WO2019240609A1 - Мониторинг температуры на основе пассивных линий задержки на поверхностных акустических волнах с функцией антиколлизии - Google Patents

Мониторинг температуры на основе пассивных линий задержки на поверхностных акустических волнах с функцией антиколлизии Download PDF

Info

Publication number
WO2019240609A1
WO2019240609A1 PCT/RU2018/000398 RU2018000398W WO2019240609A1 WO 2019240609 A1 WO2019240609 A1 WO 2019240609A1 RU 2018000398 W RU2018000398 W RU 2018000398W WO 2019240609 A1 WO2019240609 A1 WO 2019240609A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
idt
sensor
pair
sensors
delay
Prior art date
Application number
PCT/RU2018/000398
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Владимир Анатольевич КАЛИНИН
Геворк Яковлевич КАРАПЕТЬЯН
Василий Олегович КИСЛИЦЫН
Original Assignee
Научно-Технический Центр "Радиотехнических Устройств И Систем" С Ограниченной Ответственностью
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-Технический Центр "Радиотехнических Устройств И Систем" С Ограниченной Ответственностью filed Critical Научно-Технический Центр "Радиотехнических Устройств И Систем" С Ограниченной Ответственностью
Priority to PCT/RU2018/000398 priority Critical patent/WO2019240609A1/ru
Priority to RU2021105020A priority patent/RU2756413C1/ru
Publication of WO2019240609A1 publication Critical patent/WO2019240609A1/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K11/00Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00
    • G01K11/22Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using measurement of acoustic effects

Definitions

  • the invention relates to the field of electronics and can be used in systems for monitoring the state of objects in order to prevent emergency situations when monitoring physical quantities, in particular temperature.
  • a sensor is known from the prior art for a SAW delay line, a method and a system that improves detection accuracy (see [1] CN102313614, IPC G01K 11/22, publ. 11.01.2012), according to the method, the correspondence of the delay and temperature is determined; determine the magnitude of the increment of the delay depending on changes in temperature; determine the correspondence between the phase difference depending on the temperature increment.
  • the temperature measurement is determined by the number of phase cycles between the first and third reflectors, the first two reflectors being used for calibration and eliminating the problem of phase ambiguity.
  • the reader receives the sensor response radio signal and processes it.
  • Such a sensor has similar design features in terms of topology with the claimed invention, however, in conditions of a low signal to noise ratio, it does not provide the necessary stability of the sensor readings. In this analogue, the problem of collision is not considered.
  • Collision elimination is proposed in a multi-purpose method of anticollision of physical quantity sensors on SAW delay lines (see [1] CN 103471631, IPC G01D5 / 48, published on December 25, 2013), in which the problem of collisions is solved by separating the sensor signals in time.
  • the method at least three reflectors are placed on the surface of the piezoelectric substrate of each sensor, the first reflector is xl, the second reflector is t2, and the third reflector is t3 so that the reflectors of various sensors are offset at different distances relative to the IDT.
  • the placement of the reflectors of the sensors occurs in the following sequences.
  • the first sequence of location of the reflectors on the piezoelectric substrates of the sensors the first reflector and the second reflector of the first sensor, the first reflector and the second reflector of the second sensor, ..., the first reflector and the second reflector of the N-ro sensor, then the third reflector of the first sensor, the third reflector of the second sensor, ..., third reflector of the Nth sensor.
  • the second sequence of location of the reflectors on the sensor substrates the first reflector of the first sensor, the first reflector of the second sensor, ..., the first reflector of the N-ro sensor, the second reflector and the third reflector of the first sensor, the second reflector and the third reflector of the second sensor, ..., the second reflector and third reflector of N-ro sensor.
  • This analogue solves the problem of phase ambiguity and uses a limited number of sensors.
  • this topology (design) of sensors where t ⁇ and t2, according to the position of which are calibrated, are located at a smaller distance from each other than together to t3, which, in turn, provides the required sensitivity of the sensor, does not ensure the stability of the sensor readings, since the phase difference between the calibration reflectors in the entire range of changes in the controlled physical quantity is more than 2p.
  • closest to the claimed invention is a method of eliminating a collision in a set of sensors and a device for its implementation (see [3] RF patent 2585911, IPC G01D 5/48, publ. 06/10/2016).
  • the sensor reflectors are arranged on piezoelectric substrates in the following order: the first reflector of the first sensor, the first reflector of the second sensor, ..., the first reflector of the N-ro sensor, then the second reflector of the first sensor, the second reflector of the second sensor, ..., the second reflector of the N-ro sensor, the third reflector of the first sensor, the third reflector of the second sensor, ..., the third reflector of the N-ro sensor, polls the sensors, receives the signals from the sensors and processes them, while for each sensor the signal delay time between the first and third reflectors
  • a device for implementing the method made in the form of a sensor on a SAW delay line containing a piezoelectric substrate, on the surface of which an interdigital transducer is applied and at least three reflectors offset at different distances relative to the interdigital transducer, characterized in that the first reflector has the shortest delay time, the second reflector is located in the middle part of the surface of the piezoelectric substrate, the third reflector is located at the end of the piezoelectric substrate, so about time that their relative position defines the virtual delay time for which the phase increment is no more than 2p in the entire range of the controlled physical quantity.
  • the disadvantage of the prototype, as well as other analogues, is the need to use a reflector with a low reflection coefficient as a SAW reflector. This is necessary so that the surfactants are slightly attenuated during the passage of the previous reflectors, and also so that the mutual re-reflections between the reflectors are much smaller than the primary reflections of the surfactants from the reflectors. Then these reflections can be neglected. In this case, the signal reflected from the sensor is much smaller than that incident on the sensor, i.e. the reflection process occurs with large losses (30 dB or more), which can reduce the accuracy of temperature measurement in the presence of interference.
  • the measured delays include the delays of the signal, which it passes from the reader to the sensor. If this occurs within the same sensor, this delay is mutually subtracted when determining SAW delays between reflectors. But if delays are compared in different sensors, for which the distance between the sensor and the reader is different, then this can lead to significant errors. So, for example, when the distance difference is 3 m between the reader and the sensors, the signal delay will be 10 ns, which is comparable to a change in the delay due to different temperatures on these sensors, which means that not taking this distance into account can affect the accuracy of temperature measurement.
  • the objective of the invention is to provide a sensor devoid of the disadvantages of analogues.
  • the technical result is to reduce losses in the reflection of the surfactant from the sensor, improving the accuracy of determining the temperature, as well as eliminating the influence of the distance between the sensor and the reader on the accuracy of temperature measurement.
  • a device for wireless temperature monitoring based on passive delay lines (LH) on surface acoustic waves (SAWs) with an anti-collision function containing a polling device with a transceiver antenna and a computing device, as well as a set of sensors from delay lines for SAWs, with each sensor containing a pair of HAZ on a SAW, and each LZ on a SAW in a pair, which is a channel, consists of a sealed enclosure containing a piezoelectric sound duct on a surface the radios of which are located transceiver and reflective interdigital transducers (IDT), acoustic absorbers are applied on the ends of the piezoelectric sound duct, a transceiver antenna is connected to the transceiver IDT via terminals in the case, and the transceiver and reflective IDT in each pair LZ identical sectioned unidirectional IDTs with the same number of unidirectional sections, but with
  • the distance between the transceiver and reflective IDT in the first LZ pair is at least 2 times less than in the second LZ pair, the distance between the sections of the transceiver IDT is Nl and the reflective IDT is 2l, also different pairs of LSs have different center frequencies, but the distance between the IDTs of each pair of LSs is equal to the distances between IDTs in the first pair of LSs.
  • FIG. 1 shows the construction of a temperature sensor.
  • FIG. 2 shows in detail the transceiver IDT shown in FIG. 1.
  • FIG. 3 shows in detail the reflective IDT shown in FIG. 1.
  • FIG. Figure 4 shows the pairs of the delay line (LZ) on the SAW (sensors with anti-collision function).
  • FIG. 5 shows the frequency response of the parameter Sl li, for the i - th sensor.
  • 1 piezoelectric sound duct
  • 2 transceiver IDT
  • 3 reflective IDT
  • 4 acoustic absorber
  • 5 body
  • 6 output in the body
  • 7 transceiver antenna
  • 8 interrogation device.
  • 9 transceiver antenna of the interrogation device
  • 10 - readout pulse 11 - pulse reflected from the LS
  • 12 - computing device 13
  • 13 frequency response of parameter S11 for the sensor
  • 16 is a small maximum.
  • FIG. 1 shows the design of the device.
  • the device contains a set of sensors (n sensors) from the delay lines to the SAW.
  • Each sensor contains a pair of HF on the SAW, and each LH on the SAW in a pair, which is a channel, consists of a piezoelectric sound duct 1, on the polished surface of which there are transceiver IDT 2, reflective IDT 3.
  • Acoustic absorbers 4 are applied at the ends of the sound duct 1. Sound duct 1 together with the acoustic absorbers 4 and IDT 2, 3 are placed in a sealed housing 5.
  • To the transceiver IDT 2 is connected through the terminals in the housing 6 transceiver antenna 7.
  • the interrogation device 8 sends a sensing pulse 10 through the transceiver antenna 9 .
  • the pulse 11 reflected from the LS enters again into the interrogation device 8 through the antenna 9, and then into the computing device 12.
  • FIG. 2 shows the transceiver IDT 2 (see figure 1) in detail. It consists of Q unidirectional sections, the distance between which is equal to Nl. Such IDT mainly emits (receives) surfactants only to the right. This is shown by the arrow, and the crossed out arrow indicates the direction where this IDT does not predominantly emit (does not accept) surfactants.
  • FIG. Figure 4 shows the pairs of UAs on a surfactant numbered from 1 to i (sensors with the anti-collision function are numbered from 1 to p), for measuring temperature in different parts of the studied object.
  • Different pairs of LSs have different central frequencies from fo ⁇ to f n , but the distance between the IDTs of each pair of LSs is equal to the distance between IDTs in the first pair.
  • This description describes a method and apparatus for wireless temperature monitoring based on passive delay lines on surface acoustic waves with an anti-collision function, according to which, using signal separation, a set of n sensors is created on SAW delay lines, sensors are polled, sensor response signals are received, and their processing, while sequentially for each sensor determine the delay time of the signal from the sensor to the interrogation device.
  • Each delay line contains a transceiver IDT connected to the antenna, and reflective IDTs.
  • Each sensor contains a pair of delay lines (Ls) on the SAW, and in each pair of LZs the transceiver IDTs are the same and the reflective IDTs are the same, but the distance between them in the first LZ pair is at least 2 times less than in the second LZ pair.
  • Sectional unidirectional IDTs with the same number of unidirectional sections Q, but with a different period of their location, are used as a transceiver IDT and reflective IDT of each pair of LZ.
  • f ⁇ is the center frequency and the initial allowed frequency range, respectively
  • AFC amplitude-frequency characteristic
  • a method and apparatus for monitoring temperature based on passive delay lines on surface acoustic waves operate as follows.
  • the reader 8 through the antenna 9 sends to n sensors sequentially linearly frequency-modulated (LFM) radio pulses 10 with a central frequency / passband equal to the passband of the transceiver IDT P 2 (Fig. 1) of the i-ro sensor and accordingly receives signals reflected from the sensors sequentially 11.
  • LFM linearly frequency-modulated
  • Interrogation signal 10 received it is absorbed by antennas 7 and converted into a SAW by transceiver IDT 2 connected to the antenna through terminals 6 in an airtight housing 5 and located on a piezoelectric sound duct 1. Since the number of unidirectional sections is selected
  • acoustic absorbers are applied to its edges 4.
  • the interrogation pulse 11 reflected from the sensor leads to a cutoff in the frequency response of the parameter Sn of the radio channel of the reader 9 “reader antenna - sensor”. Since the distance between the IDTs in each pair of pairs differs by a factor of (at least 2 times), this leads to the appearance of large and small maxima on the frequency characteristic of the parameter Sn (Fig. 5, curve 13).
  • Figure 5 shows this frequency response of the parameter Sn (curve 13).
  • the delays x are determined on the basis of the differential method of measuring temperature through the use of a pair of LZ. It can be seen that curve 13 contains large 15 and small maxima 16. Then the distance between adjacent maxima 15 and 16 is determined solely by the distance between the IDTs in the pair LZ when this distance is the largest:
  • ti is the SAW delay between IDTs for an LZ pair with a large distance.
  • distance between large maxima (16) is determined solely by the delay of the surfactant between the IDTs for the LS with a smaller distance between the IDTs:
  • gg is the surfactant delay between the IDT for the LZ pair with a shorter distance.
  • Curve 14 (FIG. 5) shows the frequency response of the parameter Sn if the distance between the IDTs in the pair of IDs is the same or if only one LS with a large distance between IDTs is connected. It can be seen that the distances between the nearest the maxima on this curve completely coincide with the distances between the maxima
  • Dt ⁇ of different pairs of LHs are compared with each other and with Dt 0 - the delay obtained for the i-th pair of LHs at a known temperature if, and the temperature is determined by the difference DT ⁇ - Dt 0 and the known coefficient of temperature delay (TK) as:
  • TKZ temperature coefficient of delay
  • the smaller distance between the centers of the IDT in the first LZ of each pair is chosen equal to at least 2 lengths of the transceiver IDT 2, but not less than 2 mm.
  • there will always be several large maxima on the frequency characteristic of the parameter Sn while the electromagnetic interrogation radio signal reflected besides the sensors from distant metal surfaces, the distance to which provides a delay close to the delay from reflective IDTs will be significantly weakened, since this distance is at least 300 m.
  • the reflection coefficient of the surfactant from the reflective IDT pair of the couple will be close to "1", which will provide a sufficient signal / noise ratio for reliable reception and processing signal responses from sensors.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано в системах беспроводного мониторинга состояния объектов с целью предупреждения аварийных ситуаций при контроле физических величин, в частности температуры. Способ беспроводного мониторинга температуры на основе пассивных линий задержки (ЛЗ) на поверхностных акустических волнах (ПАВ) с функцией антиколлизии, включает формирование набора из п датчиков, где n - число датчиков, на ПАВ-линиях задержки посредством частотного разделения сигналов, проведение опроса датчиков, принятие сигналов откликов датчиков и проведение их обработки, при этом последовательно для каждого датчика определяют время задержки сигнала от датчика до опросного устройства, при этом датчики располагают в разных местах объекта мониторинга, по изрезанности амплитудно-частотной характеристики (АЧХ) параметра S11i антенны считывателя, который измеряют в опросном устройстве, определяют задержку ПАВ между приемопередающим и отражательным ВТТТП с учетом времени распространения опросного сигнала от опросного устройства до n-го датчика (i-той пары ЛЗ).

Description

МОНИТОРИНГ ТЕМПЕРАТУРЫ НА ОСНОВЕ ПАССИВНЫХ ЛИНИЙ ЗАДЕРЖКИ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ С ФУНКЦИЕЙ АНТИКОЛЛИЗИИ
Область техники, к которой относится изобретение
Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано в системах мониторинга состояния объектов с целью предупреждения аварийных ситуаций при контроле физических величин, в частности температуры.
Уровень техники
Из уровня техники известен датчик на ПАВ-линии задержки, способ и система, повышающие точность обнаружения (см. [1] CN102313614, МПК G01K 11/22, опубл. 11.01.2012), согласно способу, определяют соответствие задержки и температуры; определяют величину приращения задержки в зависимости от изменения температуры; определяют соответствие между разностью фаз в зависимости от приращения температуры. Таким образом, измерение температуры определяют по количеству циклов фазы между первым и третьим рефлекторами, причем первые два рефлектора служат для калибровки и устраняют проблему фазовой неоднозначности. Считывающее устройство принимает радиосигнал отклика датчика и производит его обработку.
Такой датчик имеет схожие конструктивные признаки в части топологии с заявляемым изобретением, однако в условиях низкого соотношения сигнал-шум не обеспечивает необходимой стабильности показаний датчика. В данном аналоге проблема коллизии не рассматривается.
Устранить коллизии предлагается в многоцелевом способе антиколлизии датчиков физических величин на ПАВ-линиях задержки (см. [1] CN 103471631, МПК G01D5/48, опубл. 25.12.2013), в котором проблему коллизии решают посредством разделения сигналов датчиков во времени. В соответствии со способом, на поверхности пьезоэлектрической подложки каждого датчика размещают не менее трех рефлекторов, первый рефлектор - xl, второй рефлектор - t2, третий рефлектор - t3 так, что рефлекторы различных датчиков смещены на различное расстояние относительно ВШП. Размещение рефлекторов датчиков происходит в следующих последовательностях. Первая последовательность расположения рефлекторов на пьезоэлектрических подложках датчиков: первый рефлектор и второй рефлектор первого датчика, первый рефлектор и второй рефлектор второго датчика, ..., первый рефлектор и второй рефлектор N-ro датчика, затем третий рефлектор первого датчика, третий рефлектор второго датчика, ..., третий рефлектор N-го датчика. Вторая последовательность расположения рефлекторов на подложках датчиков: первый рефлектор первого датчика, первый рефлектор второго датчика, ..., первый рефлектор N-ro датчика, второй рефлектор и третий рефлектор первого датчика, второй рефлектор и третий рефлектор второго датчика, ..., второй рефлектор и третий рефлектор N-ro датчика.
В данном аналоге решается проблема фазовой неоднозначности и используется ограниченное количество датчиков. Однако данная топология (конструкция) датчиков, где tΐ и t2, по положению которых производят калибровку, расположены на меньшем друг от друга расстоянии, чем совместно к t3, который, в свою очередь, обеспечивает требуемую чувствительность датчика, не обеспечивает стабильность показаний датчика, поскольку разность фаз между калибровочными рефлекторами во всем диапазоне изменения контролируемой физической величины составляет более 2p.
Наиболее близким к заявляемому изобретению является способ устранения коллизии в наборе датчиков и устройство для его реализации (см. [3] патент РФ 2585911, МПК G01D 5/48, опубл. 10.06.2016). В этом способе устранения коллизии в наборе датчиков, согласно которому посредством разделения сигналов откликов по времени формируют набор из N датчиков на ПАВ-линиях задержки, согласно изобретению рефлекторы датчиков располагают на пьезоэлектрических подложках в следующем порядке: первый рефлектор первого датчика, первый рефлектор второго датчика, ..., первый рефлектор N-ro датчика, затем второй рефлектор первого датчика, второй рефлектор второго датчика, ..., второй рефлектор N-ro датчика, третий рефлектор первого датчика, третий рефлектор второго датчика, ..., третий рефлектор N-ro датчика, проводят опрос датчиков, принимают сигналы откликов датчиков и проводят их обработку, при этом последовательно для каждого датчика определяют время задержки сигнала между первым и третьим рефлекторами, определяют разность фаз для виртуального времени задержки, разность фаз для времени задержки между первым и вторым рефлекторами и разность фаз между первым и третьим рефлекторами, по которой определяют значение контролируемой физической величины, полученные значения передают на устройство сбора данных. Устройство для реализации способа, выполненное в виде датчика на ПАВ-линии задержки, содержащей пьезоэлектрическую подложку, на поверхности которой нанесены встречно- штыревой преобразователь и не менее трех рефлекторов, смещенных на различное расстояние относительно встречно-штыревого преобразователя, отличается тем, что первый рефлектор имеет наименьшее время задержки, второй рефлектор располагается в средней части поверхности пьезоэлектрической подложки, третий рефлектор расположен на конце пьезоэлектрической подложки, таким образом, что их взаимное расположение определяет виртуальное время задержки, для которого приращение фазы составляет не более 2p во всем диапазоне изменения контролируемой физической величины.
Недостатком прототипа, а также и остальных аналогов, является необходимость использовать в качестве ПАВ-отражателей отражатель с малым коэффициентом отражения. Это необходимо для того чтобы ПАВ незначительно ослаблялись при прохождении предыдущих отражателей, а также для того, чтобы взаимные переотражения между отражателями были бы много меньше первичных отражения ПАВ от отражателей. Тогда этими переотражениями можно будет пренебречь. В этом случае сигнал, отраженный от датчика получается много меньший, чем падающий на датчик, т.е. процесс отражения происходит с большими потерями (30 и более дБ), что может понижать точность измерения температуры при наличии помех.
Еще одним недостатком данного изобретения является то, что в измеряемые задержки входят задержки сигнала, которые он проходит от считывателя до датчика. Если это происходит в пределах одного датчика, эта задержка взаимно вычитается при определении задержек ПАВ между отражателями. Но если сравниваются задержки в разных датчиках, для которых расстояние между датчиком и считывателем разные, то это может привести к значительным ошибкам. Так, например, при разности расстояний в 3 м между считывателем и датчиками задержка сигнала составит 10 нс, что сравнимо с изменением задержки из-за разных температур на этих датчиках, а значит не учет этого расстояния может сказаться на точность измерения температуры.
Сущность изобретения
Задачей изобретения является создание датчика, лишенного недостатков аналогов.
Техническим результатом является уменьшение потерь при отражении ПАВ от датчика, повышение точности определения температуры, а также устранение влияния расстояния между датчиком и считывателем на точность измерения температуры.
Поставленная задача решается, а технический результат достигается за счет способа беспроводного мониторинга температуры на основе пассивных линий задержки (ЛЗ) на поверхностных акустических волнах (ПАВ) с функцией антиколлизии, включающего формирование набора из п датчиков, где п - число датчиков, на ПАВ-линиях задержки посредством частотного разделения сигналов, проведение опроса датчиков, принятие сигналов откликов датчиков и проведение их обработки, при этом последовательно для каждого датчика определяют время задержки сигнала от датчика до опросного устройства, при этом датчики располагают в разных местах объекта мониторинга, по изрезанности амплитудно-частотной характеристики (АЧХ) параметра Sn, антенны считывателя, который измеряют в опросном устройстве, определяют задержку ПАВ между приемо- передающим и отражательным ВШП с учетом времени распространения опросного сигнала от опросного устройства до п- го датчика ( -той пары ЛЗ), как ti,=1/D/ΐ,, тъ=МА/ , где А/и - расстояние между ближайшими большим и малым максимумами АЧХ параметра Sm, а А/г,
- расстояние между большими максимумами АЧХ параметра Sm, для / - той пары ЛЗ, вычисляют задержку между отражательными ВШП пары ЛЗ датчика как DTΪ = т2;— t-ц , затем сравнивают ATt· различных пар ЛЗ между собой и с Ат0 - задержкой полученной для
/ - той пары ЛЗ при известной температуре t°, по разности DTi— Dt0 и известному коэффициенту температурной задержки (ТКЗ) определяют температуру как: t ? = -Ti Dt° +
a·Dt0 t°, где a - ТКЗ.
Также задача решается, а технический результат достигается за счет устройства беспроводного мониторинга температуры на основе пассивных линий задержки (ЛЗ) на поверхностных акустических волнах (ПАВ) с функцией антиколлизии, содержащего опросное устройство с приемо-передающей антенной и вычислительным устройством, а также набор датчиков из линий задержки на ПАВ, при этом каждый датчик содержит пару ЛЗ на ПАВ, а каждая ЛЗ на ПАВ в паре, являющаяся каналом, состоит из герметичного корпуса, содержащего пьезоэлектрический звукопровод на поверхности которого расположены приемо-передающий и отражательный встречно-штыревой преобразователи (ВШП), на торцах пьезоэлектрического звукопровода нанесены акустопоглотители, к приемо-передающему ВШП подсоединена, через выводы в корпусе, приемо-передающая антенна, причем приемо-передающий и отражательный ВШП в каждой паре ЛЗ одинаковые секционированные однонаправленные ВШП с одним и тем же числом однонаправленных секций, но с разным периодом их расположения в паре, минимальное число секций в
4 · 2
каждом из этих ВШП равно Q =—— , где ф - квадрат коэффициента электромеханической
К Ф
связи для ПАВ, при этом расстояние между приемо-передающим и отражательным ВШП в первой ЛЗ пары как минимум в 2 раза меньше, чем во второй ЛЗ пары, при этом расстояние между секциями приемо-передающего ВШП равно Nl, а отражательного ВШП равно 2l, также разные пары ЛЗ имеют разные центральные частоты, но расстояние между ВШП каждой пары ЛЗ равны расстояниям между ВШП в первой паре ЛЗ.
Краткое описание чертежей
На Фиг. 1 показана конструкция датчика температуры.
На Фиг. 2 подробно показан приемо-передающий ВШП изображенный на Фиг. 1.
На Фиг. 3 подробно показан отражательный ВШП изображенный на Фиг. 1. На Фиг. 4 показаны пары линии задержки (ЛЗ) на ПАВ (датчики с функцией антиколлизии).
На Фиг. 5 показана частотная характеристика параметра Sl li, для i - того датчика.
На игурах обозначены следующие позиции:
1 - пьезоэлектрический звукопровод, 2 - приемо-передающий ВШП, 3 - отражательный ВШП, 4— акустопоглотитель, 5 - корпус, 6 - вывод в корпусе, 7— приемо- передающая антенна, 8 - опросное устройство. 9 - приемо-передающая антенна опросного устройства, 10 - считывающий импульс, 11 - импульс, отраженный от ЛЗ, 12 - вычислительное устройство, 13 - частотная характеристика параметра S11 для датчика, 14 - частотная характеристика параметра S11 для одной ЛЗ из пары, в которой расстояние между приемо-передающим и отражательным ВШП наибольшее, 15 - большой максимум, 16- малый максимум.
Осуществление изобретения
На фиг. 1 показана конструкция устройства. Устройство содержит набор датчиков (п датчиков) из линий задержки на ПАВ. Каждый датчик содержит пару ЛЗ на ПАВ, а каждая ЛЗ на ПАВ в паре, являющаяся каналом, состоит из пьезоэлектрического звукопровода 1 , на полированной поверхности которого расположены приемо-передающий ВШП 2, отражательный ВШП 3. На торцах звукопровода 1 нанесены акустопоглотители 4. Звукопровод 1 вместе с акустопоглотителями 4 и ВШП 2, 3 помещены в герметичный корпус 5. К приемо-передающему ВШП 2 подсоединена через выводы в корпусе 6 приемо- передающая антенна 7. Опросное устройство 8 посылает через приемо-передающую антенну 9 считывающий импульс 10. Отраженный от ЛЗ импульс 11 попадает снова в опросное устройство 8 через антенну 9, а затем в вычислительное устройство 12.
На фиг. 2 показан приемо-передающий ВШП 2 (см.фиг.1) подробно. Он состоит из Q однонаправленных секций, расстояние между которыми равно Nl. Такой ВШП преимущественно излучает (принимает) ПАВ только вправо. Это показано стрелкой, а зачеркнутая стрелка означает направление, куда этот ВШП преимущественно не излучает (не принимает) ПАВ.
На фиг. 3 показан отражательный ВШП 3 (см.фиг.1) подробно. Он состоит из однонаправленных секций, расстояние между которыми равно 2l (М=2). Такой ВШП преимущественно излучает (принимает) ПАВ только влево. Это показано стрелкой, а зачеркнутая стрелка означает направление, куда этот ВШП преимущественно не излучает (не принимает) ПАВ. При этом следует отметить, что приемо-передающий и отражательный ВШП в каждой паре ЛЗ одинаковые секционированные однонаправленные ВШП с одним и тем же числом однонаправленных секций, но с разным периодом их расположения в паре, т.е. расстояние между ними в первой ЛЗ пары как минимум в 2 раза меньше, чем во второй ЛЗ пары.
На фиг. 4 показаны пары ЛЗ на ПАВ пронумерованные от 1 до i (датчики с функцией антиколлизии пронумерованные от 1 до п), для измерения температуры в разных частях исследуемого объекта. Разные пары ЛЗ имеют разные центральные частоты от fo\ до fn, но расстояние между ВШП каждой пары ЛЗ равны расстоянием между ВШП в первой паре.
На фиг. 5 показана частотная характеристика параметра Sn, для i-ro датчика, где i - это 1,2,3 ... п датчики, 13 - частотная характеристика параметра S 11 для датчика, в котором расстояние между приемо-передающим и отражательным ВШП в первой ЛЗ пары (1280 lo, lo =УПАВ//О~ длина ПАВ на центральной частоте ВШП i - того датчика) в 4 раза больше чем это расстояние (320lo) во второй ЛЗ пары, D/i - расстояние между большим и малым соседними максимумами, Afi - расстояние между ближайшими большими максимумами. 14 - частотная характеристика параметра Sn для одной ЛЗ из пары, в которой расстояние между приемо-передающим и отражательным ВШП наибольшее.
В данном описании описаны способ и устройство для беспроводного мониторинга температуры на основе пассивных линий задержки на поверхностных акустических волнах с функцией антиколлизии, согласно которым посредством разделения сигналов формируют набор из п датчиков на ПАВ-линиях задержки, проводят опрос датчиков, принимают сигналы откликов датчиков и проводят их обработку, при этом последовательно для каждого датчика определяют время задержки сигнала от датчика до опросного устройства. Каждая линия задержки содержит приемо-передающий ВШП, соединенный с антенной, и отражательные ВШП. Каждый датчик содержит пару линий задержки (ЛЗ) на ПАВ, причем в каждой паре ЛЗ приемо-передающие ВШП одинаковые и отражательные ВШП одинаковые, но расстояние между ними в первой ЛЗ пары как минимум в 2 раза меньше, чем во второй ЛЗ пары. В качестве приемо-передающего ВШП и отражательного ВШП каждой пары ЛЗ используется секционированные однонаправленные ВШП с одним и тем же числом однонаправленных секций Q, но с разным периодом их расположения.
Минимальное число секций в каждом из этих ВШП равно , где к ф - квадрат
Figure imgf000008_0001
коэффициента электромеханической связи для ПАВ. Периоды секций в каждой паре секционированных ВШП в разных парах ЛЗ отличаются друг от друга и вычисляются из соотношения A,/A,+i=(l+l/iV) где A,· - длина ПАВ на центральной частоте fii г- той пары ЛЗ, lί+i - период секций в секционированных ВШП последующей пары ЛЗ, ДА,- - расстояние между секциями приемо-передающего секционированного ВШП, Mlί - расстояние между секциями отражательного передающего ВШП -той пары ЛЗ, N>M, foi = fx л -
Figure imgf000009_0001
- , где /о
NQ
и f\ - центральная частота и начальная разрешенного диапазона частот соответственно,
N = » · /o D/ - полоса частот разрешенного диапазона частот, /=1,2,...и, п число
Q Af
датчиков. Датчики располагают в разных местах объекта мониторинга, по изрезанности амплитудно-частотной характеристики (АЧХ) параметра Sm антенны считывателя, который измеряют в опросном устройстве, определяют задержку ПАВ между приемо- передающим и отражательным ВШП с учетом времени распространения опросного сигнала от опросного устройства до п- го датчика (/-той пары ЛЗ), как п,=1/А/1 , т2 = I/D/г,, где D/ΐ, - расстояние между ближайшими большим и малым максимумами АЧХ параметра Sm, а /г/ - расстояние между большими максимумами АЧХ параметра Sm, для / - той пары ЛЗ. Вычисляют задержку между отражательными ВШП пары ЛЗ датчика как Дг4 = т2*— ТЦ , затем сравнивают Дт/ различных пар ЛЗ между собой и с Дт0 - задержкой полученной для / - той пары ЛЗ при известной температуре t°, по разности Dt — Дт0 и известному коэффициенту температурной задержки (ТКЗ) определяют температуру как: t ® =
Figure imgf000009_0002
t°, где a - ТКЗ.
Способ и устройство для мониторинга температуры на основе пассивных линий задержки на поверхностных акустических волнах работают следующим образом.
Считыватель 8 через антенну 9 посылает на п датчиков последовательно линейно частотно модулированные (ЛЧМ) радиоимпульсы 10 с центральной частотой / полосой пропускания равной полосе пропускания приемо-передающих ВШП П 2 (фиг.1) i-ro датчика и соответственно последовательно принимает отраженные от датчиков сигналы 11. В этом случае эффективно отражать считывающий импульс будет только i-тая пара ЛЗ, ВШП 3 которых имеют ту же центральную частоту foi и полосу пропускания равную полосе частот опрашивающего ЛЧМ радиоимпульса 10. Опросный сигнал 10 принимается антеннами 7 и преобразуется в ПАВ приемо-передающими ВШП 2, подсоединенными к антенне через выводы 6 в герметичном корпусе 5 и расположенными на пьезоэлектрическом звукопроводе 1. Поскольку число однонаправленных секций выбрано
1 4-я·
равным Q = ч , то он излучает ПАВ преимущественно только в сторону отражательного
ВШП 3 (см. [4] патент РФ Jfe 2195069, МПК Н03Н 9/145, опубл. 20.12.2002), число секций в котором также равно Q, а расстояние между секциями равно 2l (М=2), чтобы размер этого ВШП был минимальным (в этом случае обеспечивается минимальная длина звукопровода). Тогда коэффициент отражения ПАВ от этого ВШП близок к «1», что обеспечивает минимальные потери отраженного от датчика опросного импульса. ПАВ, отраженные от отражательного ВШП 3 снова попадают на приемо-передающий ВШП 2, где преобразуются в электромагнитный сигнал, который через антенну 7 посылается на антенну считывателя 9. Чтобы ПАВ отраженные от краев пьезоэлектрического звукопровода не влияли на результаты изменений на его края нанесены акустические поглотители 4. Отраженный от датчика опросный импульс 11 приводит к изрезанности на частотной характеристике параметра Sn радиоканала считывателя 9 «антенна считывателя - датчик». Так как расстояние между ВШП в каждой ЛЗ пары отличаются в / раз (по меньшей мере в 2 раза), то это приводит к появлению на частотной характеристике параметра Sn больших и малых максимумов (фиг.5, кривая 13). Далее информация о частотной характеристике параметра Sn поступает в вычислительное устройство 12, где определяют задержку ПАВ между приемо-передающим и отражательным ВШП с учетом времени распространения опросного сигнала от опросного устройства до n-го датчика (i-той пары ЛЗ), то есть ПАВ xli=l/Afli, c2ΐ=1/Dί2ΐ, а также Dtί=t1ΐ-t2ϊ. На фиг.5 показана эта частотная характеристика параметра Sn (кривая 13). Задержки х, определяются на основе дифференциального метода измерения температуры за счет применения пары ЛЗ. Видно, что кривая 13 содержит большие 15 и малые максимумы 16. Тогда расстояние между соседними максимумами 15 и 16 определяется исключительно расстоянием между ВШП в ЛЗ пары, когда это расстояние наибольшее:
D/i=1/ ti,
где ti - задержка ПАВ между ВШП для ЛЗ пары с большим расстоянием. А расстояние между большими максимумами (16) определяется исключительно задержкой ПАВ между ВШП для ЛЗ с меньшим расстоянием между ВШП:
D/2=1/ t2,
где гг - задержка ПАВ между ВШП для ЛЗ пары с меньшим расстоянием.
Кривая 14 (фиг.5) показьюает частотную характеристику параметра Sn в том случае, если расстояние между ВШП в паре ЛЗ одинаковые или если подключена только одна ЛЗ с большим расстоянием между ВШП. Видно, что расстояния между ближайшими максимумами на этой кривой полностью совпадают с расстояниями между максимумами
15 и 16 на кривой 13.
Измеряя эти расстояния, вычисляют задержку между отражательными ВШП пары ЛЗ датчика как Dt; = т2*— ТЦ. Задержки щ и х2, содержат задержки опросного сигнала (t), которые он проходит от считывателя до датчика, которое одинаково для каждой ЛЗ пары, т.е.
Figure imgf000011_0002
и t = t2'ί + xoi, где
Figure imgf000011_0001
- задержки ПАВ между ВШП в ЛЗ пары. Тогда
Figure imgf000011_0003
- t, так как t взаимно вычитаются и Dt f не зависит от расстояния между датчиком и считывателем. Затем сравнивают Dtέ различных пар ЛЗ между собой и с Dt0 - задержкой полученной для i - той пары ЛЗ при известной температуре if, и по разности DTΪ— Dt0 и известному коэффициенту температурной задержки (ТКЗ) определяют температуру как:
Figure imgf000011_0004
где а - температурный коэффициент задержки (ТКЗ).
Меньшее расстояние между центрами ВШП в первой ЛЗ каждой пары выбирается равным не менее 2-х длин приемо-передающего ВШП 2, но не менее 2-х мм. В этом случае на частотной характеристике параметра Sn всегда будет несколько больших максимумов 15, при этом электромагнитный опросный радиосигнал, отраженный помимо датчиков от удаленных металлических поверхностей, расстояние до которых обеспечивает задержку близкую к задержке от отражательных ВШП будет значительно ослаблен, поскольку это расстояние составляет как минимум 300 м. Вместе с тем коэффициент отражения ПАВ от отражательных ВШП пары ЛЗ будет близок к «1 », что обеспечит достаточное отношение сигнал/помеха для уверенного приема и обработки сигналов-откликов от датчиков.
Так как центральные частот ЛЗ датчиков определяются по формуле foi = /, н -— , а полоса пропускания приемо-передающего ВШП равна— у— , то АЧХ
Figure imgf000011_0005
параметра 5Х1 соседних каналов не перекрываются и соседние каналы не влияют на АЧХ опрашиваемого в данный момент датчика (канала). Это позволяет последовательно опрашивать все датчики устройства мониторинга за счет частотного разделения радиоканалов датчиков, что обеспечивает решение задачи коллизий при их опросе одним считывающим устройством.
Пример выполнения.
В качестве считывателя использовался ИККП «Обзор- 103», который формирует ЛЧМ радиоимпульсы с необходимой полосой пропускания, причем шаг перестройки частоты может быть всего несколько герц, что обеспечивает необходимую точность измерения температуры. Выбран диапазон частот 820-990 МГц (/6=905 МГц, Af =
170МГц). В качестве вычислительного устройства использовался ПК“Acer E1-571-G”. ЛЗ были выполнены на подложках ниобата лития YX/1280 - среза (^=0.058). Тогда приемо- передающие и отражательные ВШП каждой ЛЗ содержали 13 однонаправленных секций (Q=l3), число каналов было выбрано равным п=9. Тогда расстояние между секциями
2·« · /0 18 -905
N = =7,31 Так как N должно быть целым, то выбираем N=8.
Q V 13 -170
Отражательный ВШП выбран с расстоянием между секциями М=2 и Q=l3. Минимальное расстояние между ВШП в первой ЛЗ пары выбрано равным 3202,, а расстояние между ВШП во второй ЛЗ пары было равно 12802, (/=4), 2,=УПАВ/ О,. Центральные частоты соответственно равны: fo i=820 МГц+17МГц=837МГц, /о2=820МГц+2- 17МГц=854 МГц, /оз=820МГц+3- 17МГц=871 МГц, /04=820МГц+4 17МГц=884 МГц,
7О5=820МГ Ц+5 · 17МГ ц=905 МГц, _/ б=820МГц+6 17МГц=922 МГц,
/07=820МГЦ+7 17МГЦ=939 МГЦ, /08=820МГЦ+8 17МГЦ=956 МГЦ,
УО9=820МГ Ц+9 · 17МГ ц=973 МГц. Вносимые потери в каждой ЛЗ на ПАВ не превышали 10 дБ. Коэффициент отражения ПАВ от ВШП был не менее 0,7. Полоса пропускания опросного импульса была равна 17 МГц. В этой полосе шаг изменения частоты был равен 17 МГц/4096=4 кГц. Расстояние между антеннами датчика и антенной считывателя было равно 1,7 м. Результаты измерения параметра 5ц обрабатывались с помощью программного обеспечения“MathCad-14”. При 20°С было установлено, что задержка между ВШП At1 = t1— t2 = 1383 нс. При нагревании эта задержка увеличилась до 1390 нс. Тогда искомая температура 1390 1380 + 20° = 83,3°, a=80T06 r
Figure imgf000012_0001
1380-80 10-6
1/град. Аналогично измерялись температуры на других датчиках, для чего в ЛЧМ импульсах менялась центральная частота при неизменной полосе пропускания.

Claims

ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
1. Способ беспроводного мониторинга температуры на основе пассивных линий задержки (ЛЗ) на поверхностных акустических волнах (ПАВ) с функцией антиколлизии, включающий формирование набора из п датчиков, где п - число датчиков, на ПАВ-линиях задержки посредством частотного разделения сигналов, проведение опроса датчиков, принятие сигналов откликов датчиков и проведение их обработки, при этом последовательно для каждого датчика определяют время задержки сигнала от датчика до опросного устройства, отличающийся тем, что датчики располагают в разных местах объекта мониторинга, по изрезанности амплитудно-частотной характеристики (АЧХ) параметра Sm антенны считывателя, который измеряют в опросном устройстве, определяют задержку ПАВ между приемо-передающим и отражательным ВШП с учетом времени распространения опросного сигнала от опросного устройства до «-го датчика ( /- той пары ЛЗ), как tp=1/D/p, T2,=1/D^,, где D/ϊ, - расстояние между ближайшими большим и малым максимумами АЧХ параметра Sm, а D/ΐ, - расстояние между большими максимумами АЧХ параметра Sm, для i - той пары ЛЗ, вычисляют задержку между отражательными ВШП пары ЛЗ датчика как Дт* = t2;— t , затем сравнивают Дт; различных пар ЛЗ между собой и с Дт0 - задержкой полученной для i - той пары ЛЗ при известной температуре t°, по разности Дт*— Dt0 и известному коэффициенту температурной задержки (ТКЗ) определяют температуру как: + t°, где a - ТКЗ.
Figure imgf000013_0001
2. Устройство беспроводного мониторинга температуры на основе пассивных линий задержки (ЛЗ) на поверхностных акустических волнах (ПАВ) с функцией антиколлизии, содержащее опросное устройство с приемо-передающей антенной и вычислительным устройством, а также набор датчиков из линий задержки на ПАВ, отличающееся тем, что каждый датчик содержит пару ЛЗ на ПАВ, а каждая ЛЗ на ПАВ в паре, являющаяся каналом, состоит из герметичного корпуса, содержащего пьезоэлектрический звукопровод на поверхности которого расположены приемо- передающий и отражательный встречно-штыревой преобразователи (ВШП), на торцах пьезоэлектрического звукопровода нанесены акустопоглотители, к приемо-передающему ВШП подсоединена, через выводы в корпусе, приемо-передающая антенна, причем приемо-передающий и отражательный ВШП в каждой паре ЛЗ одинаковые секционированные однонаправленные ВШП с одним и тем же числом однонаправленных секций, но с разным периодом их расположения в паре, минимальное число секций в
4- тг
каждом из этих ВШП равно Q =— к— , где Кф - квадрат коэффициента электромеханической
Кэ1ф связи для ПАВ, при этом расстояние между приемо-передающим и отражательным ВШП в первой ЛЗ пары как минимум в 2 раза меньше, чем во второй ЛЗ пары, при этом расстояние между секциями приемо-передающего ВШП равно Nl, а отражательного ВШП равно 2 l, также разные пары ЛЗ имеют разные центральные частоты, но расстояние между ВШП каждой пары ЛЗ равны расстояниям между ВШП в первой паре ЛЗ.
PCT/RU2018/000398 2018-06-15 2018-06-15 Мониторинг температуры на основе пассивных линий задержки на поверхностных акустических волнах с функцией антиколлизии WO2019240609A1 (ru)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/RU2018/000398 WO2019240609A1 (ru) 2018-06-15 2018-06-15 Мониторинг температуры на основе пассивных линий задержки на поверхностных акустических волнах с функцией антиколлизии
RU2021105020A RU2756413C1 (ru) 2018-06-15 2018-06-15 Способ и устройство мониторинга температуры на основе пассивных линий задержки на поверхностных акустических волнах с функцией антиколлизии

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/RU2018/000398 WO2019240609A1 (ru) 2018-06-15 2018-06-15 Мониторинг температуры на основе пассивных линий задержки на поверхностных акустических волнах с функцией антиколлизии

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019240609A1 true WO2019240609A1 (ru) 2019-12-19

Family

ID=68841871

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU2018/000398 WO2019240609A1 (ru) 2018-06-15 2018-06-15 Мониторинг температуры на основе пассивных линий задержки на поверхностных акустических волнах с функцией антиколлизии

Country Status (2)

Country Link
RU (1) RU2756413C1 (ru)
WO (1) WO2019240609A1 (ru)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1000789A1 (ru) * 1980-11-06 1983-02-28 Рязанский Радиотехнический Институт Устройство дл дистанционного измерени температуры
US7434989B2 (en) * 2005-09-07 2008-10-14 Applied Sensor Research & Development Corporation SAW temperature sensor and system
US7961105B2 (en) * 2005-08-25 2011-06-14 University Of Central Florida Research Foundation, Inc. Weighted SAW reflector gratings for orthogonal frequency coded SAW tags and sensors
RU2585487C1 (ru) * 2015-01-19 2016-05-27 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие Ордена Трудового Красного Знамени Научно-Исследовательский Институт Радио (Фгуп Ниир) Пассивный датчик температуры на поверхностных акустических волнах
RU2585911C1 (ru) * 2015-03-31 2016-06-10 Открытое акционерное общество "Авангард" Способ устранения коллизии в наборе датчиков и устройство для его реализации

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1000789A1 (ru) * 1980-11-06 1983-02-28 Рязанский Радиотехнический Институт Устройство дл дистанционного измерени температуры
US7961105B2 (en) * 2005-08-25 2011-06-14 University Of Central Florida Research Foundation, Inc. Weighted SAW reflector gratings for orthogonal frequency coded SAW tags and sensors
US7434989B2 (en) * 2005-09-07 2008-10-14 Applied Sensor Research & Development Corporation SAW temperature sensor and system
RU2585487C1 (ru) * 2015-01-19 2016-05-27 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие Ордена Трудового Красного Знамени Научно-Исследовательский Институт Радио (Фгуп Ниир) Пассивный датчик температуры на поверхностных акустических волнах
RU2585911C1 (ru) * 2015-03-31 2016-06-10 Открытое акционерное общество "Авангард" Способ устранения коллизии в наборе датчиков и устройство для его реализации

Also Published As

Publication number Publication date
RU2756413C1 (ru) 2021-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7434989B2 (en) SAW temperature sensor and system
RU94038221A (ru) Опрашиваемый по радио пассивный датчик на поверхностных акустических волнах
Reindl et al. Wireless measurement of temperature using surface acoustic waves sensors
KR940704031A (ko) 수동 표면파 센서 장치(passive surface wave sensor which can be wirelessly interrogated)
CN1181814A (zh) 无线问答表面波技术传感器
CN107576345A (zh) 多节点谐振型声表面波传感器的无线测量系统及测量方法
EP1489482A2 (en) A touch position coordinate detecting system
US9116034B2 (en) Wireless measurement device using surface acoustic wave (SAW)-based micro sensor and method of using the saw-based micro sensor
CN105117764A (zh) 一种高性能防碰撞声表面波延迟线型无线传感器系统
EP2871474A1 (en) SAW sensor based on Fabry-Perot type resonator
US7100451B2 (en) Surface acoustic wave sensing system and method for measuring pressure and temperature
Elmer et al. High resolution ultrasonic distance measurement in air using coded signals
RU2585487C1 (ru) Пассивный датчик температуры на поверхностных акустических волнах
CN105180982A (zh) 具有防碰撞功能的声表面波延迟反射型无线传感器系统
Schimetta et al. Wireless pressure and temperature measurement using a SAW hybrid sensor
WO2019240609A1 (ru) Мониторинг температуры на основе пассивных линий задержки на поверхностных акустических волнах с функцией антиколлизии
RU2486665C1 (ru) Радиочастотное устройство идентификации на поверхностных акустических волнах
US5140859A (en) Long range ultrasonic distance measuring system
CN105136334A (zh) 一种具有防碰撞功能的声表面波延迟线型无线传感器系统
CN211783950U (zh) 时分频分结合编码的声表面波温度传感器
RU2758341C1 (ru) Пассивный беспроводный датчик магнитного поля на поверхностных акустических волнах
US3691513A (en) Velocity measuring system
RU2494358C1 (ru) Чувствительный элемент для измерения температуры
RU2665496C1 (ru) Пассивный антиколлизионный датчик температуры на поверхностных акустических волнах с частотно-временным кодовым отличием
JP2957712B2 (ja) 超音波測距装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18922603

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

32PN Ep: public notification in the ep bulletin as address of the adressee cannot be established

Free format text: NOTING OF LOSS OF RIGHTS PURSUANT TO RULE 112(1) EPC (EPO FORM 1205A DATED 04/05/2021)

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18922603

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1