JPH07108527A - インゴットの切断方法及びそれに用いるインゴット切断装置 - Google Patents
インゴットの切断方法及びそれに用いるインゴット切断装置Info
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- JPH07108527A JPH07108527A JP25868393A JP25868393A JPH07108527A JP H07108527 A JPH07108527 A JP H07108527A JP 25868393 A JP25868393 A JP 25868393A JP 25868393 A JP25868393 A JP 25868393A JP H07108527 A JPH07108527 A JP H07108527A
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- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インゴットの端面をブレード２に対して平行
になるように容易に合わせることのできるインゴットの
切断方法及び切断装置を提供する。 【構成】 切断装置本体３０に、少なくとも３個の変位
計４０を具備してなる傾き検知用治具４を装着するとと
もに、それら変位計４０に、予めブレード２面に対して
平行合わせしてなる零点合わせ用治具５の下面（基準
面）５０ａを当接させる。変位計４０をリセットして零
点合わせを行った後、零点合わせ用治具５を取り外し、
それら変位計４０にインゴット１の下面１ｃを当接させ
る。それら各変位計４０の読みに基いて、インゴット１
の下面１ｃがブレード２面に平行になるようにインゴッ
ト１の傾きを修正してから、当該インゴット１の切断を
行う。 【効果】 切断作業の効率が向上するとともに、不用な
切断片を出さずに済み、歩留りが向上する。
になるように容易に合わせることのできるインゴットの
切断方法及び切断装置を提供する。 【構成】 切断装置本体３０に、少なくとも３個の変位
計４０を具備してなる傾き検知用治具４を装着するとと
もに、それら変位計４０に、予めブレード２面に対して
平行合わせしてなる零点合わせ用治具５の下面（基準
面）５０ａを当接させる。変位計４０をリセットして零
点合わせを行った後、零点合わせ用治具５を取り外し、
それら変位計４０にインゴット１の下面１ｃを当接させ
る。それら各変位計４０の読みに基いて、インゴット１
の下面１ｃがブレード２面に平行になるようにインゴッ
ト１の傾きを修正してから、当該インゴット１の切断を
行う。 【効果】 切断作業の効率が向上するとともに、不用な
切断片を出さずに済み、歩留りが向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被加工物の切断技術さ
らには半導体インゴットから薄板状の基板を切り出すイ
ンゴットの切断技術に関し、特に半導体インゴットの下
面と切断装置のブレード面との平行合わせに適用して有
用な技術に関する。
らには半導体インゴットから薄板状の基板を切り出すイ
ンゴットの切断技術に関し、特に半導体インゴットの下
面と切断装置のブレード面との平行合わせに適用して有
用な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、引上げ法などにより製造される
半導体インゴットを切断（スライス）して薄板状の基板
（ウェハ）を作製するにあたっては、スライサーと呼ば
れる切断装置が用いられている。この切断装置として、
被加工物、即ちインゴットを鉛直に保持可能な保持部
と、水平面内にて回転する回転ブレード（スライス用の
刃）とを有し、インゴットの下降及びスライスを交互に
繰り返しながら基板の切出しを行う縦型スライサーが公
知である。
半導体インゴットを切断（スライス）して薄板状の基板
（ウェハ）を作製するにあたっては、スライサーと呼ば
れる切断装置が用いられている。この切断装置として、
被加工物、即ちインゴットを鉛直に保持可能な保持部
と、水平面内にて回転する回転ブレード（スライス用の
刃）とを有し、インゴットの下降及びスライスを交互に
繰り返しながら基板の切出しを行う縦型スライサーが公
知である。
【０００３】上記したスライサーにおいては、上記保持
部は、保持したインゴットの傾きを調節することができ
るようになっている。そして、従来、その保持部に、予
め所望の結晶方位の面を下端の面に露出させてなるイン
ゴットを取り付けた後、インゴットの下面がブレード面
に対して平行になるようにその傾きを調節してから、実
際の素子形成用の基板、即ち製品としての基板の切出し
を行っていた。
部は、保持したインゴットの傾きを調節することができ
るようになっている。そして、従来、その保持部に、予
め所望の結晶方位の面を下端の面に露出させてなるイン
ゴットを取り付けた後、インゴットの下面がブレード面
に対して平行になるようにその傾きを調節してから、実
際の素子形成用の基板、即ち製品としての基板の切出し
を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した縦型スライサ
ーにおいてインゴットの傾きを調節するにあたっては、
図５に示すように、保持部（図５においては省略）にイ
ンゴット１を取り付けた後、インゴット１の下部を一旦
切断し、その切断片１０の切断面１０ａの結晶方位を測
定し、インゴット１の所望の方位の面（図５において横
縞状に示した。）とブレード２とが平行であることを確
認していた（図５（Ａ））。
ーにおいてインゴットの傾きを調節するにあたっては、
図５に示すように、保持部（図５においては省略）にイ
ンゴット１を取り付けた後、インゴット１の下部を一旦
切断し、その切断片１０の切断面１０ａの結晶方位を測
定し、インゴット１の所望の方位の面（図５において横
縞状に示した。）とブレード２とが平行であることを確
認していた（図５（Ａ））。
【０００５】しかしながら、一般的には、保持部にイン
ゴット１が傾いた状態で取り付けられてしまうことが多
く、実際には、上述した平行の確認の際に測定した結晶
方位に基づいてインゴット１の傾きを求め、それに基い
て保持部の傾きを修正しなければならなかった。そし
て、先の切断によって生じたインゴット１の斜めの切断
面１ａをなくして所望の方位の面を下面１ｂに露出させ
るために（図５（Ｃ））、再びインゴット１の下部を切
断しなければならなかった（図５（Ｂ））。
ゴット１が傾いた状態で取り付けられてしまうことが多
く、実際には、上述した平行の確認の際に測定した結晶
方位に基づいてインゴット１の傾きを求め、それに基い
て保持部の傾きを修正しなければならなかった。そし
て、先の切断によって生じたインゴット１の斜めの切断
面１ａをなくして所望の方位の面を下面１ｂに露出させ
るために（図５（Ｃ））、再びインゴット１の下部を切
断しなければならなかった（図５（Ｂ））。
【０００６】上述したように、従来は、実際の製品とし
ての基板の切出しを開始する前に通常２回のスライスを
行わなければならず、その２回分の切断時間及び１回目
の切断片１０の結晶方位の測定時間がロスとなり、基板
の切出し作業の効率が悪いという問題点があった。ま
た、１回目及び２回目の各切断片１０，１１について
は、廃棄するか若しくは新たに製造するインゴットの原
料として活用するしかなく、実際の製品用の基板とする
ことができないため、一インゴットから得られる基板枚
数の歩留りの低下を招くという問題点もあった。
ての基板の切出しを開始する前に通常２回のスライスを
行わなければならず、その２回分の切断時間及び１回目
の切断片１０の結晶方位の測定時間がロスとなり、基板
の切出し作業の効率が悪いという問題点があった。ま
た、１回目及び２回目の各切断片１０，１１について
は、廃棄するか若しくは新たに製造するインゴットの原
料として活用するしかなく、実際の製品用の基板とする
ことができないため、一インゴットから得られる基板枚
数の歩留りの低下を招くという問題点もあった。
【０００７】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたもので、その目的は、前準備としての被加工物
（インゴット）の切断を行うことなく、被加工物の端面
をブレード面に対して平行になるように容易に合わせる
ことのできるインゴットの切断方法を提供することにあ
る。また、本発明の他の目的は、上記切断方法の実施に
用いるインゴット切断装置を提供することにある。
されたもので、その目的は、前準備としての被加工物
（インゴット）の切断を行うことなく、被加工物の端面
をブレード面に対して平行になるように容易に合わせる
ことのできるインゴットの切断方法を提供することにあ
る。また、本発明の他の目的は、上記切断方法の実施に
用いるインゴット切断装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、その傾きを調節して鉛直に保持してなる
被加工物の下部を、水平面内にて回転するブレードによ
り平板状に切断可能な切断装置を用いて、切断するにあ
たり、切断装置本体に、少なくとも３個の変位計を具備
してなる着脱可能な傾き検知用治具を装着するととも
に、それら少なくとも３個の変位計に、予めブレード面
に対して平行になるように位置出ししてなる着脱可能な
零点合わせ用治具の平坦な下面を当接させ、同変位計の
変位量をリセットして変位計の零点合わせを行った後、
上記零点合わせ用治具を取り外し、前記少なくとも３個
の変位計に上記被加工物の下面を当接させ、それら各変
位計の変位量に基いて、同被加工物の下面が前記ブレー
ド面に平行になるように被加工物の傾きを修正してか
ら、当該被加工物の切断を行うことを提案する。
に、本発明は、その傾きを調節して鉛直に保持してなる
被加工物の下部を、水平面内にて回転するブレードによ
り平板状に切断可能な切断装置を用いて、切断するにあ
たり、切断装置本体に、少なくとも３個の変位計を具備
してなる着脱可能な傾き検知用治具を装着するととも
に、それら少なくとも３個の変位計に、予めブレード面
に対して平行になるように位置出ししてなる着脱可能な
零点合わせ用治具の平坦な下面を当接させ、同変位計の
変位量をリセットして変位計の零点合わせを行った後、
上記零点合わせ用治具を取り外し、前記少なくとも３個
の変位計に上記被加工物の下面を当接させ、それら各変
位計の変位量に基いて、同被加工物の下面が前記ブレー
ド面に平行になるように被加工物の傾きを修正してか
ら、当該被加工物の切断を行うことを提案する。
【０００９】また、上記零点合わせ用治具の位置出しを
行うにあたり、予め、位置出しの基準となる対象物を上
記切断装置本体に鉛直に保持させるとともに、同切断装
置本体に上記傾き検知用治具を装着し、その傾き検知用
治具の少なくとも３個の変位計に前記対象物の平坦な下
面を当接させ、その対象物の下面がブレード面に対して
平行となる時に、前記変位計の変位量をリセットして変
位計の零点合わせを行った後、上記切断装置本体に傾き
を任意に調節可能な上記零点合わせ用治具を装着し、そ
の零点合わせ用治具の下面を前記少なくとも３個の変位
計に当接させ、それら各変位計の変位量に基いて、前記
零点合わせ用治具の下面が前記ブレード面に平行になる
ように前記零点合わせ用治具の傾きの調節を行うことを
提案する。
行うにあたり、予め、位置出しの基準となる対象物を上
記切断装置本体に鉛直に保持させるとともに、同切断装
置本体に上記傾き検知用治具を装着し、その傾き検知用
治具の少なくとも３個の変位計に前記対象物の平坦な下
面を当接させ、その対象物の下面がブレード面に対して
平行となる時に、前記変位計の変位量をリセットして変
位計の零点合わせを行った後、上記切断装置本体に傾き
を任意に調節可能な上記零点合わせ用治具を装着し、そ
の零点合わせ用治具の下面を前記少なくとも３個の変位
計に当接させ、それら各変位計の変位量に基いて、前記
零点合わせ用治具の下面が前記ブレード面に平行になる
ように前記零点合わせ用治具の傾きの調節を行うことを
提案する。
【００１０】さらに、上記切断方法に用いる切断装置に
あっては、被加工物をその傾きを調節して鉛直に保持可
能な保持部、及び水平面内にて回転して前記被加工物の
下部を平板状に切断可能なブレードを具備してなる切断
装置本体と、少なくとも３個の変位計を具備し且つ前記
切断装置本体に着脱可能な傾き検知用治具と、同切断装
置本体に着脱可能でその傾きを任意に調節可能な零点合
わせ用治具とからなり、前記零点合わせ用治具は、その
下面を前記少なくとも３個の変位計に当接させた状態に
おける同変位計の変位量に基づいて、同下面がブレード
面に平行になるようにその傾きが調節されて位置出しさ
れるようになっていることを特徴とする。
あっては、被加工物をその傾きを調節して鉛直に保持可
能な保持部、及び水平面内にて回転して前記被加工物の
下部を平板状に切断可能なブレードを具備してなる切断
装置本体と、少なくとも３個の変位計を具備し且つ前記
切断装置本体に着脱可能な傾き検知用治具と、同切断装
置本体に着脱可能でその傾きを任意に調節可能な零点合
わせ用治具とからなり、前記零点合わせ用治具は、その
下面を前記少なくとも３個の変位計に当接させた状態に
おける同変位計の変位量に基づいて、同下面がブレード
面に平行になるようにその傾きが調節されて位置出しさ
れるようになっていることを特徴とする。
【００１１】
【作用】上記した手段によれば、予めブレード面に対し
て平行な零点合わせ用治具を用いて零点合わせされてな
る少なくとも３個の変位計に、被加工物の下面を当接さ
せ、それら各変位計の変位量に基いて被加工物の実際の
傾きを求め、その傾きを修正するように被加工物の傾き
の調節を行うようになっているため、容易に被加工物の
下面をブレード面に対して平行になるように合わせるこ
とができる。また、予め零点合わせ用治具をブレード面
に対して平行になるように調節しておくことにより、切
断装置の稼働などにより変位計の零点にずれが生じる虞
があっても、新たなるインゴットの切断を開始する前な
どに再度零点合わせ用治具を用いて容易に変位計の零点
合わせを行うことができる。
て平行な零点合わせ用治具を用いて零点合わせされてな
る少なくとも３個の変位計に、被加工物の下面を当接さ
せ、それら各変位計の変位量に基いて被加工物の実際の
傾きを求め、その傾きを修正するように被加工物の傾き
の調節を行うようになっているため、容易に被加工物の
下面をブレード面に対して平行になるように合わせるこ
とができる。また、予め零点合わせ用治具をブレード面
に対して平行になるように調節しておくことにより、切
断装置の稼働などにより変位計の零点にずれが生じる虞
があっても、新たなるインゴットの切断を開始する前な
どに再度零点合わせ用治具を用いて容易に変位計の零点
合わせを行うことができる。
【００１２】
【実施例】本発明に係るインゴットの切断方法及びそれ
に用いるインゴット切断装置について、図１乃至図４に
基づき、以下に説明する。なお、本実施例においては、
被加工物として半導体インゴットを用い、そのインゴッ
トから薄板状の基板（ウェハ）を切り出す場合を例とし
て挙げて説明する。
に用いるインゴット切断装置について、図１乃至図４に
基づき、以下に説明する。なお、本実施例においては、
被加工物として半導体インゴットを用い、そのインゴッ
トから薄板状の基板（ウェハ）を切り出す場合を例とし
て挙げて説明する。
【００１３】図１には、本発明に係る切断方法の実施に
供せられる切断装置の一例が示されている。同図に示す
ように、この切断装置３は、従来の切断装置と同様の構
成の切断装置本体３０と、傾き検知用治具４と、図示し
ない零点合わせ用治具５（図２参照）とからなる。装置
本体３０は、インゴット１を保持しＸ方向、Ｙ方向及び
Ｚ方向に移動可能且つθ1方向及びそれに直交するθ2方
向に傾斜可能な保持部３１と、平面内にて回転する回転
ブレード２とを有している。
供せられる切断装置の一例が示されている。同図に示す
ように、この切断装置３は、従来の切断装置と同様の構
成の切断装置本体３０と、傾き検知用治具４と、図示し
ない零点合わせ用治具５（図２参照）とからなる。装置
本体３０は、インゴット１を保持しＸ方向、Ｙ方向及び
Ｚ方向に移動可能且つθ1方向及びそれに直交するθ2方
向に傾斜可能な保持部３１と、平面内にて回転する回転
ブレード２とを有している。
【００１４】前記傾き検知用治具４は、図１及び図２に
示すように、少なくとも３個の変位計４０が同一直線上
に並ばないように配置されて一体化されて構成されてい
る。変位計４０は、上下方向の変位を測定しその変位量
を表示可能であれば如何なる機構のものでもよいが、例
えば、ここでは所謂マグネスケールが用いられている。
そして、それらマグネスケールは、装置本体３０のブレ
ード２上に設置可能なように、ブレード２上に渡される
板材４５の上に取り付けられている。
示すように、少なくとも３個の変位計４０が同一直線上
に並ばないように配置されて一体化されて構成されてい
る。変位計４０は、上下方向の変位を測定しその変位量
を表示可能であれば如何なる機構のものでもよいが、例
えば、ここでは所謂マグネスケールが用いられている。
そして、それらマグネスケールは、装置本体３０のブレ
ード２上に設置可能なように、ブレード２上に渡される
板材４５の上に取り付けられている。
【００１５】図２においては、板材４５は装置本体３０
に、その数を特に限定しないが、例えば３点Ａ，Ｂ，Ｃ
で支持されている。なお、この治具４が装置本体３０に
着脱可能となっているのはいうまでもない。また、変位
計４０は、図示しないコンピュータ等の制御装置に接続
されており、変位計４０の上半部４１の伸縮により検出
されてなる変位計４０の上端４２の変位量の読みが、上
記制御装置に接続されてなる図示しない表示装置等に表
示されるようになっている。
に、その数を特に限定しないが、例えば３点Ａ，Ｂ，Ｃ
で支持されている。なお、この治具４が装置本体３０に
着脱可能となっているのはいうまでもない。また、変位
計４０は、図示しないコンピュータ等の制御装置に接続
されており、変位計４０の上半部４１の伸縮により検出
されてなる変位計４０の上端４２の変位量の読みが、上
記制御装置に接続されてなる図示しない表示装置等に表
示されるようになっている。
【００１６】前記零点合わせ用治具５は、図２に示すよ
うに、平板５０に少なくとも３個の高さ調整ネジ５１が
同一直線上に並ばないように配置されて構成されてい
る。それら各高さ調整ネジ５１は、平板５０に貫通して
螺合されており、前記傾き検知用治具４の受部４６にお
いて支持されるようになっている。そして、各高さ調整
ネジ５１を回して進退させることにより平板５０の下面
（基準面）５０ａを任意の角度で傾けることができると
ともに、図示しないロック機構等によりその傾きを半永
久的に保持することができるようになっている。
うに、平板５０に少なくとも３個の高さ調整ネジ５１が
同一直線上に並ばないように配置されて構成されてい
る。それら各高さ調整ネジ５１は、平板５０に貫通して
螺合されており、前記傾き検知用治具４の受部４６にお
いて支持されるようになっている。そして、各高さ調整
ネジ５１を回して進退させることにより平板５０の下面
（基準面）５０ａを任意の角度で傾けることができると
ともに、図示しないロック機構等によりその傾きを半永
久的に保持することができるようになっている。
【００１７】なお、装置本体３０の保持部３１は上記図
示しない制御装置に接続されており、その制御装置によ
り、各変位計４０で検出されてなる変位量に基づいて保
持部３１のθ1方向及びθ2方向の回転角が求まり、モー
タ等の駆動源が駆動されて保持部３１の傾きが自動的に
修正されるようになっていてもよい。
示しない制御装置に接続されており、その制御装置によ
り、各変位計４０で検出されてなる変位量に基づいて保
持部３１のθ1方向及びθ2方向の回転角が求まり、モー
タ等の駆動源が駆動されて保持部３１の傾きが自動的に
修正されるようになっていてもよい。
【００１８】次に、上述したように構成されてなる切断
装置３を用いて、インゴット１から基板を切り出す際の
手順について説明する。先ず、図２に示したように、装
置本体３０上に傾き検知用治具４を装着し、さらにその
上に零点合わせ用治具５を載置する。この際、零点合わ
せ用治具５は、平板５０の基準面５０ａがブレード２に
対して平行になるように予め合わされている（その平行
合わせの具体的な内容については、後述する）。そし
て、各変位計４０をリセットして、それらの変位量を零
に設定する。なお、上述したリセットを行なう前に、予
めその下面に所望の結晶方位の面を露出させてなるイン
ゴット１を保持部３１に装着しておいてもよいし、リセ
ット後にインゴット１を装着するようにしてもよい。
装置３を用いて、インゴット１から基板を切り出す際の
手順について説明する。先ず、図２に示したように、装
置本体３０上に傾き検知用治具４を装着し、さらにその
上に零点合わせ用治具５を載置する。この際、零点合わ
せ用治具５は、平板５０の基準面５０ａがブレード２に
対して平行になるように予め合わされている（その平行
合わせの具体的な内容については、後述する）。そし
て、各変位計４０をリセットして、それらの変位量を零
に設定する。なお、上述したリセットを行なう前に、予
めその下面に所望の結晶方位の面を露出させてなるイン
ゴット１を保持部３１に装着しておいてもよいし、リセ
ット後にインゴット１を装着するようにしてもよい。
【００１９】続いて、図３に示すように、零点合わせ用
治具５を取り外してから、保持部３１に装着してなるイ
ンゴット１を下降させて、各変位計４０の上端４２にイ
ンゴット１の下面１ｃを当接させる。各変位計４０の上
半部４１は、インゴット１の下面１ｃの傾きに応じて伸
縮し、それによって検出されてなる各変位量よりインゴ
ット１の傾き角度及びその傾き方向が求まる。
治具５を取り外してから、保持部３１に装着してなるイ
ンゴット１を下降させて、各変位計４０の上端４２にイ
ンゴット１の下面１ｃを当接させる。各変位計４０の上
半部４１は、インゴット１の下面１ｃの傾きに応じて伸
縮し、それによって検出されてなる各変位量よりインゴ
ット１の傾き角度及びその傾き方向が求まる。
【００２０】求めた角度及び方向に基いて、保持部３１
のθ1方向及びθ2方向の各回転角を求め、それに基いて
保持部３１を回転させることにより、インゴット１の下
面１ｃがブレード２に対して平行となる。その際、製造
誤差等によりインゴット１の下面１ｃに露出している面
の方位が所望の方位からずれている場合には、そのずれ
分を予め求めておき、それも考慮して保持部３１の各方
向の回転角を決めるようにしてもよい。その後、傾き検
知用治具４を取り外して、インゴット１の切断を開始す
る。なお、上述した零点合わせ用治具５を用いた変位計
４０のリセットについては、切断装置３の稼働中におけ
る振動等により変位計４０の零点がリセット時の状態か
らずれたときに適宜行えばよいが、好ましくは、保持部
３１に新たなインゴット１を装着する毎に、変位計４０
のリセットを行うとよい。
のθ1方向及びθ2方向の各回転角を求め、それに基いて
保持部３１を回転させることにより、インゴット１の下
面１ｃがブレード２に対して平行となる。その際、製造
誤差等によりインゴット１の下面１ｃに露出している面
の方位が所望の方位からずれている場合には、そのずれ
分を予め求めておき、それも考慮して保持部３１の各方
向の回転角を決めるようにしてもよい。その後、傾き検
知用治具４を取り外して、インゴット１の切断を開始す
る。なお、上述した零点合わせ用治具５を用いた変位計
４０のリセットについては、切断装置３の稼働中におけ
る振動等により変位計４０の零点がリセット時の状態か
らずれたときに適宜行えばよいが、好ましくは、保持部
３１に新たなインゴット１を装着する毎に、変位計４０
のリセットを行うとよい。
【００２１】次に、上述した変位計４０のリセットの前
に予め行っておく上記零点合わせ用治具５の平行合わせ
の一手法について具体的に説明する。先ず、保持部３１
に、予めその下面に所望の結晶方位の面を露出させてな
るインゴット１を装着する。そして、図５に示した従来
技術のように、そのインゴット１の下部をブレード２で
切断し（図５（Ａ））、切断片１０の結晶方位を測定
し、その測定結果に基づいてインゴット１の傾きを修正
し、もう一度インゴット１の下部を切断する（図５
（Ｂ））。それによって、下面１ｂに所望の方位の面が
露出し、且つその面がブレード２に対して平行であるよ
うなインゴット１が保持部３１に装着されていることに
なる（図５（Ｃ））。
に予め行っておく上記零点合わせ用治具５の平行合わせ
の一手法について具体的に説明する。先ず、保持部３１
に、予めその下面に所望の結晶方位の面を露出させてな
るインゴット１を装着する。そして、図５に示した従来
技術のように、そのインゴット１の下部をブレード２で
切断し（図５（Ａ））、切断片１０の結晶方位を測定
し、その測定結果に基づいてインゴット１の傾きを修正
し、もう一度インゴット１の下部を切断する（図５
（Ｂ））。それによって、下面１ｂに所望の方位の面が
露出し、且つその面がブレード２に対して平行であるよ
うなインゴット１が保持部３１に装着されていることに
なる（図５（Ｃ））。
【００２２】続いて、図４に示すように、装置本体３０
に傾き検知用治具４を装着し、上記図５（Ｃ）の状態の
インゴット１（即ち、位置出しの基準となる対象物）を
下降させて、その下面１ｂを変位計４０に当接させる。
その状態で、各変位計４０をリセットして、それらの変
位量を零に設定する。その後、インゴット１を上昇さ
せ、図２に示したように、傾き検知用治具４上に零点合
わせ用治具５を取り付ける。そして、各変位計４０の変
位量の読みがすべて一致するように、各高さ調整ネジ５
１を適当に回す。
に傾き検知用治具４を装着し、上記図５（Ｃ）の状態の
インゴット１（即ち、位置出しの基準となる対象物）を
下降させて、その下面１ｂを変位計４０に当接させる。
その状態で、各変位計４０をリセットして、それらの変
位量を零に設定する。その後、インゴット１を上昇さ
せ、図２に示したように、傾き検知用治具４上に零点合
わせ用治具５を取り付ける。そして、各変位計４０の変
位量の読みがすべて一致するように、各高さ調整ネジ５
１を適当に回す。
【００２３】そして、各変位計４０の変位量が一致した
時、零点合わせ用治具５の基準面５０ａはブレード２に
対して平行となる。しかる後、各高さ調整ネジ５１のさ
らなる進退を防ぐべく、それらネジ５１を固定する。こ
れにより、装置本体３０上に傾き検知用治具４を載せ、
さらにその上に零点合わせ用治具５を載せるだけで、上
記基準面５０ａは常にブレード２に対して平行となる。
時、零点合わせ用治具５の基準面５０ａはブレード２に
対して平行となる。しかる後、各高さ調整ネジ５１のさ
らなる進退を防ぐべく、それらネジ５１を固定する。こ
れにより、装置本体３０上に傾き検知用治具４を載せ、
さらにその上に零点合わせ用治具５を載せるだけで、上
記基準面５０ａは常にブレード２に対して平行となる。
【００２４】従って、ブレード２や保持部３１を分解し
たり交換したりした時に、上述した零点合わせ用治具５
の平行合わせを行っておけば、以後そのような分解や交
換などを行わない限り、再び零点合わせ用治具５の平行
合わせを行う必要がない。つまり、インゴット１から基
板を切り出すにあたっては、平行合わせされてなる零点
合わせ用治具５を用いて変位計４０のリセットを行った
後すぐに、インゴット１の傾きの修正を行い、切断を開
始すればよい。
たり交換したりした時に、上述した零点合わせ用治具５
の平行合わせを行っておけば、以後そのような分解や交
換などを行わない限り、再び零点合わせ用治具５の平行
合わせを行う必要がない。つまり、インゴット１から基
板を切り出すにあたっては、平行合わせされてなる零点
合わせ用治具５を用いて変位計４０のリセットを行った
後すぐに、インゴット１の傾きの修正を行い、切断を開
始すればよい。
【００２５】上記実施例によれば、傾き検知用治具４及
び予め平行合わせされてなる零点合わせ用治具５を用い
て、保持部３１に装着されたインゴット１の傾きを修正
するようにしたため、容易にインゴット１の下面をブレ
ード２に対して平行になるように合わせることができ
る。従って、従来のように新たなるインゴット１を装着
して切断を開始する毎にインゴット１の下部を切断せず
に済み、切断作業の効率が向上するとともに、不用な切
断片を出さずに済み、一インゴット１から切り出すこと
のできる基板の数が多くなり、歩留りが向上する。ま
た、切断装置３の稼働などにより変位計４０の零点にず
れが生じても、予め平行合わせされてなる零点合わせ用
治具５を用いることにより、再度変位計４０の零点合わ
せを容易に行うことができる。
び予め平行合わせされてなる零点合わせ用治具５を用い
て、保持部３１に装着されたインゴット１の傾きを修正
するようにしたため、容易にインゴット１の下面をブレ
ード２に対して平行になるように合わせることができ
る。従って、従来のように新たなるインゴット１を装着
して切断を開始する毎にインゴット１の下部を切断せず
に済み、切断作業の効率が向上するとともに、不用な切
断片を出さずに済み、一インゴット１から切り出すこと
のできる基板の数が多くなり、歩留りが向上する。ま
た、切断装置３の稼働などにより変位計４０の零点にず
れが生じても、予め平行合わせされてなる零点合わせ用
治具５を用いることにより、再度変位計４０の零点合わ
せを容易に行うことができる。
【００２６】実際に、上記切断装置３を用い、上記手順
にしたがって、直胴部径が２乃至４インチのインゴット
から複数の基板を切り出し、得られた基板の表面の結晶
方位を調べた結果、何れの基板においても、所望の方位
からのずれが０．２５度（許容値）以内であり、本発明
の有効性が確認された。
にしたがって、直胴部径が２乃至４インチのインゴット
から複数の基板を切り出し、得られた基板の表面の結晶
方位を調べた結果、何れの基板においても、所望の方位
からのずれが０．２５度（許容値）以内であり、本発明
の有効性が確認された。
【００２７】なお、傾き検知用治具４は、インゴット１
の下面の傾きを検出することができれば、上記実施例の
構成に限らないのはいうまでもない。例えば、変位計４
０はマグネスケールに限らず、レーザ光を利用したもの
など、変位量を測定しそれに基いて傾きを求めることが
できれば、如何なる機構のものでもよい。また、零点合
わせ用治具５についても種々設計変更可能であるのはい
うまでもない。さらに、上記実施例においては、零点合
わせ用治具５の平行合わせの際に、位置出しの基準とな
る対象物として、インゴット１の下部を切断してその下
面をブレード２に対して平行に合わせたものを用いてい
るが、インゴット１の代わりにダミーとなる適当な被加
工物を用いてもよい。さらにまた、本発明は、半導体イ
ンゴット１の切断に限らず、塊状の被加工物を特定の方
向にスライスする際にも適用可能であるのは勿論であ
る。
の下面の傾きを検出することができれば、上記実施例の
構成に限らないのはいうまでもない。例えば、変位計４
０はマグネスケールに限らず、レーザ光を利用したもの
など、変位量を測定しそれに基いて傾きを求めることが
できれば、如何なる機構のものでもよい。また、零点合
わせ用治具５についても種々設計変更可能であるのはい
うまでもない。さらに、上記実施例においては、零点合
わせ用治具５の平行合わせの際に、位置出しの基準とな
る対象物として、インゴット１の下部を切断してその下
面をブレード２に対して平行に合わせたものを用いてい
るが、インゴット１の代わりにダミーとなる適当な被加
工物を用いてもよい。さらにまた、本発明は、半導体イ
ンゴット１の切断に限らず、塊状の被加工物を特定の方
向にスライスする際にも適用可能であるのは勿論であ
る。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、予めブレード面に対し
て平行な零点合わせ用治具を用いて零点合わせされてな
る少なくとも３個の変位計を用いて被加工物の傾きの調
節を行うようになっているため、被加工物の端面を切断
することなく、容易に被加工物の下面をブレード面に対
して平行になるように合わせることができる。従って、
平行合わせのための被加工物端面の切断を行わずに済
み、切断作業の効率が向上するとともに、不用な切断片
を出さずに済み、歩留りが向上する。特に、被加工物
が、製造に極めて長時間を要する半導体単結晶よりなる
インゴットであり、そのインゴットから薄板状の基板を
切り出す場合には、一つのインゴットから得られる基板
の数が多くなり、その経済効果は極めて大である。ま
た、切断装置の稼働などにより変位計の零点にずれが生
じても、予めブレード面に対して平行になるように調節
しておいた零点合わせ用治具を用いることにより、再度
変位計の零点合わせを容易に行うことができる。
て平行な零点合わせ用治具を用いて零点合わせされてな
る少なくとも３個の変位計を用いて被加工物の傾きの調
節を行うようになっているため、被加工物の端面を切断
することなく、容易に被加工物の下面をブレード面に対
して平行になるように合わせることができる。従って、
平行合わせのための被加工物端面の切断を行わずに済
み、切断作業の効率が向上するとともに、不用な切断片
を出さずに済み、歩留りが向上する。特に、被加工物
が、製造に極めて長時間を要する半導体単結晶よりなる
インゴットであり、そのインゴットから薄板状の基板を
切り出す場合には、一つのインゴットから得られる基板
の数が多くなり、その経済効果は極めて大である。ま
た、切断装置の稼働などにより変位計の零点にずれが生
じても、予めブレード面に対して平行になるように調節
しておいた零点合わせ用治具を用いることにより、再度
変位計の零点合わせを容易に行うことができる。
【図１】本発明に係るインゴットの切断方法に用いる切
断装置の一例を示す斜視図である。
断装置の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明に係るインゴットの切断方法を説明する
ための切断装置の模式断面図である。
ための切断装置の模式断面図である。
【図３】本発明に係るインゴットの切断方法を説明する
ための切断装置の模式断面図である。
ための切断装置の模式断面図である。
【図４】本発明に係るインゴットの切断方法を説明する
ための切断装置の模式断面図である。
ための切断装置の模式断面図である。
【図５】従来のインゴットの切断方法を説明するための
模式図である。
模式図である。
１ インゴット（被加工物、位置出しの基準となる対象
物） １ｂ 下面（対象物の平坦な下面） １ｃ 下面（被加工物の下面） ２ ブレード ３ 切断装置 ４ 傾き検知用治具 ５ 零点合わせ用治具 ３０ 装置本体 ４０ 変位計 ５０ａ 基準面（零点合わせ用治具の平坦な下面）
物） １ｂ 下面（対象物の平坦な下面） １ｃ 下面（被加工物の下面） ２ ブレード ３ 切断装置 ４ 傾き検知用治具 ５ 零点合わせ用治具 ３０ 装置本体 ４０ 変位計 ５０ａ 基準面（零点合わせ用治具の平坦な下面）
Claims (3)
- 【請求項１】 その傾きを調節して鉛直に保持してなる
被加工物の下部を、水平面内にて回転するブレードによ
り平板状に切断可能な切断装置を用いて、切断するにあ
たり、切断装置本体に、少なくとも３個の変位計を具備
してなる着脱可能な傾き検知用治具を装着するととも
に、それら少なくとも３個の変位計に、予めブレード面
に対して平行になるように位置出ししてなる着脱可能な
零点合わせ用治具の平坦な下面を当接させ、同変位計の
変位量をリセットして変位計の零点合わせを行った後、
上記零点合わせ用治具を取り外し、前記少なくとも３個
の変位計に上記被加工物の下面を当接させ、それら各変
位計の変位量に基いて、同被加工物の下面が前記ブレー
ド面に平行になるように被加工物の傾きを修正してか
ら、当該被加工物の切断を行うことを特徴とするインゴ
ットの切断方法。 - 【請求項２】 上記零点合わせ用治具の位置出しを行う
にあたり、予め、位置出しの基準となる対象物を上記切
断装置本体に鉛直に保持させるとともに、同切断装置本
体に上記傾き検知用治具を装着し、その傾き検知用治具
の少なくとも３個の変位計に前記対象物の平坦な下面を
当接させ、その対象物の下面がブレード面に対して平行
となる時に、前記変位計の変位量をリセットして変位計
の零点合わせを行った後、上記切断装置本体に傾きを任
意に調節可能な上記零点合わせ用治具を装着し、その零
点合わせ用治具の下面を前記少なくとも３個の変位計に
当接させ、それら各変位計の変位量に基いて、前記零点
合わせ用治具の下面が前記ブレード面に平行になるよう
に前記零点合わせ用治具の傾きの調節を行うことを特徴
とする請求項１記載のインゴットの切断方法。 - 【請求項３】 上記請求項１又は２に記載のインゴット
の切断方法に用いる切断装置であって、被加工物をその
傾きを調節して鉛直に保持可能な保持部、及び水平面内
にて回転して前記被加工物の下部を平板状に切断可能な
ブレードを具備してなる切断装置本体と、少なくとも３
個の変位計を具備し且つ前記切断装置本体に着脱可能な
傾き検知用治具と、同切断装置本体に着脱可能でその傾
きを任意に調節可能な零点合わせ用治具とからなり、前
記零点合わせ用治具は、その下面を前記少なくとも３個
の変位計に当接させた状態における同変位計の変位量に
基づいて、同下面がブレード面に平行になるようにその
傾きが調節されて位置出しされるようになっていること
を特徴とするインゴット切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25868393A JP2804960B2 (ja) | 1993-10-15 | 1993-10-15 | インゴットの切断方法及びそれに用いるインゴット切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25868393A JP2804960B2 (ja) | 1993-10-15 | 1993-10-15 | インゴットの切断方法及びそれに用いるインゴット切断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07108527A true JPH07108527A (ja) | 1995-04-25 |
| JP2804960B2 JP2804960B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=17323655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25868393A Expired - Lifetime JP2804960B2 (ja) | 1993-10-15 | 1993-10-15 | インゴットの切断方法及びそれに用いるインゴット切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2804960B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002331518A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 単結晶インゴットの切断方法 |
-
1993
- 1993-10-15 JP JP25868393A patent/JP2804960B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002331518A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 単結晶インゴットの切断方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2804960B2 (ja) | 1998-09-30 |
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