JPH0712624A - 大型治工具の水準面監視装置 - Google Patents
大型治工具の水準面監視装置Info
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- JPH0712624A JPH0712624A JP15892093A JP15892093A JPH0712624A JP H0712624 A JPH0712624 A JP H0712624A JP 15892093 A JP15892093 A JP 15892093A JP 15892093 A JP15892093 A JP 15892093A JP H0712624 A JPH0712624 A JP H0712624A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement sensor
- large jig
- tool
- float
- jig
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C5/00—Measuring height; Measuring distances transverse to line of sight; Levelling between separated points; Surveyors' levels
- G01C5/04—Hydrostatic levelling, i.e. by flexibly interconnected liquid containers at separated points
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Level Indicators Using A Float (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大型治工具の変形を高い精度、かつリアルタ
イムで監視することができる大型治工具の水準面監視装
置を提供する。 【構成】 大型治工具１の各脚部１ａには、光センサな
どの変位センサ３が取付けられており、各変位センサ３
の測定領域に対応して連通管４の鉛直管５が設けられ
る。各変位センサ３から出力される信号は、信号中継器
２０に集められ、さらにデータ処理装置２１に入力され
る。
イムで監視することができる大型治工具の水準面監視装
置を提供する。 【構成】 大型治工具１の各脚部１ａには、光センサな
どの変位センサ３が取付けられており、各変位センサ３
の測定領域に対応して連通管４の鉛直管５が設けられ
る。各変位センサ３から出力される信号は、信号中継器
２０に集められ、さらにデータ処理装置２１に入力され
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、大型治工具が設置され
た地盤に経時変化によって不同沈下が生じて、大型治工
具に公差範囲を超える変形が生じたか否かを監視するた
めの大型治工具の水準面監視装置に関する。
た地盤に経時変化によって不同沈下が生じて、大型治工
具に公差範囲を超える変形が生じたか否かを監視するた
めの大型治工具の水準面監視装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、航空機や船舶などの大型構造物を
組立てる際に、各部品を高精度で位置決めするための大
型治工具が用いられている。このような大型治工具は、
設置面積が大きくなるため、地盤変動の影響を受けやす
く、特に地盤の不同沈下によって大型治工具の脚部が部
分的に沈下して、大型治工具が時間経過とともに変形す
る傾向にある。
組立てる際に、各部品を高精度で位置決めするための大
型治工具が用いられている。このような大型治工具は、
設置面積が大きくなるため、地盤変動の影響を受けやす
く、特に地盤の不同沈下によって大型治工具の脚部が部
分的に沈下して、大型治工具が時間経過とともに変形す
る傾向にある。
【０００３】そのため、たとえば年１回毎の定期検査を
行って、トランシットなどの測量機器を用いて大型治工
具の変形具合を測定しながら、各脚部に設けられたスク
リュージャッキを調整することによって、地盤沈下によ
る変形を修正している。
行って、トランシットなどの測量機器を用いて大型治工
具の変形具合を測定しながら、各脚部に設けられたスク
リュージャッキを調整することによって、地盤沈下によ
る変形を修正している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、部品の
組立精度が高くなると、定期検査による修正だけでは大
型治工具の精度を維持することが難しいという課題があ
る。そのため、大型構造物の組立前、またはリアルタイ
ムで大型治工具の変形を監視したいという要求がある。
組立精度が高くなると、定期検査による修正だけでは大
型治工具の精度を維持することが難しいという課題があ
る。そのため、大型構造物の組立前、またはリアルタイ
ムで大型治工具の変形を監視したいという要求がある。
【０００５】また、従来の測量機器を用いて変形を監視
する場合、多数の人手と時間を必要とし、しかも測定精
度および再現性があまり良好でないという課題がある。
する場合、多数の人手と時間を必要とし、しかも測定精
度および再現性があまり良好でないという課題がある。
【０００６】本発明の目的は、前述した課題を解決する
ため、大型治工具の変形を高い精度、かつリアルタイム
で監視することができる大型治工具の水準面監視装置を
提供することである。
ため、大型治工具の変形を高い精度、かつリアルタイム
で監視することができる大型治工具の水準面監視装置を
提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、大型治工具の
各支持部に設置された複数の変位センサと、各変位セン
サの測定領域に対応した複数の開口部を有し、内部に流
体を保持する連通管と、各変位センサから出力される信
号を処理するための信号処理装置とを具備することを特
徴とする大型治工具の水準面監視装置である。
各支持部に設置された複数の変位センサと、各変位セン
サの測定領域に対応した複数の開口部を有し、内部に流
体を保持する連通管と、各変位センサから出力される信
号を処理するための信号処理装置とを具備することを特
徴とする大型治工具の水準面監視装置である。
【０００８】また本発明は、前記連通管の開口部におい
て、流体の液面高さに応じて上下移動するフロートが設
けられることを特徴とする。
て、流体の液面高さに応じて上下移動するフロートが設
けられることを特徴とする。
【０００９】さらにまた本発明は、前記変位センサが光
学的センサであって、前記フロートの上面に光反射性部
材が設けられることを特徴とする。
学的センサであって、前記フロートの上面に光反射性部
材が設けられることを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明に従えば、大型治工具の各支持部に複数
の変位センサが設置され、各変位センサに対応した複数
の開口部を有する連通管が設けられ、この連通管の内部
には、たとえば水や油などの流体が保持されている。し
たがって、連通管の各開口部から臨む流体の液面高さが
全て同一になって基準面が得られ、この液面高さに対す
る距離変動を各変位センサが測定することによって、当
該基準面に対する大型治工具の局所変形をリアルタイム
で計測することができる。また、各変位センサから出力
される信号に対して信号処理装置が記憶や各種演算など
の処理を行うことによって、多量のデータの統計処理や
数値分析を高速に行うことが可能になる。
の変位センサが設置され、各変位センサに対応した複数
の開口部を有する連通管が設けられ、この連通管の内部
には、たとえば水や油などの流体が保持されている。し
たがって、連通管の各開口部から臨む流体の液面高さが
全て同一になって基準面が得られ、この液面高さに対す
る距離変動を各変位センサが測定することによって、当
該基準面に対する大型治工具の局所変形をリアルタイム
で計測することができる。また、各変位センサから出力
される信号に対して信号処理装置が記憶や各種演算など
の処理を行うことによって、多量のデータの統計処理や
数値分析を高速に行うことが可能になる。
【００１１】さらに、連通管の開口部において、流体の
液面高さに応じて上下移動するフロートを設けることに
よって、測定誤差となる流体の流れや振動がフロートの
慣性によって平均化されるとともに、液面を直接測定す
る場合に比べて検出能力が向上する。
液面高さに応じて上下移動するフロートを設けることに
よって、測定誤差となる流体の流れや振動がフロートの
慣性によって平均化されるとともに、液面を直接測定す
る場合に比べて検出能力が向上する。
【００１２】また、変位センサとして光学的センサを用
いることにより、測定対象物への影響が少ない非接触方
式で測定することが可能になり、フロートの上面に光反
射性部材を設けることによって、変位センサでの受光量
が増加して、測定分解能やＳ／Ｎ比を向上させることが
できる。
いることにより、測定対象物への影響が少ない非接触方
式で測定することが可能になり、フロートの上面に光反
射性部材を設けることによって、変位センサでの受光量
が増加して、測定分解能やＳ／Ｎ比を向上させることが
できる。
【００１３】
【実施例】図１は、本発明の一実施例である大型治工具
の水準面監視装置の構成を示す斜視図である。大型治工
具１は、多数の軸状部材が格子状に枠組みされ、たとえ
ば長さ１２ｍ、高さ７ｍという大きさになり、複数の脚
部１ａを介して平坦な床面上に設置されている。なお、
理解容易のため、一部省略して図示している。
の水準面監視装置の構成を示す斜視図である。大型治工
具１は、多数の軸状部材が格子状に枠組みされ、たとえ
ば長さ１２ｍ、高さ７ｍという大きさになり、複数の脚
部１ａを介して平坦な床面上に設置されている。なお、
理解容易のため、一部省略して図示している。
【００１４】各脚部１ａには、光センサなどの変位セン
サ３が固定されており、各変位センサ３の測定領域に対
応して、連通管４の鉛直管５が設けられる。連通管４の
内部には、水や油などの流体が注入されており、各鉛直
管５の上部付近に液面が位置するように全体の流体量が
調整される。なお、流体の蒸発や漏出を補うため、連通
管４の一部に一定量の流体を貯留するリザーブタンク６
が接続されている。
サ３が固定されており、各変位センサ３の測定領域に対
応して、連通管４の鉛直管５が設けられる。連通管４の
内部には、水や油などの流体が注入されており、各鉛直
管５の上部付近に液面が位置するように全体の流体量が
調整される。なお、流体の蒸発や漏出を補うため、連通
管４の一部に一定量の流体を貯留するリザーブタンク６
が接続されている。
【００１５】各変位センサ３から出力される信号は、大
型治工具１毎に信号中継器２０に集められ、さらにコン
ピュータ、キーボードおよびモニタ装置などから成るデ
ータ処理装置２１に入力される。
型治工具１毎に信号中継器２０に集められ、さらにコン
ピュータ、キーボードおよびモニタ装置などから成るデ
ータ処理装置２１に入力される。
【００１６】大型治工具１の定期検査や測定校正を行う
場合は、トランシット４０による目視測量を行って、大
型治工具１の基準位置を設定している。
場合は、トランシット４０による目視測量を行って、大
型治工具１の基準位置を設定している。
【００１７】図２は、図１に示した脚部１ａ付近の部分
拡大図である。角柱状の脚部１ａの底板１３とボルト１
１とが互いに螺合しており、さらに六角形状のボルト頭
部１２が床面に接地している円形プレート１０の上に搭
載され、全体としてスクリュージャッキを構成してい
る。脚部１ａを上下動させる場合は、ボルト頭部１２を
スパナなどの工具を用いて回転させる。
拡大図である。角柱状の脚部１ａの底板１３とボルト１
１とが互いに螺合しており、さらに六角形状のボルト頭
部１２が床面に接地している円形プレート１０の上に搭
載され、全体としてスクリュージャッキを構成してい
る。脚部１ａを上下動させる場合は、ボルト頭部１２を
スパナなどの工具を用いて回転させる。
【００１８】この脚部１ａの所定位置に、取付片１４を
介して変位センサ３が取付けられる。一方、床面に連通
管４が配置され、その鉛直管５の開口部５ａが各変位セ
ンサ３の測定領域に対応して設置される。こうして、変
位センサ３は、鉛直管５内の液面高さＡと変位センサ３
の基準高さＢとの間の距離Ｄを測定することができる。
なお、鉛直管５内に流体の液面高さに応じて上下移動す
るフロートを設けることが好ましく、このフロートの存
在によって液面の微少振動が平均化され、しかも変位セ
ンサの検出能力が高まる。
介して変位センサ３が取付けられる。一方、床面に連通
管４が配置され、その鉛直管５の開口部５ａが各変位セ
ンサ３の測定領域に対応して設置される。こうして、変
位センサ３は、鉛直管５内の液面高さＡと変位センサ３
の基準高さＢとの間の距離Ｄを測定することができる。
なお、鉛直管５内に流体の液面高さに応じて上下移動す
るフロートを設けることが好ましく、このフロートの存
在によって液面の微少振動が平均化され、しかも変位セ
ンサの検出能力が高まる。
【００１９】図３は図２の鉛直管５の部分断面図であ
り、図４はその部分斜視図である。鉛直管５の中に保持
されている流体９の液面近傍に、ポリプロピレンなど比
重が１より小さく、かつ揆水性の材質から成るフロート
７が浮かんでおり、姿勢安定のために円柱の下端部が円
錐状に形成された形状を有している。フロート７の上面
には、たとえば白色のアルミナセラミックなどから成る
光反射性板８が固定されている。
り、図４はその部分斜視図である。鉛直管５の中に保持
されている流体９の液面近傍に、ポリプロピレンなど比
重が１より小さく、かつ揆水性の材質から成るフロート
７が浮かんでおり、姿勢安定のために円柱の下端部が円
錐状に形成された形状を有している。フロート７の上面
には、たとえば白色のアルミナセラミックなどから成る
光反射性板８が固定されている。
【００２０】変位センサ３として光センサが用いられる
例を説明すると、半導体レーザなどの光源３１からレン
ズなどの光学系を介して光ビーム３２が、フロート７の
光反射性板８に向かって略垂直に照射される。そして、
光反射性板８での散乱光３３がレンズなどの光学系を介
して、ＰＳＤ（光位置検出素子）やＣＣＤ（電荷結合素
子）などの受光素子３４で受光される。次に、処理回路
３５が受光素子３４で受光したスポット光の重心座標を
演算して、アナログ信号またはデジタル信号として出力
する。ここで、変位センサ３の全体またはフロート７の
少なくとも一方が上下方向に相対的に変位すると、受光
素子３４でのスポット光が移動するため、この移動量を
三角法を用いて換算することによって、図２中の距離Ｄ
を算出することができる。
例を説明すると、半導体レーザなどの光源３１からレン
ズなどの光学系を介して光ビーム３２が、フロート７の
光反射性板８に向かって略垂直に照射される。そして、
光反射性板８での散乱光３３がレンズなどの光学系を介
して、ＰＳＤ（光位置検出素子）やＣＣＤ（電荷結合素
子）などの受光素子３４で受光される。次に、処理回路
３５が受光素子３４で受光したスポット光の重心座標を
演算して、アナログ信号またはデジタル信号として出力
する。ここで、変位センサ３の全体またはフロート７の
少なくとも一方が上下方向に相対的に変位すると、受光
素子３４でのスポット光が移動するため、この移動量を
三角法を用いて換算することによって、図２中の距離Ｄ
を算出することができる。
【００２１】図５は、フロート７の他の例を示す部分断
面図である。図５のフロート７は、図３のものと比べ
て、下端部の円錐部分に円形の鍔７ａが形成されている
点が相違する。この鍔７ａの外径は、鉛直管５の内径よ
り若干小さくなるように設計されており、流体９の液面
が振動したりフロート７と流体９との表面張力によっ
て、フロート７の中心と鉛直管５の中心との位置ずれが
生ずることを防止することができる。
面図である。図５のフロート７は、図３のものと比べ
て、下端部の円錐部分に円形の鍔７ａが形成されている
点が相違する。この鍔７ａの外径は、鉛直管５の内径よ
り若干小さくなるように設計されており、流体９の液面
が振動したりフロート７と流体９との表面張力によっ
て、フロート７の中心と鉛直管５の中心との位置ずれが
生ずることを防止することができる。
【００２２】図６は、本発明に係る大型治工具の水準面
監視装置の動作を説明するための概略図である。先ず、
図６（ａ）において、床面高さＦＬが一様な地盤の上に
大型治工具１を設置した場合、連通管４の液面高さＡか
ら各変位センサまでの距離Ｄが測定され、各変位センサ
毎に図１のデータ処理装置２１に入力され、このときの
値を各変位センサ毎の基準距離として記憶しておく。
監視装置の動作を説明するための概略図である。先ず、
図６（ａ）において、床面高さＦＬが一様な地盤の上に
大型治工具１を設置した場合、連通管４の液面高さＡか
ら各変位センサまでの距離Ｄが測定され、各変位センサ
毎に図１のデータ処理装置２１に入力され、このときの
値を各変位センサ毎の基準距離として記憶しておく。
【００２３】次に、経時変化により地盤が局所的に沈下
した場合、床面高さＦＬが曲面に変化して、大型治工具
１が自重によって変形することになる。床面の上に設置
された連通管４も地盤沈下に応じて変形するが、各開口
部における流体の液面高さＡは常に水準面を保つ。一
方、大型治工具１の脚部に取付けられた変位センサの位
置は、地盤沈下に応じて変化するため、各変位センサは
図６（ａ）の状態で記憶された基準距離とは異なる測定
値Ｄ１〜Ｄ５を出力する。したがって、各測定値Ｄ１〜
Ｄ５と各変位センサ毎の基準距離とを比較してそれぞれ
差を演算することによって、各脚部での上下変位量を計
測することができる。計測された上下変位量のうち最大
変位と最小変位の差が、閾値としてたとえば２５０μｍ
を超えた場合に、音やランプ表示で警報を出すことによ
って、作業者に異常を告知することも可能である。
した場合、床面高さＦＬが曲面に変化して、大型治工具
１が自重によって変形することになる。床面の上に設置
された連通管４も地盤沈下に応じて変形するが、各開口
部における流体の液面高さＡは常に水準面を保つ。一
方、大型治工具１の脚部に取付けられた変位センサの位
置は、地盤沈下に応じて変化するため、各変位センサは
図６（ａ）の状態で記憶された基準距離とは異なる測定
値Ｄ１〜Ｄ５を出力する。したがって、各測定値Ｄ１〜
Ｄ５と各変位センサ毎の基準距離とを比較してそれぞれ
差を演算することによって、各脚部での上下変位量を計
測することができる。計測された上下変位量のうち最大
変位と最小変位の差が、閾値としてたとえば２５０μｍ
を超えた場合に、音やランプ表示で警報を出すことによ
って、作業者に異常を告知することも可能である。
【００２４】なお、各変位センサ３の出力がデータ処理
装置２１にデジタル値として入力される場合、一定周期
毎にサンプリングされて取込まれる。したがって、連通
管４内の液面振動の影響を避けるため、たとえば２０個
のサンプリング値を移動平均することが好ましい。ま
た、計測されたデータの経時変化や分布を統計的に分析
することによって、地盤沈下の傾向を推定することも可
能である。
装置２１にデジタル値として入力される場合、一定周期
毎にサンプリングされて取込まれる。したがって、連通
管４内の液面振動の影響を避けるため、たとえば２０個
のサンプリング値を移動平均することが好ましい。ま
た、計測されたデータの経時変化や分布を統計的に分析
することによって、地盤沈下の傾向を推定することも可
能である。
【００２５】また、環境の温度変動によって脚部が熱膨
張することが想定されるが、大型治工具１の近傍に温度
センサを設けるとともに、大型治工具１の材質に応じた
熱膨張係数に基づいて熱膨張量を算出して、各変位セン
サの出力を補正することによって、高精度の計測を実現
することができる。
張することが想定されるが、大型治工具１の近傍に温度
センサを設けるとともに、大型治工具１の材質に応じた
熱膨張係数に基づいて熱膨張量を算出して、各変位セン
サの出力を補正することによって、高精度の計測を実現
することができる。
【００２６】こうして、各脚部における上下変位量が計
測された後、図２に示すスクリュージャッキを調整し
て、各上下変位量が全て一定の値、たとえば零に設定す
ることによって、床面高さＦＬは曲面状に変化した状態
であっても、大型治工具１の脚部の水準面を全て一定に
保つことができる。
測された後、図２に示すスクリュージャッキを調整し
て、各上下変位量が全て一定の値、たとえば零に設定す
ることによって、床面高さＦＬは曲面状に変化した状態
であっても、大型治工具１の脚部の水準面を全て一定に
保つことができる。
【００２７】なお、以上の実施例において変位センサが
光センサである例を説明したが、液面またはフロートか
らの距離を測定できるものであれば足り、たとえば静電
容量や磁界などの変化を用いた変位センサでも構わな
い。
光センサである例を説明したが、液面またはフロートか
らの距離を測定できるものであれば足り、たとえば静電
容量や磁界などの変化を用いた変位センサでも構わな
い。
【００２８】
【発明の効果】以上詳説したように本発明によれば、基
準面に対する大型治工具の変形をリアルタイムで、かつ
高精度で監視することができるため、大型治工具の精度
を常に維持することができる。また、計測された上下変
位量をデータ処理することによって、地盤沈下の傾向を
把握することが可能になり、大型治工具の精度向上に役
立てることができる。
準面に対する大型治工具の変形をリアルタイムで、かつ
高精度で監視することができるため、大型治工具の精度
を常に維持することができる。また、計測された上下変
位量をデータ処理することによって、地盤沈下の傾向を
把握することが可能になり、大型治工具の精度向上に役
立てることができる。
【図１】本発明の一実施例である大型治工具の水準面監
視装置の構成を示す斜視図である。
視装置の構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示した脚部１ａ付近の部分拡大図であ
る。
る。
【図３】図２の鉛直管５の部分断面図である。
【図４】図２の鉛直管５の部分斜視図である。
【図５】フロート７の他の例を示す部分断面図である。
【図６】本発明に係る大型治工具の水準面監視装置の動
作を説明する概略図である。
作を説明する概略図である。
１ 大型治工具 １ａ 脚部 ３ 変位センサ ４ 連通管 ５ 鉛直管 ５ａ 開口部 ６ リザーブタンク ７ フロート ７ａ 鍔 ８ 光反射性板 ９ 流体 １０ 円形プレート １１ ボルト １２ ボルト頭部 １３ 底板 １４ 取付片 ２０ 信号中継器 ２１ データ処理装置 ３１ 光源 ３４ 受光素子 ３５ 処理回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 泓 勝夫 岐阜県各務原市川崎町１番地 川崎重工業 株式会社岐阜工場内 (72)発明者 浜 英治 岐阜県各務原市川崎町１番地 川崎重工業 株式会社岐阜工場内 (72)発明者 箕浦 春男 岐阜県各務原市川崎町１番地 川崎重工業 株式会社岐阜工場内 (72)発明者 満田 博宣 岐阜県各務原市川崎町１番地 川崎重工業 株式会社岐阜工場内
Claims (3)
- 【請求項１】 大型治工具の各支持部に設置された複数
の変位センサと、 各変位センサの測定領域に対応した複数の開口部を有
し、内部に流体を保持する連通管と、 各変位センサから出力される信号を処理するための信号
処理装置とを具備することを特徴とする大型治工具の水
準面監視装置。 - 【請求項２】 前記連通管の開口部において、流体の液
面高さに応じて上下移動するフロートが設けられること
を特徴とする請求項１に記載の大型治工具の水準面監視
装置。 - 【請求項３】 前記変位センサが光学的センサであっ
て、前記フロートの上面に光反射性部材が設けられるこ
とを特徴とする請求項２に記載の大型治工具の水準面監
視装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5158920A JP2746822B2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 大型治工具の水準面監視装置 |
| DE1994614475 DE69414475T2 (de) | 1993-06-29 | 1994-06-29 | Verformungsüberwachungssystem für Ausrichtvorrichtung |
| EP19940110113 EP0632251B1 (en) | 1993-06-29 | 1994-06-29 | Deformation monitoring system for jig tool |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5158920A JP2746822B2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 大型治工具の水準面監視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712624A true JPH0712624A (ja) | 1995-01-17 |
| JP2746822B2 JP2746822B2 (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=15682234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5158920A Expired - Fee Related JP2746822B2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 大型治工具の水準面監視装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0632251B1 (ja) |
| JP (1) | JP2746822B2 (ja) |
| DE (1) | DE69414475T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014178122A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-25 | Ohbayashi Corp | 開水路式変位計 |
| JP2017502252A (ja) * | 2014-02-27 | 2017-01-19 | フィディア エス．ピー．エイ．Ｆｉｄｉａ Ｓ．Ｐ．Ａ． | Ｃｎｃ機械の位置決め精度を検査する方法とシステム |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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