JPH0710561A - 光学素子成形用型 - Google Patents
光学素子成形用型Info
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- JPH0710561A JPH0710561A JP17754793A JP17754793A JPH0710561A JP H0710561 A JPH0710561 A JP H0710561A JP 17754793 A JP17754793 A JP 17754793A JP 17754793 A JP17754793 A JP 17754793A JP H0710561 A JPH0710561 A JP H0710561A
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- molding
- molding die
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/084—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor
- C03B11/086—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor of coated dies
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/60—Silica-free oxide glasses
- C03B2201/70—Silica-free oxide glasses containing phosphorus
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/02—Press-mould materials
- C03B2215/08—Coated press-mould dies
- C03B2215/14—Die top coat materials, e.g. materials for the glass-contacting layers
- C03B2215/24—Carbon, e.g. diamond, graphite, amorphous carbon
-
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/02—Press-mould materials
- C03B2215/08—Coated press-mould dies
- C03B2215/30—Intermediate layers, e.g. graded zone of base/top material
- C03B2215/32—Intermediate layers, e.g. graded zone of base/top material of metallic or silicon material
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、光学素子を高精度に成形で
き、超寿命で、しかも従来プレス成形が困難であったリ
ン酸ガラスの成形が容易にできる光学素子成形用型を提
供することにある。 【構成】 本発明は、ガラスよりなる光学素子のプレス
成形に用いる光学素子成形用型において、型母材の少な
くとも成形面に、貴金属又は貴金属合金からなる中間層
を介して、炭素膜が被覆されている光学素子成形用型で
ある。 【効果】 本発明は、光学素子を高精度に成形でき、超
寿命で、しかも従来プレス成形が困難であったリン酸ガ
ラスの成形が容易にできる光学素子成形用型を可能にし
た。
き、超寿命で、しかも従来プレス成形が困難であったリ
ン酸ガラスの成形が容易にできる光学素子成形用型を提
供することにある。 【構成】 本発明は、ガラスよりなる光学素子のプレス
成形に用いる光学素子成形用型において、型母材の少な
くとも成形面に、貴金属又は貴金属合金からなる中間層
を介して、炭素膜が被覆されている光学素子成形用型で
ある。 【効果】 本発明は、光学素子を高精度に成形でき、超
寿命で、しかも従来プレス成形が困難であったリン酸ガ
ラスの成形が容易にできる光学素子成形用型を可能にし
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学素子成形用型に関
し、特に高温での離型性が良好で容易に高精度を実現で
きしかも耐久性が良好な光学素子成形用型に関するもの
である。
し、特に高温での離型性が良好で容易に高精度を実現で
きしかも耐久性が良好な光学素子成形用型に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】一般に、レンズ、プリズム、ミラー及び
フィルタ等の光学素子は、ガラス等の素材を研削して外
形を所望の形状とした後に、機能面即ち光が透過あるい
は反射する面を研磨して光学面とすることにより製造さ
れている。
フィルタ等の光学素子は、ガラス等の素材を研削して外
形を所望の形状とした後に、機能面即ち光が透過あるい
は反射する面を研磨して光学面とすることにより製造さ
れている。
【０００３】以上の様な光学素子の製造においては、研
削及び研磨により所望の表面精度を得るためには、熟練
した作業者が相当の時間加工を行なうことが必要であっ
た。また、機能面が非球面である光学素子を製造する場
合には、一層高度な研削及び研磨の技術が要求され且つ
加工時間も長くならざるを得なかった。
削及び研磨により所望の表面精度を得るためには、熟練
した作業者が相当の時間加工を行なうことが必要であっ
た。また、機能面が非球面である光学素子を製造する場
合には、一層高度な研削及び研磨の技術が要求され且つ
加工時間も長くならざるを得なかった。
【０００４】そこで、最近では、上記の様な伝統的な光
学素子製造方法に代って、所定の表面精度を有する成形
用型内に光学素子材料を収容して加熱しながら加圧する
プレス成形にて直ちに機能面を含む全体的形状を形成す
る方法が行なわれる様になってきている。この方法は、
機能面が非球面である場合でさえも比較的簡単かつ短時
間に成形できるものであり、光学素子の連続製造に適す
る。
学素子製造方法に代って、所定の表面精度を有する成形
用型内に光学素子材料を収容して加熱しながら加圧する
プレス成形にて直ちに機能面を含む全体的形状を形成す
る方法が行なわれる様になってきている。この方法は、
機能面が非球面である場合でさえも比較的簡単かつ短時
間に成形できるものであり、光学素子の連続製造に適す
る。
【０００５】以上の様なプレス成形において使用される
型に要求される性質としては、十分な硬度、良好な耐熱
性、良好な鏡面加工性及び成形時において光学素子材料
と融着を起さないこと等が挙げられる。
型に要求される性質としては、十分な硬度、良好な耐熱
性、良好な鏡面加工性及び成形時において光学素子材料
と融着を起さないこと等が挙げられる。
【０００６】そこで、従来、この様なプレス成形用型部
材としては金属、セラミックス、及びこれらに適宜の材
料をコーティングした材料等、数多くの提案がされてい
る。例えば、特公昭６３−１１２８５号公報には酸化ジ
ルコニウムに貴金属をコーティングした材料が、特開昭
６３−１０３８３６号公報には超硬合金に貴金属や希金
属をコーティングした材料が、また特開昭６３−１３４
５２６号公報には各種母材にＰｔ−Ｎｉをコーティング
した材料が提案されている。
材としては金属、セラミックス、及びこれらに適宜の材
料をコーティングした材料等、数多くの提案がされてい
る。例えば、特公昭６３−１１２８５号公報には酸化ジ
ルコニウムに貴金属をコーティングした材料が、特開昭
６３−１０３８３６号公報には超硬合金に貴金属や希金
属をコーティングした材料が、また特開昭６３−１３４
５２６号公報には各種母材にＰｔ−Ｎｉをコーティング
した材料が提案されている。
【０００７】また、特公昭６２−２８０９１号公報には
超硬合金に貴金属層をコーティングした材料が、特公昭
６２−２８０９２号公報にはサーメットに貴金属層をコ
ーティングした材料が、特開平２−１５７１２９号公報
には白金、珪素（Ｓｉ）、窒素をコーティングした材料
が提案されている。
超硬合金に貴金属層をコーティングした材料が、特公昭
６２−２８０９２号公報にはサーメットに貴金属層をコ
ーティングした材料が、特開平２−１５７１２９号公報
には白金、珪素（Ｓｉ）、窒素をコーティングした材料
が提案されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、貴金属
層をコーティングした材料は、通常の光学ガラスとは融
着は起こしにくいが、リン酸を主成分とする光学ガラス
（例えば住田光学ガラス製ＰＳＫ５０）に対しては良好
な離型性を示さない。また、極めて軟かいため、傷がつ
きやすくまた変形しやすいという欠点がある。また、高
温のガラスと長時間接触すると粒成長する傾向があるた
め膜の耐久性が劣る。
層をコーティングした材料は、通常の光学ガラスとは融
着は起こしにくいが、リン酸を主成分とする光学ガラス
（例えば住田光学ガラス製ＰＳＫ５０）に対しては良好
な離型性を示さない。また、極めて軟かいため、傷がつ
きやすくまた変形しやすいという欠点がある。また、高
温のガラスと長時間接触すると粒成長する傾向があるた
め膜の耐久性が劣る。
【０００９】貴金属と他の元素との合金化によって硬度
は多少はアップするものの、実用レベルには達していな
い。
は多少はアップするものの、実用レベルには達していな
い。
【００１０】また、本提案の最表面にコートする炭素膜
を用いた型は、型とガラスの離型性が良くガラスとの融
着を起こさないが、成形操作を数百回以上繰り返し行な
うに従い、前記膜が部分的に剥離し、又は消耗し薄くな
り過ぎてその下地が融着し易い材料の場合、融着、離型
不良を起こすことがある。
を用いた型は、型とガラスの離型性が良くガラスとの融
着を起こさないが、成形操作を数百回以上繰り返し行な
うに従い、前記膜が部分的に剥離し、又は消耗し薄くな
り過ぎてその下地が融着し易い材料の場合、融着、離型
不良を起こすことがある。
【００１１】また、前記炭素膜をコーティングする際に
型との密着性を上げるため成膜時のミキシングを行なう
ことが多いが、ミキシングにより炭素膜の下地の材料の
成分が、炭素膜中に拡散する。
型との密着性を上げるため成膜時のミキシングを行なう
ことが多いが、ミキシングにより炭素膜の下地の材料の
成分が、炭素膜中に拡散する。
【００１２】炭素膜中に拡散した下地成分が酸化されや
すい成分（例えば窒化チタン）の場合には、成形時に酸
化し、膜の劣化とガラスとの融着を引き起こす。
すい成分（例えば窒化チタン）の場合には、成形時に酸
化し、膜の劣化とガラスとの融着を引き起こす。
【００１３】また、下地成分がガラスとの密着性のよい
材料（例えばチタン（Ｔｉ）、シリコン（Ｓｉ））の場
合には、膜が炭素膜本来の良離型性を示さず、下地成分
と炭素膜の中間の離型性を示すという欠点があり、最悪
の場合、ガラスとの融着を引き起こしたり、ガラス中の
成分と反応し析出物を生じ耐久性の劣化を引き起こす。
材料（例えばチタン（Ｔｉ）、シリコン（Ｓｉ））の場
合には、膜が炭素膜本来の良離型性を示さず、下地成分
と炭素膜の中間の離型性を示すという欠点があり、最悪
の場合、ガラスとの融着を引き起こしたり、ガラス中の
成分と反応し析出物を生じ耐久性の劣化を引き起こす。
【００１４】以上の様に、成形性、耐久性、経済性に優
れた光学素子成形用型を実現するに至っていない。
れた光学素子成形用型を実現するに至っていない。
【００１５】従って、本発明の目的は、型母材上にダイ
ヤモンド膜、ＤＬＣ膜、ａ−Ｃ：Ｈ膜、硬質炭素膜のい
ずれかの膜が形成され、これらの膜が密着力、硬度に優
れ、ガラスの成形に際してガラスの融着や含有成分の反
応析出物を生じることのない、離型性、耐久性に優れた
光学素子成形用型を提供することにある。
ヤモンド膜、ＤＬＣ膜、ａ−Ｃ：Ｈ膜、硬質炭素膜のい
ずれかの膜が形成され、これらの膜が密着力、硬度に優
れ、ガラスの成形に際してガラスの融着や含有成分の反
応析出物を生じることのない、離型性、耐久性に優れた
光学素子成形用型を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、ガラス
よりなる光学素子のプレス成形に用いる光学素子成形用
型において、型母材の少なくとも成形面に、貴金属又は
貴金属合金からなる中間層を介して、炭素膜が被覆され
ていることを特徴とする光学素子成形用型である。
よりなる光学素子のプレス成形に用いる光学素子成形用
型において、型母材の少なくとも成形面に、貴金属又は
貴金属合金からなる中間層を介して、炭素膜が被覆され
ていることを特徴とする光学素子成形用型である。
【００１７】本発明に用いられる型母材材料は、超硬合
金、炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）、サ
ーメット等から選ばれる。これらの型母材の成形面に真
空蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、イオンビー
ム・スパッタ等のＰＶＤ法や熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ
（ＰＣＶＤ）等のＣＶＤ法により、貴金属又は貴金属合
金からなる中間層を形成する。
金、炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）、サ
ーメット等から選ばれる。これらの型母材の成形面に真
空蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、イオンビー
ム・スパッタ等のＰＶＤ法や熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ
（ＰＣＶＤ）等のＣＶＤ法により、貴金属又は貴金属合
金からなる中間層を形成する。
【００１８】中間層の膜厚は、１０ｎｍ〜１０μｍ程度
が好ましい。膜厚の下限は、型母材成分の炭素膜への拡
散を容易に防止できる最低の膜厚であり、上限は膜の内
部応力を効率よく緩和できる最大の膜厚である。
が好ましい。膜厚の下限は、型母材成分の炭素膜への拡
散を容易に防止できる最低の膜厚であり、上限は膜の内
部応力を効率よく緩和できる最大の膜厚である。
【００１９】また、前記中間層の下に窒化チタン（Ｔｉ
Ｎ）を第２の中間層として設けることにより、よりいっ
そうの型母材成分の炭素膜への拡散を防止することがで
きる。また、ＴｉＮは硬度が高くキズがつきにくいた
め、型母材の保護する機能もある。万一、型を再生する
際にも、物理的に炭素膜及び前記中間層膜を剥してＴｉ
Ｎの上から再コートすればよいなどのメリットがある。
Ｎ）を第２の中間層として設けることにより、よりいっ
そうの型母材成分の炭素膜への拡散を防止することがで
きる。また、ＴｉＮは硬度が高くキズがつきにくいた
め、型母材の保護する機能もある。万一、型を再生する
際にも、物理的に炭素膜及び前記中間層膜を剥してＴｉ
Ｎの上から再コートすればよいなどのメリットがある。
【００２０】次に、炭素膜をコートする。炭素膜は、ダ
イヤモンド膜、ダイヤモンド状炭素膜（ＤＬＣ膜）、水
素化アモルファス炭素膜（ａ−Ｃ：Ｈ膜）、硬質炭素膜
等である。
イヤモンド膜、ダイヤモンド状炭素膜（ＤＬＣ膜）、水
素化アモルファス炭素膜（ａ−Ｃ：Ｈ膜）、硬質炭素膜
等である。
【００２１】
【実施例】以下、本発明を実施例により説明する。実施例１ 図１及び図２は本発明に係る光学素子成形用型の１つの
実施態様を示すものである。
実施態様を示すものである。
【００２２】図１は光学素子のプレス成形面の状態を示
し、図２は光学素子成形後の状態を示す。図１中１は型
母材、２，５は該型母材のガラス素材の接触する成形面
に形成されたそれぞれ炭素膜、中間層、３はガラス素材
であり、図２中４は光学素子である。図１に示すように
型の間に置かれたガラス素材３をプレス成形することに
よって、図２に示すようにレンズ等の光学素子４が成形
される。
し、図２は光学素子成形後の状態を示す。図１中１は型
母材、２，５は該型母材のガラス素材の接触する成形面
に形成されたそれぞれ炭素膜、中間層、３はガラス素材
であり、図２中４は光学素子である。図１に示すように
型の間に置かれたガラス素材３をプレス成形することに
よって、図２に示すようにレンズ等の光学素子４が成形
される。
【００２３】次に、本発明の光学素子成形用型について
詳細に説明する。型母材としてＷＣ−Ｃｏ（超硬合金の
１種）を所定の形状に加工し、成形面を鏡面研磨した。
このときの面精度はλ／２０、表面粗さはＲmax ＝０．
０２μｍであった。
詳細に説明する。型母材としてＷＣ−Ｃｏ（超硬合金の
１種）を所定の形状に加工し、成形面を鏡面研磨した。
このときの面精度はλ／２０、表面粗さはＲmax ＝０．
０２μｍであった。
【００２４】この型母材上に表１に示すような中間層及
び炭素膜を成膜した。
び炭素膜を成膜した。
【００２５】次に、本発明による光学素子成形用型によ
ってガラスレンズのプレス成形を行なった例を示す。
ってガラスレンズのプレス成形を行なった例を示す。
【００２６】図４中、５１は真空槽本体、５２はそのフ
タ、５３は光学素子を成形する為の上型、５４はその下
型、５５は上型をおさえるための上型おさえ、５６は胴
型、５７は型ホルダー、５８はヒータ、５９は下型をつ
き上げるつき上げ棒、６０は該つき上げ棒を作動するエ
アシリンダ、６１は油回転ポンプ、６２，６３，６４は
バルブ、６５は不活性ガス流入パイプ、６６はバルブ、
６７はリークパイプ、６８はバルブ、６９は温度セン
サ、７０は水冷パイプ、７１は真空槽を支持する台を示
す。
タ、５３は光学素子を成形する為の上型、５４はその下
型、５５は上型をおさえるための上型おさえ、５６は胴
型、５７は型ホルダー、５８はヒータ、５９は下型をつ
き上げるつき上げ棒、６０は該つき上げ棒を作動するエ
アシリンダ、６１は油回転ポンプ、６２，６３，６４は
バルブ、６５は不活性ガス流入パイプ、６６はバルブ、
６７はリークパイプ、６８はバルブ、６９は温度セン
サ、７０は水冷パイプ、７１は真空槽を支持する台を示
す。
【００２７】レンズを製作する工程を次に述べる。
【００２８】シリカ（ＳｉＯ2 ）４６重量％、酸化バリ
ウム（ＢａＯ）２２重量％、ホウ酸（Ｂ2 Ｏ3 ）１２重
量％、酸化リチウム（Ｌｉ2 Ｏ）８重量％、残部が微量
成分からなるホウケイ酸バリウムガラスを所定の量に調
整し、球状にしたガラス素材を型のキャビティー内に置
き、これを装置内に設置する。
ウム（ＢａＯ）２２重量％、ホウ酸（Ｂ2 Ｏ3 ）１２重
量％、酸化リチウム（Ｌｉ2 Ｏ）８重量％、残部が微量
成分からなるホウケイ酸バリウムガラスを所定の量に調
整し、球状にしたガラス素材を型のキャビティー内に置
き、これを装置内に設置する。
【００２９】ガラス素材を投入した型を装置内に設置し
てから真空槽５１のフタ５２を閉じ、水冷パイプ７０に
水を流し、ヒータ５８に電流を通す、この時窒素ガス用
バルブ６６及び６８は閉じ、排気系バルブ６２，６３，
６４も閉じている。尚、油回転ポンプ６１は常に回転し
ている。
てから真空槽５１のフタ５２を閉じ、水冷パイプ７０に
水を流し、ヒータ５８に電流を通す、この時窒素ガス用
バルブ６６及び６８は閉じ、排気系バルブ６２，６３，
６４も閉じている。尚、油回転ポンプ６１は常に回転し
ている。
【００３０】バルブ６２を開け排気をはじめ１０-2Ｔｏ
ｒｒ以下になったらバルブ６２を閉じ、バルブ６６を開
いて窒素ガスをボンベより真空槽内に導入する。所定温
度（５７０℃）になったらエアシリンダ６０を作動させ
て８０ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で１分間加圧する。圧力を除
去した後、冷却を行ない、２００℃以下に下がったらバ
ルブ６６を閉じ、リークバルブ６３を開いて真空槽５１
内に空気を導入する。それからフタ５２を開け上型おさ
えをはずして成形物を取り出す。
ｒｒ以下になったらバルブ６２を閉じ、バルブ６６を開
いて窒素ガスをボンベより真空槽内に導入する。所定温
度（５７０℃）になったらエアシリンダ６０を作動させ
て８０ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で１分間加圧する。圧力を除
去した後、冷却を行ない、２００℃以下に下がったらバ
ルブ６６を閉じ、リークバルブ６３を開いて真空槽５１
内に空気を導入する。それからフタ５２を開け上型おさ
えをはずして成形物を取り出す。
【００３１】上記のようにして、ホウケイ酸バリウムガ
ラス（ガラス転移点Ｔｇ＝４９１℃）を使用して、図２
に示すレンズ４を成形した。
ラス（ガラス転移点Ｔｇ＝４９１℃）を使用して、図２
に示すレンズ４を成形した。
【００３２】成形結果を表１に示す。いずれのサンプル
も膜剥離や反応生成物の析出、ガラスの融着が見られ
ず、成形面の劣化はなかった。同様に成形品について
も、表面粗さ、透過率、形状精度等のいずれにも問題が
なかった。
も膜剥離や反応生成物の析出、ガラスの融着が見られ
ず、成形面の劣化はなかった。同様に成形品について
も、表面粗さ、透過率、形状精度等のいずれにも問題が
なかった。
【００３３】以上の結果から明らかなように、本発明に
よる型材はガラスとの離型性に優れ、繰り返しの成形に
対しても剥離やキズの発生といった表面劣化を生じない
耐久性に優れた型である。
よる型材はガラスとの離型性に優れ、繰り返しの成形に
対しても剥離やキズの発生といった表面劣化を生じない
耐久性に優れた型である。
【００３４】
【表１】
【００３５】実施例２ サーメットを実施例１と同様の形状に加工して、成形面
を鏡面研磨した。面精度はλ／２０、表面粗さはＲmax
＝０．０２であった。
を鏡面研磨した。面精度はλ／２０、表面粗さはＲmax
＝０．０２であった。
【００３６】この型母材上に表２に示すような中間層及
び炭素膜を成膜し、実施例１と同様の方法で、酸化ニオ
ブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）４３重量％、リン酸（Ｐ2 Ｏ5 ）２３
重量％、酸化ナトリウム（Ｎａ2 Ｏ）９重量％、酸化カ
リウム（Ｋ2 Ｏ）８重量％、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）９
重量％、残部が微量成分からなるリン酸ガラスを成形温
度６４０℃、他は実施例１と同じ条件で成形した。
び炭素膜を成膜し、実施例１と同様の方法で、酸化ニオ
ブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）４３重量％、リン酸（Ｐ2 Ｏ5 ）２３
重量％、酸化ナトリウム（Ｎａ2 Ｏ）９重量％、酸化カ
リウム（Ｋ2 Ｏ）８重量％、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）９
重量％、残部が微量成分からなるリン酸ガラスを成形温
度６４０℃、他は実施例１と同じ条件で成形した。
【００３７】成形結果を表２に示す。実施例１と同様、
良好な結果が得られた。
良好な結果が得られた。
【００３８】
【表２】
【００３９】実施例１及び２では母材として超硬合金及
び、サーメットを用いたが、ＳｉＣ、Ｓｉ3 Ｎ4 を母材
として用いても同様に良好な結果が得られた。
び、サーメットを用いたが、ＳｉＣ、Ｓｉ3 Ｎ4 を母材
として用いても同様に良好な結果が得られた。
【００４０】また、貴金属合金組成は、本発明の実施例
１及び２で用いた合金組成に限定されるものではなく、
その他の合金組成の場合でも同様の結果が得られた。
１及び２で用いた合金組成に限定されるものではなく、
その他の合金組成の場合でも同様の結果が得られた。
【００４１】また実施例１及び２では、炭素膜として水
素化アモルファス炭素膜及びＤＬＣ膜を用いたが、ダイ
ヤモンド膜、硬質炭素膜を用いても同様に良好な結果が
得られた。
素化アモルファス炭素膜及びＤＬＣ膜を用いたが、ダイ
ヤモンド膜、硬質炭素膜を用いても同様に良好な結果が
得られた。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来の光学ガラス素子の成形方法に比べて成形が難しか
ったリン酸ガラスの成形が可能となる他、その他のガラ
スについても非常に高精度に、成形できる。
従来の光学ガラス素子の成形方法に比べて成形が難しか
ったリン酸ガラスの成形が可能となる他、その他のガラ
スについても非常に高精度に、成形できる。
【００４３】また、５０００回のプレス成形が可能な長
寿命な成形用型により、型の交換回数が大幅に減り、高
精度な光学ガラス素子の大量生産を可能にし、生産性の
向上と製造コストの低減に著しい効果がある。
寿命な成形用型により、型の交換回数が大幅に減り、高
精度な光学ガラス素子の大量生産を可能にし、生産性の
向上と製造コストの低減に著しい効果がある。
【図１】本発明に係る光学素子成形用型（成形前の状
態）の一例を示す断面図である。
態）の一例を示す断面図である。
【図２】本発明に係る光学素子成形用型（成形後の状
態）の一例を示す断面図である
態）の一例を示す断面図である
【図３】本発明に係る光学素子成形用型を使用するレン
ズの成形装置を示す断面図である。
ズの成形装置を示す断面図である。
１ 型母材 ２ 炭素膜 ３ ガラス素材 ４ 成形されたレンズ ５ 中間層 ５１ 真空槽 ５２ 真空槽のフタ ５３ 上型 ５４ 下型 ５５ 上型おさえ ５６ 胴型 ５７ 型ホルダー ５８ ヒータ ５９ 下型をつき上げるつき上げ棒 ６０ エアシリンダ ６１ 油回転ポンプ ６２，６３，６４ バルブ ６５ 不活性ガス導入パイプ ６６ バルブ ６７ リークパイプ ６８ バルブ ６９ 温度センサ ７０ 水冷パイプ ７１ 真空槽を支持する台
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桑原 鉄夫 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 横田 正明 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内
Claims (8)
- 【請求項１】 ガラスよりなる光学素子のプレス成形に
用いる光学素子成形用型において、型母材の少なくとも
成形面に、貴金属又は貴金属合金からなる中間層を介し
て、炭素膜が被覆されていることを特徴とする光学素子
成形用型。 - 【請求項２】 前記型母材の材質が超硬合金、炭化珪
素、窒化珪素又はサーメットである請求項１記載の光学
素子成形用型。 - 【請求項３】 前記貴金属合金層が白金（Ｐｔ）、レニ
ウム（Ｒｅ）、イリジウム（Ｉｒ）、オスミウム（Ｏ
ｓ）、パラジウム（Ｐｄ）、ロジウム（Ｒｈ）及びルテ
ニウム（Ｒｕ）からなる群より選ばれた少なくとも１種
の元素を主成分として含有し、かつ白金（Ｐｔ）、レニ
ウム（Ｒｅ）、イリジウム（Ｉｒ）、オスミウム（Ｏ
ｓ）、パラジウム（Ｐｄ）、ロジウム（Ｒｈ）及びルテ
ニウム（Ｒｕ）からなる群より選ばれた少なくとも１種
の元素を含有する請求項１記載の光学素子成形用型。 - 【請求項４】 上記貴金属合金層が白金（Ｐｔ）、レニ
ウム（Ｒｅ）、イリジウム（Ｉｒ）、オスミウム（Ｏ
ｓ）、パラジウム（Ｐｄ）、ロジウム（Ｒｈ）及びルテ
ニウム（Ｒｕ）からなる群より選ばれた少なくとも１種
の元素を主成分として６０〜９９重量％含有し、かつ残
部として白金（Ｐｔ）、レニウム（Ｒｅ）、イリジウム
（Ｉｒ）、オスミウム（Ｏｓ）、パラジウム（Ｐｄ）、
ロジウム（Ｒｈ）及びルテニウム（Ｒｕ）からなる群よ
り選ばれた少なくとも１種の元素を含有する請求項３記
載の光学素子成形用型。 - 【請求項５】 前記貴金属合金層が白金（Ｐｔ）、シリ
コン（Ｓｉ）及び窒素（Ｎ）からなる混合物である請求
項１記載の光学素子成形用型。 - 【請求項６】 上記貴金属合金層が白金（Ｐｔ）を主成
分とし、シリコン（Ｓｉ）の含有率が１〜３５原子％か
つ窒素（Ｎ）の含有率が１〜３５原子％である請求項５
記載の光学素子成形用型。 - 【請求項７】 前記貴金属合金層と母材との間に、更に
窒化チタン（ＴｉＮ）からなる中間層が設けられている
請求項１記載の光学素子成形用型。 - 【請求項８】 前記炭素膜がダイヤモンド膜、ダイヤモ
ンド状炭素膜、水素化アモルファス炭素膜又は硬質炭素
膜である請求項１記載の光学素子成形用型。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5177547A JP2785888B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 光学素子成形用型 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5177547A JP2785888B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 光学素子成形用型 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0710561A true JPH0710561A (ja) | 1995-01-13 |
| JP2785888B2 JP2785888B2 (ja) | 1998-08-13 |
Family
ID=16032862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5177547A Expired - Fee Related JP2785888B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 光学素子成形用型 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2785888B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007169098A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Sumita Optical Glass Inc | 光学ガラス素子成形用型 |
| WO2011092794A1 (ja) * | 2010-01-28 | 2011-08-04 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 微細構造形成のための金型用離型膜およびそれを用いた金型 |
| US8523690B2 (en) | 2009-01-09 | 2013-09-03 | Ntn Corporation | Boot for constant velocity universal joint, and constant velocity universal joint |
-
1993
- 1993-06-25 JP JP5177547A patent/JP2785888B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007169098A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Sumita Optical Glass Inc | 光学ガラス素子成形用型 |
| US8523690B2 (en) | 2009-01-09 | 2013-09-03 | Ntn Corporation | Boot for constant velocity universal joint, and constant velocity universal joint |
| WO2011092794A1 (ja) * | 2010-01-28 | 2011-08-04 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 微細構造形成のための金型用離型膜およびそれを用いた金型 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2785888B2 (ja) | 1998-08-13 |
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