JPH07103870A - ドーナツ状脆性材料基板の強度測定方法および装置 - Google Patents

ドーナツ状脆性材料基板の強度測定方法および装置

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JPH07103870A
JPH07103870A JP25154493A JP25154493A JPH07103870A JP H07103870 A JPH07103870 A JP H07103870A JP 25154493 A JP25154493 A JP 25154493A JP 25154493 A JP25154493 A JP 25154493A JP H07103870 A JPH07103870 A JP H07103870A
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JP
Japan
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substrate
donut
jig
strength
inner peripheral
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Application number
JP25154493A
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English (en)
Inventor
Ichiro Hayashi
一郎 林
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AG Technology Co Ltd
Original Assignee
AG Technology Co Ltd
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Publication date
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  • Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】位置合わせの不要なドーナツ状脆性材料基板の
強度測定方法および装置。 【構成】ドーナツ状基板4外周部を逆円錐状斜面9にお
いて自由支持し、加圧手段により該基板内周部を該基板
主面に垂直に加圧するドーナツ状基板4の強度測定方法
であって、前記加圧手段による加圧が加圧治具2を介し
てなされる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ドーナツ状脆性材料基
板、例えばドーナツ状ガラス基板の強度測定方法および
装置に関するものであり、特に磁気ディスク用ガラス基
板の強度測定に適する方法および装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、磁気ディスク用ガラス基板の強度
測定装置は、ドーナツ状基板の内周部を基板主面に垂直
に加圧することにより該基板の強度を測定する(内周押
し込み法)ものである。該装置は外周支持・内周押し込
みの基本的構造に変わりはないものの、構造が複雑であ
ったり(高価格・大型)、外周支持部分と内周押し込み
部分の位置(同心度)合わせが困難であるなどの問題を
有していた。この位置合わせは小径ディスクほど同一ず
れ量でも強度値に対する誤差が大きくなるため、精密さ
が要求される。さらに、ディスク破壊後の破片の除去も
容易ではなく、残留した微小破片が次のディスクの強度
測定に誤差を及ぼす原因ともなっていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の装置では試料の
セッティング時の位置合わせが困難であり、操作性に問
題がある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は前記従来技術の
問題点を解決すべくなされたものであり、ドーナツ状基
板外周部を逆円錐状斜面において自由支持し、加圧手段
により該基板内周部を該基板主面に垂直に加圧するドー
ナツ状基板の強度測定方法であって、前記加圧手段によ
る加圧が加圧治具を介してなされることを特徴とするド
ーナツ状脆性材料基板の強度測定方法を提供するもので
ある。
【0005】また本発明はドーナツ状基板外周部を逆円
錐状斜面において自由支持し、加圧手段により該基板内
周部を該基板主面に垂直に加圧するドーナツ状基板の強
度測定装置であって、前記加圧手段による加圧が加圧治
具を介してなされ、該加圧治具が上部に前記加圧手段に
接するための鋼球を備え、下部はドーナツ内周より直径
の大きい円筒部と該内筒部に引続くドーナツ内周よりわ
ずかに直径の小さい同軸の円筒部とからなる逆凸型円筒
状をなしていることを特徴とするドーナツ状脆性材料基
板の強度測定装置を提供するものである。ドーナツ状基
板の内周部を基板主面に垂直に加圧することによる強度
測定方法を、以下内周押し込み方法という。
【0006】以下、本発明を図1に示す実施例を用いて
説明する。本発明において基板の内周部は前記加圧治具
を介して加圧源により加圧される。加圧治具は強度試験
装置と分離している。
【0007】図1に示す実施例において被測定基板4は
基板支持台10の内側に設けられた逆円錐状斜面9に自
由支持される。内周押し込みのための加圧治具は、該治
具の上部に備えた鋼球1を介して強度試験装置の加圧源
(図示せず)に接しているので、加圧源からの圧力は該
加圧源と前記治具との鋼球表面上の点での接触を通じて
被測定基板4に伝達される。前記加圧治具2は円筒形を
なし、その下部はドーナツ内周より直径の大きい円筒部
5と該円筒部5に引続くドーナツ内周よりわずかに直径
の小さい円筒部6とからなる逆凸型円筒状をなしてい
る。前記円筒部5から円筒部6につながる水平部分7は
被測定基板の内周部を加圧する。前記円筒部6はドーナ
ツ状基板内周部に密接して嵌入するよう、内周部直径よ
りわずかに小さい直径を有する。
【0008】本発明の装置によれば、内周押し込み部分
は装置の他の部分と固定的に連結せず、単にディスク内
周部に嵌め込まれるだけの構造になっているので、基板
外周支持部分と内周押し込み部分の位置合わせ(同心
度)が不要になる。さらに、内周部を加圧する部分7の
コーナー部8は曲面状に面取りすることにより、ディス
クが破壊に至るまでに変形しても、ディスクに鋭利な角
で接触しないように配慮されている。
【0009】ディスク形状ガラス基板の外周部と接する
部分は、テーパー状(逆円錐状斜面)となっている。こ
れは、破壊の瞬間に無負荷時と比べて内周が押し込まれ
てたわんだ状態でもディスクを外周縁部で支持するため
であり、冒頭に記述した内周押し込み部分の面取りと同
様、いわゆるディスクの片当りによる不均一応力集中が
原因の、異常に低荷重での破壊を防ぐことが目的であ
る。
【0010】また、上記の如く基板支持台10の内側に
は逆円錐状斜面9が設けられているが、該斜面の下方に
は自由な空間を設けて、破壊後の破片の回収・除去を容
易にした。自動化の際は、この円筒の底面あるいは側面
に穴を設け、重力または吸引により破片を除去すること
ができるよう配慮されている。
【0011】内周押し込み部分とディスクとの間には、
例えば透明プラスチックからなるドーナツ状の円盤を配
置することにより、加圧治具が下方空間へ落下すること
を防止し、破片との接触が避けられるため、強度測定終
了毎に清掃する必要がなくなる。さらに、このドーナツ
状円盤は、試料破壊時に破片が外に飛び出すのを防止す
る役割を果たし、破片の回収・除去を容易にしている。
【0012】
【発明の効果】本発明の方法は、被測定基板と加圧源と
の位置合わせが不要であるので、操作が容易であり、ま
た測定の信頼性が高い。また本発明の装置は構造が簡単
であり、操作も容易である。また被測定基板のセットお
よび破壊後の破片の除去が容易であるので、測定を高能
率で行うことができる。本発明の方法および装置は、磁
気ディスク用ガラス基板だけでなく、ドーナツ状ガラス
基板あるいは脆性材料基板の強度測定に用いることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の装置の実施例の断面図
【符号の説明】
1:鋼球 2:加圧治具 3:破片飛散防止カバー 4:被測定ドーナツ状基板 5,6:円筒部 7:水平部 8:コーナー部 9:逆円錐状斜面 10:基板支持台

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ドーナツ状基板外周部を逆円錐状斜面にお
    いて自由支持し、加圧手段により該基板内周部を該基板
    主面に垂直に加圧するドーナツ状基板の強度測定方法で
    あって、前記加圧手段による加圧が加圧治具を介してな
    されることを特徴とするドーナツ状脆性材料基板の強度
    測定方法。
  2. 【請求項2】ドーナツ状基板外周部を逆円錐状斜面にお
    いて自由支持し、加圧手段により該基板内周部を該基板
    主面に垂直に加圧するドーナツ状基板の強度測定装置で
    あって、前記加圧手段による加圧が加圧治具を介してな
    され、該加圧治具が上部に前記加圧手段に接するための
    鋼球を備え、下部はドーナツ内周より直径の大きい円筒
    部と該内筒部に引続くドーナツ内周よりわずかに直径の
    小さい同軸の円筒部とからなる逆凸型円筒状をなしてい
    ることを特徴とするドーナツ状脆性材料基板の強度測定
    装置。
JP25154493A 1993-10-07 1993-10-07 ドーナツ状脆性材料基板の強度測定方法および装置 Pending JPH07103870A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104034581A (zh) * 2013-03-04 2014-09-10 生阳新材料科技(宁波)有限公司 用于加热硒化后的铜铟镓硒玻璃板的强度检测盒
JP2020094832A (ja) * 2018-12-10 2020-06-18 株式会社ディスコ 試験装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104034581A (zh) * 2013-03-04 2014-09-10 生阳新材料科技(宁波)有限公司 用于加热硒化后的铜铟镓硒玻璃板的强度检测盒
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