JPH0694797A - Ic test device - Google Patents
Ic test deviceInfo
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- JPH0694797A JPH0694797A JP4269413A JP26941392A JPH0694797A JP H0694797 A JPH0694797 A JP H0694797A JP 4269413 A JP4269413 A JP 4269413A JP 26941392 A JP26941392 A JP 26941392A JP H0694797 A JPH0694797 A JP H0694797A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ICテストシステムに
関し、特に、多ピンデバイスをテストするVLSI用の
テストシステムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC test system, and more particularly to a VLSI test system for testing multi-pin devices.
【0002】[0002]
【従来の技術】図3は、この種従来のICテストシステ
ムの1ピン分のブロック図である。同図において、1a
は入力データレベル電源、1bは出力データレベル電
源、7は被試験ICに入力信号を与えるドライバ、8
a、8bは、被試験ICの出力信号と出力データレベル
電源の出力する基準電圧とを比較するコンパレータ、9
はアナログスイッチ、10は、ドライバ7、コンパレー
タ8a、8bの出力電圧を測定する内部電圧計、11は
パターンジェネレータの発生するテストパターンが入力
される制御入力端子(この端子に入力されるレベルに応
じてドライバ7はHまたはLレベルの信号を出力す
る)、12は、被試験ICのピンに接続される入出力端
子、13はコンパレータの出力端子、14はオフセット
調整用可変抵抗器、SW1 〜SW3 はスイッチである。2. Description of the Related Art FIG. 3 is a block diagram of a conventional IC test system of this type for one pin. In the figure, 1a
Is an input data level power supply, 1b is an output data level power supply, 7 is a driver which gives an input signal to the IC under test, 8
a and 8b are comparators for comparing the output signal of the IC under test with the reference voltage output from the output data level power supply, and 9
Is an analog switch, 10 is an internal voltmeter that measures the output voltage of the driver 7, comparators 8a and 8b, and 11 is a control input terminal to which the test pattern generated by the pattern generator is input (depending on the level input to this terminal). Driver 7 outputs a signal of H or L level), 12 is an input / output terminal connected to a pin of the IC under test, 13 is an output terminal of a comparator, 14 is a variable resistor for offset adjustment, and SW 1 to SW 1 . SW 3 is a switch.
【0003】次に、このシステムのオフセット調整動作
について説明する。図4は、ドライバ7のオフセット電
圧補正過程を示すフローチャートである。まず、スイッ
チSW1 、SW3 を閉、スイッチSW2 を開とし、制御
入力端子11からドライバ7がH側出力状態となる信号
を入力する。この状態で、入力データレベル電源の出力
電圧VIH、VILを共に0Vにし(ステップ41)、
このときのドライバ7の出力電圧を内部電圧計10で測
定する(ステップ42)。ドライバ7の出力電圧が0に
なるようにH側の可変抵抗器14を調整する(ステップ
43)。次に、制御入力端子11から、ドライバの出力
状態がLレベルの信号を出力する状態になる信号を入力
し、上記のステップを繰り返えす。Next, the offset adjusting operation of this system will be described. FIG. 4 is a flowchart showing the offset voltage correction process of the driver 7. First, the switches SW 1 and SW 3 are closed, the switch SW 2 is opened, and a signal for the driver 7 to be in the H side output state is input from the control input terminal 11. In this state, the output voltages VIH and VIL of the input data level power supply are both set to 0V (step 41),
The output voltage of the driver 7 at this time is measured by the internal voltmeter 10 (step 42). The variable resistor 14 on the H side is adjusted so that the output voltage of the driver 7 becomes 0 (step 43). Next, a signal is input from the control input terminal 11 so that the output state of the driver is an L level signal, and the above steps are repeated.
【0004】次に、コンパレータのオフセット調整を行
う。まず、スイッチSW1 、SW3を開とし、スイッチ
SW2 を閉じ、図示のない配線によりH側のコンパレー
タ8aの出力端子13を内部電圧計10に接続する。入
出力端子12から0Vを入力するとともに、出力データ
レベル電源1bの出力電圧VOHを0V近傍で振らせ、
コンパレータ8aの出力がLレベルからHレベルに変化
するときのVOHが0Vとなるように、コンパレータ8
aの可変抵抗器14を調整する。H側のコンパレータ8
aの調整が終了したらL側のコンパレータ8bの出力端
子13を内部電圧計10に接続して、L側コンパレータ
の可変抵抗器14について同様の調整を行う。Next, the offset of the comparator is adjusted. First, the switches SW 1 and SW 3 are opened, the switch SW 2 is closed, and the output terminal 13 of the comparator 8a on the H side is connected to the internal voltmeter 10 by a wiring (not shown). Input 0V from the input / output terminal 12, and swing the output voltage VOH of the output data level power supply 1b in the vicinity of 0V.
When the output of the comparator 8a changes from L level to H level, VOH becomes 0V,
Adjust the variable resistor 14 of a. H side comparator 8
When the adjustment of a is completed, the output terminal 13 of the L-side comparator 8b is connected to the internal voltmeter 10, and the same adjustment is performed for the variable resistor 14 of the L-side comparator.
【0005】次に、ICのテスト方法について説明す
る。今、入出力端子12には被試験ICの入力ピンが接
続されているものとする。この場合にはスイッチSW1
を閉じ、スイッチSW2 を開成する。被試験ICの種類
(ECL型、CMOS型等)に応じて、ドライバ7には
アナログスイッチ9によりいずれかの入力データレベル
電源1aの信号が選択されて入力される。制御入力端子
11にはパターンジェネレータからテストパターンが入
力される。ドライバ7は、入力されたテストパターンに
従って、HまたはLレベルの信号を出力する。Next, an IC test method will be described. Now, it is assumed that the input / output terminal 12 is connected to the input pin of the IC under test. In this case, switch SW 1
Is closed and the switch SW 2 is opened. Depending on the type of IC under test (ECL type, CMOS type, etc.), a signal from one of the input data level power supplies 1a is selected and input to the driver 7 by the analog switch 9. A test pattern is input to the control input terminal 11 from the pattern generator. The driver 7 outputs a signal of H or L level according to the input test pattern.
【0006】入出力端子12に接続される被試験ICの
ピンが出力ピンであるときはスイッチSW1 を開、スイ
ッチSW2 を閉とする。被試験ICの種類に応じて、ア
ナログスイッチ9によりいずれかの出力データレベル電
源1bの出力が選択されてコンパレータ8a、8bに入
力される。出力データレベル電源1bからはVOHとし
て、Hレベルの基準値(最低基準値)の電圧が、またV
OLとしてLレベルの基準値(最高基準値)の電圧が出
力される。When the pin of the IC under test connected to the input / output terminal 12 is the output pin, the switch SW 1 is opened and the switch SW 2 is closed. The output of one of the output data level power supplies 1b is selected by the analog switch 9 in accordance with the type of the IC under test and input to the comparators 8a and 8b. From the output data level power supply 1b, as the VOH, the voltage of the H level reference value (lowest reference value) is again V
As the OL, the voltage of the L level reference value (highest reference value) is output.
【0007】被試験ICの出力信号は入出力端子12を
介してコンパレータ8a、8bに入力される。いま被試
験ICがHレベルの信号を出力しているものとし、その
値がHレベルの基準値を超えているならばH側のコンパ
レータ8aはHレベルの信号を出力する。そうでないと
きはコンパレータ8aはLレベルの信号を出力する。被
試験ICの出力がLでその値が基準値以下であればL側
のコンパレータ8bはLレベルの信号を、またその値が
基準値を超えている場合にはコンパレータ8bはHレベ
ルの信号を出力する。コンパレータ8a、8bの出力す
る信号は出力端子13を介して取り出されICテスタ内
で良品が出力すべきパターンと比較される。The output signal of the IC under test is input to the comparators 8a and 8b via the input / output terminal 12. It is assumed that the IC under test is outputting an H level signal, and if the value exceeds the H level reference value, the H side comparator 8a outputs an H level signal. Otherwise, the comparator 8a outputs an L level signal. If the output of the IC under test is L and its value is below the reference value, the L-side comparator 8b outputs an L-level signal, and if the value exceeds the reference value, the comparator 8b outputs an H-level signal. Output. The signals output from the comparators 8a and 8b are taken out through the output terminal 13 and compared with the pattern to be output by the non-defective product in the IC tester.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のICテ
ストシステムでは、ドライバとコンパレータのオフセッ
ト電圧の補正を内部電圧計の目視と可変抵抗器のマニュ
アル調整で行っていたため、特に多ピンシステムでは調
整に長時間を要するという問題点があった。In the above-mentioned conventional IC test system, the offset voltage of the driver and the comparator is corrected by visually observing the internal voltmeter and manually adjusting the variable resistor. There was a problem that it took a long time.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明のICテストシス
テムは、被試験ICに入力すべきレベルの電圧を発生す
る入力データレベル電源と、前記入力データレベル電源
の出力する出力電圧を補正する入力補正回路と、前記入
力補正回路の出力信号を受けて被試験ICの駆動信号を
出力するドライバと、前記ドライバの出力オフセット電
圧を測定し、これを0にするに必要な前記入力補正回路
の補正量を求め、該補正量を前記入力補正回路に設定す
る機構と、を具備するものであり、また、被試験ICの
出力信号の基準レベル電圧を発生する出力データレベル
電源と、前記出力データレベル電源の出力する基準レベ
ル電圧を補正する出力補正回路と、前記出力補正回路の
出力電圧と被試験ICの出力信号レベルを比較するコン
パレータと、前記コンパレータの入力オフセット電圧を
測定し、前記出力データレベル電源の出力値が0Vであ
るときに前記コンパレータの出力オフセット電圧を0V
とするのに必要な前記出力補正回路の補正量を求め、該
補正量を前記出力補正回路に設定する機構と、を具備す
るものである。An IC test system according to the present invention is an input data level power supply for generating a voltage of a level to be input to an IC under test, and an input for correcting an output voltage output from the input data level power supply. A correction circuit, a driver that receives an output signal of the input correction circuit and outputs a drive signal of an IC under test, and a correction of the input correction circuit that is necessary to measure the output offset voltage of the driver and set it to 0 An output data level power supply for generating a reference level voltage of the output signal of the IC under test, and a mechanism for setting the correction amount in the input correction circuit. An output correction circuit for correcting the reference level voltage output from the power supply; a comparator for comparing the output voltage of the output correction circuit with the output signal level of the IC under test; The input offset voltage of the comparator is measured, 0V output offset voltage of the comparator when the output value of the output data level power is 0V
And a mechanism for determining a correction amount of the output correction circuit necessary for the above and setting the correction amount in the output correction circuit.
【0010】[0010]
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は本発明の一実施例を示すブロック図
である。同図では、被試験ICの1ピン分の回路のみが
示されている。同図において、1aは、被試験ICに入
力すべき信号のレベルを与える入力データレベル電源、
2はコンピュータ、3は、レジスタ4、両極性出力型D
/Aコンバータ5および増幅器6から構成されるオフセ
ット自動補正回路、7は、被試験ICに該ICを駆動す
る入力信号を与えるドライバ、8a、8bは、被試験I
Cの出力信号と出力データレベル電源の出力する基準電
圧(そのオフセット自動補正回路による補正電圧)とを
比較するコンパレータ、9はアナログスイッチ、10
は、ドライバ7、コンパレータ8a、8bの出力電圧を
測定する内部電圧計、11は、パターンジェネレータの
発生するテストパターンが入力される制御入力端子(こ
の端子に入力されるレベルに応じてドライバ7はHまた
はLレベルの信号を出力する)、12は、被試験ICの
ピンに接続される入出力端子、13はコンパレータの出
力端子、SW1 〜SW3 はスイッチである。Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. In the figure, only the circuit for one pin of the IC under test is shown. In the figure, reference numeral 1a denotes an input data level power supply for giving a level of a signal to be input to the IC under test,
2 is a computer, 3 is a register 4, bipolar output type D
A / A converter 5 and amplifier 6 are provided for automatic offset correction circuit, 7 is a driver for giving an input signal for driving the IC under test, and 8a and 8b are I under test.
A comparator for comparing the output signal of C and the reference voltage (correction voltage by the offset automatic correction circuit) output from the output data level power supply, 9 is an analog switch, 10
Is an internal voltmeter that measures the output voltage of the driver 7 and the comparators 8a and 8b, and 11 is a control input terminal to which the test pattern generated by the pattern generator is input (driver 7 depending on the level input to this terminal A signal of H or L level is output), 12 is an input / output terminal connected to a pin of the IC under test, 13 is an output terminal of the comparator, and SW 1 to SW 3 are switches.
【0011】次に、図1、図2参照して本実施例のオフ
セット補正動作について説明する。図2は、本実施例の
ドライバオフセット電圧補正過程を示すフローチャート
である。ドライバ7のオフセット補正時にはスイッチS
W1 、SW3 を閉、スイッチSW2 を開としておく。制
御入力端子11からの信号によりドライバ7の出力状態
をH側としておき、入力データレベル電源1aの出力電
圧を0Vとする(ステップ21)。次に、オフセット自
動補正回路3内のD/Aコンバータ5の出力電圧を0V
にする(ステップ22)。Next, the offset correction operation of this embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a flowchart showing the driver offset voltage correction process of this embodiment. The switch S is used for offset correction of the driver 7.
W 1 and SW 3 are closed and switch SW 2 is open. The output state of the driver 7 is set to the H side by the signal from the control input terminal 11, and the output voltage of the input data level power supply 1a is set to 0V (step 21). Next, the output voltage of the D / A converter 5 in the automatic offset correction circuit 3 is set to 0V.
(Step 22).
【0012】次に、ドライバ7の出力オフセット電圧を
内部電圧計10で測定し(ステップ23)、その結果を
コンピュータ2のメモリへ格納する(ステップ24)。
コンピュータ2は測定結果からオフセット補正電圧を算
出し(ステップ25)、そのデータを自動補正回路3内
のレジスタ4にロードする(ステップ26)。自動補正
回路3内のD/Aコンバータ5はレジスタ4にロードさ
れたデータをアナログ電圧値に変換し(ステップ2
7)、その値を増幅器6の一方の入力端子に印加する。
その結果、ドライバ7のHレベルの出力オフセットをキ
ャンセルするに必要な補正の加えられたHレベル入力信
号VIHがドライバ7に入力されることになる。Next, the output offset voltage of the driver 7 is measured by the internal voltmeter 10 (step 23), and the result is stored in the memory of the computer 2 (step 24).
The computer 2 calculates an offset correction voltage from the measurement result (step 25) and loads the data into the register 4 in the automatic correction circuit 3 (step 26). The D / A converter 5 in the automatic correction circuit 3 converts the data loaded in the register 4 into an analog voltage value (step 2
7), and apply the value to one input terminal of the amplifier 6.
As a result, the H level input signal VIH corrected to be necessary for canceling the H level output offset of the driver 7 is input to the driver 7.
【0013】次に、制御入力端子11からの信号により
ドライバ7の出力状態をL側とし、上記と同様の過程を
繰り返す。但し、データレベル電源1aのL側の出力電
圧およびL側の自動補正回路3のD/Aコンバータの出
力電圧が先の補正過程において同時0Vに設定された場
合には、ステップ23から開始すればよい。Next, the output state of the driver 7 is set to the L side by the signal from the control input terminal 11, and the same process as above is repeated. However, if the L side output voltage of the data level power supply 1a and the output voltage of the D / A converter of the L side automatic correction circuit 3 are set to 0V at the same time in the previous correction process, start from step 23. Good.
【0014】ドライバ7のH側およびL側の入力電圧に
ついての補正が終了したらコンパレータ8a、8bのオ
フセット補正を行う。まず、スイッチSW1 、SW3 を
開、スイッチSW2 を閉とし、H側コンパレータ8aの
出力端子13を内部電圧計10に接続する。この状態
で、入出力端子12から0Vを入力し、H側オフセット
自動補正回路3のD/Aコンバータの出力を0Vとす
る。この状態で出力データレベル電源(図示なし)の出
力電圧VOHを0Vの近傍で振り、コンパレータ8aの
出力がHレベルからLレベルに切り替わるときのVOH
の電圧値を求める。コンピュータ2はその電圧値を記憶
するとともにその値をオフセット自動補正回路3のレジ
スタにロードする。When the correction of the H-side and L-side input voltages of the driver 7 is completed, the offset correction of the comparators 8a and 8b is performed. First, the switches SW 1 and SW 3 are opened and the switch SW 2 is closed, and the output terminal 13 of the H-side comparator 8 a is connected to the internal voltmeter 10. In this state, 0V is input from the input / output terminal 12, and the output of the D / A converter of the H-side offset automatic correction circuit 3 is set to 0V. In this state, the output voltage VOH of the output data level power supply (not shown) is swung in the vicinity of 0 V, and VOH when the output of the comparator 8a is switched from the H level to the L level
Calculate the voltage value of. The computer 2 stores the voltage value and loads the value into the register of the offset automatic correction circuit 3.
【0015】H側コンパレータ8aに関する補正が終了
したら、コンパレータ8aの出力端子13を内部電圧計
10から切り離し、代わりにL側コンパレータ8bの出
力端子を内部電圧計10に接続し、上記と同様にオフセ
ット補正を行う。When the correction for the H-side comparator 8a is completed, the output terminal 13 of the comparator 8a is disconnected from the internal voltmeter 10, and the output terminal of the L-side comparator 8b is connected to the internal voltmeter 10 instead, and the offset is set in the same manner as above. Make a correction.
【0016】以上の過程をオフセット自動調整プログラ
ムとしてプログラム化し、このプログラムを実行するこ
とにより、自動的にオフセット調整を行うことができ
る。By programming the above process as an offset automatic adjustment program and executing this program, the offset adjustment can be automatically performed.
【0017】このようにして得られたオフセット補正電
圧データはディスク等の補助記憶装置に保存しておき、
システムを立ち上げる際に、オフセット自動補正回路3
のレジスタ4にロードするようにする。なお、被試験I
Cに対するテスト方法は従来例の場合と変わるところは
ないので、その説明は省略する。The offset correction voltage data thus obtained is stored in an auxiliary storage device such as a disk,
Automatic offset correction circuit 3 when starting the system
So that it is loaded into register 4 of. In addition, I under test
The test method for C is not different from that of the conventional example, and therefore its explanation is omitted.
【0018】[0018]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のICテス
トシステムは、被試験ICを駆動するドライバと、その
出力信号を基準値と比較するコンパレータのオフセット
を自動的に補正しうる補正回路を付加したものであるの
で、本発明によれば、オフセット電圧の調整を人手によ
る電圧計の観測と可変抵抗器のマニュアル調整に頼るこ
となく実行できるようになり、テスト工数の削減が可能
となり、特に多ピンのVLSI(またはULSI)をテ
ストする場合には大幅に調整時間を短縮することができ
る。As described above, the IC test system of the present invention includes the driver for driving the IC under test and the correction circuit for automatically correcting the offset of the comparator for comparing the output signal of the IC with the reference value. According to the present invention, the adjustment of the offset voltage can be performed without relying on the manual observation of the voltmeter and the manual adjustment of the variable resistor, and the test man-hour can be reduced. When testing a multi-pin VLSI (or ULSI), the adjustment time can be greatly reduced.
【図1】 本発明の一実施例のブロック図。FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention.
【図2】 図1の実施例のオフセット電圧補正過程を示
すフローチャート。FIG. 2 is a flowchart showing an offset voltage correction process of the embodiment of FIG.
【図3】 従来例のブロック図。FIG. 3 is a block diagram of a conventional example.
【図4】 従来例のオフセット電圧補正過程を示すフロ
ーチャート。FIG. 4 is a flowchart showing a conventional offset voltage correction process.
1a 入力データレベル電源 1b 出力データレベル電源 2 コンピュータ 3 オフセット自動補正回路 4 レジスタ 5 両極性出力型D/Aコンバータ 6 増幅器 7 ドライバ 8a、8b コンパレータ 9 アナログスイッチ 10 内部電圧計 11 制御入力端子 12 入出力端子 13 コンパレータの出力端子 14 オフセット調整用可変抵抗器 1a Input data level power supply 1b Output data level power supply 2 Computer 3 Offset automatic correction circuit 4 Register 5 Bipolar output type D / A converter 6 Amplifier 7 Driver 8a, 8b Comparator 9 Analog switch 10 Internal voltmeter 11 Control input terminal 12 Input / output Terminal 13 Output terminal of comparator 14 Variable resistor for offset adjustment
Claims (2)
発生する入力データレベル電源と、 前記入力データレベル電源の出力する出力電圧を補正す
る入力補正回路と、 前記入力補正回路の出力信号を受けて被試験ICの駆動
信号を出力するドライバと、 前記ドライバの出力オフセット電圧を測定し、これを0
にするのに必要な前記入力補正回路の補正量を求め、該
補正量を前記入力補正回路に設定する機構と、を具備す
るICテストシステム。1. An input data level power supply that generates a voltage of a level to be input to an IC under test, an input correction circuit that corrects an output voltage output from the input data level power supply, and an output signal of the input correction circuit. A driver that receives the output signal of the IC under test and an output offset voltage of the driver are measured,
And a mechanism for determining a correction amount of the input correction circuit necessary for the setting and setting the correction amount in the input correction circuit.
を発生する出力データレベル電源と、 前記出力データレベル電源の出力する基準レベル電圧を
補正する出力補正回路と、 前記出力補正回路の出力電圧と被試験ICの出力信号レ
ベルを比較するコンパレータと、 前記コンパレータの入力オフセット電圧を測定し、前記
出力データレベル電源の出力値が0Vであるときに前記
コンパレータの出力オフセット電圧を0Vとするのに必
要な前記出力補正回路の補正量を求め、該補正量を前記
出力補正回路に設定する機構と、を具備するICテスト
システム。2. An output data level power supply for generating a reference level voltage of an output signal of an IC under test, an output correction circuit for correcting a reference level voltage output by the output data level power supply, and an output voltage of the output correction circuit. A comparator for comparing the output signal levels of the IC under test and an input offset voltage of the comparator, and when the output value of the output data level power supply is 0V, the output offset voltage of the comparator is set to 0V. An IC test system comprising: a mechanism for determining a necessary correction amount of the output correction circuit and setting the correction amount in the output correction circuit.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4269413A JPH0694797A (en) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | Ic test device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4269413A JPH0694797A (en) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | Ic test device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0694797A true JPH0694797A (en) | 1994-04-08 |
Family
ID=17472075
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4269413A Pending JPH0694797A (en) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | Ic test device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0694797A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001027651A (en) * | 1999-07-14 | 2001-01-30 | Advantest Corp | Waveform acquisition method and waveform acquisition device operated by it |
-
1992
- 1992-09-11 JP JP4269413A patent/JPH0694797A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001027651A (en) * | 1999-07-14 | 2001-01-30 | Advantest Corp | Waveform acquisition method and waveform acquisition device operated by it |
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