（ａ）および図１４（ｂ）
において、直線Ｐは角速度ωに比例した電圧を示す。
【００２７】次に、可変静電容量型変位検出器に縦方向
加速度αが印加された図８（ａ）の場合について考慮し
てみる。ビーム４１1 およびビーム４１2 は、双方共、
加えられる加速度αの向きとは逆向きに同相の力Ｆ＝ｍ
αを受け、その向きに屈曲する。この場合、可変容量Ｃ
11および可変容量Ｃ21の静電容量は共に減少すると共に
可変容量Ｃ13および可変容量Ｃ23の静電容量は共に増加
する結果、Ｃ接続点およびＣ’接続点の電圧は中立点に
ある場合より上昇する。即ち、Ｃ接続点およびＣ’接続
点の電圧は図１５（ａ）の如くになり、Ｄ接続点および
Ｄ’接続点の電圧は図１５（ｂ）の如くになる。
加速度αが印加された図８（ａ）の場合について考慮し
てみる。ビーム４１1 およびビーム４１2 は、双方共、
加えられる加速度αの向きとは逆向きに同相の力Ｆ＝ｍ
αを受け、その向きに屈曲する。この場合、可変容量Ｃ
11および可変容量Ｃ21の静電容量は共に減少すると共に
可変容量Ｃ13および可変容量Ｃ23の静電容量は共に増加
する結果、Ｃ接続点およびＣ’接続点の電圧は中立点に
ある場合より上昇する。即ち、Ｃ接続点およびＣ’接続
点の電圧は図１５（ａ）の如くになり、Ｄ接続点および
Ｄ’接続点の電圧は図１５（ｂ）の如くになる。
【００２８】この様にしてＣ接続点およびＤ接続点間、
Ｃ’接続点およびＤ’接続点間に生じた変位検出信号を
半波整流したＦ、Ｅ、Ｊ、Ｈ点の電圧は、図１６（ａ）
ないし図１６（ｄ）に示される如きものになる。差動回
路１２１の出力電圧であるＲ点の電圧は図１７（ａ）に
示されるＧ点の電圧に反転回路を介して図１７（ｂ）に
示されるＫ点の電圧を相加したものに等価的に等しい。
このＲ点の電圧は図１７（ｃ）に示されるが如きもので
ある。なお、相加することにより角速度成分は相殺され
る。従って加速度零の状態における電圧を基準とすれ
ば、加速度により変化した信号を求めることができる。
Ｃ’接続点およびＤ’接続点間に生じた変位検出信号を
半波整流したＦ、Ｅ、Ｊ、Ｈ点の電圧は、図１６（ａ）
ないし図１６（ｄ）に示される如きものになる。差動回
路１２１の出力電圧であるＲ点の電圧は図１７（ａ）に
示されるＧ点の電圧に反転回路を介して図１７（ｂ）に
示されるＫ点の電圧を相加したものに等価的に等しい。
このＲ点の電圧は図１７（ｃ）に示されるが如きもので
ある。なお、相加することにより角速度成分は相殺され
る。従って加速度零の状態における電圧を基準とすれ
ば、加速度により変化した信号を求めることができる。
【００２９】以上は、図９を参照して第１のブリッヂ回
路および第２のブリッヂ回路を含む可変静電容量型変位
検出器により縦方向軸角速度／加速度を検出する説明で
あったが、図１０を参照して第３のブリッヂ回路および
第４のブリッヂ回路を含む可変静電容量型変位検出器に
より全く同様に横方向軸角速度／加速度を検出すること
ができるので、これについての説明は省略する。
路および第２のブリッヂ回路を含む可変静電容量型変位
検出器により縦方向軸角速度／加速度を検出する説明で
あったが、図１０を参照して第３のブリッヂ回路および
第４のブリッヂ回路を含む可変静電容量型変位検出器に
より全く同様に横方向軸角速度／加速度を検出すること
ができるので、これについての説明は省略する。
【００３０】上述の可変静電容量型変位検出器の励磁は
交流励磁回路１００により行うものであるが、励磁を直
流電圧により行うと下記の通りになる。即ち、振動子に
角速度が加わった場合、振動子はコリオリ力により必ず
捻れ方向と直角な方向にも捻れ振動成分を有してその自
由端は才差運動をするに到るので、直流電界中において
も電極に交流電圧を発生する。しかし、加速度が加わっ
た場合、加速度の周波数が低いと電極に電圧が発生しに
くいことから、加速度信号の検出には交流励磁を採用す
ることが前提となる。なお、直流励磁の場合の信号、電
圧は各図において励磁周波数を除いたものである。
交流励磁回路１００により行うものであるが、励磁を直
流電圧により行うと下記の通りになる。即ち、振動子に
角速度が加わった場合、振動子はコリオリ力により必ず
捻れ方向と直角な方向にも捻れ振動成分を有してその自
由端は才差運動をするに到るので、直流電界中において
も電極に交流電圧を発生する。しかし、加速度が加わっ
た場合、加速度の周波数が低いと電極に電圧が発生しに
くいことから、加速度信号の検出には交流励磁を採用す
ることが前提となる。なお、直流励磁の場合の信号、電
圧は各図において励磁周波数を除いたものである。
【００３１】
【発明の効果】上述の通りであって、この発明は捻れ式
音叉型水晶振動子と、これに対向してこれとの間に可変
容量を形成する変位検出電極を形成した水晶板とにより
可変静電容量変位検出器を構成し、これにより２軸角速
度／加速度を検出するものであるので部品点数は少な
く、構造は極く単純であり、また回転部は存在しないの
で軸受けの摩耗、摩滅による寿命の制約はないものであ
ると言うことができる。
音叉型水晶振動子と、これに対向してこれとの間に可変
容量を形成する変位検出電極を形成した水晶板とにより
可変静電容量変位検出器を構成し、これにより２軸角速
度／加速度を検出するものであるので部品点数は少な
く、構造は極く単純であり、また回転部は存在しないの
で軸受けの摩耗、摩滅による寿命の制約はないものであ
ると言うことができる。
【図１】２軸角速度／加速度センサの従来例を示す図。
【図２】圧電ビーム回転体を説明する図。
【図３】この発明の可変静電容量変位検出器を説明する
図。
図。
【図４】この発明の水晶薄板および変位検出電極を説明
する図。
する図。
【図５】この発明の可変静電容量変位検出器の横方向断
面を説明する図。
面を説明する図。
【図６】捻れ式音叉型水晶振動子の振動モードを概念的
に示す図。
に示す図。
【図７】捻れ式音叉型水晶振動子の振動の状態を説明す
る図。
る図。
【図８】捻れ式音叉型水晶振動子の振動の状態を説明す
る図。
る図。
【図９】この発明の２軸角速度／加速度センサを説明す
る図。
る図。
【図１０】この発明の２軸角速度／加速度センサを説明
する図。
する図。
【図１１】可変静電容量型変位検出器中の点の電圧を示
す図であり、（ａ）は２本のビームが上下方向に変位し
ていない場合のＣ、Ｄ、Ｃ’、Ｄ’点の電圧、（ｂ）は
２本のビームが上下方向に単振動している場合のＣ、
Ｄ’点の電圧、（ｃ）は２本のビームが上下方向に単振
動している場合のＣ’、Ｄ点の電圧を示す図。
す図であり、（ａ）は２本のビームが上下方向に変位し
ていない場合のＣ、Ｄ、Ｃ’、Ｄ’点の電圧、（ｂ）は
２本のビームが上下方向に単振動している場合のＣ、
Ｄ’点の電圧、（ｃ）は２本のビームが上下方向に単振
動している場合のＣ’、Ｄ点の電圧を示す図。
【図１２】出力電圧波形を半波整流回路により半波整流
した結果の電圧であり、（ａ）はＦ点の電圧、（ｂ）は
Ｅ点の電圧、（ｃ）はＪ点の電圧、（ｄ）はＨ点の電圧
を示す図。
した結果の電圧であり、（ａ）はＦ点の電圧、（ｂ）は
Ｅ点の電圧、（ｃ）はＪ点の電圧、（ｄ）はＨ点の電圧
を示す図。
【図１３】（ａ）はＧ点の電圧、（ｂ）はＫ点の電圧、
（ｃ）はＬ点の電圧を示す図。
（ｃ）はＬ点の電圧を示す図。
【図１４】位相弁別器の出力電圧であるＮ点の電圧を示
し、（ａ）は図７（ａ）に対応する図、（ｂ）は図８
（ｂ）に対応する図。
し、（ａ）は図７（ａ）に対応する図、（ｂ）は図８
（ｂ）に対応する図。
【図１５】（ａ）はＣ、Ｃ’点の電圧、（ｂ）はＤ、
Ｄ’点の電圧。
Ｄ’点の電圧。
【図１６】（ａ）はＦ点の電圧、（ｂ）はＥ点の電圧、
（ｃ）はＪ点の電圧、（ｄ）はＨ点の電圧を示す図。
（ｃ）はＪ点の電圧、（ｄ）はＨ点の電圧を示す図。
【図１７】（ａ）はＧ点の電圧、（ｂ）はＫ点の電圧、
（ｃ）はＲ点の電圧を示す図。
（ｃ）はＲ点の電圧を示す図。
４０ 水晶薄板 ４１ ビーム ４２ 支持部 ５５ 溝部 ５６ 溝部 Ｃ 変位検出電極
Claims (4)
- 【請求項１】２本のビームを有する捻れ式音叉型水晶振
動子を構成する水晶薄板の支持部を、水晶薄板より剛性
が高くビームの振動を妨げない形状寸法を有する２本の
溝部を形成した水晶板２枚によりビームの振動を妨げな
い様に両側から挟み込み、２本のビームが２軸角速度／
加速度により変位する量を検出する変位検出電極を２本
のビームおよび２枚の水晶板に独立して２組形成した可
変静電容量型変位検出器を具備することを特徴とする２
軸角速度／加速度センサ。 - 【請求項２】請求項１に記載される２軸角速度／加速度
センサにおいて、角速度が印加された場合にコリオリ力
により２本のビームが捻れ方向と直角な方向にも角速度
の量に比例する捻れ成分を有して才差運動することによ
り、或は加速度が印加された場合に２本のビームが加速
度の量に比例して変位することにより、この角速度の量
に比例した捻れ成分或は加速度の量に比例した変位成分
を検出してこれを電気回路により処理することを特徴と
する２軸角速度／加速度センサ。 - 【請求項３】請求項１或は２に記載される２軸角速度／
加速度センサにおいて、可変静電容量型変位検出器を水
晶振動子の発振周波数より充分に高い安定化された交流
電圧により励磁し、角速度印加によるビームの才差運動
の振動成分或は加速度印加によるビームの変位成分であ
る交流信号を検出し、この交流信号を水晶振動子の発振
周波数に同期して検出することを特徴とする２軸角速度
／加速度センサ。 - 【請求項４】請求項１或は２に記載される２軸角速度／
加速度センサにおいて、可変静電容量型変位検出器を安
定化された直流電圧により励磁し、角速度印加によるビ
ームの才差運動の振動成分或は加速度印加によるビーム
の変位成分である交流信号を検出し、この交流信号を水
晶振動子の発振周波数に同期して検出することを特徴と
する２軸角速度／加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5271798A JP2926139B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | ２軸角速度／加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5271798A JP2926139B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | ２軸角速度／加速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07128356A true JPH07128356A (ja) | 1995-05-19 |
| JP2926139B2 JP2926139B2 (ja) | 1999-07-28 |
Family
ID=17505007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5271798A Expired - Fee Related JP2926139B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | ２軸角速度／加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2926139B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6722198B1 (en) | 1999-10-25 | 2004-04-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | External-force detecting sensor |
| WO2010064562A1 (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-10 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 角速度検出装置 |
-
1993
- 1993-10-29 JP JP5271798A patent/JP2926139B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6722198B1 (en) | 1999-10-25 | 2004-04-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | External-force detecting sensor |
| WO2010064562A1 (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-10 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 角速度検出装置 |
| JP2010133804A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 角速度検出装置 |
| US8456179B2 (en) | 2008-12-03 | 2013-06-04 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Angular velocity detection device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2926139B2 (ja) | 1999-07-28 |
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