JPH07102347B2 - 使用済み蒸発器用ボートの再生 - Google Patents
使用済み蒸発器用ボートの再生Info
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- JPH07102347B2 JPH07102347B2 JP4303213A JP30321392A JPH07102347B2 JP H07102347 B2 JPH07102347 B2 JP H07102347B2 JP 4303213 A JP4303213 A JP 4303213A JP 30321392 A JP30321392 A JP 30321392A JP H07102347 B2 JPH07102347 B2 JP H07102347B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
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-
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は使用済み蒸発器用ボート
の再生に関する。
の再生に関する。
【0002】
【従来の技術】蒸発器用ボートは一般的にアルミニウム
のような金属を蒸発させるのに使用されている。その例
は米国特許第4,373,952 号、第4,089,643 号、第3,915,
900 号、第3,813,252 号、第3,803,707 号、第3,582,61
1 号、第3,544,486 号、第3,256,103 号、第3,181,968
号、第2,984,807 号、第2,962,538 号に記載されてい
る。
のような金属を蒸発させるのに使用されている。その例
は米国特許第4,373,952 号、第4,089,643 号、第3,915,
900 号、第3,813,252 号、第3,803,707 号、第3,582,61
1 号、第3,544,486 号、第3,256,103 号、第3,181,968
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る。
【0003】蒸発器用ボートの通常の操作中に、ボート
の材料成分の腐食は溶融アルミニウムとの相互作用の結
果として起こる。少量の材料成分が腐食されただけで
も、ボートの有効断面および電気抵抗率が変動するの
で、そりなりにボートはその実用性を喪失する。この場
合、ボートは通常10〜15% すり減っただけでも、通常、
不合格になり、そして交換される。
の材料成分の腐食は溶融アルミニウムとの相互作用の結
果として起こる。少量の材料成分が腐食されただけで
も、ボートの有効断面および電気抵抗率が変動するの
で、そりなりにボートはその実用性を喪失する。この場
合、ボートは通常10〜15% すり減っただけでも、通常、
不合格になり、そして交換される。
【0004】使用済み蒸発器を再生する方法はドイツ公
開特許明細書第3,839,730 号 (米国特許第4,847,031 号
に対応する) に記載されている。そこに記載されている
方法によれば、一般に、かなり大量のアルミニウムで汚
染されている使用済みボートはアルミニウムを除去する
ために水酸化ナトリウムの温溶液でまず処理される。そ
れから、ボートは塩酸で中和され、水洗され、粉砕され
て粉末になり、そして篩いにかけられる。篩った粉末は
新しいボートを製造するために使用される。この方法は
次のような欠点を有している:
開特許明細書第3,839,730 号 (米国特許第4,847,031 号
に対応する) に記載されている。そこに記載されている
方法によれば、一般に、かなり大量のアルミニウムで汚
染されている使用済みボートはアルミニウムを除去する
ために水酸化ナトリウムの温溶液でまず処理される。そ
れから、ボートは塩酸で中和され、水洗され、粉砕され
て粉末になり、そして篩いにかけられる。篩った粉末は
新しいボートを製造するために使用される。この方法は
次のような欠点を有している:
【0005】蒸発器用ボートからアルミニウム残留物を
除去するための3つの処理工程は非常に経費がかかる。
かなり大量の、汚染された水酸化物溶液および酸、さら
には固体アルミニウムを含有する廃棄物が生じる。この
廃棄物は経費のかかる、しかも環境を汚染する仕方にお
いて廃棄されなければならない。この方法によって精製
された材料はアルカリ金属またはOHイオンで汚染され
ている危険性がある。後者は、特に、酸化に弱い非常に
微細な粉末の場合に、再使用材料が元の蒸発器材料より
高い酸素値を有するような仕方で、現れる。結果とし
て、再使用材料から製造された蒸発器は品質の低下に悩
まされる。
除去するための3つの処理工程は非常に経費がかかる。
かなり大量の、汚染された水酸化物溶液および酸、さら
には固体アルミニウムを含有する廃棄物が生じる。この
廃棄物は経費のかかる、しかも環境を汚染する仕方にお
いて廃棄されなければならない。この方法によって精製
された材料はアルカリ金属またはOHイオンで汚染され
ている危険性がある。後者は、特に、酸化に弱い非常に
微細な粉末の場合に、再使用材料が元の蒸発器材料より
高い酸素値を有するような仕方で、現れる。結果とし
て、再使用材料から製造された蒸発器は品質の低下に悩
まされる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は使用済
み蒸発器用ボートを、環境に優しく、低廃棄物で、再生
することを可能にする方法を提供することである。
み蒸発器用ボートを、環境に優しく、低廃棄物で、再生
することを可能にする方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この目的は、使用済み
の、アルミニウムで汚染された、セラミック製蒸発器用
ボートを微粉砕し、そしてそれを窒素含有雰囲気下でば
い焼することを特徴とする方法によって達成される。
の、アルミニウムで汚染された、セラミック製蒸発器用
ボートを微粉砕し、そしてそれを窒素含有雰囲気下でば
い焼することを特徴とする方法によって達成される。
【0008】適切な出発材料はあらゆるタイプの使用済
みのセラミック製蒸発器用ボートである。内部抵抗にっ
て加熱される前記使用済みの導電性耐火性の蒸発器用ボ
ートは通常、ホウ化チタンと窒化ホウ素と窒化アルミニ
ウムから、またはホウ化チタンと窒化ホウ素から構成さ
れている。それらのいくつかは少量のその他のホウ化
物、窒化物、炭化物、酸化物および/または炭素をも含
有している。使用済み蒸発器用ボートは、たとえば、ボ
ールミル、ジョークラッシャーおよび/またはジェット
微粉砕機のような適切なユニットを使用して、1mm未満
の粒子サイズに、好ましくは100 μm 未満に微粉砕され
る。そうして得られた粉末は400 ℃〜1600℃、好ましく
は400 ℃〜1000℃の温度で、窒素含有雰囲気下で、たと
えば、N2含有および/またはNH3 含有雰囲気下で、
窒素含有成分の分圧0.1 〜100 バールで、100 時間ま
で、好ましくは10〜24時間、ばい焼される。ばい焼中、
遊離アルミニウムは窒化アルミニウムに変換される。粉
砕粉末には、たとえば、すすのような、非常に微細に分
散された形態の炭素が10重量% までの量で、好ましくは
1重量% までの量で添加されることができる。これは粉
末中に含有されている酸化アルミニウムの窒化物化を達
成する。窒化物化はたとえば使用炉のタイプに依存する
様々な方法で行うことができる。たとえば、真空炉はバ
ッチ式窒化物化だけを可能にするが、たとえば、流動床
炉は連続窒化物化を可能にする。
みのセラミック製蒸発器用ボートである。内部抵抗にっ
て加熱される前記使用済みの導電性耐火性の蒸発器用ボ
ートは通常、ホウ化チタンと窒化ホウ素と窒化アルミニ
ウムから、またはホウ化チタンと窒化ホウ素から構成さ
れている。それらのいくつかは少量のその他のホウ化
物、窒化物、炭化物、酸化物および/または炭素をも含
有している。使用済み蒸発器用ボートは、たとえば、ボ
ールミル、ジョークラッシャーおよび/またはジェット
微粉砕機のような適切なユニットを使用して、1mm未満
の粒子サイズに、好ましくは100 μm 未満に微粉砕され
る。そうして得られた粉末は400 ℃〜1600℃、好ましく
は400 ℃〜1000℃の温度で、窒素含有雰囲気下で、たと
えば、N2含有および/またはNH3 含有雰囲気下で、
窒素含有成分の分圧0.1 〜100 バールで、100 時間ま
で、好ましくは10〜24時間、ばい焼される。ばい焼中、
遊離アルミニウムは窒化アルミニウムに変換される。粉
砕粉末には、たとえば、すすのような、非常に微細に分
散された形態の炭素が10重量% までの量で、好ましくは
1重量% までの量で添加されることができる。これは粉
末中に含有されている酸化アルミニウムの窒化物化を達
成する。窒化物化はたとえば使用炉のタイプに依存する
様々な方法で行うことができる。たとえば、真空炉はバ
ッチ式窒化物化だけを可能にするが、たとえば、流動床
炉は連続窒化物化を可能にする。
【0009】上記ばい焼時間の後の、未反応の金属アル
ミニウムの割合は通常、0.1 重量%未満である。0.5 重
量% 未満の量なら、金属アルミニウムは新しい蒸発器用
ボートの製造に邪魔ではない。0.5 重量% より多い金属
アルミウニムは新しい蒸発器用ボートの製造において蒸
発器の諸性質の連続悪化をもたらす。1重量% より多い
アルミニウム含有量は蒸発器用ボートの性質プロフィル
に顕著な損失を生じさせる。
ミニウムの割合は通常、0.1 重量%未満である。0.5 重
量% 未満の量なら、金属アルミニウムは新しい蒸発器用
ボートの製造に邪魔ではない。0.5 重量% より多い金属
アルミウニムは新しい蒸発器用ボートの製造において蒸
発器の諸性質の連続悪化をもたらす。1重量% より多い
アルミニウム含有量は蒸発器用ボートの性質プロフィル
に顕著な損失を生じさせる。
【0010】得られた粉末から、たとえば、ホットプレ
スまたはホット平衡プレスのような、既知の手法によっ
て、蒸発器用ボートが製造できる。
スまたはホット平衡プレスのような、既知の手法によっ
て、蒸発器用ボートが製造できる。
【0011】既知の方法に比べて、本発明の方法は次の
利点を有する:本発明の再生方法は液体または固体どち
らの廃棄物も生じない。以前廃棄されていたアルミニウ
ム含有廃棄物は原料として再利用される。窒素含有雰囲
気中での熱処理はアルミニウムおよび/またはアルミニ
ウム含有化合物を窒化アルミニウム、代表的な蒸発器原
料、に変換させる。再生中の、汚染物の連行およびそれ
から生じる品質の損失は解消される。本発明の方法は非
常に経済的である。
利点を有する:本発明の再生方法は液体または固体どち
らの廃棄物も生じない。以前廃棄されていたアルミニウ
ム含有廃棄物は原料として再利用される。窒素含有雰囲
気中での熱処理はアルミニウムおよび/またはアルミニ
ウム含有化合物を窒化アルミニウム、代表的な蒸発器原
料、に変換させる。再生中の、汚染物の連行およびそれ
から生じる品質の損失は解消される。本発明の方法は非
常に経済的である。
【0012】本発明の再生方法は出発混合物と比べて粉
末混合物のAlN含有量を増加させる。使用された蒸発
器用ボートの出発混合物、または、具体的な蒸発器用ボ
ートのために要望され先行技術から既知の最適混合物を
得るためには、材料を、追加のTiB2 および/または
BNおよび/またはAlN粉末と混合することが通常必
要である。
末混合物のAlN含有量を増加させる。使用された蒸発
器用ボートの出発混合物、または、具体的な蒸発器用ボ
ートのために要望され先行技術から既知の最適混合物を
得るためには、材料を、追加のTiB2 および/または
BNおよび/またはAlN粉末と混合することが通常必
要である。
【0013】記載された方法によって得られた粉末は蒸
発器用ボートのための通常の標準粉末混合物に、釣り合
いのとれた割合で添加されてもよい。
発器用ボートのための通常の標準粉末混合物に、釣り合
いのとれた割合で添加されてもよい。
【0014】全ての場合において、粉末は、たとえば、
ホットプレスまたはホット平衡プレスによって、再び蒸
発器用ボートを製造されることができる。
ホットプレスまたはホット平衡プレスによって、再び蒸
発器用ボートを製造されることができる。
【0015】既知の蒸発器用ボートに比べて、再生粉末
を含有する蒸発器用ボートは操作中に、驚くべきこと
に、使用において、特に蒸発方法の制御において利点を
示す。蒸発器用ボートの操作中の老化による抵抗の降下
故に、一般には、金属の均一蒸発を確保するためには蒸
発器を加熱するパワーを再調節する必要がある。驚くべ
きことに、ボートが既に一度焼結された再生材料を含有
する場合には、使用中の材料老化が減少することが新た
に判明した。結果として、再生材料の割合が50重量% で
さえ、抵抗の降下の顕著な遅延が生じる。これは蒸発器
のパワーをより正確に再調節することを可能にし、その
結果、蒸発方法をより安定に制御することを可能にす
る。
を含有する蒸発器用ボートは操作中に、驚くべきこと
に、使用において、特に蒸発方法の制御において利点を
示す。蒸発器用ボートの操作中の老化による抵抗の降下
故に、一般には、金属の均一蒸発を確保するためには蒸
発器を加熱するパワーを再調節する必要がある。驚くべ
きことに、ボートが既に一度焼結された再生材料を含有
する場合には、使用中の材料老化が減少することが新た
に判明した。結果として、再生材料の割合が50重量% で
さえ、抵抗の降下の顕著な遅延が生じる。これは蒸発器
のパワーをより正確に再調節することを可能にし、その
結果、蒸発方法をより安定に制御することを可能にす
る。
【0016】次に実施例によって本発明をさらに説明す
る:
る:
【0017】
1. 使用済み蒸発器用ボートの2つのバッチを以下に
記載するように各々別個に再生した。バッチ1はAlN
/TiB2 /BNからなる蒸発器用ボートから構成され
た。バッチ2はTiB2 /BNからなる蒸発器用ボート
から構成された。これらバッチをジョークラッシャーを
使用して微粉砕した。1000μm 篩いによって粗い成分を
除去し、そしてさらに微粉砕するためにジョークラッシ
ャーを戻した。細かい成分はジェット微粉砕機でさらに
微粉砕した。ジェット微粉砕機で、100 μm 未満の粒子
サイズにおいて粉砕を停止した後に、粉末を回転キュー
ブミキサーで2時間均質化した。
記載するように各々別個に再生した。バッチ1はAlN
/TiB2 /BNからなる蒸発器用ボートから構成され
た。バッチ2はTiB2 /BNからなる蒸発器用ボート
から構成された。これらバッチをジョークラッシャーを
使用して微粉砕した。1000μm 篩いによって粗い成分を
除去し、そしてさらに微粉砕するためにジョークラッシ
ャーを戻した。細かい成分はジェット微粉砕機でさらに
微粉砕した。ジェット微粉砕機で、100 μm 未満の粒子
サイズにおいて粉砕を停止した後に、粉末を回転キュー
ブミキサーで2時間均質化した。
【0018】この出発材料を無酸素の窒素雰囲気下でセ
ラミック製るつぼ内で1/2 〜1バールの圧力および1000
℃で24時間ばい焼した。
ラミック製るつぼ内で1/2 〜1バールの圧力および1000
℃で24時間ばい焼した。
【0019】分析は両方のバッチに関して遊離アルミニ
ウム0.09% の残留含有量を示した。
ウム0.09% の残留含有量を示した。
【0020】この処理は下記組成 (重量%)のバッチをも
たらした:バッチI バッチII 22.5 % AlN 3.5 % AlN 28 % BN 47.5 % BN 49.5 % TiB2 49 % TiB2
たらした:バッチI バッチII 22.5 % AlN 3.5 % AlN 28 % BN 47.5 % BN 49.5 % TiB2 49 % TiB2
【0021】2. (重量% で) 49.5% のTiB2 、28
% のBN、22.5% AlNの組成を有する、実施例1(バ
ッチ1)に従って製造した再使用粉末を、50% のTiB
2 、30% のBN、20% のAlNの標準組成物を生じるよ
うに次のように混合した:20kgの蒸発器原料を生成する
ために、1.35kgのTiB2 粉末と1.15kgのBN粉末を1
7.5kgの再使用材料に添加し、そしてローラーブラケッ
ト上の鋼球含有プラスチック容器で1時間混合した。グ
ラファイト製の型での通常のホットプレス法の後に、粉
末を1950℃および8.0 MPa の単位圧力で圧縮した。18
0mm 直径および200mm 高さの完成した蒸発器用物体は理
論密度の96.1±0.3 % の密度を有していた。
% のBN、22.5% AlNの組成を有する、実施例1(バ
ッチ1)に従って製造した再使用粉末を、50% のTiB
2 、30% のBN、20% のAlNの標準組成物を生じるよ
うに次のように混合した:20kgの蒸発器原料を生成する
ために、1.35kgのTiB2 粉末と1.15kgのBN粉末を1
7.5kgの再使用材料に添加し、そしてローラーブラケッ
ト上の鋼球含有プラスチック容器で1時間混合した。グ
ラファイト製の型での通常のホットプレス法の後に、粉
末を1950℃および8.0 MPa の単位圧力で圧縮した。18
0mm 直径および200mm 高さの完成した蒸発器用物体は理
論密度の96.1±0.3 % の密度を有していた。
【0022】このブロックから110 mm×20 mm ×10 mm
の寸法を有する蒸発器ボートを切り出し、そして70mm×
15mm×2 mmのくぼみを設けた。この蒸発器用ボートの電
気抵抗率は920 μΩ・cmであった。アルミニウムの蒸発
を包含する高温試験では、蒸発器用ボートは新しい原料
から製造した類似の蒸発器用ボートと同じ湿潤挙動およ
び動作寿命を示した。しかしながら、高温試験中の本発
明の蒸発器の抵抗降下は新しい原料から製造した蒸発器
用ボートの抵抗降下より約30% も小さかった。
の寸法を有する蒸発器ボートを切り出し、そして70mm×
15mm×2 mmのくぼみを設けた。この蒸発器用ボートの電
気抵抗率は920 μΩ・cmであった。アルミニウムの蒸発
を包含する高温試験では、蒸発器用ボートは新しい原料
から製造した類似の蒸発器用ボートと同じ湿潤挙動およ
び動作寿命を示した。しかしながら、高温試験中の本発
明の蒸発器の抵抗降下は新しい原料から製造した蒸発器
用ボートの抵抗降下より約30% も小さかった。
【0023】3. 実施例1(バッチI)に従って製造
した再使用粉末を、15重量%の、新しい粉末からなる
混合物に添加した。この初期秤量は実施例2に特定され
ている標準混合物が得られるように調節されている。実
施例2と同じように混合およびホットプレスを行った。
完成した物体の密度は96.4±0.3%であった。実
施例2に従って製造したボートは960μΩ・cmの電
気抵抗率を有していた。
した再使用粉末を、15重量%の、新しい粉末からなる
混合物に添加した。この初期秤量は実施例2に特定され
ている標準混合物が得られるように調節されている。実
施例2と同じように混合およびホットプレスを行った。
完成した物体の密度は96.4±0.3%であった。実
施例2に従って製造したボートは960μΩ・cmの電
気抵抗率を有していた。
【0024】4. (重量%で)49%のTiB2、4
7.5%のBN、3.5%AlNの組成を有する、実施
例1(バッチII)に従って製造した再使用粉末を、5
0%のTiB2、30%のBN、20%のAlNの標準
組成物を生じるように混合した。20kgの混合物を得
るために、3.8kgのTiB2粉末と3.6kgのA
lN粉末を12.6kgの再使用材料に添加し、そし
て、実施例2に説明したのと同じように、ローラーブラ
ケット上で混合し、そしてホットプレスした。完成物体
の密度は96.2±0.3%であった。実施例2に従っ
て製造したボートは930μΩ・cmの電気抵抗率を有
していた。高温試験中の抵抗の降下は新しい原料から製
造した蒸発器用ボートより約10%小さかった;その他
の点については、差異がみられなかった。高温試験にお
いて、新しい材料から製造した担当する蒸発器用ボート
と差異はなかった。
7.5%のBN、3.5%AlNの組成を有する、実施
例1(バッチII)に従って製造した再使用粉末を、5
0%のTiB2、30%のBN、20%のAlNの標準
組成物を生じるように混合した。20kgの混合物を得
るために、3.8kgのTiB2粉末と3.6kgのA
lN粉末を12.6kgの再使用材料に添加し、そし
て、実施例2に説明したのと同じように、ローラーブラ
ケット上で混合し、そしてホットプレスした。完成物体
の密度は96.2±0.3%であった。実施例2に従っ
て製造したボートは930μΩ・cmの電気抵抗率を有
していた。高温試験中の抵抗の降下は新しい原料から製
造した蒸発器用ボートより約10%小さかった;その他
の点については、差異がみられなかった。高温試験にお
いて、新しい材料から製造した担当する蒸発器用ボート
と差異はなかった。
【0025】本発明の使用済みのセラミック製蒸発器用
ボートを再生する方法は次の態様を包含する: 1. 使用済み蒸発器用ボートがホウ化チタンおよび窒
化ホウ素を含有している、請求項1記載の方法。 2. 蒸発器用ボートが1000μm未満の粒子サイズ
に微粉砕される、請求項1或いは前項1記載の方法。 3. 使用される窒素含有雰囲気がNH3 或いはN 2 で
ある、請求項1、前項1または前項2いずれか1項記載
の方法。 4. ばい焼が400〜1000℃の温度で、100時
間以下の時間で行われる、請求項1、前項1〜前項3い
ずれか1項記載の方法。 5. ばい焼前に、10重量%以下の炭素が微分散形態
で添加される、請求項1、前項1〜前項4いずれか1項
記載の方法。 6. 遊離アルミニウム含有量が0.5重量%未満であ
る、前項6記載の粉末混合物。
ボートを再生する方法は次の態様を包含する: 1. 使用済み蒸発器用ボートがホウ化チタンおよび窒
化ホウ素を含有している、請求項1記載の方法。 2. 蒸発器用ボートが1000μm未満の粒子サイズ
に微粉砕される、請求項1或いは前項1記載の方法。 3. 使用される窒素含有雰囲気がNH3 或いはN 2 で
ある、請求項1、前項1または前項2いずれか1項記載
の方法。 4. ばい焼が400〜1000℃の温度で、100時
間以下の時間で行われる、請求項1、前項1〜前項3い
ずれか1項記載の方法。 5. ばい焼前に、10重量%以下の炭素が微分散形態
で添加される、請求項1、前項1〜前項4いずれか1項
記載の方法。 6. 遊離アルミニウム含有量が0.5重量%未満であ
る、前項6記載の粉末混合物。
【0026】
【0027】
フロントページの続き (72)発明者 ペーター・マトイェ ドイツ連邦共和国 ヴィゲンスバッハ、シ ュヴァルツァヒェン 4
Claims (4)
- 【請求項1】使用済みのセラミック製蒸発器用ボートを
再生する方法であって、使用済みの、アルミニウムで汚
染された、セラミック製蒸発器用ボートを微粉砕し、そ
してそれを窒素含有雰囲気下でばい焼することを特徴と
する、前記方法。 - 【請求項2】請求項1の方法によって製造された粉末混
合物。 - 【請求項3】請求項2の粉末混合物を使用して製造され
た蒸発器用ボート。 - 【請求項4】使用済みの、アルミニウムで汚染された、
セラミック製蒸発器用ボートが微粉砕され、得られた粉
末がN2 含有雰囲気下でばい焼され、そして得られた粉
末が既知の手法で蒸発器用ボートに製造されることを特
徴とする、蒸発器用ボート。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4138481A DE4138481A1 (de) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | Wiederaufarbeitung von gebrauchten verdampferschiffchen |
DE41-38-481-4 | 1991-11-22 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05220465A JPH05220465A (ja) | 1993-08-31 |
JPH07102347B2 true JPH07102347B2 (ja) | 1995-11-08 |
Family
ID=6445387
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4303213A Expired - Fee Related JPH07102347B2 (ja) | 1991-11-22 | 1992-10-16 | 使用済み蒸発器用ボートの再生 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5266263A (ja) |
EP (1) | EP0543398B1 (ja) |
JP (1) | JPH07102347B2 (ja) |
DE (2) | DE4138481A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19524662A1 (de) * | 1995-07-06 | 1997-01-09 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Antioxidantien für feuerfeste Massen und Verfahren zu ihrer Herstellung |
DE10015850A1 (de) * | 2000-03-30 | 2001-10-18 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Material für alterungsbeständige keramische Verdampfer |
DE10055442A1 (de) † | 2000-11-09 | 2002-05-29 | Wacker Chemie Gmbh | Verfahren zum Recycling eines Bornitrid-Keramik-Bauteils für metallurgische Anwendungen |
US8034153B2 (en) * | 2005-12-22 | 2011-10-11 | Momentive Performances Materials, Inc. | Wear resistant low friction coating composition, coated components, and method for coating thereof |
EP2019156A1 (en) * | 2007-07-27 | 2009-01-28 | Applied Materials, Inc. | Shaped crucible and evaporation apparatus having same |
US20090217876A1 (en) * | 2008-02-28 | 2009-09-03 | Ceramic Technologies, Inc. | Coating System For A Ceramic Evaporator Boat |
DE102013210819B4 (de) * | 2013-06-10 | 2016-12-29 | Kennametal Inc. | Verfahren zur Herstellung eines elektrisch leitfähigen keramischen Körpers sowie elektrisch leitfähiger keramischer Körper |
JP7395588B2 (ja) * | 2018-11-20 | 2023-12-11 | ボブスト マンチェスター リミテッド | 蒸発器ボート制御システム、pvd装置、及びpvd装置を作動させる方法 |
CN114394854B (zh) * | 2022-01-18 | 2023-03-24 | 辽宁航安型芯科技股份有限公司 | 一种基于废旧蒸发舟制备硅基陶瓷型芯隔离涂层的方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US2962538A (en) * | 1958-01-30 | 1960-11-29 | Continental Can Co | Vaporizing heater for vacuum deposition and method of employing the same |
US2984807A (en) * | 1960-03-23 | 1961-05-16 | Borolite Corp | Corrosion-resistant high-temperature bodies for metal vaporizing heaters and other applications |
US3181968A (en) * | 1960-07-25 | 1965-05-04 | Union Carbide Corp | Methods for metal vaporization |
US3256103A (en) * | 1963-05-20 | 1966-06-14 | Refractory article | |
DE1289712C2 (de) * | 1965-08-11 | 1973-12-13 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Verdampfer fuer das Vakuumaufdampfen von Metallschichten auf Werkstoffe |
US3544486A (en) * | 1968-05-23 | 1970-12-01 | Sylvania Electric Prod | Refractory bodies containing aluminum nitride,boron nitride and titanium boride |
US3582611A (en) * | 1969-11-24 | 1971-06-01 | Sylvania Electric Prod | Apparatus and method of metal evaporation including an evaporation boat having lower electrical resistivity ends than the center thereof |
FR2170839A1 (en) * | 1972-02-03 | 1973-09-21 | Sp Konstruktors | Metallic ceramic material for heating elements - - based on aluminium,titanium boride and boron nitride |
US3803707A (en) * | 1972-03-21 | 1974-04-16 | Gte Sylvania Inc | Method of making an improved refractory boat for metal vaporization |
ES417413A1 (es) * | 1972-08-18 | 1976-03-01 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Perfeccionamientos introducidos en evaporadores a base de material refractario sinterizado. |
US4089643A (en) * | 1976-03-19 | 1978-05-16 | Gte Sylvania Incorporated | Self-resistance-heated evaporation boat |
US4373952A (en) * | 1981-10-19 | 1983-02-15 | Gte Products Corporation | Intermetallic composite |
EP0176737B1 (en) * | 1984-09-28 | 1989-08-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Process for production of readily sinterable aluminum nitride powder |
US4847031A (en) * | 1987-12-16 | 1989-07-11 | Gte Products Corporation | Evaporating boats containing titanium diboride |
US4865830A (en) * | 1988-01-27 | 1989-09-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Gas phase preparation of aluminum nitride |
DE59010484D1 (de) * | 1989-11-08 | 1996-10-10 | Ciba Geigy Ag | Schmierstoffzusammensetzungen |
GB8926164D0 (en) * | 1989-11-20 | 1990-01-10 | Rtz Chemicals Borides Limited | Process for the production of refractory composite article |
FR2671339B1 (fr) * | 1991-01-03 | 1993-08-27 | Pechiney Electrometallurgie | Procede de nitruration directe de metaux a bas point de fusion. |
-
1991
- 1991-11-22 DE DE4138481A patent/DE4138481A1/de not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-10-16 JP JP4303213A patent/JPH07102347B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1992-10-28 US US07/967,665 patent/US5266263A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-11-20 DE DE59200299T patent/DE59200299D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-11-20 EP EP92119804A patent/EP0543398B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05220465A (ja) | 1993-08-31 |
DE4138481A1 (de) | 1993-05-27 |
US5266263A (en) | 1993-11-30 |
DE59200299D1 (de) | 1994-08-25 |
EP0543398B1 (de) | 1994-07-20 |
EP0543398A1 (de) | 1993-05-26 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |