JP2003534561A - 測定量を遠隔検出するためのセンサ、センサシステムおよび方法 - Google Patents

測定量を遠隔検出するためのセンサ、センサシステムおよび方法

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Abstract

(57)【要約】 測定量を遠隔検出するためのセンサシステムが、測定量の影響のもとに変化する共振周波数を有する第１の共振器（５）、変調された高周波信号を送受信するためのアンテナ（１）、第１の共振器（５）をアンテナに結合するための変調器／復調器（２）ならびに高周波信号の搬送波周波数によって励起される第２の共振器（３）を備えたセンサを有している。問合せユニットは、２つの共振器の励起するための質問無線信号を発生し、質問無線信号の送信を遮断する。それにより、センサから送出される応答無線信号が受信される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 本発明は、測定量を遠隔検出するためのセンサ、前記センサが使用されるセン
サシステムならびに測定量の遠隔検出方法に関する。
【０００２】 技術水準 センサの遠隔問合せ可能性は、多くの適用領域において必要である。これは例
えば、センサと所属の評価ユニットとの間において、それを介してセンサの出力
信号を評価ユニットに伝送できるような耐久性のある物質的接続を形成すること
が難しい場合である。そのような接続の問題は、センサが所属の評価ユニットに
対して相対的に移動される場合、特に回転運動の際に、どこにでも生ずる。この
ための例として、車両に回転可能に取付けられる空気タイヤの圧力の検出または
回転軸のトルクの測定を挙げることができる。
【０００３】 これらの用途は、最も一般的には、センサの出力信号を電磁的方法にて伝送す
ること、すなわち無線信号、マイクロ波信号または光信号の伝送を必要とする。
このための１つの方法は、センサ素子に固有の電源を設け、それにより、測定お
よび出力信号の伝送に必要となるエネルギーを供給できるようにすることである
。しかしこの原理は、コストの発生（バッテリー）、センサユニットの比較的大
きな重みおよびメンテナンスの必要性により、すぐに限界に達してしまう。とい
うのは、所定の動作時間の後バッテリーの交換が必要であるからである。
【０００４】 したがって、センサを完全にパッシブに、すなわち固有の電源を用いないで実
現化し、それにより、バッテリーと関連した問題を回避して、センサを小さく軽
量化して、不感性にすることが望ましい。
【０００５】 電磁的方法にて遠隔問合せ可能なセンサ乃至センサシステムの一例が、ドイツ
特許公報第１９７０２７６８号（ＤＥ１９７０２７６８Ｃ１）に記載されている
。この公報から公知のセンサは、測定量の影響のもとに変化する共振周波数を有
する共振器、変調された高周波信号の送受信のためのアンテナ、ならびに第１の
共振器をアンテナに結合するための変調器／復調器を備えている。上記公知のセ
ンサによって測定された量を遠隔問合せするために、質問無線信号が問合せユニ
ットから送出される。前記質問無線信号は、第１の周波数の質問測定信号で変調
された、第２の周波数の質問搬送波信号を含んでいる。質問搬送波信号の周波数
は約２．４ＧＨｚのマイクロ波周波数領域にあり、質問測定信号の周波数は１〜
３０ＭＨｚの周波数領域にある。質問無線信号はセンサのアンテナにより受信さ
れ、変調器／復調器に供給される。それゆえ、その出力周波数スペクトルは、第
１の周波数の成分を有している。第１の周波数は通常、共振器の共振領域にある
。したがって、共振器は質問無線信号を受信する際に強制振動に励起され、その
振幅はとりわけ、第１の周波数と測定量に依存する共振器の共振周波数との間の
差に依存している。共振器が振動するように励起された後、質問無線信号の変調
が遮断され、純粋な変調されていない質問搬送波信号が送信される。前記信号は
、センサの変調器／復調器において、共振周波数において共振器の自由振動と混
合され、このようにして共振周波数で変調された搬送波信号が、応答無線信号と
して、問合せユニットに返送される。そこで、応答無線信号の変調を評価するこ
とにより、測定量の実際の値が推定できる。
【０００６】 上記公知のセンサは、変調周波数が発振器の共振周波数に十分接近している場
合には、任意の搬送波周波数の質問無線信号により励起される。応答無線信号を
受信するために、質問搬送波信号が連続的に送信されねばならない。したがって
、質問無線信号を送信するため及び応答無線信号を受信するために１つの同じア
ンテナを利用することは不可能である。
【０００７】 発明の利点 本発明により、遠隔問合せ可能なセンサないし複数の該センサを有するセンサ
システムならびに測定量を遠隔検出するための方法が提供される。これにより、
測定量のより迅速な質問および同じ空間領域における複数のセンサの同時使用が
、相互障害や個々のセンサの問合せプロセスの調整の必要性なく、実現可能とな
る。
【０００８】 上記利点はまず、センサが、高周波信号の搬送波周波数によって励起される共
振器を備えていることにより得られる。前記センサの構成により、問合せユニッ
トから変調質問無線信号が送信される時間の間、振動のため質問測定信号に同調
される第１の共振器を励起することも、振動のため質問搬送波信号を用いて第２
の共振器を励起することも可能である。このようにして、搬送波振動のエネルギ
ーがセンサにて蓄積される。このことにより一方では、応答無線信号を発生する
ために、もはや質問搬送波信号の同時送信に依存しないようになる。なぜなら、
センサ側で必要な応答無線信号は、２つの共振器の信号を混合することにより変
調器／復調器において発生できるからである。質問無線信号の送信の遮断後、該
質問無線信号のエコーが減衰するとすぐに、前記応答無線信号は問合せユニット
にて受信され、評価処理される。
【０００９】 第２の共振器を設けることにより、質問搬送波信号の送信を遮断できるので、
応答無線信号を受信すべき場合に、問合せユニット側で、質問無線信号の送信お
よび応答無線信号の受信のために１つの同じアンテナが使用できる。さらに、複
数の問合せユニットにそれぞれ少なくとも１つのセンサが対応して設けられてい
る周囲環境において、各問合せユニット及び所属のセンサに、固有の第１の搬送
波周波数を割当てることが可能である。前記固有の第１の搬送波周波数により、
問合せユニットは、選択的に該問合せユニットに配属されているセンサにのみ応
答および質問可能となる。
【００１０】 センサは有利には、固有の電源をもたない純粋にパッシブな素子である。した
がって、変調器／復調器として、例えば検波ダイオード（ショットキーダイオー
ド又はバラクタ）が適している。前記回路素子は零電圧の周囲において既に著し
い非直線的特性により、加えられた信号の種々なスペクトル成分の強い結合を生
ぜしめ、それ故、差または加算周波数の発生が容易となる。
【００１１】 第１の共振器として、表面波共振器または水晶振動子が適している。前記共振
器はその特性が直接、検出すべき量の影響を受けるのではなく、適切に振動回路
において、検出すべき量に感応する素子と共に用いられる。このことにより、共
振器に対し安価な標準的回路素子が使用できる。
【００１２】 測定量に感応する素子として有利には、測定量の影響のもとに変化される抵抗
値を有する抵抗素子が用いられる。有利な測定量はたとえば圧力又は温度である
。
【００１３】 無線応答信号に、測定量の影響を受けない第２の発信器の振動の減衰によりあ
まりにも著しい変質がもたらされることを防止するために、第２の発信器を合目
的に次のように構成する。すなわち、第２の共振器は第１の共振器よりも減衰が
小さく、したがって理想的な場合、第２の共振器の振動は、測定期間中一定とし
て検出される。
【００１４】 第２の共振器として特に、励起振動パルスに応答して時間的に遅延された出力
振動パルスを発生できる表面波共振器が適している。そのような共振器は例えば
、表面波を励起するための第１の電極対および表面波を取出すための空間的に隔
てられた第２の電極対を有する表面波フィルタとして、又は表面波を励起および
取出すために用いられる唯１つの電極対を有する共振器として構成することがで
きる。その際、リフレクタ電極がそれぞれ、電極対から間隔をおいて配置されて
おり、それにより、共振器の基板に伝搬する表面波が電極対に対して時間遅延を
以て反射される。
【００１５】 上述の形式のセンサを使用して測定量を遠隔検出する際に、まず、該センサの
２つの発信器が質問無線信号により励起される。前記質問無線進号は、第１の周
波数の質問測定信号で変調された、第２の周波数の質問搬送波信号を含んでいる
。遠隔問合せを実施するため、搬送波および変調波の全質問無線信号の送信が遮
断され、センサから送出される応答無線信号が受信される。この応答無線信号は
、第１の発信器の共振周波数での応答測定信号を以て変調された、第２の発信器
の共振周波数の応答搬送波信号を含んでいる。前記時間において何ら質問搬送波
信号は送信されないので、応答無線信号を分離しなければならないバックグラウ
ンドノイズは小さい。したがって、満足な測定のために僅かな受信強度で十分で
ある。
【００１６】 応答無線信号が受信される時間において、何ら質問無線信号は送信されないの
で、質問と受信との間のクロストークの危険が生ずることなく、質問無線信号の
送信および応答無線信号の受信のために同じアンテナを使用することができる。
【００１７】 第２の共振器が、励起に対して時間的に遅延された振動パルスを供給する場合
、質問無線信号が送信される時間間隔を第２の共振器の時間遅延よりも短く選択
することは好適である。というのは、このことによりセンサは、質問無線信号の
終了後遅延をもってようやく、応答無線信号の送信を開始するからである。
【００１８】 前記遅延は有利には、応答無線信号が問合せユニットに到来する前に、質問無
線信号のエコーが減衰しているように選択される。
【００１９】 次に本発明を実施の形態に基づき図を用いて詳細に説明する。
【００２０】 図面 図１は、本発明のセンサのブロック線図である、 図２は、図１のセンサに対する問合せユニットのブロック線図である、 図３は、問合せユニットのアンテナにおける無線信号の強度の時間的経過を示
す線図である、 図４及び図５は、本発明のセンサの第２の共振器として適当である表面波共振
器の構成を示す実施例である、 図６は、図４又は図５の第２の共振器を用いた際の、問合せユニットのアンテ
ナにおける無線信号の強度の時間的経過を示す線図である。
【００２１】 実施例 測定量の遠隔問合せのための本発明のセンサシステムは、図２に示すような１
つの問合せユニットおよび図１に示すような１つの又は複数のセンサから成る。
問合せユニットには発振器１３が設けられており、該発振器は、２，５４ＧＨｚ
の領域の搬送波周波数ｆＴを有する、ここでは質問搬送波信号と称される信号を
発生する。搬送波周波数は有利には、数ＭＨｚだけ合目的に変化される。第２の
発振器１４は、０〜８０ＭＨｚの範囲の周波数ｆＭで振動する形の質問測定信号
を発生する。問合せユニットが複数のセンサの問合せのために用いられる場合、
測定周波数ｆＭは適切に同様に合目的に、厳密に云うと、センサの第１の共振器
の共振領域の大きさに相応するステップで変化可能であり、さらに後からの位置
で入力されてもよい。
【００２２】 変調器１５は発振器１３，１４に接続されており、質問測定信号で質問搬送波
信号を変調して、その結果、質問無線信号を発生する。該質問無線信号はスイッ
チ１２に出力される。スイッチ１２はタイマ１６にコントロールされており、該
タイマにより送受信アンテナ１１は、変調器１５の出力側と復調及び測定回路の
入力側と交互に接続される。変調器１５によって実施される変調はとりわけ振幅
変調または直交変調とすることができる。復調及び測定回路にて行われる復調は
、相補的である。
【００２３】 アンテナ１１から送出される質問無線信号は、図１に示したセンサのアンテナ
１により受信される。前記アンテナに、復調ダイオード２、例えばショットキー
ダイオード又は検波ダイオードが接続されている。そのようなダイオードは、座
標原点の近傍において既に実質的に放物線状の特性曲線、すなわち著しい非直線
的特性が際立っており、前記特性により、質問無線信号に含まれているスペクト
ル成分が混合され、復調ダイオード２の出力側に測定信号の周波数ｆＭを有する
スペクトルコンポーネントが生成される。同様に復調ダイオード２の出力側に生
ずる、搬送波周波数ｆＴを有するスペクトル成分は、共振器３を励起するために
用いられる。ここでは共振器３は第２の共振器として示されている。
【００２４】 さらに、復調ダイオード２の出力側に、低域フィルタ４が接続されており、該
低域フィルタ４の後ろに所謂第１の共振器５が接続されている。第１の共振器は
、測定量に感応する素子６と共に振動回路を形成する。第１の共振器５は第２の
共振器３と全く同様に、市販の回路素子であり、例えば水晶振動子または表面波
共振器である。感応形素子６との接続構成により、第１の共振器５の共振周波数
は、測定量に依存して変化する。
【００２５】 低域フィルタ４の目的は実質的に、第１の共振器５の搬送波周波数ｆＴの領域
のスペクトル成分を分離して、第１の共振器５におけるその消失を防止すること
にある。このようにして、質問無線信号がアンテナ１により受信されている間は
、低域フィルタ４は一方では、第２の共振器３の有効な励起を生ぜしめる。質問
無線信号が中断される場合、低域フィルタ４は第２の共振器３の減衰を制限する
。
【００２６】 感応形素子６は抵抗素子であってもよく、例えば、測定量が温度である場合、
温度に依存する抵抗である。そのような抵抗素子は第１の共振器５の共振周波数
および時定数に影響を与える。それはまた、容量性素子にすることも可能であり
、例えば、支配的圧力に依存して相互に相対的に可動の２つのコンデンサプレー
トを有するマイクロメカニカル圧力センサである。そのような容量性素子は実質
的に共振周波数のみに影響を与えるが、第１の共振器５の減衰に影響を与えない
。
【００２７】 図３に、問合せユニットのアンテナ１１における受信電界強度Ｐの経過が、問
合せサイクルの期間中の時間ｔの関数として略線的に示されている。受信電界強
度Ｐは、対数目盛を用いてプロットされている。期間ｔ＝０からｔ＝ｔ１の間に
、質問無線信号が送信される。したがってこれは必然的に複数オーダだけ、問合
せユニットの周囲から反射されるエコー信号又は場合によってはセンサから供給
される応答信号よりも強い。
【００２８】 時点ｔ１において、スイッチ１２がアンテナ１１を復調及び測定回路１７に接
続し、質問無線信号の送信が遮断される。短い時間[ｔ１，ｔ２]の間に、アンテ
ナ１１に質問無線信号のエコーが到来する。該エコーは、アンテナ１１の周囲に
おいて種々な間隔で障害物により反射される。
【００２９】 前記エコー信号が減衰した後、アンテナ１１に僅かに１つの応答無線信号のみ
が到来する。この応答無線信号はセンサにおいて２つの共振器３，５の振動の混
合により、ここでは復調器として機能するダイオード２にて発生され、アンテナ
１を介して送出されたものである。それ故、復調測定回路１７はスイッチ１２の
切換えの後、アンテナ１１によって受信される応答信号の周波数及び／又は減衰
の検査およびそこに含まれている測定量に関する情報の抽出を開始する前に、さ
らに所定の時間Δｔ待つ。
【００３０】 遅延Δｔは、問合せユニットの送信および受信出力に依存して、例えば次のよ
うな意味において、固定して前もって与えられる。すなわち、問合せユニットの
所定の構造に対して最大の到達距離が決定されており、そこからエコー信号がさ
らに問合せユニットにより検出可能であり、遅延Δｔは少なくとも、前記到達距
離に相応する走行時間の２倍に等しくなるように選択される。
【００３１】 しかしまた、遅延時間Δｔの期間中、共振器３及び５の振動も減衰するので、
遅延時間Δｔを問合せユニットのその都度の使用環境に依存して出来るだけ短く
選択すると有利である。これは例えば次のようにして行われる。すなわち、具体
的な使用環境に対して、問合せユニットからポテンシャルなエコー源までの最大
距離が決定され、遅延は少なくとも、センサ素子から問い合わせユニットまでの
信号走行時間の２倍に等しくなるように、ひいては丁度、前記源によりエコーが
評価されないような大きさに選択される。
【００３２】 図４及び図５に、表面波共振器の２つの実施例が示されており、該表面波共振
器は、図１に示したセンサの第１の共振器３をさらに有利に発展させることによ
り用いられる。
【００３３】 表面振動を励起して取出す構造体の基本構成、すなわち基板に、多数の櫛形に
相互にかみ合っている平行な指部２４を備えた、前記基板の表面上にデポジショ
ンされた２つの電極２１，２２を有する構成が公知であるが、ここでは詳細な説
明は省略する。
【００３４】 図４に示した共振器は、上記電極２１，２２の２つの対２５，２６を含んでお
り、そのうちそれぞれ一方の対２５乃至２６は表面振動を励起するための送信機
として用いられ、他方の対２６乃至２５は振動を取出すための受信機として用い
ることができる。各対２５，２６の２つの電極のうちの一方の、対向する対２６
，２５とは反対に向いた側に、リフレクタ構造部２３が設けられており、該リフ
レクタ構造部は、表面波の伝搬を防止する。２つの対２５，２６は、間隔Ｌによ
って互いに隔てられており、前記間隔により、一方の対によって励起された振動
が遅延τ≒ｃ／Ｌで他方の対に到達し、そこで取出される。
【００３５】 図５に示した表面波共振器は、電極２１，２２を有する唯１対の電極対２７を
含んでおり、前記電極はそれぞれ、電極指２４に対して垂直な２つの方向に放射
する。電極対２７との間隔Ｌ／２で、リフレクタ構造２３が設けられており、該
リフレクタ構造は、電極対２７から送出される表面波をそこに反射して戻す。こ
のようにして、反射された表面波は図４の場合と同様にまた、同じ遅延τ≒ｃ／
Ｌで電極対２７に到達し、そこで取出すことができる。
【００３６】 図６は、問合せユニットのアンテナ１１における受信電界強度Ｐの経過を、問
合せサイクルの期間中の時間ｔの関数として略線的に示した線図であり、これは
、図４又は図５に示した構成の表面波共振器がセンサの第２の共振器として用い
られる場合に、得られる。
【００３７】 図３の場合と全く同様に、期間ｔ＝ｔ０からｔ＝ｔ１の間に、質問無線信号が
送信される。時点ｔ１において、質問無線信号の送信が遮断される。アンテナ１
１における受信電界強度Ｐは、アンテナ１１の周囲から反射される質問無線信号
のエコーが減衰する程度に、低下する。
【００３８】 時点ｔ３＝ｔ０＋τにおいて（問合せユニットとセンサとの間の信号走行時間
を無視した場合）、第２の共振器３にて質問無線信号の受信中にセンサによって
励起された表面波は、該表面波が取出される電極対に到達し始める。そのため、
時点ｔ３から、変調された応答無線信号がセンサで発生される。第２の共振器３
のオーダ乃至該共振器３内の遅延τが十分に大きく選択されることにより、次の
ことが実現する。すなわち、時点ｔ２におけるエコーの減衰と時点ｔ３における
応答無線信号の到来との間に、無視できるほどの受信電界強度を有する受信休止
期間が生ずる。これは問合せユニットの復調及び測定回路によって検出可能であ
り、エコーと応答無線信号とが一義的に区別される。時点ｔ４＝ｔ１＋τにおい
て、表面波振動は取出すための電極対を完全に通過し、応答無線信号の発生が遮
断される。
【００３９】 短い別の遅延の後、時点ｔ５において、質問無線信号の新たな送信で、センサ
の問合せユニットの新しい作動サイクルが開始する。
【００４０】 通常、質問測定信号の測定周波数は、それにより第１の共振器５の励起が実現
可能であるように、選択されている。しかしながら、測定量の著しい変化により
、それによって影響を受ける、第１の共振器５の共振周波数が、次のように著し
く変化されることがある。すなわち、第１の共振器の有効な励起が質問測定信号
の周波数ではもはや実施できなくなる。この場合、応答無線信号は変調できない
か又は、問合せユニットにて受信された信号から測定量を得るために十分な強さ
を以て変調されない。したがって、遠隔問合せシステムの更なる有利な発展によ
り、発信器１４の周波数、すなわち測定周波数ｆＭは合目的に変化されて、問い
合わせ局は前記周波数ｆＭを変化させるようにする。これは、使用不能な応答無
線信号が受信される場合、すなわちその品質が、そこから復調及び測定回路にお
いて測定量を検出するのに十分でないような応答無線信号が受信される場合であ
る。
【００４１】 測定周波数の上記の変化は、最後に使用可能な応答無線信号が受信された、測
定周波数ｆＭの値ｆＭ*から出発して、反復的に行われる。この場合、実施可能
なプロシージャは例えば次のとおりである。すなわち、前記最後の使用可能な測
定周波数ｆＭ*の周囲が、当該測定周波数ｆＭ*からの小さなずれから大きなずれ
へと、漸進的に交互に、測定周波数ｆＭ*を上回って或いは下回ってサーチされ
る。また、予め用いられた２つの測定周波数に基づいて、第１の共振器５の共振
周波数の変化のトレンドが求められることも考えられる。そして、逆方向のサー
チを開始する前に、前記トレンドにより検出された方向に、複数のステップにわ
たってサーチされる。これらのサーチストラテジーの何れがより有効であるかは
、システムのその都度の具体的な使用環境に依存する。
【００４２】 第１の共振器は、測定量の影響のもとに、その帯域が典型的に４ＭＨｚである
周波数領域で同調される。同調領域の限界は、上述したサーチ方法の場合にも上
回ることのない限界である。
【００４３】 同じ周波数を用いる複数の問合せユニットが相互に干渉する場合、応答無線信
号の受信の際に障害が生ずることもある。複数の問合せユニットを有するセンサ
システムを合目的に構成する際に、前記問題は次のことにより回避できる。すな
わち、各問合せユニット及びそれに配属されているセンサに、それぞれ１つの固
有の、問合せユニットに特徴的な搬送波周波数ｆＴが割当てられる。このことに
より、各問合せユニットがそれに配属されているセンサの第２の共振器３のみを
励起することが保証される。したがって、前記第２の共振器が当該問合せユニッ
トにより励起された場合にのみ、該第２の共振器が応答無線信号を問合せユニッ
トに発生することもできる。別の問合せユニットから送信された質問無線信号は
、場合によってではあるが、該質問無線信号の変調周波数ｆＭが共振器５の共振
周波数に一致している場合、第１の共振器５を励起することが可能である。第２
の共振器３は励起されないので、何ら応答無線信号は生ずることはない。
【００４４】 応答搬送波信号を初めて時間遅延τで供給する図４又は図５の第２の共振器が
用いられる場合、問合せの際の選択性が付加的にまた、種々な遅延時間τを有す
るセンサを用いることにより得られる。それゆえ例えば、問合せユニットに対応
して遅延τを固定して割当てることができる。したがって、問合せユニットは、
該問合せユニットから送出される質問無線信号と同じ搬送波および測定周波数を
有するセンサの応答無線信号を検出しない。なぜなら、上記応答無線信号は、遅
延τに依存した時間窓に入らないからであり、該時間窓のなかで、問合せユニッ
トは到来する無線信号を評価するのである。
【００４５】 さらに、１つの問合せユニットに、同じ搬送波および測定周波数を有し、異な
る遅延τを有する複数のセンサを配属することもできる。全ての上記センサは、
質問無線信号の唯１つのパルスを用いて励起できるが、前記センサから供給され
る応答無線信号は、順次および時間的に相互に隔てられて問合せユニットに到来
する。したがって、復調及び測定回路は種々な応答無線信号を、個々の励起され
たセンサないし前記センサによって監視されている値に、信号が到来する時間に
基づいて対応づけることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のセンサのブロック線図である。
【図２】 図１のセンサに対する問合せユニットのブロック線図である。
【図３】 問合せユニットのアンテナにおける無線信号の強度の時間的経過を示す線図で
ある。
【図４】 本発明のセンサの第２の共振器として適当な表面波共振器の構成を示す実施例
である。
【図５】 本発明のセンサの第２の共振器として適当な表面波共振器の構成を示す実施例
である。
【図６】 図４及び図５の第２の共振器を用いた際の、問合せユニットのアンテナにおけ
る無線信号の強度の時間的経過を示す線図である。

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 測定量の影響のもとに変化する共振周波数を有する第１の共
    振器（５）、変調された高周波信号を送受信するためのアンテナ（１）ならびに
    第１の共振器（５）をアンテナ（１）に結合するための変調器／復調器（２）を
    有する、測定量を遠隔検出するためのセンサにおいて、 該センサは、高周波信号の搬送波周波数によって励起される第２の共振器（３
    ）を備えていることを特徴とする、測定量を遠隔検出するためのセンサ。
  2. 【請求項２】 前記変調器（２）が復調ダイオード、例えばショットキーダ
    イオード又は検波ダイオードであることを特徴とする、請求項１に記載のセンサ
    。
  3. 【請求項３】 前記第１の共振器（５）は表面波共振器または水晶振動子を
    含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載のセンサ。
  4. 【請求項４】 前記第１の共振器（５）はさらに、測定量に感応する個別の
    素子（６）を含むことを特徴とする、請求項３に記載のセンサ。
  5. 【請求項５】 前記測定量が圧力または温度であることを特徴とする、請求
    項１から４までのいずれか１項記載のセンサ。
  6. 【請求項６】 前記第２の共振器（３）の減衰が、前記第１の共振器（５）
    の減衰よりも小さいことを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項記載
    のセンサ。
  7. 【請求項７】 前記第２の共振器（３）が表面波共振器であり、該表面波共
    振器は、励起振動パルスに応答して時間的に遅延された出力振動パルスを発生で
    きることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項記載のセンサ。
  8. 【請求項８】 前記第２の共振器は、電極（２１，２２）から成る空間的に
    隔てられた２つの対（２５，２６）を有することを特徴とする、請求項７に記載
    のセンサ。
  9. 【請求項９】 前記第２の共振器（５）は、表面波を励起して取出すための
    電極（２１，２２）から成る１つの対（２７）と、電極対（２７）から隔たって
    配置されているリフレクタ電極（２３）とを有することを特徴とする、請求項７
    に記載のセンサ。
  10. 【請求項１０】 請求項１から９までのいずれか１項記載の複数のセンサ、
    前記センサに質問無線信号を送信して前記センサから応答無線信号を受信するた
    めの少なくとも１つの問合せユニットを有するセンサシステムにおいて、 第１の共振器（５）がそれぞれ種々な共振周波数領域を有することを特徴とす
    る、センサシステム。
  11. 【請求項１１】 各問合せユニットに、質問無線信号の第１の固有の搬送波
    周波数（ｆＴ）および少なくとも１つのセンサが対応して設けられており、前記
    センサの第２の共振器（５）が選択的に、前記固有の搬送波周波数（ｆＴ）によ
    って励起されることを特徴とする、請求項１０に記載のセンサシステム。
  12. 【請求項１２】 請求項１から９までのいずれか１項記載のセンサまたは請
    求項１０又は１１に記載のセンサシステムに対する問合せユニットにおいて、 該問合せユニットは、 質問無線信号を発生するための発信器（１３，１４)を有しており、前記質問無
    線信号は、第１の周波数（ｆＭ）の質問測定信号で変調された、第２の周波数（
    ｆＴ）の質問搬送波信号を含んでおり、 質問無線信号を送信するため及びセンサの１つから応答無線信号を受信するため
    の共通のアンテナ（１１）を有しており、 前記問合せユニットは質問無線信号の送信を遮断して、それにより、応答無線
    信号を受信することを特徴とする、 問合せユニット。
  13. 【請求項１３】 前記質問搬送波信号の周波数（ｆＴ）が変化できることを
    特徴とする、請求項１２に記載の問合せユニット。
  14. 【請求項１４】 請求項１から９までのいずれか１項記載のセンサまたは請
    求項１０又は１１に記載のセンサシステムを使用して、測定量を遠隔検出するた
    めの方法であって、 センサの２つの発信器（３，５）が質問無線信号により励起され、前記質問無
    線進号は、第１の周波数（ｆＭ）の質問測定信号で変調された、第２の周波数（
    ｆＴ）の質問搬送波信号を含んでおり、 前記センサから送信された応答無線信号が受信されて評価され、前記応答無線
    信号は、第１の発信器（５）の共振周波数での応答測定信号を以て変調された、
    第２の発信器（３）の共振周波数の応答搬送波信号を含んでおり、 前記応答無線信号の受信に対して、質問搬送波信号の送信が遮断される、 測定量の遠隔検出方法。
  15. 【請求項１５】 質問無線信号および応答測定信号が、１つの同じアンテナ
    （１１）を介して送信ないし受信されることを特徴とする、請求項１４に記載の
    方法。
  16. 【請求項１６】 何ら十分な応答測定信号が受信されない場合、質問測定信
    号の周波数が変化されることを特徴とする、請求項１４又は１５に記載の方法。
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