JPH07122215A - 電子銃 - Google Patents
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- JPH07122215A JPH07122215A JP5267126A JP26712693A JPH07122215A JP H07122215 A JPH07122215 A JP H07122215A JP 5267126 A JP5267126 A JP 5267126A JP 26712693 A JP26712693 A JP 26712693A JP H07122215 A JPH07122215 A JP H07122215A
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高電圧室内の絶縁破壊電圧を上昇させて、電
子ビームのエネルギおよび強度を増大することができる
電子銃を提供する。 【構成】 陰極１３が該陰極を支持している絶縁物８を
覆うように構成されている。
子ビームのエネルギおよび強度を増大することができる
電子銃を提供する。 【構成】 陰極１３が該陰極を支持している絶縁物８を
覆うように構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子ビームを発生する
電子銃に関し、更に詳しくは、電子ビームのエネルギお
よび強度を増大し得るように改良した電子銃に関する。
電子銃に関し、更に詳しくは、電子ビームのエネルギお
よび強度を増大し得るように改良した電子銃に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、化学反応、顕微鏡、分析、溶接等
の多くの先端材料の分野で電子ビームが使用され、この
電子ビームの発生源として電子銃が使用されている。
の多くの先端材料の分野で電子ビームが使用され、この
電子ビームの発生源として電子銃が使用されている。
【０００３】図４は、従来の電子銃の内部構造を示す断
面図である。図４において、電子銃は、陽極ワイヤ１を
その内部に貫通配置したイオン化室２と、後述する抽出
グリッド３を介して前記イオン化室２と連通する高電圧
室４とから構成されている。また、前記イオン化室２に
は、高電圧室４とは反対側に、電子に対して透過性のあ
る出口窓６が形成され、さらに、高電圧室４との連結部
には、出口窓６の電圧に等しい電圧の抽出グリッド３が
形成されている。一方、前記高電圧室４内には、高い負
のバイアス電圧による陰極７が絶縁物８に支持されて収
納され、この陰極７から高電圧室４の外部へ電圧導入端
子９が引き出されている。
面図である。図４において、電子銃は、陽極ワイヤ１を
その内部に貫通配置したイオン化室２と、後述する抽出
グリッド３を介して前記イオン化室２と連通する高電圧
室４とから構成されている。また、前記イオン化室２に
は、高電圧室４とは反対側に、電子に対して透過性のあ
る出口窓６が形成され、さらに、高電圧室４との連結部
には、出口窓６の電圧に等しい電圧の抽出グリッド３が
形成されている。一方、前記高電圧室４内には、高い負
のバイアス電圧による陰極７が絶縁物８に支持されて収
納され、この陰極７から高電圧室４の外部へ電圧導入端
子９が引き出されている。
【０００４】なお、イオン化室２と高電圧室４の両者
は、陽イオン化を達成できる極めて低い気体圧力に制御
されており、通常は、導入する気体として１０〜５０ミ
リ・トールのヘリウムが用いられる。また、イオン化室
の壁１０と高電圧室の壁１１は、共にアース電位になっ
ている。さらに、イオン化を行なう際には、陽極ワイヤ
１に、５〜１０キロ・ボルトの正極性の電圧が外部電圧
供給源（図示せず）により印加される。一方、陰極７
は、高電圧供給源（図示せず）に接続された電圧導入端
子９を通じて、負のバイアス電圧（例えば、−１００キ
ロ・ボルト）に恒常的に維持されている。また、出口窓
６は、高エネルギ電子に対して透過性のある幾分薄いシ
ートで構成されている。このシートは、例えばアルミニ
ウムまたはチタンの様な金属で作成することが可能であ
り、数１０マイクロ・メーターの厚さを有している。
は、陽イオン化を達成できる極めて低い気体圧力に制御
されており、通常は、導入する気体として１０〜５０ミ
リ・トールのヘリウムが用いられる。また、イオン化室
の壁１０と高電圧室の壁１１は、共にアース電位になっ
ている。さらに、イオン化を行なう際には、陽極ワイヤ
１に、５〜１０キロ・ボルトの正極性の電圧が外部電圧
供給源（図示せず）により印加される。一方、陰極７
は、高電圧供給源（図示せず）に接続された電圧導入端
子９を通じて、負のバイアス電圧（例えば、−１００キ
ロ・ボルト）に恒常的に維持されている。また、出口窓
６は、高エネルギ電子に対して透過性のある幾分薄いシ
ートで構成されている。このシートは、例えばアルミニ
ウムまたはチタンの様な金属で作成することが可能であ
り、数１０マイクロ・メーターの厚さを有している。
【０００５】この様に構成された従来の電子銃において
は、以下に述べる様にして、電子ビーム源となる電子が
放出される。即ち、イオン化室２に貫通配置された陽極
ワイヤ１に、低気体圧力下で正極性の電圧を印加する
と、イオン化室２内において放電が起こり、イオン化室
２内にプラズマが発生する。そして、高電圧室４内に配
設された陰極７は、前記プラズマ中から陽イオンを引き
出す。
は、以下に述べる様にして、電子ビーム源となる電子が
放出される。即ち、イオン化室２に貫通配置された陽極
ワイヤ１に、低気体圧力下で正極性の電圧を印加する
と、イオン化室２内において放電が起こり、イオン化室
２内にプラズマが発生する。そして、高電圧室４内に配
設された陰極７は、前記プラズマ中から陽イオンを引き
出す。
【０００６】この陽イオンは、イオン化室２と高電圧室
４との間に配設された抽出グリッド３を通って高電圧室
４内に浸入し、高電圧室４内で高エネルギになり陰極７
を衝撃する。すると、陰極７の表面において、前記陽イ
オンの衝撃によって二次電子が放出される（一般に、イ
オン衝撃二次電子放出機構と呼ばれている）。この様に
して放出された二次電子は、陽イオンとは逆方向に進
み、抽出グリッド３に向かって加速され、さらに、イオ
ン化室２を通過して出口窓６に至り、電子ビーム源とし
て供給される。
４との間に配設された抽出グリッド３を通って高電圧室
４内に浸入し、高電圧室４内で高エネルギになり陰極７
を衝撃する。すると、陰極７の表面において、前記陽イ
オンの衝撃によって二次電子が放出される（一般に、イ
オン衝撃二次電子放出機構と呼ばれている）。この様に
して放出された二次電子は、陽イオンとは逆方向に進
み、抽出グリッド３に向かって加速され、さらに、イオ
ン化室２を通過して出口窓６に至り、電子ビーム源とし
て供給される。
【０００７】ここで、抽出グリッド３の近辺における陽
イオンの初期エネルギを無視し、負のバイアス電圧をＶ
HT、陽イオンの電荷量をｅとすれば、陽イオンは（単一
の荷電イオンに関係があることを念頭におけば）、ｅ・
ＶHTに等しいエネルギをもって陰極７に到達するものと
考えることができる。また、陰極７の表面上で抽出グリ
ッドより引き出された陽イオンの衝撃により２次放出さ
れた電子は、抽出グリッド３に向かって加速され、そこ
で電子は、ｅ・ＶHTのエネルギに到達する。これらの状
態下において、一個の陽イオンと、この陽イオンによっ
て放出される電子は、同じ電場線に対応して、ほぼ重畳
する軌道を呈する。
イオンの初期エネルギを無視し、負のバイアス電圧をＶ
HT、陽イオンの電荷量をｅとすれば、陽イオンは（単一
の荷電イオンに関係があることを念頭におけば）、ｅ・
ＶHTに等しいエネルギをもって陰極７に到達するものと
考えることができる。また、陰極７の表面上で抽出グリ
ッドより引き出された陽イオンの衝撃により２次放出さ
れた電子は、抽出グリッド３に向かって加速され、そこ
で電子は、ｅ・ＶHTのエネルギに到達する。これらの状
態下において、一個の陽イオンと、この陽イオンによっ
て放出される電子は、同じ電場線に対応して、ほぼ重畳
する軌道を呈する。
【０００８】上記の様な電子銃は、主として、電子銃を
加工あるいは露光用に、また、出口窓６をＸ線発生用タ
ーゲットに置き換えることで、Ｘ線発生装置に適用し得
るものである。
加工あるいは露光用に、また、出口窓６をＸ線発生用タ
ーゲットに置き換えることで、Ｘ線発生装置に適用し得
るものである。
【０００９】ところで、電子銃より発生する電子ビーム
に要求されるビームエネルギ及び強度は、適用対象に著
しく依存するため、電子ビームのエネルギ及び強度が増
加できればできるほど適用対象も増し、産業上の利用分
野が広まる。
に要求されるビームエネルギ及び強度は、適用対象に著
しく依存するため、電子ビームのエネルギ及び強度が増
加できればできるほど適用対象も増し、産業上の利用分
野が広まる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の電子銃
においては、電子ビームを発生させるためには、高電圧
室内の絶縁物８で支持された陰極７に電圧導入端子９を
介して高電圧を印加する必要があるが、陰極７の側面と
陰極を支持する絶縁物８の上端部が接触する部分の角度
が鋭角をなすために、この部分に電界強度の集中を生じ
ることが等電位面１２から明らかとなり、このような電
界強度の集中により高電圧を印加された陰極７と高電圧
室の壁１１との間で絶縁破壊が生じ、これにより高電圧
室における陰極に印加できる電圧に制限が生じて、該電
圧を高くすることができず、電子ビームのエネルギおよ
び強度を増大することができないという問題がある。
においては、電子ビームを発生させるためには、高電圧
室内の絶縁物８で支持された陰極７に電圧導入端子９を
介して高電圧を印加する必要があるが、陰極７の側面と
陰極を支持する絶縁物８の上端部が接触する部分の角度
が鋭角をなすために、この部分に電界強度の集中を生じ
ることが等電位面１２から明らかとなり、このような電
界強度の集中により高電圧を印加された陰極７と高電圧
室の壁１１との間で絶縁破壊が生じ、これにより高電圧
室における陰極に印加できる電圧に制限が生じて、該電
圧を高くすることができず、電子ビームのエネルギおよ
び強度を増大することができないという問題がある。
【００１１】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、高電圧室内の絶縁破壊電圧を
上昇させて、電子ビームのエネルギおよび強度を増大す
ることができる電子銃を提供することにある。
その目的とするところは、高電圧室内の絶縁破壊電圧を
上昇させて、電子ビームのエネルギおよび強度を増大す
ることができる電子銃を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の電子銃は、陽イオンを発生する手段を有す
るイオン化室、および該イオン化室に抽出グリッドを介
して連通し、絶縁物に支持された陰極を収容した高電圧
室を有し、前記イオン化室からの陽イオンが高電圧室の
陰極に当たることにより発生する二次電子を高電圧室か
ら抽出グリッド、イオン化室を介してイオン化室の出口
窓から出射する電子銃であって、前記陰極が前記絶縁物
を覆うように構成されることを要旨とする。
め、本発明の電子銃は、陽イオンを発生する手段を有す
るイオン化室、および該イオン化室に抽出グリッドを介
して連通し、絶縁物に支持された陰極を収容した高電圧
室を有し、前記イオン化室からの陽イオンが高電圧室の
陰極に当たることにより発生する二次電子を高電圧室か
ら抽出グリッド、イオン化室を介してイオン化室の出口
窓から出射する電子銃であって、前記陰極が前記絶縁物
を覆うように構成されることを要旨とする。
【００１３】また、本発明の電子銃は、陽イオンを発生
する手段を有するイオン化室、および該イオン化室に抽
出グリッドを介して連通し、絶縁物に支持された陰極を
収容した高電圧室を有し、前記イオン化室からの陽イオ
ンが高電圧室の陰極に当たることにより発生する二次電
子を高電圧室から抽出グリッド、イオン化室を介してイ
オン化室の出口窓から出射する電子銃であって、前記陰
極を支持する前記絶縁物の側面と陰極の側面とからなる
角度が鈍角になるように構成されることを要旨とする。
する手段を有するイオン化室、および該イオン化室に抽
出グリッドを介して連通し、絶縁物に支持された陰極を
収容した高電圧室を有し、前記イオン化室からの陽イオ
ンが高電圧室の陰極に当たることにより発生する二次電
子を高電圧室から抽出グリッド、イオン化室を介してイ
オン化室の出口窓から出射する電子銃であって、前記陰
極を支持する前記絶縁物の側面と陰極の側面とからなる
角度が鈍角になるように構成されることを要旨とする。
【００１４】更に、本発明の電子銃は、陽イオンを発生
する手段を有するイオン化室、および該イオン化室に抽
出グリッドを介して連通し、絶縁物に支持された陰極を
収容した高電圧室を有し、前記イオン化室からの陽イオ
ンが高電圧室の陰極に当たることにより発生する二次電
子を高電圧室から抽出グリッド、イオン化室を介してイ
オン化室の出口窓から出射する電子銃であって、前記絶
縁物が前記陰極を覆うように構成されることを要旨とす
る。
する手段を有するイオン化室、および該イオン化室に抽
出グリッドを介して連通し、絶縁物に支持された陰極を
収容した高電圧室を有し、前記イオン化室からの陽イオ
ンが高電圧室の陰極に当たることにより発生する二次電
子を高電圧室から抽出グリッド、イオン化室を介してイ
オン化室の出口窓から出射する電子銃であって、前記絶
縁物が前記陰極を覆うように構成されることを要旨とす
る。
【００１５】
【作用】本発明の電子銃では、陰極が該陰極を支持して
いる絶縁物を覆うように構成されている。
いる絶縁物を覆うように構成されている。
【００１６】また、本発明の電子銃では、陰極を支持す
る絶縁物の側面と陰極の側面とからなる角度が鈍角にな
るように構成されている。
る絶縁物の側面と陰極の側面とからなる角度が鈍角にな
るように構成されている。
【００１７】更に、本発明の電子銃では、陰極を支持し
ている絶縁物が陰極を覆うように構成されている。
ている絶縁物が陰極を覆うように構成されている。
【００１８】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１９】図１は、本発明の一実施例に係わる電子銃
の内部構成を示す断面図である。
の内部構成を示す断面図である。
【００２０】図１に示す電子銃は、絶縁物８によって支
持されている陰極１３が絶縁物８の上端部を覆うように
構成されている点が図４に示した電子銃と異なるもので
あり、その他の構成は同じである。なお、図１におい
て、図４で示した構成要素と同じ構成要素を同じ符号で
示し、この説明を省略する。
持されている陰極１３が絶縁物８の上端部を覆うように
構成されている点が図４に示した電子銃と異なるもので
あり、その他の構成は同じである。なお、図１におい
て、図４で示した構成要素と同じ構成要素を同じ符号で
示し、この説明を省略する。
【００２１】更に詳しくは、絶縁物８で支持された陰極
１３は、上面部が絶縁物８の上端部を超えて水平方向に
広がるとともに、この広がった周縁部が下方に延出し
て、絶縁物８の上端部の周囲を覆うように構成されてい
る。この結果、陰極１３および絶縁物８の周囲の等電位
面は符号１４で示すように形成され、陰極１３と絶縁物
８の接触部の電界集中が緩和されるようになっている。
１３は、上面部が絶縁物８の上端部を超えて水平方向に
広がるとともに、この広がった周縁部が下方に延出し
て、絶縁物８の上端部の周囲を覆うように構成されてい
る。この結果、陰極１３および絶縁物８の周囲の等電位
面は符号１４で示すように形成され、陰極１３と絶縁物
８の接触部の電界集中が緩和されるようになっている。
【００２２】このように電界集中が緩和されることによ
り、陰極１３と高電圧室４の壁１１との間の絶縁破壊電
圧が従来よりも上昇する。そして、絶縁破壊電圧が上昇
することにより、陰極１３に印加できる電圧を増大する
ことができ、本電子銃から発生する電子ビームのエネル
ギおよび強度を陰極１３に印加し得る電圧の増大に比例
して増大させることができるのである。
り、陰極１３と高電圧室４の壁１１との間の絶縁破壊電
圧が従来よりも上昇する。そして、絶縁破壊電圧が上昇
することにより、陰極１３に印加できる電圧を増大する
ことができ、本電子銃から発生する電子ビームのエネル
ギおよび強度を陰極１３に印加し得る電圧の増大に比例
して増大させることができるのである。
【００２３】図２は、本発明の他の実施例に係わる電子
銃の内部構成を示す断面図である。
銃の内部構成を示す断面図である。
【００２４】図２に示す電子銃は、絶縁物１５の側面と
陰極７の側面とからなる角度を鋭角になるように構成さ
れている点が図４に示した電子銃と異なるものであり、
その他の構成は同じである。なお、図２において、図４
で示した構成要素と同じ構成要素を同じ符号で示し、こ
の説明を省略する。
陰極７の側面とからなる角度を鋭角になるように構成さ
れている点が図４に示した電子銃と異なるものであり、
その他の構成は同じである。なお、図２において、図４
で示した構成要素と同じ構成要素を同じ符号で示し、こ
の説明を省略する。
【００２５】更に詳しくは、陰極７を支持している絶縁
物１５の上端部は図示のように削ったように構成し、こ
れにより絶縁物１５の側面と陰極７の側面とからなる角
度を鈍角になるように構成されている。この結果、陰極
７および絶縁物１５の周囲の等電位面は符号１６で示す
ように形成され、陰極７と絶縁物１５の接触部の電界集
中が緩和されるようになっている。
物１５の上端部は図示のように削ったように構成し、こ
れにより絶縁物１５の側面と陰極７の側面とからなる角
度を鈍角になるように構成されている。この結果、陰極
７および絶縁物１５の周囲の等電位面は符号１６で示す
ように形成され、陰極７と絶縁物１５の接触部の電界集
中が緩和されるようになっている。
【００２６】このように電界集中が緩和されることによ
り、陰極７と高電圧室４の壁１１との間の絶縁破壊電圧
が従来よりも上昇する。そして、絶縁破壊電圧が上昇す
ることにより、陰極７に印加できる電圧を増大すること
ができ、本電子銃から発生する電子ビームのエネルギお
よび強度を陰極７に印加し得る電圧の増大に比例して増
大させることができるのである。
り、陰極７と高電圧室４の壁１１との間の絶縁破壊電圧
が従来よりも上昇する。そして、絶縁破壊電圧が上昇す
ることにより、陰極７に印加できる電圧を増大すること
ができ、本電子銃から発生する電子ビームのエネルギお
よび強度を陰極７に印加し得る電圧の増大に比例して増
大させることができるのである。
【００２７】図３は、本発明の更に他の実施例に係わる
電子銃の内部構成を示す断面図である。
電子銃の内部構成を示す断面図である。
【００２８】図３に示す電子銃は、陰極７を支持してい
る絶縁物１７の一部が上方に延出して、延出部１７ａを
形成し、これにより絶縁物１７の延出部１７ａが陰極７
の周囲を覆うように構成されている点が図４に示した電
子銃と異なるものであり、その他の構成は同じである。
なお、図３において、図４で示した構成要素と同じ構成
要素を同じ符号で示し、この説明を省略する。
る絶縁物１７の一部が上方に延出して、延出部１７ａを
形成し、これにより絶縁物１７の延出部１７ａが陰極７
の周囲を覆うように構成されている点が図４に示した電
子銃と異なるものであり、その他の構成は同じである。
なお、図３において、図４で示した構成要素と同じ構成
要素を同じ符号で示し、この説明を省略する。
【００２９】上述したように、陰極７を支持している絶
縁物１７の延出部１７ａが陰極７の周囲を覆うように構
成することにより、陰極７および絶縁物１７の周囲の等
電位面は符号１８で示すように形成され、陰極７と絶縁
物１７の接触部の電界集中が緩和されるようになってい
る。
縁物１７の延出部１７ａが陰極７の周囲を覆うように構
成することにより、陰極７および絶縁物１７の周囲の等
電位面は符号１８で示すように形成され、陰極７と絶縁
物１７の接触部の電界集中が緩和されるようになってい
る。
【００３０】このように電界集中が緩和されることによ
り、陰極７と高電圧室４の壁１１との間の絶縁破壊電圧
が従来よりも上昇する。そして、絶縁破壊電圧が上昇す
ることにより、陰極７に印加できる電圧を増大すること
ができ、本電子銃から発生する電子ビームのエネルギお
よび強度を陰極７に印加し得る電圧の増大に比例して増
大させることができるのである。
り、陰極７と高電圧室４の壁１１との間の絶縁破壊電圧
が従来よりも上昇する。そして、絶縁破壊電圧が上昇す
ることにより、陰極７に印加できる電圧を増大すること
ができ、本電子銃から発生する電子ビームのエネルギお
よび強度を陰極７に印加し得る電圧の増大に比例して増
大させることができるのである。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
陰極が該陰極を支持している絶縁物を覆うように構成し
たり、または陰極を支持する絶縁物の側面と陰極の側面
とからなる角度が鈍角になるように構成したり、または
陰極を支持している絶縁物が陰極を覆うように構成して
いるので、陰極と絶縁物の接触部の電界集中が緩和さ
れ、これにより陰極と高電圧室の壁との間の絶縁破壊電
圧を上昇し、陰極に印加できる電圧を増大でき、電子ビ
ームのエネルギおよび強度を増大させることができる。
陰極が該陰極を支持している絶縁物を覆うように構成し
たり、または陰極を支持する絶縁物の側面と陰極の側面
とからなる角度が鈍角になるように構成したり、または
陰極を支持している絶縁物が陰極を覆うように構成して
いるので、陰極と絶縁物の接触部の電界集中が緩和さ
れ、これにより陰極と高電圧室の壁との間の絶縁破壊電
圧を上昇し、陰極に印加できる電圧を増大でき、電子ビ
ームのエネルギおよび強度を増大させることができる。
【図１】本発明の一実施例に係わる電子銃の内部構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施例に係わる電子銃の内部構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図３】本発明の更に他の実施例に係わる電子銃の内部
構成を示す断面図である。
構成を示す断面図である。
【図４】従来の電子銃の内部構成を示す断面図である。
２ イオン化室 ３ 抽出グリッド ４ 高電圧室 ６ 出口穴 ７，１３ 陰極 ８，１５，１７ 絶縁物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安井 祐之 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株 式会社東芝浜川崎工場内
Claims (3)
- 【請求項１】 陽イオンを発生する手段を有するイオン
化室、および該イオン化室に抽出グリッドを介して連通
し、絶縁物に支持された陰極を収容した高電圧室を有
し、前記イオン化室からの陽イオンが高電圧室の陰極に
当たることにより発生する二次電子を高電圧室から抽出
グリッド、イオン化室を介してイオン化室の出口窓から
出射する電子銃であって、前記陰極は前記絶縁物を覆う
ように構成されることを特徴とする電子銃。 - 【請求項２】 陽イオンを発生する手段を有するイオン
化室、および該イオン化室に抽出グリッドを介して連通
し、絶縁物に支持された陰極を収容した高電圧室を有
し、前記イオン化室からの陽イオンが高電圧室の陰極に
当たることにより発生する二次電子を高電圧室から抽出
グリッド、イオン化室を介してイオン化室の出口窓から
出射する電子銃であって、前記陰極を支持する前記絶縁
物の側面と陰極の側面とからなる角度が鈍角になるよう
に構成されることを特徴とする電子銃。 - 【請求項３】 陽イオンを発生する手段を有するイオン
化室、および該イオン化室に抽出グリッドを介して連通
し、絶縁物に支持された陰極を収容した高電圧室を有
し、前記イオン化室からの陽イオンが高電圧室の陰極に
当たることにより発生する二次電子を高電圧室から抽出
グリッド、イオン化室を介してイオン化室の出口窓から
出射する電子銃であって、前記絶縁物は前記陰極を覆う
ように構成されることを特徴とする電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5267126A JPH07122215A (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5267126A JPH07122215A (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 電子銃 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07122215A true JPH07122215A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17440435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5267126A Pending JPH07122215A (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07122215A (ja) |
-
1993
- 1993-10-26 JP JP5267126A patent/JPH07122215A/ja active Pending
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