JPH069661A - トリアルキルホスフェートエステル組成物及びその製法 - Google Patents

トリアルキルホスフェートエステル組成物及びその製法

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JPH069661A
JPH069661A JP5133785A JP13378593A JPH069661A JP H069661 A JPH069661 A JP H069661A JP 5133785 A JP5133785 A JP 5133785A JP 13378593 A JP13378593 A JP 13378593A JP H069661 A JPH069661 A JP H069661A
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    • C07FACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
    • C07F9/00Compounds containing elements of Groups 5 or 15 of the Periodic Table
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 耐火性潤滑剤の基剤、潤滑剤の耐摩耗性添加
物、及び難燃片可塑剤などに使用するのに適した優れた
熱、酸化及び加水分解の安定性の組み合せを有する第三
級ホスフェートエステル及びその製法を提供する。 【構成】 アルキル部分がイソプロピル、イソブチル、
第三級ブチル、イソアミル及び第三級アミルよりなる群
から選ばれる、重量で1−20%のトリアルキルフェニ
ルホスフェート、10−50%のジアルキルフェニルモ
ノフェニルホスフェート、15−60%のモノアルキル
フェニルジフェニルホスフェート及び2%より少ないト
リフェニルホスフェートを特徴とする混合アルキル化ト
リフェニルホスフェートエステルの組成物及びその製法
に関する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、トリフェニルホスフェ
ートの濃度の減少した新規な液体の混合トリアリールホ
スフェート組成物及びその製法である。
【0002】
【従来の技術】混合合成トリアリールホスフェートエス
テルは、フェノール及び置換フェノールの混合物を得る
ためにフェノールをアルケン例えばプロピレン又はイソ
ブチレンによりアルキル化することにより製造される。
米国特許第4093680号によれば、このアルキレー
ト混合物は、次にオキシ塩化燐(POCl)と反応し
て混合トリアリールホスフェートエステルを形成する。
生成混合物は、原料アルキレートの組成に基づく統計的
な混合物であり、常に、通常5−50%のトリフェニル
ホスフェート(TPP)の或るフラクションを含む。生
成物の物理的性質は、フェノールのアルキル化の程度に
より決定される。アルキル化の高いフェノール混合物
は、より置換されていないものより粘度のより高いホス
フェートエステル生成物をもたらすだろう。
【0003】例えば、この方法は、トリフェニルホスフ
ェート、ジフェニルアルキルフェニルホスフェート、フ
ェニルジ(アルキルフェニル)ホスフェート及びトリ
(アルキルフェニル)ホスフェート(「混合アルキル化
ホスフェートエステル」)を含むホスフェートエステル
異性体の混合物である。2−5個のアルキル基を有する
フェノール環は存在できるが、しかしこれらの基は、P
OClと反応するのに遅く、そして市販されている製
品中に0.5%より少なく存在することも可能である。
最後の生成物は、原料としてフェノール及びアルキルフ
ェノールの特定のブレンドを選ぶことにより目的に合わ
せて製造できる。これらホスフェートエステルは、耐火
性潤滑剤の基剤、潤滑剤の耐摩耗性添加物、及び難燃性
可塑削として使用される。酸化、熱及び加水分解の劣化
に対して非常に抵抗性のあるホスフェートエステルか望
ましい。さらに、揮発性の低いホスフェートエステル
は、大きな蒸発損失を示さず、それは高温の使用に有利
である。
【0004】良好な酸化的安定性を有する従来のホスフ
ェートエステルは、貧弱な加水分解安定性を有し、そし
て反対に、良好な加水分解安定性を有するホスフェート
エステルは、低下した酸化的安定性を有した。優れた
熱、酸化及び加水分解の安定性の組み合せを有する第三
級ホスフェートエステルを生成するのが望ましい。
【0005】
【発明の概要】本発明は、重量で1−20%のトリアル
キルフェニルホスフェート、10−50%のジアルキル
フェニルモノフェニルホスフェート、15−60%のモ
ノアルキルフェニルジフェニルホスフェート及び2%よ
り少ないトリフェニルホスフェートを含み、アルキル部
分は、イソプロピル、イソブチル、第三級ブチル、イソ
アミル及び第三級アミルよりなる群から選ばれる混合ア
ルキル化トリフェニルホスフェートエステルの液体組成
物を提供することにより、従来の技術の問題を克服す
る。組成物は、混合アルキル化トリフェニルホスフェー
トエステル組成物、例えばフェノールをアルキル化し、
そしてフェノールとオキシ塩化燐とを反応させて約5−
約50重量%の未アルキル化トリフェニルホスフェート
をも含む混合アルキル化トリフェニルホスフェートエス
テルの組成物を提供することにより製造されたものから
製造でき、方法は、組成物を少なくとも一度薄膜蒸発器
を通し、同時に組成物の表面を撹拌しそして充分に5k
Paより低い圧力て200−250℃の温度で組成物を
加熱して組成物の5−30%を蒸発させ、そして残留物
への蒸気の実質的な縮合なしに生成物として残留物を引
出し、それにより生成物中の未アルキル化トリフェニル
ホスフェートの濃度を減少させることよりなる。望まし
くは、方法は、フェノールをフェノール及びアルキル化
フェノールにアルキル化する段階、フェノール及びアル
キル化フェノールの混合物とオキシ塩化燐とを反応させ
て5−50重量%の未アルキル化トリフェニルホスフェ
ートを含む混合アルキル化トリフェニルホスフェートエ
ステルの組成物を形成する段階により混合アルキル化ホ
スフェートエステルを製造する全方法の一部であり、改
良は、組成物を少なくとも一度薄膜蒸発器を通し、同時
に組成物の表面を撹拌しそして組成物の5−30%を蒸
気として蒸発させるのに充分な圧力で200−250℃
の温度で組成物を加熱し、そしてその中の蒸気の実質的
な縮合なしに生成物として薄膜蒸発器から残留する混合
アルキル化トリフェニルホスフェートエステルを引出
し、それによりその中の未アルキル化トリフェニルホス
フェートの減少した濃度を有する混合アルキル化トリフ
ェニルホスフェートエステル生成物を生成することにあ
る。フェノールを完全にアルキル化しそして次にこの混
合物とPOClとを反応させてトリフェニルホスフェ
ートのないホスフェートエステルを形成することは可能
であるが、65%より多いアルキル化フェノールを有す
る生成物は、極めて粘性があり又はおそらく固体ですら
あり、そしてこの特定の生成物が目的としている流体の
使用の明細に適合しない。
【0006】TPPは、分別蒸留(真空下)さらにリボ
イラに残るエステルの一部を回収することにより除去で
きる。生成物は、熱及び加水分解の両方の安定性に関し
てさらに安定な流体の生成物として望ましい。しかしな
がら、リボイラから回収された生成物は、過剰の色及び
酸度のために不満足である。例えば、生成物が、淡色の
原料(60APHA)からコーヒーに似た濃褐色に黒ず
むことが一つの例で見出された。物質の酸度は、又蒸留
中二倍になった。さらに、恐らくホスフェートエステル
の沸点があまり異なっていない、即ち高分子量のエステ
ル(即ちより置換されたフェノール基)は僅かに高い沸
点を有し、それにより容易に分離できないので、17%
のTPPを含むホスフェートエステルの原料混合物から
殆どのトリフェニルホスフェートを除くために、精留器
の原料の半分を蒸留することが必要なことが判った。混
合アルキル化トリフェニルホスフェートエステル(TA
P)の粘度及びその成分の高い沸点のために、TAPが
薄膜として熱交換器の表面上に存在し、その表面が連続
的に新しくされるときに、蒸気が蒸発することが重要で
ある。例えば、カスケーティング又は落下式(fall
ing)膜蒸発器、又は機械的な拡がりを提供する蒸発
器例えば遠心分離又は払拭式(wiped)膜蒸発器好
ましくは払拭式膜蒸発器によりなされる。
【0007】払拭式膜蒸発器にTAPを通すことは、シ
ョートパス蒸留(払拭式膜又は薄膜蒸発器において)に
おいて含まれる精溜がないので、生成物を分溜する有望
なやり方のようには見えない。事実、50/50の分割
を行うために物質を払拭式膜蒸発器に通すことは、顕著
な精溜を生じさせず、そして頂部でTPPを僅かに多く
しそして残留物中のTPP含量はなお9.5%であっ
た。払拭式膜蒸発器の壁温度を最低の温度に下げ、そし
て僅か5−30%好ましくは15−20%の原料か塔頂
でフラッシュされるように真空及び供給速度をコントロ
ールするのが必要なことが判った。このやり方で、残留
物のトリフェニルホスフェート(TPP)含量は、ワン
パスで実質的に減少される。この蒸発器に生成物を2回
以上通すことにより、TPP含量を2重量%より少なく
減少させることができる。その上、生成物の色は、濃度
により予想される程度のみに増加することが判り、一方
酸価により測定されるように生成物の酸度に実質的な増
加はない。一般に、蒸発器の表面の温度は、200−3
00℃にコントロールすべきでありそして蒸発器中の絶
体圧は、5kPaでなければならない。全てのC3−C
5アルキル化TAPの加水分解安定性は、本発明の方法
により改良できるが、予想されなかった優れた熱及び加
水分解の安定性が、アルキル部分が第三級アルキル、好
ましくはt−ブチル部分であるとき、得られる。本発明
の範囲は、単一のアルキル部分に制限されないが、PO
Clとフェノールアルキレート及び任意のC3−C5
アルケンの混合物との反応により生成される混合エステ
ルを含むことを目的とする。
【0008】しかし、1%以下のトリフェニルホスフェ
ートを含むこの方法により生成した混合t−ブチルフェ
ニルホスフェートエステルは、耐火性水圧流体、コンプ
レサ流体、ガスタービンオイル、耐火性グリース基剤又
は耐火結合剤として使用できる高安定性基削流体として
有用な特に好ましい生成物である。優れた全体の安定性
を有するこれら灰のない酎摩耗性基剤は、厳密を要する
使用例えばジェットエンジン潤滑剤、航空機の水圧流
体、金属工作潤滑剤、ギアオイル、グリース、工業用水
圧流体、エンジンオイル、変速機流体、コンプレッサ潤
滑剤及びユニバーサルトラクタ流体に特に望ましい。生
成物の低下した揮発性は、生成物が潤滑剤添加物、潤滑
剤基剤流体又は低揮発性プラスチック難燃性可塑剤とし
て使用される任意の高温度の使用に望ましい。
【0009】
【実施例】本発明を実施する最良の態様を記載したが、
以下の実施例は、当業者によりなされうる変法及び変更
を説明するために提供されるが、制限するものではな
い。 試験方法 加水分解安定性は、ASTMテストD2619−83に
より測定され、75gの流体のサンプル及び25gの水
及び銅のテスト試料は、耐圧タイプ飲料瓶にシールされ
る。瓶は、93℃でオーブン中で48時間でひっくり返
して回転される。層を分離し、不溶物を計量する。銅の
重量変化を測定する。流体の粘度及び酸価の変化並びに
水層の酸度を測定する。酸化的安定性は、ASTMテス
トE537−86により測定され、示差熱分折(DT
A)及び示差走査熱量測定(DSC)の技術を利用す
る。潤滑剤の耐摩耗性は、ASTM D2266 4−
ボール摩耗テストにより測定された。揮発性は、AST
M−3850−84熱重量分折(TGA)テストにより
測定された。実施例における便宜のために、特定の混合
アルキル化トリフェニルホスフェートエステルは、フェ
ニル/t−ブチルフェニルホスフェート(又はフェニル
/イソプロピルフェニルホスフェートなど)と呼ばれ
る。
【0010】比較例A 混合フェニル/t−ブチルフェニルホスフェートエステ
ルのバッチ蒸留 1000gの市販のフェニル/t−ブチルフェニルトリ
アリールホスフェートエステルを、Goodloeワイ
ヤメッシュパッキングを充填した直径1インチのカラム
をジャケットとする12インチのフラスコを有する蒸留
用に装備された2000mL容丸底フラスコに入れた。
圧力を1mmHgに低下させ、バッチ蒸留を開始した。
ポット温度を蒸留中270℃にした。塔頂温度を187
℃で開始し、蒸留が終る4時間後に225℃になった。
ポットを、TPP含量のために周期的にサンプリングし
た。蒸留物の重量は506gであり、残留生成物は49
3gであった。生成物の色はかなり濃くなり、酸度は
0.1mgKOH/gから0.2mgKOH/gに2倍
になった。原料、塔頂物及び生成物の性質は、
【0011】
【表1】
【0012】に示される。トリフェニルホスフェート
(TPP)含量は0.5%より少なく減少されるが、酸
価及び色の増加は望ましいものでなかった。
【0013】実施例 1 混合フェニル/t−ブチルフェニルホスフェートエステ
ルの払拭式膜蒸発 実施例Aの17.0%のトリフェニルホスフェートを含
む混合フェニル/t−ブチルフェニルトリアリールホス
フェートエステルは、下層流部分のTPP含量を低下さ
せる目的で払拭式膜蒸発器を通る単一パスにかけられ
た。323平方センチの蒸発面積を有する払拭式膜蒸発
器が使用された。原料を200℃に加熱した。膜壁温度
は250℃でありシステムの圧力は1.0mmHgであ
った。116gの混合フェニル/t−ブチルフェニルホ
スフェートを、120分かけて払拭式膜蒸発器に通し
た。塔頂物の重量は62g(52%)であり、22.0
%のTPPを含み、一方下層流の重量は54g(48
%)であり、9.5%のTPPを含んだ。この分離は、
実施例Aのバッチ蒸留に要求される分別蒸留及び長い蒸
留時間を考えるとき、予想されなかった。通常、払拭式
膜蒸発器は、容易な分離、例えば生成物からの少量の溶
媒の採取又は遥かに高い沸点の残留物或は不純物からの
多量の生成物の分離を行うのに使用される。払拭式膜又
は落下式膜蒸発器のショートパスは、もしあるとして
も、ここにあるような比較的近い沸点を有する化合物の
かなりの精製を通常もたらさない。トリフェニルホスフ
ェートの蒸気圧データは、ここで使用された混合t−ブ
チルフェニルホスフェートエステルについて誘導された
それと全く似ている。
【0014】
【表2】
【0015】参照。
【0016】実施例 2 混合フェニル/t−ブチルフェニルホスフェートエステ
ルの払拭式膜蒸発 17.0%のトリフェニルホスフェート(TPP)を含
む混合フェニル/t−ブチルフェニルトリアリールホス
フェートエステルは、下層流部分のTPP含量を低下さ
せる目的で払拭式膜蒸発器を通る繰り返すパスにかけら
れた。323平方センチの蒸発面積を有する払拭式膜蒸
発器が使用された。原料を200℃に加熱した。膜壁温
度は230℃でありシステムの圧力は1.0mmHgで
あった。 パス1 885gの混合フェニル/t−ブチルフェニルホスフェ
ートを、141分かけて払拭式膜蒸発器に通した。塔頂
物の重量は199g(22%)であり、39.0%のT
PPを含み、一方下層流の重量は684g(78%)で
あり、10.4%のTPPを含んだ。 パス2 パス1からの下層流を80分かけて蒸留器に再び通し
た。塔頂物の重量は215g(32%)であり、24.
6%のTPPを含み、−方下層流の重量は459g(6
8%)であり、4.5%のTPPを含んだ。 パス3 パス2からの塔底物を次に毎分8gの速度で蒸留器に通
した。塔頂物の重量は95g(21%)であり、13.
1%のTPPを含み、一方下層流の重量は352g(7
9%)であり、1.2%のTPPを含んだ。 蒸留器を通る3回のパスで、生成物の色及び酸度をなお
維持しつつTPP含量を2%より少なく下げることが出
来る。
【0017】
【表3】
【0018】この分離は、トリフェニルホスフェート及
び混合t−ブチルフェニルホスフェートの蒸気圧が、表
2に説明されているように非常に近いので、驚くべきこ
とである。
【0019】実施例 3 混合フェニル/t−ブチルフェニルホスフェートエステ
ルの払拭式膜蒸発 この実施例では、41.6%のトリフェニルホスフェー
トを含む900gのフェニル/t−ブチルフェニル混合
ホスフェートエステルを、下層流部分のTPP含量を2
%より少なく低下させる多数の回数で、323平方セン
チの蒸発面積を有する払拭式膜蒸発器を通した。蒸留器
の膜壁温度は233℃でありシステムの圧力は1.0m
mHgであった。 パス1 第一のパスの供給時間は120分であった。塔頂物の重
量は368g(40%)であり、62.0%のTPPを
含み、一方下層流の重量は536g(60%)であり、
28.2%のTPPを含んだ。 パス2 パス1からの下層流を次に60分かけてユニットに再び
供給した。塔頂物の重量は160g(30%)であり、
50.5%のTPPを含み、一方下層流の重量は370
g(70%)であり、19.0%のTPPを含んだ。 パス3 パス2からの下層流を50分かけて蒸留器に通した。塔
頂物の重量は125g(35%)であり、33.9%の
TPPを含み、一方下層流の重量は235g(65%)
であり、10.3%のTPPを含んだ。 パス4 パス3からの下層流を次に30分で蒸留器に再び送られ
た。塔頂物の重量は47g(20%)であり、23.7
%のTPPを含み、一方下層流の重量は186g(80
%)であり、4.1%のTPPを含んだ。 パス5 パス4の下層流を25分かけて蒸留器を通した。塔頂物
の重量は33g(18%)であり、12.8%のTPP
を含み、一方下層流の重量は152g(82%)であ
り、1.3%のTPPを含んだ。 41%のTPPを含む生成物のトリフェニルホスフェー
トの含量は、生成物の色又は酸度に悪影響をあたえるこ
となく、1.3%に低下した。蒸留物又は塔頂フラクシ
ョンは、TPP含量が望まれる他の生成物にブレントで
きる。
【0020】実施例 4 混合フェニル/イソプロピルフェニルホスフェートエス
テルの払拭式膜蒸発 7.64%のトリフェニルホスフェートを含む868g
の混合フェニル/イソプロピルフェニルホスフェートエ
ステルを、80分かけて、323平方センチの蒸発面積
を有する払拭式膜蒸発器を通した。蒸留器の膜壁温度は
232℃でありシステムの圧力は0.5mmHgであっ
た。供給物は200℃に余熱された。 パス1 第一のパスのスプリットは以下の通りであった。塔頂物
の重量は189g(22%)であり、15.5%のTP
Pを含み、一方下層流の重量は675g(78%)であ
り、5.5%のTPPを含んだ。 パス2 第一のパスからの下層流は次に蒸留器にかけた。666
gを70分かけておなじ操作条件で供給した。結果は以
下の通りであった。塔頂物の重量は129g(19%)
であり、11.8%のTPPを含み、一方下層流の重量
は546g(81%)であり、3.1%のTPPを含ん
だ。 パス3 第2のパスからの下層流を、同じ操作条件下で払拭式膜
蒸留器に通した。544gを60分かけて供給した。塔
頂物の重量は134g(24%)であり、8.7%のT
PPを含み、一方下層流の重量は407g(76%)で
あり、1.4%のTPPを含んだ。 従って、3回のパス後、蒸留器における温度で僅か合計
10分間の滞留時間を要するだけで、エステルのトリフ
ェニルホスフェート含量は、所望の1−2%のレベルに
減少した。塔底生成物の色は、工程中増加しなかった。
【0021】実施例 5 市販のt−ブチルフェニルホスフェートエステルを蒸留
して、生成物としてPRS−110と呼ばれる本発明の
物質を得た。原料は17.0%のTPPを含んだ。払拭
式膜蒸留器での蒸発後、生成物は、重量で0.50%の
トリフェニルホスフェート(TPP)、33.2%のジ
フェニルt−ブチルフェニルホスフェート、49.5%
のフェニルジ(t−ブチルフェニル)ホスフェート及び
12.5%のトリ(t−ブチルフェニル)ホスフェート
を含んだ。他の性質は以下のものを含む。7.0%の燐
含量、107.5粘度、100゜FにおけるcSt、
7.81粘度、210°FにおけるcSt及び1.11
比重、20°/20℃。予想されないことであるが、組
成物は、
【0022】
【表4】
【0023】(酸化的安定性)、
【0024】
【表5】
【0025】(加水分解安定性)、及び
【0026】
【表6】
【0027】(4ボール摩耗)に示されるように、他の
トリアリールホスフェートエステルの代表的な値に比べ
て、改善された物理的性質を有した。生成物は、予想さ
れた低下した揮発性を事実有した。
フロントページの続き (72)発明者 ダグラス ジー プラセク アメリカ合衆国ペンシルベニア州 19030 フェアレス ヒルズ フッド ブルバー ド 702 (72)発明者 マイケル ピー マリノ ジュニア アメリカ合衆国ペンシルベニア州 19087 ラドノー クリケット レイン 577 (72)発明者 ジョン クロスビー アメリカ合衆国ニュージャージー州 08648 ローレンスビル ルーマー ロー ド 8 (72)発明者 サンディーブ ゴビンド シャンクウォー カー アメリカ合衆国ニュージャージー州 08536 プレインズボロ ピーオー ボッ クス 683

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 重量で1−20%のトリアルキルフェニ
    ルホスフェート、10−50%のジアルキルフェニルモ
    ノフェニルホスフェート、15−60%のモノアルキル
    フェニルジフェニルホスフェート及び2%より少ないト
    リフェニルホスフェートを特徴とする混合アルキル化ト
    リフェニルホスフェートエステルの組成物において、ア
    ルキル部分は、イソプロピル、イソブチル、第三級ブチ
    ル、イソアミル及び第三級アミルよりなる群から選ばれ
    る組成物。
  2. 【請求項2】 実質的に全てのアルキル部分は、第三級
    ブチルであることを特徴とする請求項1の組成物。
  3. 【請求項3】 実質的に全てのアルキル部分は、イソプ
    ロピルであることを特徴とする請求項1の組成物。
  4. 【請求項4】 5−50重量%の未アルキル化トリフェ
    ニルホスフェートをも含む混合アルキル化トリフェニル
    ホスフェートエステルの組成物を精製する方法におい
    て、組成物を少なくとも一度薄膜蒸発器を通し、組成物
    の表面を撹拌ししかも同時に5kPaより充分に低い圧
    力で200−250℃の温度で組成物を加熱して組成物
    の5−30%を蒸発させ、そして残留物への蒸気の実質
    的な縮合なしに生成物として残留物を引出し、それによ
    り生成物中の未アルキル化トリフェニルホスフェートの
    濃度を減少させることを特徴とする方法。
  5. 【請求項5】 未アルキル化トリフェニルホスフェート
    の濃度は、2重量%より少なく減少させられることを特
    徴とする請求項4の方法。
  6. 【請求項6】 薄膜蒸発器は、払拭式膜蒸発器であるこ
    とを特徴とする請求項4の方法。
  7. 【請求項7】 薄膜蒸発器は、払拭式膜蒸発器であるこ
    とを特徴とする請求項5の方法。
  8. 【請求項8】 生成物は、本質的に、1−20重量%の
    トリアルキルフェニルホスフェート、10−50重量%
    のジアルキルフェニルモノフェニルホスフェート、15
    −60重量%のモノアルキルフェニルジフェニルホスフ
    ェート及び2重量%より少ないトリフェニルホスフェー
    トよりなることを特徴とする請求項4の方法。
  9. 【請求項9】 フェノールをフェノール及びアルキル化
    フェノールにアルキル化する段階、フェノール及びアル
    キル化フェノールの混合物とオキシ塩化燐とを反応させ
    て5−50重量%の未アルキル化トリフェニルホスフェ
    ートを含む混合アルキル化トリフェニルホスフェートエ
    ステルの組成物を形成する段階により混合アルキル化ホ
    スフェートエステルを製造する方法において、組成物を
    少なくとも一度薄膜蒸発器を通し、組成物の表面を撹拌
    ししかも同時に組成物の5−30%を蒸気として蒸発さ
    せるのに充分な圧力で200−250℃の温度で組成物
    を加熱し、そしてその中の蒸気の実質的な縮合なしに生
    成物として薄膜蒸発器から残留する混合アルキル化トリ
    フェニルホスフェートエステルを引出し、それによりそ
    の中の未アルキル化トリフェニルホスフェートの減少し
    た濃度を有する混合アルキル化トリフェニルホスフェー
    トエステル生成物を生成することにより組成物混合物を
    精製することを特徴とする改良を有する方法。
  10. 【請求項10】 未アルキル化トリフェニルホスフェー
    トの濃度は、2重量%より少なく減少させられることを
    特徴とする請求項9の方法。
  11. 【請求項11】 薄膜蒸発器は、払拭式膜蒸発器である
    ことを特徴とする請求項9の方法。
  12. 【請求項12】 薄膜蒸発器は、払拭式膜蒸発器である
    ことを特徴とする請求項10の方法。
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