JPS63282625A - 温度検出装置 - Google Patents
温度検出装置Info
- Publication number
- JPS63282625A JPS63282625A JP62118297A JP11829787A JPS63282625A JP S63282625 A JPS63282625 A JP S63282625A JP 62118297 A JP62118297 A JP 62118297A JP 11829787 A JP11829787 A JP 11829787A JP S63282625 A JPS63282625 A JP S63282625A
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 6
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 abstract 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 8
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- YTTIHOZMFKLTSC-UHFFFAOYSA-N [Ge].[Bi]=O Chemical compound [Ge].[Bi]=O YTTIHOZMFKLTSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は温度検出装置に関し、より具体的には温度に応
じて共振周波数が変化するような素子、たとえば温度係
数（共振周波数の温度依存度）が高くなるようにカット
した水晶振動子あるいは温度係数が大きい結晶であるＬ
ｉＮｂ０３（リチウムナイオベート）＋Ｂ＋ １２Ｇｅ
０２ｏ（ゲルマニウム酸化ビスマス）基板等の弾性表面
波素子を用いて発振器を構成し、この発振器が出力する
周波数信号により検出対象の温度を検出する装置に関す
る。
じて共振周波数が変化するような素子、たとえば温度係
数（共振周波数の温度依存度）が高くなるようにカット
した水晶振動子あるいは温度係数が大きい結晶であるＬ
ｉＮｂ０３（リチウムナイオベート）＋Ｂ＋ １２Ｇｅ
０２ｏ（ゲルマニウム酸化ビスマス）基板等の弾性表面
波素子を用いて発振器を構成し、この発振器が出力する
周波数信号により検出対象の温度を検出する装置に関す
る。
特定のカットを施した水晶振動子あるいはある種のセラ
ミック、更にはＬｉＮｂ０３＋ Ｂｉ １２Ｇｅ０２０
等の結晶基板は所謂弾性表面波素子と呼ばれ、その共振
周波数が周囲温度に強（依存して温度の関数となること
から、温度センサとしても利用されている。
ミック、更にはＬｉＮｂ０３＋ Ｂｉ １２Ｇｅ０２０
等の結晶基板は所謂弾性表面波素子と呼ばれ、その共振
周波数が周囲温度に強（依存して温度の関数となること
から、温度センサとしても利用されている。
第２図は上述のような弾性表面波素子をセンサとして用
いた従来の温度検出装置の構成を示すブロック図であり
、たとえば特開昭６０−２２０８３３号公報に開示され
た発明と基本的に同様の構成を示している。
いた従来の温度検出装置の構成を示すブロック図であり
、たとえば特開昭６０−２２０８３３号公報に開示され
た発明と基本的に同様の構成を示している。
図中１００は送信部であり、上述の如き弾性表面波素子
を用い、検出対象の温度に応じた周波数の信号を出力す
る発振器１０１と、この発振器１０１が出力する周波数
信号を増幅する増幅器１０２と、増幅器１０２にて増幅
された信号を空中へ放射して送信する送信アンテナ１０
３とにて構成されている。
を用い、検出対象の温度に応じた周波数の信号を出力す
る発振器１０１と、この発振器１０１が出力する周波数
信号を増幅する増幅器１０２と、増幅器１０２にて増幅
された信号を空中へ放射して送信する送信アンテナ１０
３とにて構成されている。
一方、図中２００は受信部であり、送信部１００の送信
アンテナ１０３から送（ｇされた周波数信号を受信する
受信アンテナ２０１と、この受信アンテナ２０１が受信
した信号を増幅する増幅器２０２と、増幅器２０２によ
り増幅された周波数信号の周波数を計数する周波数カウ
ンタ２０３とにて構成されている。
アンテナ１０３から送（ｇされた周波数信号を受信する
受信アンテナ２０１と、この受信アンテナ２０１が受信
した信号を増幅する増幅器２０２と、増幅器２０２によ
り増幅された周波数信号の周波数を計数する周波数カウ
ンタ２０３とにて構成されている。
このような装置では、発振器１０１．増幅器１０２．送
信アンテナ１０３からなる送信部１００を検出対象の近
傍に位置させて弾性表面波素子を物体に接触さ仕て、あ
るいは雰囲気温度が検出対象であれば温度を検出すべき
位置に設置しておく一方、受信アンテナ２０１．増幅器
２０２９周波数カウンタ２０３にて構成される受信部２
００を検出対象から離隔したたとえば制御室内等に設置
して、検出対象の温度を遠隔地から検出することが可能
である。
信アンテナ１０３からなる送信部１００を検出対象の近
傍に位置させて弾性表面波素子を物体に接触さ仕て、あ
るいは雰囲気温度が検出対象であれば温度を検出すべき
位置に設置しておく一方、受信アンテナ２０１．増幅器
２０２９周波数カウンタ２０３にて構成される受信部２
００を検出対象から離隔したたとえば制御室内等に設置
して、検出対象の温度を遠隔地から検出することが可能
である。
しかし、上述の如き構成の温度検出装置にて、検出対象
から離隔した位置にて温度を検出する場合、送信アンテ
ナ１０３による送信出力を強力にするか、あるいは受信
アンテナ１０４のゲインを大きくする必要があるが、送
信部１００から送信される周波数信号は連続波であるた
め、増幅器１０２．送信アンテナ１０３等のハードウェ
ア構成が困難になりまた大型化する等の問題が生じる。
から離隔した位置にて温度を検出する場合、送信アンテ
ナ１０３による送信出力を強力にするか、あるいは受信
アンテナ１０４のゲインを大きくする必要があるが、送
信部１００から送信される周波数信号は連続波であるた
め、増幅器１０２．送信アンテナ１０３等のハードウェ
ア構成が困難になりまた大型化する等の問題が生じる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、
送信部と受信部との間の距離を大きくすることを可能と
した弾性表面波素子利用の温度検出装置の提供を目的と
する。
送信部と受信部との間の距離を大きくすることを可能と
した弾性表面波素子利用の温度検出装置の提供を目的と
する。
本発明の温度検出装置は、検出対象の温度の検出に温度
係数が大である弾性表面波素子のような、その共振周波
数が周囲温度の関数となる素子を使用し、これにより得
られた周波数信号をパルス変調して送信し、受信部にて
温度を求める構成としている。
係数が大である弾性表面波素子のような、その共振周波
数が周囲温度の関数となる素子を使用し、これにより得
られた周波数信号をパルス変調して送信し、受信部にて
温度を求める構成としている。
本発明は、検出対象の温度に応じた周波数にて共振する
振動子を用いて周波数信号を発振する発振器と、該発振
器が出力する周波数信号をパルス変調する変調器と、該
変ｔｌｌ器にて得られた変調信号を空中に放射する送信
アンテナと、該送信アンテナから送信された変ｕＩ４ｆ
δ号を受信する受信アンテナと、該受信アンテナにて受
信された信号から前記発振器の出力周波数を検出する周
波数検出手段と、該周波数検出手段による検出結果から
前記検出対象の温度を求める手段とを備えたことを特徴
とする。
振動子を用いて周波数信号を発振する発振器と、該発振
器が出力する周波数信号をパルス変調する変調器と、該
変ｔｌｌ器にて得られた変調信号を空中に放射する送信
アンテナと、該送信アンテナから送信された変ｕＩ４ｆ
δ号を受信する受信アンテナと、該受信アンテナにて受
信された信号から前記発振器の出力周波数を検出する周
波数検出手段と、該周波数検出手段による検出結果から
前記検出対象の温度を求める手段とを備えたことを特徴
とする。
本発明の温度検出装置では、検出対象の温度の関数であ
る周波数信号をパルス変調して無線送受信することによ
り受信部へ送信するので、比較的長距離に亙って信号が
伝送される。
る周波数信号をパルス変調して無線送受信することによ
り受信部へ送信するので、比較的長距離に亙って信号が
伝送される。
以下、本発明をその実施例を示す図面に基づいて詳述す
る。
る。
第１図は本発明に係る温度検出装置の構成を示すブロッ
ク図であり、主要には検出対象に接触しであるいはその
近傍に設置される送信部ｌとこの送信部１からは離隔し
たたとえば制御室等に設置される受信部２とから構成さ
れている。
ク図であり、主要には検出対象に接触しであるいはその
近傍に設置される送信部ｌとこの送信部１からは離隔し
たたとえば制御室等に設置される受信部２とから構成さ
れている。
送信部１は、その共振周波数が周囲温度の関数となるよ
うに特定のカットを施された水晶振動子あるいはある種
のセラミック、更にはＬｉＮｂＯ３結晶基板等の所謂弾
性表面波素子を振動子とした発振器１１．この発振器１
１が出力する周波数信号を後述するパルス変調３１３に
よりパルス変調可能なレベルにまで増幅する増幅器１２
．発１辰器１１が出力する周波数信号を分周する分周回
路１６９分周回路１６の出力信号からゲート信号を発生
するゲート発生回路１７． このゲート発生回路１７が
発生するゲート信号により増幅器１２から与えられる周
波数信号をパルス変ＩＩ（より具体的には、ゲート幅に
対応する間にのみ周波数信号が出力されてパルス状に信
号が出力される）するパルス変［Ｓ１３．パルス変調器
１３から出力される変調済みの変調信号を所定レベルへ
増幅する増幅器１４． この増幅器１４により増幅され
た変調信号を大気中へ、即ち無線送信する送信アンテナ
１５等にて構成されている。
うに特定のカットを施された水晶振動子あるいはある種
のセラミック、更にはＬｉＮｂＯ３結晶基板等の所謂弾
性表面波素子を振動子とした発振器１１．この発振器１
１が出力する周波数信号を後述するパルス変調３１３に
よりパルス変調可能なレベルにまで増幅する増幅器１２
．発１辰器１１が出力する周波数信号を分周する分周回
路１６９分周回路１６の出力信号からゲート信号を発生
するゲート発生回路１７． このゲート発生回路１７が
発生するゲート信号により増幅器１２から与えられる周
波数信号をパルス変ＩＩ（より具体的には、ゲート幅に
対応する間にのみ周波数信号が出力されてパルス状に信
号が出力される）するパルス変［Ｓ１３．パルス変調器
１３から出力される変調済みの変調信号を所定レベルへ
増幅する増幅器１４． この増幅器１４により増幅され
た変調信号を大気中へ、即ち無線送信する送信アンテナ
１５等にて構成されている。
一方受信部２は、送信部１の送信アンテナ１５から送信
される信号を受信する受信アンテナ２１．この受信アン
テナ２１にて受信された信号を所定レベルへ増幅する増
幅器２２．増幅器２２にて増幅された信号の周波数の内
の検出対象の温度変化に対応する変化分を検出する周波
数検出手段３１周波数検出手段３により検出された発振
器１１の出力周波数の変化分から検出対象の温度を求め
る手段としてのマイクロコンピュータ４２及び検出結果
を表示するためのたとえばＩＪＤ等の温度表示器４１等
にて構成されている。
される信号を受信する受信アンテナ２１．この受信アン
テナ２１にて受信された信号を所定レベルへ増幅する増
幅器２２．増幅器２２にて増幅された信号の周波数の内
の検出対象の温度変化に対応する変化分を検出する周波
数検出手段３１周波数検出手段３により検出された発振
器１１の出力周波数の変化分から検出対象の温度を求め
る手段としてのマイクロコンピュータ４２及び検出結果
を表示するためのたとえばＩＪＤ等の温度表示器４１等
にて構成されている。
周波数検出手段３は、増幅器２２にて所定レベルへ増幅
された信号から発振器１１の出力周波数の変化分を検出
する回路である。具体的には、この周波数検出手段３に
は基準の周波数を発振する水晶発振器３５が備えられて
おり、この水晶発振器３５の発振周波数は周波数逓倍器
３６にて逓倍（整数倍）の周波数に変換された上で第１
の混合器３１及び第２の混合器３３、更にクロ７り発生
回路３７に与えられている。
された信号から発振器１１の出力周波数の変化分を検出
する回路である。具体的には、この周波数検出手段３に
は基準の周波数を発振する水晶発振器３５が備えられて
おり、この水晶発振器３５の発振周波数は周波数逓倍器
３６にて逓倍（整数倍）の周波数に変換された上で第１
の混合器３１及び第２の混合器３３、更にクロ７り発生
回路３７に与えられている。
第１の混合器３１は、増幅器２２から与えられている信
号と周波数逓倍器３６から与えられる安定な周波数とを
混合することにより、中間周波出力を得る。この混合器
３１により得られた中間周波出力は増幅器３２にて所定
レベルへ増幅された後、第２の混合器３３に与えられる
。
号と周波数逓倍器３６から与えられる安定な周波数とを
混合することにより、中間周波出力を得る。この混合器
３１により得られた中間周波出力は増幅器３２にて所定
レベルへ増幅された後、第２の混合器３３に与えられる
。
第２の混合器３３は、増幅器３２を介して混合器３１か
ら与えられた中間周波出力と前述の如く周波数逓倍器３
６から与えられる安定な周波数とを混合することにより
、発振器１１の出力周波数の内の検出対象の温度変化に
よる変化分を取出して出力する。
ら与えられた中間周波出力と前述の如く周波数逓倍器３
６から与えられる安定な周波数とを混合することにより
、発振器１１の出力周波数の内の検出対象の温度変化に
よる変化分を取出して出力する。
この第２の混合器３３から出力された信号は低周波数成
分を増幅する増幅器３４にてＡ／Ｄ変換器３８による処
理に適当なレベルへ増幅された後、Ａ／Ｄ変換器３８に
与えられる。
分を増幅する増幅器３４にてＡ／Ｄ変換器３８による処
理に適当なレベルへ増幅された後、Ａ／Ｄ変換器３８に
与えられる。
Ａ／Ｄ変換器３８は、周波数逓倍器３６から与えられる
安定な周波数を基準としてクロック発生回路３７にて発
生されたクロック信号により増幅器３４の出力をＡ／Ｄ
変換する。このようにしてＡ／Ｄ変換された信号は検出
対象の温度変化による発振器１１の出力周波数の変化分
の情報が含まれている。このＡ／Ｄ変換器３８によるＡ
／Ｄ変１１！！後の信号はマイクロコンピュータ２４に
与えられる。
安定な周波数を基準としてクロック発生回路３７にて発
生されたクロック信号により増幅器３４の出力をＡ／Ｄ
変換する。このようにしてＡ／Ｄ変換された信号は検出
対象の温度変化による発振器１１の出力周波数の変化分
の情報が含まれている。このＡ／Ｄ変換器３８によるＡ
／Ｄ変１１！！後の信号はマイクロコンピュータ２４に
与えられる。
マイクロコンピュータ２４は、Ａ／Ｄ変換器３８から与
えられる信号、即ち検出対象の温度変化による発振器１
１の出力周波数の変化分の情報に従って、所定の基準温
度（たとえば０℃）を基に検出対象の温度を求め、温度
表示器２５に表示する。
えられる信号、即ち検出対象の温度変化による発振器１
１の出力周波数の変化分の情報に従って、所定の基準温
度（たとえば０℃）を基に検出対象の温度を求め、温度
表示器２５に表示する。
なお、上記実施例では受信部２において第１及び第２の
混合器により２回の周波数変換を行なうようにしている
が、１回の周波数変換にて構成することも可能であり、
また送信部ｌと受（８部２との間の信号の送受はアンテ
ナを使用せずに直接的に行なうことも勿論可能である。
混合器により２回の周波数変換を行なうようにしている
が、１回の周波数変換にて構成することも可能であり、
また送信部ｌと受（８部２との間の信号の送受はアンテ
ナを使用せずに直接的に行なうことも勿論可能である。
（発明の効果〕
以上のように、上述の本発明装置では送信部と受信部と
の間の信号の送信を、発振器が出力した周波数をパルス
変調した上で無線送受信しているので、従来の発振器が
出力した連続波としての周波数信号を送信する構成に比
して、増幅器、送信アンテナ等のハードウェア構成が比
較的容易であり、また小型化が可能になる。
の間の信号の送信を、発振器が出力した周波数をパルス
変調した上で無線送受信しているので、従来の発振器が
出力した連続波としての周波数信号を送信する構成に比
して、増幅器、送信アンテナ等のハードウェア構成が比
較的容易であり、また小型化が可能になる。
第１図は本発明の温度検出装置の構成を示すブロック図
、第２図は従来の温度検出装置の構成を示す模式図であ
る。 １・・・送信部 ２・・・受信部 ３・・・周波数
検出手段 １１・・・発Ｆ７Ｒ器 １３・・・パル
ス変調器 １５・・・送信アンテナ ２１・・・受
信アンテナ ２４・・・マイクロコンピュータ
、第２図は従来の温度検出装置の構成を示す模式図であ
る。 １・・・送信部 ２・・・受信部 ３・・・周波数
検出手段 １１・・・発Ｆ７Ｒ器 １３・・・パル
ス変調器 １５・・・送信アンテナ ２１・・・受
信アンテナ ２４・・・マイクロコンピュータ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、検出対象の温度に応じた周波数にて共振する振動子
を用いて周波数信号を発振する発振器と、 該発振器が出力する周波数信号をパルス変 調する変調器と、 該変調器にて得られた変調信号を空中に放 射する送信アンテナと、 該送信アンテナから送信された変調信号を 受信する受信アンテナと、 該受信アンテナにて受信された信号から前 記発振器の出力周波数を検出する周波数検出手段と、 該周波数検出手段による検出結果から前記 検出対象の温度を求める手段と を備えたことを特徴とする温度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62118297A JPS63282625A (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 温度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62118297A JPS63282625A (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 温度検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63282625A true JPS63282625A (ja) | 1988-11-18 |
Family
ID=14733189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62118297A Pending JPS63282625A (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 温度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63282625A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02122336U (ja) * | 1989-03-17 | 1990-10-05 | ||
| JP2004144683A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 温度センサ、温度測定装置、温度測定システム及びプログラム |
| JP2007019155A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板熱処理装置および基板温度測定方法 |
-
1987
- 1987-05-14 JP JP62118297A patent/JPS63282625A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02122336U (ja) * | 1989-03-17 | 1990-10-05 | ||
| JP2004144683A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 温度センサ、温度測定装置、温度測定システム及びプログラム |
| JP2007019155A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板熱処理装置および基板温度測定方法 |
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