JPH07110122B2 - 揺動型アクチュエータ - Google Patents
揺動型アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH07110122B2 JPH07110122B2 JP3226270A JP22627091A JPH07110122B2 JP H07110122 B2 JPH07110122 B2 JP H07110122B2 JP 3226270 A JP3226270 A JP 3226270A JP 22627091 A JP22627091 A JP 22627091A JP H07110122 B2 JPH07110122 B2 JP H07110122B2
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- Japan
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- movable coil
- arm
- coil
- fixed
- protrusion
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えば磁気ディスク用ア
クチュエータのような揺動型アクチュエータに関するも
のであり、特に磁気ヘッドのような機能部材が円弧軌跡
を描くように揺動する揺動型（スイング型）アクチュエ
ータに関するものである。
クチュエータのような揺動型アクチュエータに関するも
のであり、特に磁気ヘッドのような機能部材が円弧軌跡
を描くように揺動する揺動型（スイング型）アクチュエ
ータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来磁気ディスク等の記録トラックに磁
気ヘッドを位置決めするには、図７および図８に示すよ
うな揺動型若しくは回転式のアクチュエータが使用され
ている。両図においてヨーク１には永久磁石２を固着
し、かつ各々極性を異にして対向配置して支柱３によっ
て組立て、空隙部４を介して磁気回路を形成する。５は
アームであり、一端に偏平型の可動コイル６を、他端に
は磁気ヘッド（図示せず）を各々固着し、可動コイル６
が前記空隙部４内に位置するように、軸７を介して回転
揺動自在に配設する。
気ヘッドを位置決めするには、図７および図８に示すよ
うな揺動型若しくは回転式のアクチュエータが使用され
ている。両図においてヨーク１には永久磁石２を固着
し、かつ各々極性を異にして対向配置して支柱３によっ
て組立て、空隙部４を介して磁気回路を形成する。５は
アームであり、一端に偏平型の可動コイル６を、他端に
は磁気ヘッド（図示せず）を各々固着し、可動コイル６
が前記空隙部４内に位置するように、軸７を介して回転
揺動自在に配設する。
【０００３】そして可動コイル６に信号電流を通電する
と、フレミングの左手の法則に従って可動コイル６に軸
７の回りの駆動力が作用し、アーム５を回転揺動させ、
アーム５に固着した磁気ヘッドを磁気ディスク上の所定
の記録トラックに位置決めするのである。なお回転方向
の切り換えは、コイルへの通電電流の向きを反転させる
ことによって行う。
と、フレミングの左手の法則に従って可動コイル６に軸
７の回りの駆動力が作用し、アーム５を回転揺動させ、
アーム５に固着した磁気ヘッドを磁気ディスク上の所定
の記録トラックに位置決めするのである。なお回転方向
の切り換えは、コイルへの通電電流の向きを反転させる
ことによって行う。
【０００４】上記従来の磁気ディスク用アクチュエータ
において、アーム５に可動コイル６を固着する場合には
接着剤を使用するのが一般的である。しかしながら接着
剤による固着作業は煩雑かつ作業性が低いのみならず、
可動コイルの位置決め精度においても不充分であり、信
頼性が低いという問題点がある。また可動コイル６の端
末の処理も煩雑な作業を必要とし、組立作業全体の作業
性を低下させるという問題点も併存する。
において、アーム５に可動コイル６を固着する場合には
接着剤を使用するのが一般的である。しかしながら接着
剤による固着作業は煩雑かつ作業性が低いのみならず、
可動コイルの位置決め精度においても不充分であり、信
頼性が低いという問題点がある。また可動コイル６の端
末の処理も煩雑な作業を必要とし、組立作業全体の作業
性を低下させるという問題点も併存する。
【０００５】更に最近の磁気ディスク装置の分野におけ
る装置の小型化、薄型化、高機能化等に対する要求は一
段と厳しくなってきており、上記可動コイル６の位置決
め精度ならびに接着作業における作業性および信頼性の
向上を図る必要があり、従来構造のものにおいては上記
要求を満足することができないという問題点がある。
る装置の小型化、薄型化、高機能化等に対する要求は一
段と厳しくなってきており、上記可動コイル６の位置決
め精度ならびに接着作業における作業性および信頼性の
向上を図る必要があり、従来構造のものにおいては上記
要求を満足することができないという問題点がある。
【０００６】そこで可動コイル６を樹脂モールド成形に
よりアーム５と一体化することが提案されている（例え
ば特開昭63-99756号、実開昭60−159566号公報等参
照）。このような構成により、可動コイル６を保持する
ための構造が簡単になり、しかもかなり薄くすることが
できるので、アクチュエータ全体のコンパクト化に有利
である。
よりアーム５と一体化することが提案されている（例え
ば特開昭63-99756号、実開昭60−159566号公報等参
照）。このような構成により、可動コイル６を保持する
ための構造が簡単になり、しかもかなり薄くすることが
できるので、アクチュエータ全体のコンパクト化に有利
である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の樹脂モールド成形の構造のものにおいては、機械的強
度特に耐引抜力および曲げ強度が不充分であり、あるい
はアーム５と可動コイル６との固着が不充分であるとい
う問題点がある。特にアーム５の可動コイル６側の輪郭
形状が円弧若しくは曲線である場合、更には接合部位が
狭い場合には、充分な機械的強度を確保することが困難
である。
の樹脂モールド成形の構造のものにおいては、機械的強
度特に耐引抜力および曲げ強度が不充分であり、あるい
はアーム５と可動コイル６との固着が不充分であるとい
う問題点がある。特にアーム５の可動コイル６側の輪郭
形状が円弧若しくは曲線である場合、更には接合部位が
狭い場合には、充分な機械的強度を確保することが困難
である。
【０００８】またモールド成形によって可動コイル６を
鋳ぐるむ構成であるため、可動コイル６の上下面にも樹
脂が被着して厚さ寸法が大となり、空隙部４を大にせざ
るを得ない。従って永久磁石２の磁気的性能を充分に発
揮させることができず、アクチュエータとしての特性が
低下し、推力もまた低下するという問題点がある。
鋳ぐるむ構成であるため、可動コイル６の上下面にも樹
脂が被着して厚さ寸法が大となり、空隙部４を大にせざ
るを得ない。従って永久磁石２の磁気的性能を充分に発
揮させることができず、アクチュエータとしての特性が
低下し、推力もまた低下するという問題点がある。
【０００９】本発明は、上記従来技術に存在する問題点
を解決し、小型かつ薄型であると共に、高強度のコイル
アーム成形体を有する揺動型アクチュエータを提供する
ことを目的とする。
を解決し、小型かつ薄型であると共に、高強度のコイル
アーム成形体を有する揺動型アクチュエータを提供する
ことを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明においては、対向する１対のヨークの少
なくとも一方に永久磁石を固着し、この永久磁石の表面
に磁気空隙を形成してなるハウジングと、一端に可動コ
イルを他端に機能部材を各々固着して揺動自在に形成し
たアームとからなり、前記磁気空隙内に可動コイルを移
動自在に配設して構成した揺動型アクチュエータにおい
て、アームの可動コイル側の端面のアーム揺動方向両側
に貫通穴を有する２個の突起を可動コイル側に突出する
ように一体に設け、熱可塑性樹脂からなり可動コイルの
周縁部およびアームの突起を抱持するように形成した保
持部材により可動コイルとアームとを一体に接合すると
共に、可動コイルの周縁部を抱持する保持部材の厚さ寸
法を可動コイルの厚さ寸法と実質的に同一に形成する、
という技術的手段を採用した。
に、第１の発明においては、対向する１対のヨークの少
なくとも一方に永久磁石を固着し、この永久磁石の表面
に磁気空隙を形成してなるハウジングと、一端に可動コ
イルを他端に機能部材を各々固着して揺動自在に形成し
たアームとからなり、前記磁気空隙内に可動コイルを移
動自在に配設して構成した揺動型アクチュエータにおい
て、アームの可動コイル側の端面のアーム揺動方向両側
に貫通穴を有する２個の突起を可動コイル側に突出する
ように一体に設け、熱可塑性樹脂からなり可動コイルの
周縁部およびアームの突起を抱持するように形成した保
持部材により可動コイルとアームとを一体に接合すると
共に、可動コイルの周縁部を抱持する保持部材の厚さ寸
法を可動コイルの厚さ寸法と実質的に同一に形成する、
という技術的手段を採用した。
【００１１】次に第２の発明においては、対向する１対
のヨークの少なくとも一方に永久磁石を固着し、この永
久磁石の表面に磁気空隙を形成してなるハウジングと、
一端に可動コイルを他端に機能部材を各々固着して揺動
自在に形成したアームとからなり、前記磁気空隙内に可
動コイルを移動自在に配設して構成した揺動型アクチュ
エータにおいて、アームの可動コイル側にアームの表面
と実質的に同一の表面を有する突起を一体に設け、この
突起に貫通穴を設けると共に、突起の表面側に前記貫通
穴を包囲するように形成した凹部を設け、熱可塑性樹脂
からなり可動コイルの周縁部およびアームの突起を抱持
するように形成した保持部材により可動コイルとアーム
とを一体に接合すると共に、可動コイルの周縁部を抱持
する保持部材の厚さ寸法を可動コイルの厚さ寸法と実質
的に同一に形成する、という技術的手段を採用した。
のヨークの少なくとも一方に永久磁石を固着し、この永
久磁石の表面に磁気空隙を形成してなるハウジングと、
一端に可動コイルを他端に機能部材を各々固着して揺動
自在に形成したアームとからなり、前記磁気空隙内に可
動コイルを移動自在に配設して構成した揺動型アクチュ
エータにおいて、アームの可動コイル側にアームの表面
と実質的に同一の表面を有する突起を一体に設け、この
突起に貫通穴を設けると共に、突起の表面側に前記貫通
穴を包囲するように形成した凹部を設け、熱可塑性樹脂
からなり可動コイルの周縁部およびアームの突起を抱持
するように形成した保持部材により可動コイルとアーム
とを一体に接合すると共に、可動コイルの周縁部を抱持
する保持部材の厚さ寸法を可動コイルの厚さ寸法と実質
的に同一に形成する、という技術的手段を採用した。
【００１２】
【作用】上記の構成により、小型かつ薄型という特徴を
保持しつつ可動コイルとアームとの固着を完全に行うこ
とができると共に、可動コイルの位置決め精度および信
頼性を向上させ得るのである。
保持しつつ可動コイルとアームとの固着を完全に行うこ
とができると共に、可動コイルの位置決め精度および信
頼性を向上させ得るのである。
【００１３】
【実施例】図１および図２は各々本発明の実施例を示す
要部平面図および要部縦断面図であり、同一部分は前記
図７および図８と同一の参照符号で示す。両図において
アーム５は例えばアルミニウム合金ダイカストにより形
成し、中間部に取付穴８ａを穿設すると共に、一端に磁
気ヘッドのような機能部材（図示せず）装着用の穴８ｂ
を、他端（可動コイル６側）に抜け止め用の突起５ａを
一体に設ける。
要部平面図および要部縦断面図であり、同一部分は前記
図７および図８と同一の参照符号で示す。両図において
アーム５は例えばアルミニウム合金ダイカストにより形
成し、中間部に取付穴８ａを穿設すると共に、一端に磁
気ヘッドのような機能部材（図示せず）装着用の穴８ｂ
を、他端（可動コイル６側）に抜け止め用の突起５ａを
一体に設ける。
【００１４】この実施例は、アーム５が薄く（例えば厚
さｔが２〜３mm程度）、またアーム５の可動コイル６と
の接合部の曲率が大きく、単一の突起５ａだけではアー
ム５と可動コイル６との接合強度が十分ではない場合の
例である。すなわちこの実施例では、突起５ａは平面へ
の投影輪郭を略三角形状に形成し、可動コイル６側の端
面のアーム５の揺動方向両側に可動コイル６側に突出す
るように２個設けると共に、貫通穴５ｂを設けたもので
ある。
さｔが２〜３mm程度）、またアーム５の可動コイル６と
の接合部の曲率が大きく、単一の突起５ａだけではアー
ム５と可動コイル６との接合強度が十分ではない場合の
例である。すなわちこの実施例では、突起５ａは平面へ
の投影輪郭を略三角形状に形成し、可動コイル６側の端
面のアーム５の揺動方向両側に可動コイル６側に突出す
るように２個設けると共に、貫通穴５ｂを設けたもので
ある。
【００１５】なお可動コイル６の周縁部を抱持する保持
部材９の厚さ寸法と可動コイル６の厚さ寸法とを実質的
に同一に形成する。また可動コイル６は例えば自己融着
電線（心線の最外層に融着被膜を形成した電線）を所定
形状に所定数だけ巻回して多層空心コイルを作り、この
空心コイルに通電し、全体を融着被膜で一体化すること
により製造することができる。
部材９の厚さ寸法と可動コイル６の厚さ寸法とを実質的
に同一に形成する。また可動コイル６は例えば自己融着
電線（心線の最外層に融着被膜を形成した電線）を所定
形状に所定数だけ巻回して多層空心コイルを作り、この
空心コイルに通電し、全体を融着被膜で一体化すること
により製造することができる。
【００１６】上記のようなアーム５と可動コイル６との
一体固着手段としては、例えば射出成形手段が有効であ
る。すなわち予めダイカスト成形したアーム５と、素線
に端子ピン（何れも図示せず）を例えばはんだ付けによ
って結線処理した可動コイル６とを、射出成形用金型中
に挿入して位置決め後、例えばガラス入りポリフェニレ
ンサルファイド樹脂のような熱可塑性樹脂の加熱溶融物
を注入し、冷却固化後金型中から取り出せばよい。上記
射出成形によりアーム５と可動コイル６とは一体に固着
される。
一体固着手段としては、例えば射出成形手段が有効であ
る。すなわち予めダイカスト成形したアーム５と、素線
に端子ピン（何れも図示せず）を例えばはんだ付けによ
って結線処理した可動コイル６とを、射出成形用金型中
に挿入して位置決め後、例えばガラス入りポリフェニレ
ンサルファイド樹脂のような熱可塑性樹脂の加熱溶融物
を注入し、冷却固化後金型中から取り出せばよい。上記
射出成形によりアーム５と可動コイル６とは一体に固着
される。
【００１７】上記の構成により、保持部材９により可動
コイル６を周縁から強固に抱持することができると共
に、アーム５に設けた突起５ａは保持部材９内に埋設さ
れ、かつ貫通穴５ｂ内にも保持部材９を構成する熱可塑
性樹脂が充填されるため、アーム５と可動コイル６との
接合強度を向上させ得る。すなわち略三角形状に形成し
た２つの突起５ａおよび貫通穴５ｂによりＡ方向の耐引
抜力が増大すると共に、Ｂ方向の曲げ強度も併せて向上
させ得る。
コイル６を周縁から強固に抱持することができると共
に、アーム５に設けた突起５ａは保持部材９内に埋設さ
れ、かつ貫通穴５ｂ内にも保持部材９を構成する熱可塑
性樹脂が充填されるため、アーム５と可動コイル６との
接合強度を向上させ得る。すなわち略三角形状に形成し
た２つの突起５ａおよび貫通穴５ｂによりＡ方向の耐引
抜力が増大すると共に、Ｂ方向の曲げ強度も併せて向上
させ得る。
【００１８】図３および図４は各々本発明の他の実施例
を示す要部平面図および要部縦断面図、図５は図４にお
けるＣ−Ｃ線断面図であり、同一部分は前記図１および
図２と同一の参照符号で示す。この実施例は、ハーフハ
イト形のような薄型のボイスコイルモータのように可動
コイル６が薄く、可動コイル６とアーム５との接合部の
厚みを十分にとれない場合の例である。すなわちこの実
施例では、突起５ａはアーム５の一方の表面と実質的に
同一の表面を有するように形成すると共に、貫通穴５ｂ
を設ける。次に５ｃは凹部であり、突起５ａの表面側に
前記貫通穴５ｂを包囲するように形成する。
を示す要部平面図および要部縦断面図、図５は図４にお
けるＣ−Ｃ線断面図であり、同一部分は前記図１および
図２と同一の参照符号で示す。この実施例は、ハーフハ
イト形のような薄型のボイスコイルモータのように可動
コイル６が薄く、可動コイル６とアーム５との接合部の
厚みを十分にとれない場合の例である。すなわちこの実
施例では、突起５ａはアーム５の一方の表面と実質的に
同一の表面を有するように形成すると共に、貫通穴５ｂ
を設ける。次に５ｃは凹部であり、突起５ａの表面側に
前記貫通穴５ｂを包囲するように形成する。
【００１９】上記の構成により、保持部材９により可動
コイル６を周縁から強固に抱持することができると共
に、アーム５に設けた突起５ａは保持部材９内に埋設さ
れ、かつ貫通穴５ｂ内にも保持部材９を構成する熱可塑
性樹脂が充填されるため、アーム５と可動コイル６との
接合強度を向上させ得る。すなわち突起５ａ、貫通穴５
ｂおよび凹部５ｃを設けたことにより、Ａ方向の耐引抜
力が増大すると共に、Ｂ方向の曲げ強度をも併せて向上
させ得るのである。
コイル６を周縁から強固に抱持することができると共
に、アーム５に設けた突起５ａは保持部材９内に埋設さ
れ、かつ貫通穴５ｂ内にも保持部材９を構成する熱可塑
性樹脂が充填されるため、アーム５と可動コイル６との
接合強度を向上させ得る。すなわち突起５ａ、貫通穴５
ｂおよび凹部５ｃを設けたことにより、Ａ方向の耐引抜
力が増大すると共に、Ｂ方向の曲げ強度をも併せて向上
させ得るのである。
【００２０】図６は本発明の更に他の実施例における可
動コイル６の要部縦断面図である。図６において６ａは
可動コイル６の厚み方向の抜け止め用の溝であり、可動
コイル６の巻線時において予め形成しておく。このよう
に溝６ａを設けることにより、保持部材９（図４および
図５参照）による固着作用を増大することができる。
動コイル６の要部縦断面図である。図６において６ａは
可動コイル６の厚み方向の抜け止め用の溝であり、可動
コイル６の巻線時において予め形成しておく。このよう
に溝６ａを設けることにより、保持部材９（図４および
図５参照）による固着作用を増大することができる。
【００２１】上記の保持部材９を構成する熱可塑性樹脂
の種類は、保持部材９に要求される剛性や耐熱性その他
を勘案して適宜選定可能であり、上記以外に例えばポリ
ブチレンテレフタレート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイ
ミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂等
の公知の樹脂（好ましくは耐熱性樹脂がよい）を用い得
る。
の種類は、保持部材９に要求される剛性や耐熱性その他
を勘案して適宜選定可能であり、上記以外に例えばポリ
ブチレンテレフタレート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイ
ミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂等
の公知の樹脂（好ましくは耐熱性樹脂がよい）を用い得
る。
【００２２】これらの樹脂の内では、縦弾性率（測定
法：ＡＳＴＭ Ｄ−６３８）が１０×１０4 kg／cm2 以
上（好ましくは１３×１０4 kg／cm2 以上）のものが好
ましい。特に熱可塑性樹脂として液晶ポリマー（溶融状
態で液晶性を示す）の一種である液晶性ポリエステル樹
脂（主鎖中に剛直鎖を有するポリエステル）を使用する
と好ましい。
法：ＡＳＴＭ Ｄ−６３８）が１０×１０4 kg／cm2 以
上（好ましくは１３×１０4 kg／cm2 以上）のものが好
ましい。特に熱可塑性樹脂として液晶ポリマー（溶融状
態で液晶性を示す）の一種である液晶性ポリエステル樹
脂（主鎖中に剛直鎖を有するポリエステル）を使用する
と好ましい。
【００２３】以上の実施例においては、磁気ヘッド用の
アクチュエータについて記述したが、アームの一端に設
けるべき機能部材は磁気ヘッドのみでなく、光ヘッドそ
の他のものであっても作用は同様である。また磁気回路
は、対向する１対のヨークの一方のみに永久磁石を固着
した構造のものでもよい。
アクチュエータについて記述したが、アームの一端に設
けるべき機能部材は磁気ヘッドのみでなく、光ヘッドそ
の他のものであっても作用は同様である。また磁気回路
は、対向する１対のヨークの一方のみに永久磁石を固着
した構造のものでもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明は以上記述のような構成および作
用であるから、アームと可動コイルとの位置決め精度お
よび接合固着強度を大幅に向上させ得る。可動コイルの
部分における保持部材の厚さ寸法を可動コイルの厚さ寸
法と実質的に同一に形成したことにより、磁気空隙を小
に形成することができ、推力および応答性を向上させ得
る。
用であるから、アームと可動コイルとの位置決め精度お
よび接合固着強度を大幅に向上させ得る。可動コイルの
部分における保持部材の厚さ寸法を可動コイルの厚さ寸
法と実質的に同一に形成したことにより、磁気空隙を小
に形成することができ、推力および応答性を向上させ得
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す要部平面図である。
【図２】本発明の実施例を示す要部縦断面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す要部平面図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す要部縦断面図であ
る。
る。
【図５】図４におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【図６】本発明の更に他の実施例における可動コイルの
要部縦断面図である。
要部縦断面図である。
【図７】従来の揺動型アクチュエータの例を示す一部破
砕一部断面平面図である。
砕一部断面平面図である。
【図８】図７におけるＤ方向矢視図である。
５ アーム ６ 可動コイル ５ａ 突起 ５ｂ 貫通穴 ５ｃ 凹部 ９ 保持部材
Claims (2)
- 【請求項１】 対向する１対のヨークの少なくとも一方
に永久磁石を固着し、この永久磁石の表面に磁気空隙を
形成してなるハウジングと、一端に可動コイルを他端に
機能部材を各々固着して揺動自在に形成したアームとか
らなり、前記磁気空隙内に可動コイルを移動自在に配設
して構成した揺動型アクチュエータにおいて、 アームの可動コイル側の端面のアーム揺動方向両側に貫
通穴を有する２個の突起を可動コイル側に突出するよう
に一体に設け、熱可塑性樹脂からなり可動コイルの周縁
部およびアームの突起を抱持するように形成した保持部
材により可動コイルとアームとを一体に接合すると共
に、可動コイルの周縁部を抱持する保持部材の厚さ寸法
を可動コイルの厚さ寸法と実質的に同一に形成したこと
を特徴とする揺動型アクチュエータ。 - 【請求項２】 対向する１対のヨークの少なくとも一方
に永久磁石を固着し、この永久磁石の表面に磁気空隙を
形成してなるハウジングと、一端に可動コイルを他端に
機能部材を各々固着して揺動自在に形成したアームとか
らなり、前記磁気空隙内に可動コイルを移動自在に配設
して構成した揺動型アクチュエータにおいて、 アームの可動コイル側にアームの表面と実質的に同一の
表面を有する突起を一体に設け、この突起に貫通穴を設
けると共に、突起の表面側に前記貫通穴を包囲するよう
に形成した凹部を設け、熱可塑性樹脂からなり可動コイ
ルの周縁部およびアームの突起を抱持するように形成し
た保持部材により可動コイルとアームとを一体に接合す
ると共に、可動コイルの周縁部を抱持する保持部材の厚
さ寸法を可動コイルの厚さ寸法と実質的に同一に形成し
たことを特徴とする揺動型アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3226270A JPH07110122B2 (ja) | 1990-10-04 | 1991-09-06 | 揺動型アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2-104692 | 1990-10-04 | ||
| JP10469290 | 1990-10-04 | ||
| JP2-403962 | 1990-12-20 | ||
| JP40396290A JP2847970B2 (ja) | 1989-12-28 | 1990-12-20 | ガスセンサおよびその製造方法 |
| JP3-3511 | 1991-01-10 | ||
| JP351191 | 1991-01-10 | ||
| JP3226270A JPH07110122B2 (ja) | 1990-10-04 | 1991-09-06 | 揺動型アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0522921A JPH0522921A (ja) | 1993-01-29 |
| JPH07110122B2 true JPH07110122B2 (ja) | 1995-11-22 |
Family
ID=27453883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3226270A Expired - Lifetime JPH07110122B2 (ja) | 1990-10-04 | 1991-09-06 | 揺動型アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07110122B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6162667A (en) * | 1994-03-28 | 2000-12-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for fabricating thin film transistors |
| KR100444696B1 (ko) * | 1997-03-25 | 2004-11-06 | 삼성전자주식회사 | 하드디스크드라이브엑튜에이터의코일결합방법및장치 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60159566U (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-23 | 住友特殊金属株式会社 | ヘツド位置決め装置 |
| JPH01129753A (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-23 | Shicoh Eng Co Ltd | 磁気エンコーダを有するリニア直流モータ |
-
1991
- 1991-09-06 JP JP3226270A patent/JPH07110122B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0522921A (ja) | 1993-01-29 |
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