JPH0698294B2 - 輸送容器装置 - Google Patents

輸送容器装置

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JPH0698294B2
JPH0698294B2 JP62243680A JP24368087A JPH0698294B2 JP H0698294 B2 JPH0698294 B2 JP H0698294B2 JP 62243680 A JP62243680 A JP 62243680A JP 24368087 A JP24368087 A JP 24368087A JP H0698294 B2 JPH0698294 B2 JP H0698294B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は試料を高真空度状態に保持したまま真空装置
間の輸送を行なう輸送容器装置に関するものである。
〔従来の技術〕
一般に、高真空度あるいは中真空度の真空装置内で各種
の処理がなされた試料を一旦その装置から取り出し、後
に再びその真空装置内または他の真空装置内に収容され
る場合には、試料を大気に晒すことなく真空状態に保持
したまま輸送することが要求されることがある。従来、
このような要求に応えるものとして、第２図に示される
ような輸送容器装置が用いられていた。この輸送容器装
置は容器本体（１）の下部に開閉自在に設けられた連結
部（２）と、容器本体（１）の側部に接続部（３）を介
して気密に接続されたイオンポンプ等からなる真空ポン
プ（４）とを備えている。そして、連結部（２）を閉じ
たままこれを図示しない真空装置に気密に連結させると
共に真空ポンプ（４）により容器本体（１）内を真空引
きして高真空度あるいは中真空度に保持させる。この状
態で連結部（２）を開いて真空装置内から試料（５）を
容器本体（１）内に移送しこれをホルダ（６）に支持さ
せた後、連結部（２）を閉じる。その後、連結部（２）
を開いて試料（５）を再び真空装置内に収容させるか、
あるいは連結部（２）を真空装置から切り離して他の真
空装置に連結し試料（５）をその中に収容させる。
このようにして、試料（５）は大気に晒されることなく
真空装置間を輸送される。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、容器本体（１）内の真空度を保つために
は電源ケーブル（７）を通して電源（図示せず）から真
空ポンプ（４）に電力を供給することにより、輸送の間
絶えず真空ポンプ（４）を作動させる必要がある。通
常、電源は固定されているため、輸送容器装置の可動範
囲が電源ケーブル（７）の移動可能な範囲に制限される
という問題点があつた。
また、真空ポンプを用いているので輸送容器装置が高価
になるという問題もあつた。
この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、優れた可搬性を有すると共に安価な輸送容器
装置を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る輸送容器装置は、密閉容器内の試料を囲
繞するように伝熱部材を設けると共にこの伝熱部材の一
端を断熱容器内に導いてこれを冷却媒体により冷却する
ものである。
〔作 用〕
一般に気体は低温になるほど体積が収縮するので、体積
一定の下では気体の圧力が低下する。
そこで、伝熱部材を介して低温媒体により試料の外周部
を冷却すれば、密閉容器内の圧力、特に試料周辺部の気
体圧力を低下あるいは保持することができる。従つて、
真空ポンプを用いなくても密閉容器内、特に試料の周辺
部を長時間にわたつて所望の高真空度状態に保持するこ
とが可能となる。
〔実施例〕
以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて説明す
る。
第１図はこの発明の一実施例に係る輸送容器装置を示す
要部破断側面図である。第１図において、輸送容器装置
は筒状の容器本体（１）を有し、この容器本体（１）の
一端が解放されると共にこの開放端部に開閉自在に連結
部（２）が設けられており、これら容器本体（１）と連
結部（２）とによつて密閉容器（Ｖ）が形成されてい
る。また、容器本体（１）の外側部には接続部（３）を
介して断熱容器（８）が気密に接続され、この断熱容器
（８）内に液体窒素等の冷却媒体（９）が収容されてい
る。さらに、密閉容器（Ｖ）の内壁には試料（５）を支
持するためのホルダ（６）が取り付けられており、この
ホルダ（６）の先端部の、試料支持部の外周を囲繞する
ように筒形状に形成された冷却部（10a）を有する伝熱
部材（10）が設けられている。この伝熱部材（10）は銅
等の熱伝導性に優れた材料から形成され、その底部には
試料を出し入れするための開口部（11）が設けられると
共に伝熱部材（10）の一端部が冷却部（10a）から接続
部（３）内を通つて断熱容器（８）にまで延出され、断
熱容器（８）の側壁を貫通してその先端部が冷却媒体
（９）中に浸漬されている。
次に、この実施例の作用を説明する。
予め密閉容器を（Ｖ）を連結部（２）を介して真空装置
に気密に連結させる。そして、連結部（２）を開いて、
密閉容器（Ｖ）内を真空装置の排気装置（図示せず）を
用いて真空引き（荒引き＋本引き）を行い高真空状態に
する。次に、真空装置内から試料（５）を取り出し、伝
熱部材（10）の開口部（11）を通して容器本体（１）内
のホルダ（６）に支持させた後、連結部（２）を閉じ
る。
これにより試料（５）の密閉容器（Ｖ）内への移送が行
なわれるが、このとき伝熱部材（10）の一端が断熱容器
（８）内に導かれているので伝熱部材（10）は断熱容器
（８）内の液体窒素等の冷却媒体（９）により低温に冷
却される。特に、伝熱部材（10）は熱伝導に優れた銅等
の熱伝導材から形成されているので、冷却は伝熱部材
（10）全体に瞬時に及ぶことになる。その結果、伝熱部
材（10）で囲繞されている試料（５）の周辺部が冷却さ
れ、この部分の気体の圧力が低下される。すなわち、密
閉容器（Ｖ）内の真空度の低下が抑制され、高真空度状
態が維持される。
その後、連結部（２）を開いて試料（５）を再び元の真
空装置内に移送するか、あるいは連結部（２）をその真
空装置から切り離して他の真空装置に連結し試料（５）
の移送を行なう。このとき、従来と異なり真空ポンプを
用いていないのでこの輸送容器装置には真空ポンプを電
源に接続するための電源ケーブルが存在せず、このため
移動範囲に制限を受けることなく自由に試料（５）を内
蔵した輸送容器装置を移動することができる。
このようにして、試料（５）を高真空度状態に保持した
まま真空装置間の輸送が行なわれる。
また、伝熱部材（10）は試料（５）を囲繞するような形
状であればよく、筒形状の他、コイル形状、箱形状等と
することができる。ただし、試料（５）を出し入れする
ための開口部を設ける必要がある。
また、断熱容器（８）内に収容する冷却媒体（９）とし
ては液体窒素に限るものではなく、他の冷媒を用いるこ
ともできる。
〔発明の効果〕
以上説明したようにこの発明によれば、伝熱部材を介し
て冷却媒体により密閉容器内の試料の周辺部を冷却する
ような構成としたので、真空ポンプを用いずに密閉容器
内を高真空状態に保持することができる。従つて、従来
用いられていた電源ケーブルが不要となり優れた可搬性
を示すようになり、また、真空ポンプを用いないので、
安価な輸送容器装置を実現できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例に係る輸送容器装置を示す
要部破断側面図、第２図は従来例を示す要部破断側面図
である。 図において、（１）は容器本体、（２）は連結部、
（３）は接続部、（５）は試料、（６）はホルダ、
（８）は断熱容器、（９）は冷却媒体、（10）は伝熱部
材、（11）は開口部である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】真空装置から取り出した試料を内部に収容
    し支持する密閉容器と、冷却媒体が収容されている断熱
    容器と、上記密閉容器内で上記試料を囲繞すると共にそ
    の一端が上記断熱容器内に導かれて冷却媒体により冷却
    される伝熱部材とを備えたことを特徴とする輸送容器装
    置。
  2. 【請求項２】上記冷却媒体は液体窒素からなることを特
    徴とする特許請求の範囲第１項記載の輸送容器装置。
  3. 【請求項３】上記伝熱部材は銅から形成されることを特
    徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の輸送
    容器装置。
  4. 【請求項４】上記伝熱部材は上記試料の外側部を覆う筒
    形状をなすことを特徴とする特許請求の範囲第１項ない
    し第３項のいずれかに記載の輸送容器装置。
  5. 【請求項５】上記密閉容器と上記断熱容器とが一体化さ
    れていることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし
    第４項のいずれかに記載の輸送容器装置。
  6. 【請求項６】上記密閉容器と上記断熱容器との一体化が
    これらを気密に接続する接続部を介してなされることを
    特徴とする特許請求の範囲第５項記載の輸送容器装置。
  7. 【請求項７】上記密閉容器は一端を開放した容器本体
    と、その開放端に開閉自在に設けられると共に真空装置
    に気密に接続されうる連結部とからなることを特徴とす
    る特許請求の範囲第１項ないし第６項のいずれかに記載
    の輸送容器装置。
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JPS6490027A JPS6490027A (en) 1989-04-05
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JPS6490027A (en) 1989-04-05

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