JPH0712654A - 表面弾性波温度計測装置 - Google Patents
表面弾性波温度計測装置Info
- Publication number
- JPH0712654A JPH0712654A JP15901093A JP15901093A JPH0712654A JP H0712654 A JPH0712654 A JP H0712654A JP 15901093 A JP15901093 A JP 15901093A JP 15901093 A JP15901093 A JP 15901093A JP H0712654 A JPH0712654 A JP H0712654A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- saw
- antenna
- circuit
- surface acoustic
- temperature
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 水晶温度計よりアンテナもれ小型で通信距離
の大きいワイヤレスＳＡＷ温度計測装置を提供する。 【構成】 このため、この種のＳＡＷ温度計測装置を、
ＳＡＷ遅延線１，整合回路２及びアンテナ３より成るセ
ンサ部４と、アンテナ５，整合回路６，送受信回路７，
計時回路８，演算回路９及び表示部１０より成るステー
ション部１１とより構成した。
の大きいワイヤレスＳＡＷ温度計測装置を提供する。 【構成】 このため、この種のＳＡＷ温度計測装置を、
ＳＡＷ遅延線１，整合回路２及びアンテナ３より成るセ
ンサ部４と、アンテナ５，整合回路６，送受信回路７，
計時回路８，演算回路９及び表示部１０より成るステー
ション部１１とより構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、表面弾性波（ＳＡＷ）
温度測定装置に関するものである。
温度測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】科学技術一般の高度化により、温度測定
の対象も極めて広範囲となり、その測定精度も、さらに
高精度及び高分解能が要求されるようになった。しか
も、測定対象物に対して、その測定手段による熱や磁界
などの影響を受けないワイヤレス温度センサの開発が望
まれている。
の対象も極めて広範囲となり、その測定精度も、さらに
高精度及び高分解能が要求されるようになった。しか
も、測定対象物に対して、その測定手段による熱や磁界
などの影響を受けないワイヤレス温度センサの開発が望
まれている。
【０００３】その一環の新技術として、例えば「センサ
技術」誌（１９９１年５月号，Ｖｏｌ．１１，Ｎｏ．
５，Ｐ２８〜３２）に、電波エコーを用いるセンサシス
テム「ワイヤレス高帯域高分解能水晶温度計」の開発関
連記事が紹介されている。詳細の重複説明は省略する
が、この温度計は、水晶振動子にセンサアンテナを設け
てセンサ部とし、水晶振動子の共振周波数の変化より温
度を計測するよう構成されたものである。
技術」誌（１９９１年５月号，Ｖｏｌ．１１，Ｎｏ．
５，Ｐ２８〜３２）に、電波エコーを用いるセンサシス
テム「ワイヤレス高帯域高分解能水晶温度計」の開発関
連記事が紹介されている。詳細の重複説明は省略する
が、この温度計は、水晶振動子にセンサアンテナを設け
てセンサ部とし、水晶振動子の共振周波数の変化より温
度を計測するよう構成されたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、水晶振
動子の発振周波数は、例えばＹS カットにおいても最大
２５ＭＨｚ程度に限定されるため、前記アンテナ部が大
型化し、また、通信に誘導電磁界を用いているため、通
信距離も制約されていた。
動子の発振周波数は、例えばＹS カットにおいても最大
２５ＭＨｚ程度に限定されるため、前記アンテナ部が大
型化し、また、通信に誘導電磁界を用いているため、通
信距離も制約されていた。
【０００５】本発明は、以上のような従来技術の問題点
にかんがみてなされたもので、水晶振動子より発振周波
数の大きい表面弾性波（以下、ＳＡＷと略称する）デバ
イスを用いてアンテナの小型化と共に通信距離の増大を
実現し得るＳＡＷ温度計測装置の提供を目的としてい
る。
にかんがみてなされたもので、水晶振動子より発振周波
数の大きい表面弾性波（以下、ＳＡＷと略称する）デバ
イスを用いてアンテナの小型化と共に通信距離の増大を
実現し得るＳＡＷ温度計測装置の提供を目的としてい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このため、本発明におい
ては、表面弾性波遅延線、整合回路及びアンテナより成
るセンサ部と、アンテナ、整合回路、送受信回路、計時
回路、演算回路及び表示部より成るステーション部とに
より表面弾性波温度計測装置を構成することにより、前
記目的を達成しようとするものである。
ては、表面弾性波遅延線、整合回路及びアンテナより成
るセンサ部と、アンテナ、整合回路、送受信回路、計時
回路、演算回路及び表示部より成るステーション部とに
より表面弾性波温度計測装置を構成することにより、前
記目的を達成しようとするものである。
【０００７】
【作用】以上のような本発明構成により、ＳＡＷデバイ
スの発振周波数は約１ＧＨｚ程度であり、水晶振動子の
周波数の約２５ＭＨｚよりも極めて大きいため、その分
アンテナを小型化することができ、通信距離をも増大し
得る。
スの発振周波数は約１ＧＨｚ程度であり、水晶振動子の
周波数の約２５ＭＨｚよりも極めて大きいため、その分
アンテナを小型化することができ、通信距離をも増大し
得る。
【０００８】
【実施例】以下に、本発明を実施例に基づいて説明す
る。図１に本発明に係るＳＡＷ温度計測装置の一実施例
の構成ブロック図を示す。
る。図１に本発明に係るＳＡＷ温度計測装置の一実施例
の構成ブロック図を示す。
【０００９】（構成）図１において、４はセンサ部、１
１はステーション部を示す。センサ部４は、本発明の特
徴として、両端に交差指形変換器（ＩＤＴ）電極（くし
形表面電極またはすだれ状電極）１ａを有するＳＡＷデ
バイスとしてのＳＡＷ遅延線１とその整合回路２及びア
ンテナ３より構成されている。
１はステーション部を示す。センサ部４は、本発明の特
徴として、両端に交差指形変換器（ＩＤＴ）電極（くし
形表面電極またはすだれ状電極）１ａを有するＳＡＷデ
バイスとしてのＳＡＷ遅延線１とその整合回路２及びア
ンテナ３より構成されている。
【００１０】一方、ステーション部１１は、アンテナ
５，整合回路６，送受信回路７，計時回路８，演算回路
９及び表示部１０より構成され、両アンテナ３，５間に
おいて送信波１２，返信波１３の通信が行われる。ま
た、１４は送信指令、１５は受信時刻信号を表わす。
５，整合回路６，送受信回路７，計時回路８，演算回路
９及び表示部１０より構成され、両アンテナ３，５間に
おいて送信波１２，返信波１３の通信が行われる。ま
た、１４は送信指令、１５は受信時刻信号を表わす。
【００１１】ＳＡＷ遅延線１の音速は、一般に温度の関
数Ｖ（Ｔ）であり、両ＩＤＴ電極１ａ間の距離をＬとす
ると、遅延時間τは、τ＝Ｌ／Ｖ（Ｔ）となり、温度の
関数となる。
数Ｖ（Ｔ）であり、両ＩＤＴ電極１ａ間の距離をＬとす
ると、遅延時間τは、τ＝Ｌ／Ｖ（Ｔ）となり、温度の
関数となる。
【００１２】（動作）この温度計測装置は、上記遅延時
間τを計時手段８により計測することにより、ＳＡＷデ
バイス１上の温度を遠隔測定し得るものであり、図２に
その動作タイミングチャートの一例を示す。τ0 は、電
磁波がステーション部１１とセンサ部４を往復する時
間、また受信波１３における破線はしきい値レベルを示
す。
間τを計時手段８により計測することにより、ＳＡＷデ
バイス１上の温度を遠隔測定し得るものであり、図２に
その動作タイミングチャートの一例を示す。τ0 は、電
磁波がステーション部１１とセンサ部４を往復する時
間、また受信波１３における破線はしきい値レベルを示
す。
【００１３】図１，２において、送信指令信号１４は、
計時回路８より出力され、この信号１４を受けて送受信
回路７は、アンテナ５より送信波１２をアンテナ３に送
信する。この波形はＳＡＷ遅延線１の周波数と一致した
バースト信号である。この送信波１２が放射されてしば
らく後にアンテナ３よりの返信波がステーション部１１
に返って来る。
計時回路８より出力され、この信号１４を受けて送受信
回路７は、アンテナ５より送信波１２をアンテナ３に送
信する。この波形はＳＡＷ遅延線１の周波数と一致した
バースト信号である。この送信波１２が放射されてしば
らく後にアンテナ３よりの返信波がステーション部１１
に返って来る。
【００１４】この波形はＳＡＷの２つのエコーより成
り、第１のエコーはＳＡＷのＩＤＴ電極１ａでの反射エ
コーであり、電磁波がステーション部１１とセンサ部４
間を往復する時間だけ遅れて受信される。また、第２の
エコーは、電磁波がＩＤＴ電極１ａで超音波に変換さ
れ、ＳＡＷ中を伝搬し、他方のＩＤＴ電極１ａを通り再
び電磁波に変換されて空間に放射されたエコーである。
この第１のエコー及び第２のエコーの時間差がＳＡＷの
遅延時間τであり、前記τ＝Ｌ／Ｖ（Ｔ）式により、温
度情報を含んでいる。計時回路８は、この第１／第２エ
コー間の時間を計測し、演算回路９で温度を算出し、表
示部１０で、センサ部４における温度をデイジタル表示
する。
り、第１のエコーはＳＡＷのＩＤＴ電極１ａでの反射エ
コーであり、電磁波がステーション部１１とセンサ部４
間を往復する時間だけ遅れて受信される。また、第２の
エコーは、電磁波がＩＤＴ電極１ａで超音波に変換さ
れ、ＳＡＷ中を伝搬し、他方のＩＤＴ電極１ａを通り再
び電磁波に変換されて空間に放射されたエコーである。
この第１のエコー及び第２のエコーの時間差がＳＡＷの
遅延時間τであり、前記τ＝Ｌ／Ｖ（Ｔ）式により、温
度情報を含んでいる。計時回路８は、この第１／第２エ
コー間の時間を計測し、演算回路９で温度を算出し、表
示部１０で、センサ部４における温度をデイジタル表示
する。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ＳＡＷデバイスの発振周波数は１ＧＨｚ程度であり、水
晶振動子の周波数の約２５ＭＨｚよりもはるかに大きい
ため、その分アンテナ手段を小型化し得ると共に、通信
に放射電磁界を用いるため、通信距離を増大することが
できる。
ＳＡＷデバイスの発振周波数は１ＧＨｚ程度であり、水
晶振動子の周波数の約２５ＭＨｚよりもはるかに大きい
ため、その分アンテナ手段を小型化し得ると共に、通信
に放射電磁界を用いるため、通信距離を増大することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 一実施例の構成ブロック図
【図２】 図１の動作タイミングチャートの一例
１ ＳＡＷ遅延線 １ａ ＩＤＴ電極 ２，６ 整合回路 ３，５ アンテナ ４ センサ部 ７ 送受信回路 ８ 計時回路 ９ 演算回路 １０ 表示回路 １１ ステーション部
Claims (4)
- 【請求項１】 表面弾性波遅延線、整合回路及びアンテ
ナより成るセンサ部と、アンテナ、整合回路、送受信回
路、計時回路、演算回路及び表示部より成るステーショ
ン部とにより構成したことを特徴とする表面弾性波温度
計測装置。 - 【請求項２】 前記センサ部における整合回路を省略し
たことを特徴とする請求項１記載の表面弾性波温度計測
装置。 - 【請求項３】 前記ステーション部における整合回路を
省略したことを特徴とする請求項１記載の表面弾性波温
度計測装置。 - 【請求項４】 前記センサ部及びステーション部におけ
る各整合回路を省略したことを特徴とする請求項１記載
の表面弾性波温度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15901093A JPH0712654A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 表面弾性波温度計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15901093A JPH0712654A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 表面弾性波温度計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712654A true JPH0712654A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15684278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15901093A Pending JPH0712654A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 表面弾性波温度計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712654A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102103021A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-06-22 | 深圳市虹远通信有限责任公司 | 一种基于无源无线温度传感器的温度检测方法及装置 |
| US8080767B2 (en) * | 2008-06-11 | 2011-12-20 | Tokyo Electron Limited | Thermal processing apparatus and thermal processing method for object to be processed |
| US8764677B2 (en) | 2003-12-15 | 2014-07-01 | Imperial College Innovations Ltd. | Implantable surface acoustic wave devices for long term clinical monitoring |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP15901093A patent/JPH0712654A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8764677B2 (en) | 2003-12-15 | 2014-07-01 | Imperial College Innovations Ltd. | Implantable surface acoustic wave devices for long term clinical monitoring |
| USRE47681E1 (en) | 2003-12-15 | 2019-11-05 | Ip2Ipo Innovations Limited | Implantable surface acoustic wave devices for long term clinical monitoring |
| USRE48970E1 (en) | 2003-12-15 | 2022-03-15 | Ip2Ipo Innovations Limited | Implantable surface acoustic wave devices for long term clinical monitoring |
| US8080767B2 (en) * | 2008-06-11 | 2011-12-20 | Tokyo Electron Limited | Thermal processing apparatus and thermal processing method for object to be processed |
| CN102103021A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-06-22 | 深圳市虹远通信有限责任公司 | 一种基于无源无线温度传感器的温度检测方法及装置 |
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