JPH0685123A - 放熱装置 - Google Patents
放熱装置Info
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- JPH0685123A JPH0685123A JP5006641A JP664193A JPH0685123A JP H0685123 A JPH0685123 A JP H0685123A JP 5006641 A JP5006641 A JP 5006641A JP 664193 A JP664193 A JP 664193A JP H0685123 A JPH0685123 A JP H0685123A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fin
- assemblies
- assembly
- heat
- housing
- Prior art date
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- Granted
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F3/00—Plate-like or laminated elements; Assemblies of plate-like or laminated elements
- F28F3/02—Elements or assemblies thereof with means for increasing heat-transfer area, e.g. with fins, with recesses, with corrugations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/40—Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
- H01L23/4093—Snap-on arrangements, e.g. clips
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電子デバイスによって生じる熱を放散させる
ための放熱装置を提供する。 【構成】 フィン状部材またはフィン・アセンブリの独
立した動きを可能にする構造により、発熱面に緊密な熱
接触が得られる。フィン・アセンブリは、バネ手段によ
って発熱面の方に負荷される。バネ手段は、フィン・ア
センブリの上部とカバーの間におかれる。カバーは、フ
ィン・アセンブリを取り巻くダクトを形成してフィン・
アセンブリをまとめ、空気等の流体がフィン・アセンブ
リ上を流れるようにする。カバーは、発熱面の側面に掛
かるグリップを持つ。カバーはまた、これにバネ負荷手
段を固定するためにバネ負荷手段に掛かる手段を持つ。
フィン・アセンブリは、フィン・アセンブリをバネ負荷
手段との間隔を一定に保つよう保持する負荷手段と係合
する手段を持つ。フィン・アセンブリ、バネ負荷手段、
及びカバーは一体構造を成し、この構造は、半導体チッ
プ・モジュール等の発熱面に装着またはスナップ接続で
き取り外すことができる。
ための放熱装置を提供する。 【構成】 フィン状部材またはフィン・アセンブリの独
立した動きを可能にする構造により、発熱面に緊密な熱
接触が得られる。フィン・アセンブリは、バネ手段によ
って発熱面の方に負荷される。バネ手段は、フィン・ア
センブリの上部とカバーの間におかれる。カバーは、フ
ィン・アセンブリを取り巻くダクトを形成してフィン・
アセンブリをまとめ、空気等の流体がフィン・アセンブ
リ上を流れるようにする。カバーは、発熱面の側面に掛
かるグリップを持つ。カバーはまた、これにバネ負荷手
段を固定するためにバネ負荷手段に掛かる手段を持つ。
フィン・アセンブリは、フィン・アセンブリをバネ負荷
手段との間隔を一定に保つよう保持する負荷手段と係合
する手段を持つ。フィン・アセンブリ、バネ負荷手段、
及びカバーは一体構造を成し、この構造は、半導体チッ
プ・モジュール等の発熱面に装着またはスナップ接続で
き取り外すことができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、表面に生じた熱を逃が
す構造であって、ベース部とフィン状部材またはフィン
要素を有し、フィン状部材のいくつかが相互に隣接し、
隣接したフィン状部材の少なくとも一部が互いに摺動可
能に係合し、各フィン状部材のベース部が発熱面と一致
する構造に関する。具体的には、フィン状部材は、隣接
して摺動可能に係合するように配置される個別のフィン
・アセンブリの一部である。さらに、各フィン状部材の
ベース部は、フィン状部材に適用される場合と同じよう
に、発熱面と熱接触するように配置される。この構造
は、バネ要素またはバネ負荷手段でフィン状部材を部分
的に密閉するハウジングを持ち、バネ負荷手段はハウジ
ングとフィン状部材の間に配置される。ハウジングはダ
クト状であり、フィン状部材間に流体の伝熱媒体を通す
ことができる。本発明の構造は、電子デバイスによって
生じる熱を放散させるためのものである。
す構造であって、ベース部とフィン状部材またはフィン
要素を有し、フィン状部材のいくつかが相互に隣接し、
隣接したフィン状部材の少なくとも一部が互いに摺動可
能に係合し、各フィン状部材のベース部が発熱面と一致
する構造に関する。具体的には、フィン状部材は、隣接
して摺動可能に係合するように配置される個別のフィン
・アセンブリの一部である。さらに、各フィン状部材の
ベース部は、フィン状部材に適用される場合と同じよう
に、発熱面と熱接触するように配置される。この構造
は、バネ要素またはバネ負荷手段でフィン状部材を部分
的に密閉するハウジングを持ち、バネ負荷手段はハウジ
ングとフィン状部材の間に配置される。ハウジングはダ
クト状であり、フィン状部材間に流体の伝熱媒体を通す
ことができる。本発明の構造は、電子デバイスによって
生じる熱を放散させるためのものである。
【0002】
【従来の技術】コンピュータに用いられる半導体チップ
や半導体チップ・パッケージング基板等の電子デバイス
によって生じた熱を逃がすヒート・シンクには長い歴史
がある。ヒート・シンクが絶えず改良されるのは、チッ
プの一定面積に集積される熱を発する回路が多くなり、
こうした回路を含む最新の超大規模集積回路によって生
じる単位面積当たりの熱を逃がすためである。これと等
しく重要なことだが、半導体チップ用のヒート・シンク
の研究が絶えず続けられる背景には、ヒート・シンクの
製作コストを下げることで、パッケージ化される半導体
チップのコストを下げるとともに、コンピュータのコス
トも下げようとする動きがある。従来のヒート・シンク
は一般に、アルミニウム等の金属に代表される物質の押
出し、鋳造、及び機械加工によって作られる。アルミニ
ウムは比較的に低コストの金属であり、伝熱性は高い方
である。加工されたアルミニウムのヒート・シンクは、
アルミニウムのブロックから各部が切削除去されて作ら
れる。機械加工は、労働集約型で時間のかかるプロセス
であり、原料を最大限に利用するものではない。押出し
の場合、原料は押し型を通され、所望のヒート・シンク
の形が作られる。押出しでは高価な機械が必要であり、
押出される部品を作るための原料は比較的に多くなる。
鋳造の場合、溶融した原料が、所望の部品の形状を持つ
鋳型に流し込まれる。鋳造はコストの大きい労働集約型
のプロセスであり、部品を形作るのに必要な原料以上の
原料を要する。
や半導体チップ・パッケージング基板等の電子デバイス
によって生じた熱を逃がすヒート・シンクには長い歴史
がある。ヒート・シンクが絶えず改良されるのは、チッ
プの一定面積に集積される熱を発する回路が多くなり、
こうした回路を含む最新の超大規模集積回路によって生
じる単位面積当たりの熱を逃がすためである。これと等
しく重要なことだが、半導体チップ用のヒート・シンク
の研究が絶えず続けられる背景には、ヒート・シンクの
製作コストを下げることで、パッケージ化される半導体
チップのコストを下げるとともに、コンピュータのコス
トも下げようとする動きがある。従来のヒート・シンク
は一般に、アルミニウム等の金属に代表される物質の押
出し、鋳造、及び機械加工によって作られる。アルミニ
ウムは比較的に低コストの金属であり、伝熱性は高い方
である。加工されたアルミニウムのヒート・シンクは、
アルミニウムのブロックから各部が切削除去されて作ら
れる。機械加工は、労働集約型で時間のかかるプロセス
であり、原料を最大限に利用するものではない。押出し
の場合、原料は押し型を通され、所望のヒート・シンク
の形が作られる。押出しでは高価な機械が必要であり、
押出される部品を作るための原料は比較的に多くなる。
鋳造の場合、溶融した原料が、所望の部品の形状を持つ
鋳型に流し込まれる。鋳造はコストの大きい労働集約型
のプロセスであり、部品を形作るのに必要な原料以上の
原料を要する。
【0003】ヒート・シンクは一般に、ベースから突き
出した通常は事実上平坦な部材であるフィンを持つ。フ
ィンはこの形状に限定する必要はない。機械加工、押出
し、及び鋳造から得られるフィンは、熱に対して最適化
されていない。機械加工、押出し、及び鋳造の性質とそ
れらに固有の制限により、フィンは通常、効果的な放熱
手段として必要な最小厚みよりも厚くなる。このような
方法で作られたフィンは、一般的には厚さが約1mmを
超える。また、フィンのアスペクト比すなわちその厚み
に対するフィンの高さの比は一般に、これらの製造方法
では約20未満が限度である。
出した通常は事実上平坦な部材であるフィンを持つ。フ
ィンはこの形状に限定する必要はない。機械加工、押出
し、及び鋳造から得られるフィンは、熱に対して最適化
されていない。機械加工、押出し、及び鋳造の性質とそ
れらに固有の制限により、フィンは通常、効果的な放熱
手段として必要な最小厚みよりも厚くなる。このような
方法で作られたフィンは、一般的には厚さが約1mmを
超える。また、フィンのアスペクト比すなわちその厚み
に対するフィンの高さの比は一般に、これらの製造方法
では約20未満が限度である。
【0004】一般に、熱を逃がすために、フィンをまた
ぐ形か、またはフィンの間に、気体や液体にもなり得る
流体(通常は空気)が導入される。気体が用いられる
時、一般にヒート・シンクのフィンの部分及びフィンと
フィンの間は、気流の出口の圧力に比べて減圧になる。
この減圧の原因はフィンであり、他の放熱アセンブリ
は、流体の流れを遮るものとなる。その一般的な原因は
構造寸法(フィン厚み、フィン高さ、及びフィンとフィ
ンの間隔)である。フィン厚みは液流に対して堅い障害
物になり、フィンの高さもそうである。フィンとフィン
の間隔が狭まればそれだけ流体の流れる余地が少なくな
る。流体の流れに対する抵抗が大きければ、フィンとフ
ィンの流体圧力が低下する。ヒート・シンクの冷却能力
を上げながら、空気抵抗を低く保つためには、薄く、か
つアスペクト比の大きいフィンを使用する必要がある。
以下に述べる従来の装置は、ダクト状のキャップと発熱
面の間に保持され、S字状あるいは波形に折り込まれた
シート材を示す。
ぐ形か、またはフィンの間に、気体や液体にもなり得る
流体(通常は空気)が導入される。気体が用いられる
時、一般にヒート・シンクのフィンの部分及びフィンと
フィンの間は、気流の出口の圧力に比べて減圧になる。
この減圧の原因はフィンであり、他の放熱アセンブリ
は、流体の流れを遮るものとなる。その一般的な原因は
構造寸法(フィン厚み、フィン高さ、及びフィンとフィ
ンの間隔)である。フィン厚みは液流に対して堅い障害
物になり、フィンの高さもそうである。フィンとフィン
の間隔が狭まればそれだけ流体の流れる余地が少なくな
る。流体の流れに対する抵抗が大きければ、フィンとフ
ィンの流体圧力が低下する。ヒート・シンクの冷却能力
を上げながら、空気抵抗を低く保つためには、薄く、か
つアスペクト比の大きいフィンを使用する必要がある。
以下に述べる従来の装置は、ダクト状のキャップと発熱
面の間に保持され、S字状あるいは波形に折り込まれた
シート材を示す。
【0005】米国特許第2772382号明細書は、整
流器プレートのスタックのためのカバー26を示してい
る。カバーは、直立したフィン要素を成すように波形に
折り曲げられる。カバーはさらに折り曲げられてショル
ダ24、25が形成され、整流器プレートのスタックの
端部が覆われる。このカバーには、整流器プレートのス
タックの下に折り込まれて下部を成す部分34がある。
上部と下部はアイレット(鳩目)で保持される。
流器プレートのスタックのためのカバー26を示してい
る。カバーは、直立したフィン要素を成すように波形に
折り曲げられる。カバーはさらに折り曲げられてショル
ダ24、25が形成され、整流器プレートのスタックの
端部が覆われる。このカバーには、整流器プレートのス
タックの下に折り込まれて下部を成す部分34がある。
上部と下部はアイレット(鳩目)で保持される。
【0006】IBM Technical Disclosure Bulletin(Vo
l.10、No.10、January 1968、p.1242)は、密閉され
た電子部品から熱を逃がすスナップ式の熱交換器を示し
ている。熱交換器は一体構造で、通常は折り込まれ
て、"折り"を持つ所望の形状のフィン部材になる銅板か
ら形成される。これにより熱交換器は、電子部品上に、
加熱された交換器を保持するための電子部品の端部に簡
単に装着できる。
l.10、No.10、January 1968、p.1242)は、密閉され
た電子部品から熱を逃がすスナップ式の熱交換器を示し
ている。熱交換器は一体構造で、通常は折り込まれ
て、"折り"を持つ所望の形状のフィン部材になる銅板か
ら形成される。これにより熱交換器は、電子部品上に、
加熱された交換器を保持するための電子部品の端部に簡
単に装着できる。
【0007】米国特許第4481525号明細書は、上
面に正方形の接地板24を持ち、これが上におかれた放
熱要素10の中の開口と係合するICチップ14を示し
ている。放熱要素10は、伝熱クランプ12によってチ
ップ14の上面の所定位置に保持される。クランプ12
は、チップ14の下に置かれ、端部に放熱要素10に掛
かるフランジを持つ直立した部材48を備える。
面に正方形の接地板24を持ち、これが上におかれた放
熱要素10の中の開口と係合するICチップ14を示し
ている。放熱要素10は、伝熱クランプ12によってチ
ップ14の上面の所定位置に保持される。クランプ12
は、チップ14の下に置かれ、端部に放熱要素10に掛
かるフランジを持つ直立した部材48を備える。
【0008】米国特許第4745456号明細書は、縦
方向に離隔された複数のフィン28から形成される放熱
要素24を示している。フィン28は、ハウジング24
の表面20に位置し、対になったフィンの間に挿入され
るヒート・シンク・クリップ50によって所定位置に保
持されるポストから放射状に突き出る。クリップは、ヒ
ート・シンクに反発力を与え、ヒート・シンクはハウジ
ング14の上面20のパッド18と緊密に熱接触する。
このヒート・シンク・アセンブリは、枠を保持するハウ
ジング14のラッチ材40からヒート・シンク・クリッ
プのフランジ54を取り外すことによって、素早く簡単
に分解できる。
方向に離隔された複数のフィン28から形成される放熱
要素24を示している。フィン28は、ハウジング24
の表面20に位置し、対になったフィンの間に挿入され
るヒート・シンク・クリップ50によって所定位置に保
持されるポストから放射状に突き出る。クリップは、ヒ
ート・シンクに反発力を与え、ヒート・シンクはハウジ
ング14の上面20のパッド18と緊密に熱接触する。
このヒート・シンク・アセンブリは、枠を保持するハウ
ジング14のラッチ材40からヒート・シンク・クリッ
プのフランジ54を取り外すことによって、素早く簡単
に分解できる。
【0009】IBM Technical Disclosure Bulletin(Vo
l.26、No.7A、December 1983、p.3233)は、平行に
重なり合う複数のスロットを持ち、S字状に折り曲げら
れる伝熱性の高い金属板で形成される半導体チップ・パ
ッケージ用の金属冷却フィンを示している。スロットを
備えるこの構造は、接合界面を小領域に分け、それによ
って接合領域を分散させ、各領域が個別に拡大して、フ
ィン接合界面の集合的拡大を回避している。
l.26、No.7A、December 1983、p.3233)は、平行に
重なり合う複数のスロットを持ち、S字状に折り曲げら
れる伝熱性の高い金属板で形成される半導体チップ・パ
ッケージ用の金属冷却フィンを示している。スロットを
備えるこの構造は、接合界面を小領域に分け、それによ
って接合領域を分散させ、各領域が個別に拡大して、フ
ィン接合界面の集合的拡大を回避している。
【0010】IBM Technical Disclosure Bulletin(Vo
l.32、No.9B、February 1990、p.408 )は、0.2
mmの銅または0.5mmのCoIn/Cuで形成され
るフィン構造5を示している。構造5は、チップ2と熱
接触するように配置された厚い基板6に接合される。
l.32、No.9B、February 1990、p.408 )は、0.2
mmの銅または0.5mmのCoIn/Cuで形成され
るフィン構造5を示している。構造5は、チップ2と熱
接触するように配置された厚い基板6に接合される。
【0011】米国特許第2328488号明細書は、弾
性物質の波形部材16を示している。これによれば整流
器を効率よく冷却できる。整流器は、整流要素の基板の
間に配置される。
性物質の波形部材16を示している。これによれば整流
器を効率よく冷却できる。整流器は、整流要素の基板の
間に配置される。
【0012】米国特許第2416152号明細書は、隣
接した整流器プレートの間に、空流の方向に対して横方
向に配置された薄い2本の銅片より成る波形スペーサ1
8を示している。銅片はこれにより、積み重ねられた整
流器プレートを通る冷却空気の流れを実質上妨げない。
接した整流器プレートの間に、空流の方向に対して横方
向に配置された薄い2本の銅片より成る波形スペーサ1
8を示している。銅片はこれにより、積み重ねられた整
流器プレートを通る冷却空気の流れを実質上妨げない。
【0013】米国特許第3449172号明細書は、図
2で、あらかじめ打ち抜かれて折られた金属箔25(通
常は2乃至5ミルの銅)を示している。これはホット・
シンク11とコールド・シンク13の間に置かれた(図
1の)コネクタに3次元の柔軟性を与える。
2で、あらかじめ打ち抜かれて折られた金属箔25(通
常は2乃至5ミルの銅)を示している。これはホット・
シンク11とコールド・シンク13の間に置かれた(図
1の)コネクタに3次元の柔軟性を与える。
【0014】米国特許第3180404号明細書は、図
3で、発熱要素52上に、そこから熱を伝えるために装
着されたプレート51、プレート51の上面にろう付
け、あるいは固定される波形のフィン・ストリップ5
3、及びフィン・ストリップの上面に接触するカバー・
プレート49を示している。カバーはプレート51とと
もに動作し、波形のフィン・ストリップ53上で冷却剤
の流れを制限するダクトを定義する。図8の波形フィン
・ストリップ41は、波形になるようにまとめられた薄
い延性シート材から作られ、プレート39に対して縦方
向に伸びる下面と上面を与える。
3で、発熱要素52上に、そこから熱を伝えるために装
着されたプレート51、プレート51の上面にろう付
け、あるいは固定される波形のフィン・ストリップ5
3、及びフィン・ストリップの上面に接触するカバー・
プレート49を示している。カバーはプレート51とと
もに動作し、波形のフィン・ストリップ53上で冷却剤
の流れを制限するダクトを定義する。図8の波形フィン
・ストリップ41は、波形になるようにまとめられた薄
い延性シート材から作られ、プレート39に対して縦方
向に伸びる下面と上面を与える。
【0015】米国特許第4884631号明細書は、ハ
ニカム、波形、S字状等、薄い構造材の構成を様々な実
施例に取り入れ、横方向の分流構成を採用した高効率の
強制エア・ヒート・シンク・アセンブリを示している。
S字状のフィン要素は、プレートから伸び、フィン構造
を入れる複数のチャネルを成す複数のフィン・サポート
を採用している。実施例は各々、外面が露出した伝熱板
を使用している。外面の1つは冷却対象の部品を受け、
1つはフィン構造を受ける。
ニカム、波形、S字状等、薄い構造材の構成を様々な実
施例に取り入れ、横方向の分流構成を採用した高効率の
強制エア・ヒート・シンク・アセンブリを示している。
S字状のフィン要素は、プレートから伸び、フィン構造
を入れる複数のチャネルを成す複数のフィン・サポート
を採用している。実施例は各々、外面が露出した伝熱板
を使用している。外面の1つは冷却対象の部品を受け、
1つはフィン構造を受ける。
【0016】米国特許第4263965号明細書は、個
別にバネ負荷された薄葉状の複数の部材21を示してい
る。これは個々の凹部20a内で自由に動くことがで
き、薄葉状部材と、反対側に配置されるチップ10のプ
レーナ面との間に比較的平坦な面係合が得られる。薄葉
状部材は四角形の薄い部材である。
別にバネ負荷された薄葉状の複数の部材21を示してい
る。これは個々の凹部20a内で自由に動くことがで
き、薄葉状部材と、反対側に配置されるチップ10のプ
レーナ面との間に比較的平坦な面係合が得られる。薄葉
状部材は四角形の薄い部材である。
【0017】米国特許第4730666号明細書及び同
4964458号明細書は、図3で、チップ22と熱接
触する伝熱シート38を示している。シート38は、示
差熱膨張を吸収し、シート38の柔軟性を高めるために
チップ間の領域にコルゲーション44を持つ。チップに
近接するシート38は、フィン40の集合を持ち、各集
合は圧力板46とバネ48によって各チップの背面の方
へ押されるため、可撓シート38と各チップ背面の熱接
触が促進される。
4964458号明細書は、図3で、チップ22と熱接
触する伝熱シート38を示している。シート38は、示
差熱膨張を吸収し、シート38の柔軟性を高めるために
チップ間の領域にコルゲーション44を持つ。チップに
近接するシート38は、フィン40の集合を持ち、各集
合は圧力板46とバネ48によって各チップの背面の方
へ押されるため、可撓シート38と各チップ背面の熱接
触が促進される。
【0018】米国特許第4408220号明細書は、素
早く装着できICパッケージからの取り外しを容易にす
るように一体構造とし、弾性物質から形成される放熱器
を示している。この弾性熱交換器は、サーマル・プレー
トとDIP IC(デュアル・イン・ライン集積回路)
パッケージとの間の熱接続を可能にする。
早く装着できICパッケージからの取り外しを容易にす
るように一体構造とし、弾性物質から形成される放熱器
を示している。この弾性熱交換器は、サーマル・プレー
トとDIP IC(デュアル・イン・ライン集積回路)
パッケージとの間の熱接続を可能にする。
【0019】米国特許第4707726号明細書は、ヒ
ート・シンクを持つ半導体パッケージの装着構造につい
て説明している。これは、内部両側に対になった側壁を
持ち、チャネルが形成されたヒート・シンクを含み、チ
ャネルの一方の側壁に掛かるバネ・ビームにより、半導
体パッケージともう一方の側壁との間に良好な伝熱係合
が得られる。
ート・シンクを持つ半導体パッケージの装着構造につい
て説明している。これは、内部両側に対になった側壁を
持ち、チャネルが形成されたヒート・シンクを含み、チ
ャネルの一方の側壁に掛かるバネ・ビームにより、半導
体パッケージともう一方の側壁との間に良好な伝熱係合
が得られる。
【0020】米国特許第4922601号明細書は、電
気部品からハウジングへ熱を逃がすヒート・シンク・ア
センブリを示している。この構造には、キャリアと電気
部品をハウジング上の所定位置に保つようにキャリア機
構と接続された複数の弾性フィンガを持つ弾性負荷材が
含まれる。
気部品からハウジングへ熱を逃がすヒート・シンク・ア
センブリを示している。この構造には、キャリアと電気
部品をハウジング上の所定位置に保つようにキャリア機
構と接続された複数の弾性フィンガを持つ弾性負荷材が
含まれる。
【0021】米国特許第4605058号明細書及び同
4872405号明細書は、基板内の開口と係合するよ
うに各々突起部を持つU形部材とW形部材を成すよう形
成されたヒート・シンクを示している。
4872405号明細書は、基板内の開口と係合するよ
うに各々突起部を持つU形部材とW形部材を成すよう形
成されたヒート・シンクを示している。
【0022】Research Disclosure(October、1990、N
o.318、Kenneth MasonPublications Ltd.、England
)は、天板と底板の間に巻かれたフィン状のバネを示
している。底板は伝熱性で、半導体チップに対して露出
しており、天板がバネを負荷することで底板が押されて
半導体チップと熱接触する。天板はフレーム上の、サー
マル・プレートの穴及び固定先の天板の穴を通して挿入
されるスナップ式ヘッドによって保持される。
o.318、Kenneth MasonPublications Ltd.、England
)は、天板と底板の間に巻かれたフィン状のバネを示
している。底板は伝熱性で、半導体チップに対して露出
しており、天板がバネを負荷することで底板が押されて
半導体チップと熱接触する。天板はフレーム上の、サー
マル・プレートの穴及び固定先の天板の穴を通して挿入
されるスナップ式ヘッドによって保持される。
【0023】米国特許第4970579号明細書は、折
り込んだ金属板から作られるヒート・シンクを示してい
る。シートは、脆くならないよう、あるいは過剰な熱抵
抗が生じないように、薄くすることはできないが、一
方、重量やコストが問題となるほど厚くするわけにもい
かない。図7は、実験による熱抵抗と伝熱性をヒート・
シンクの厚みを乗じて描いている。熱抵抗は、チップの
消費電力で除した周囲温度よりも低いヒート・シンク温
度に等しい。
り込んだ金属板から作られるヒート・シンクを示してい
る。シートは、脆くならないよう、あるいは過剰な熱抵
抗が生じないように、薄くすることはできないが、一
方、重量やコストが問題となるほど厚くするわけにもい
かない。図7は、実験による熱抵抗と伝熱性をヒート・
シンクの厚みを乗じて描いている。熱抵抗は、チップの
消費電力で除した周囲温度よりも低いヒート・シンク温
度に等しい。
【0024】米国特許第4261005号明細書は、プ
ラスチック・ハウジング周辺に累積する熱を逃がすため
の、型打ちした一枚の金属板のヒート・シンクを示して
いる。ヒート・シンクは対称形の一体構造で、半導体パ
ッケージが、内端によって形成されるチャネル内に押し
込まれると、その内端が簡単に離れ、バネ力によって端
部がパッケージと係合しパッケージを保持する位置に戻
る柔軟性を持つ。
ラスチック・ハウジング周辺に累積する熱を逃がすため
の、型打ちした一枚の金属板のヒート・シンクを示して
いる。ヒート・シンクは対称形の一体構造で、半導体パ
ッケージが、内端によって形成されるチャネル内に押し
込まれると、その内端が簡単に離れ、バネ力によって端
部がパッケージと係合しパッケージを保持する位置に戻
る柔軟性を持つ。
【0025】米国特許第4691765号明細書は、プ
リント回路基板上に位置するヒート・シンクを示してい
る。これは、プリント回路基板の開口内に挿入しやすい
ように形成された装着タブを持つ。
リント回路基板上に位置するヒート・シンクを示してい
る。これは、プリント回路基板の開口内に挿入しやすい
ように形成された装着タブを持つ。
【0026】米国特許第4712159号明細書は、ヒ
ート・シンクを電子デバイス・パッケージに解除できる
ように接続するヒート・シンク・クリップ・アセンブリ
を示している。クリップ・アセンブリは、非導電装着ク
リップを含み、これがラッチ留めクリップとして、パッ
ケージの下側で、電子パッケージの反対側に隣接配置さ
れたヒート・シンクにまで伸び、ヒート・シンクが電子
デバイス・パッケージと熱接触する。
ート・シンクを電子デバイス・パッケージに解除できる
ように接続するヒート・シンク・クリップ・アセンブリ
を示している。クリップ・アセンブリは、非導電装着ク
リップを含み、これがラッチ留めクリップとして、パッ
ケージの下側で、電子パッケージの反対側に隣接配置さ
れたヒート・シンクにまで伸び、ヒート・シンクが電子
デバイス・パッケージと熱接触する。
【0027】Research Disclosure(May、1986、No.26
5、Kenneth Mason PublicationsLtd.、England)は、
PCカード4に装着されたモジュール2上に装着される
高伝熱性の金属シェル1を示している。モジュールを覆
うためPCカード全面にカードの外装がセットされる。
シェル2は薄い表面伝熱パッドとして働き、カバーはヒ
ート・シンクとして働く。シェルは外装6が閉じられた
時に圧縮され、シェルとモジュールの間の接触面積が大
きくなる。シェルの物質は、アセンブリの空流抵抗を上
げないように薄くされる。カバー6はダクト状で、中及
びシェル上部を空気が流れる。
5、Kenneth Mason PublicationsLtd.、England)は、
PCカード4に装着されたモジュール2上に装着される
高伝熱性の金属シェル1を示している。モジュールを覆
うためPCカード全面にカードの外装がセットされる。
シェル2は薄い表面伝熱パッドとして働き、カバーはヒ
ート・シンクとして働く。シェルは外装6が閉じられた
時に圧縮され、シェルとモジュールの間の接触面積が大
きくなる。シェルの物質は、アセンブリの空流抵抗を上
げないように薄くされる。カバー6はダクト状で、中及
びシェル上部を空気が流れる。
【0028】米国特許第4639829号明細書は、半
導体チップ20背面の方へバネ負荷されたピストン23
を示している。
導体チップ20背面の方へバネ負荷されたピストン23
を示している。
【0029】米国特許第4254431号明細書は、上
に、複数のバネ28で押されて半導体チップ12の背面
の樹枝状突起30と係合する樹枝状突起30を持つヒー
ト・シンクを示している。
に、複数のバネ28で押されて半導体チップ12の背面
の樹枝状突起30と係合する樹枝状突起30を持つヒー
ト・シンクを示している。
【0030】米国特許第4770242号明細書は、各
々、半導体チップ1上に配置され、フィンのついた複数
の伝熱材17を示している。伝熱材17のフィンはハウ
ジング15のフィン16と係合する。伝熱材17はバネ
20によって半導体チップ1の方へ負荷され、バネはハ
ウジング15と伝熱材17の間に置かれる。
々、半導体チップ1上に配置され、フィンのついた複数
の伝熱材17を示している。伝熱材17のフィンはハウ
ジング15のフィン16と係合する。伝熱材17はバネ
20によって半導体チップ1の方へ負荷され、バネはハ
ウジング15と伝熱材17の間に置かれる。
【0031】米国特許第3548927号明細書は、放
熱材に接続された弾性クリップを示している。クリップ
は、中央の部品保持部の方へ下向きにバネ材を担持す
る。クリップの形状は、電子部品がその下を摺動し、放
熱材の保持部の方向に、また放熱材が対応するヒート・
シンク上に装着される領域の方向にバネ・クリップによ
って押されるように作られる。
熱材に接続された弾性クリップを示している。クリップ
は、中央の部品保持部の方へ下向きにバネ材を担持す
る。クリップの形状は、電子部品がその下を摺動し、放
熱材の保持部の方向に、また放熱材が対応するヒート・
シンク上に装着される領域の方向にバネ・クリップによ
って押されるように作られる。
【0032】米国特許第4689720号明細書は、熱
源とヒート・シンクの間に熱路を設けて、熱源/ヒート
・シンクの表面の不規則性や、それらの間隔の不均一性
を補うように、バネ金属を利用した熱リンクを示してい
る。
源とヒート・シンクの間に熱路を設けて、熱源/ヒート
・シンクの表面の不規則性や、それらの間隔の不均一性
を補うように、バネ金属を利用した熱リンクを示してい
る。
【0033】米国特許第4710852号明細書は、カ
プセル化した半導体デバイスを回路基板に直接または中
間の放熱器を介して固定するための、バネ鋼バヨネット
型保持器を示している。
プセル化した半導体デバイスを回路基板に直接または中
間の放熱器を介して固定するための、バネ鋼バヨネット
型保持器を示している。
【0034】
【発明が解決しようとする課題】前記機械加工、押出
し、鋳造というこれまでの方法では、薄く、かつアスペ
クト比の大きいフィンを作るのは難しく、高コストにな
る。これに代わる高アスペクト比のフィン・アセンブリ
を得る方法は、伝熱物質でアスペクト比の高いシート
(フィン)をベース部に接着、ろう付け、あるいは接合
することである。ただし、こうした方法はコスト高にな
る。フィンを保持するための比較的に厚いベース材のプ
レート、比較的高価な接着剤、及び比較的高いアセンブ
リ・コストが必要なためである。このような方法の場
合、フィンが挿入されて接着、ろう付け、あるいは接合
される比較的に厚いベース材に、通常は溝が形成され
る。また、これらのヒート・シンクでは、薄いフィンに
寸法安定性がないことから、フィンのアスペクト比も制
限される。アスペクト比が高く、厚みが最小のフィン
は、剛性に欠けるため取り扱いが難しい。
し、鋳造というこれまでの方法では、薄く、かつアスペ
クト比の大きいフィンを作るのは難しく、高コストにな
る。これに代わる高アスペクト比のフィン・アセンブリ
を得る方法は、伝熱物質でアスペクト比の高いシート
(フィン)をベース部に接着、ろう付け、あるいは接合
することである。ただし、こうした方法はコスト高にな
る。フィンを保持するための比較的に厚いベース材のプ
レート、比較的高価な接着剤、及び比較的高いアセンブ
リ・コストが必要なためである。このような方法の場
合、フィンが挿入されて接着、ろう付け、あるいは接合
される比較的に厚いベース材に、通常は溝が形成され
る。また、これらのヒート・シンクでは、薄いフィンに
寸法安定性がないことから、フィンのアスペクト比も制
限される。アスペクト比が高く、厚みが最小のフィン
は、剛性に欠けるため取り扱いが難しい。
【0035】従来のヒート・シンクのどれをとっても、
発熱面と接触するヒート・シンク面の平坦度は、その間
の熱抵抗に影響を与える。ヒート・シンクのベース部が
比較的に大きく、平坦度が高くなるように加工されてい
ない場合、また熱接続される面が平坦度が高くなるよう
に加工されていない場合、各面の平坦度が不充分なため
にヒート・シンクのベースと発熱面との間に空隙ができ
る。このような隙間は熱抵抗の高い領域となる。また、
前記米国特許明細書等に示された構造は、S字状の構造
と発熱面の間の熱接触が最適な状態ではない。これら従
来のS字状構造のいくつかは普通、発熱面と接触する部
分が曲がっており、そのため、発熱面から、発熱面の半
分程度しか覆わない平面を持つS字状フィン構造へ熱が
伝わる領域が比較的小さくなる。これに対して本発明の
構造は、発熱面を事実上完全に覆うベースを持ち、発熱
面とフィン・アセンブリの間の熱接続を最適な状態にす
るフィン・アセンブリを備える。その上、本発明のフィ
ン・アセンブリは相互に独立して移動できるため、フィ
ン・アセンブリと発熱面との間に緊密な熱接触が得ら
れ、本発明の放熱効果が大幅に高められる。
発熱面と接触するヒート・シンク面の平坦度は、その間
の熱抵抗に影響を与える。ヒート・シンクのベース部が
比較的に大きく、平坦度が高くなるように加工されてい
ない場合、また熱接続される面が平坦度が高くなるよう
に加工されていない場合、各面の平坦度が不充分なため
にヒート・シンクのベースと発熱面との間に空隙ができ
る。このような隙間は熱抵抗の高い領域となる。また、
前記米国特許明細書等に示された構造は、S字状の構造
と発熱面の間の熱接触が最適な状態ではない。これら従
来のS字状構造のいくつかは普通、発熱面と接触する部
分が曲がっており、そのため、発熱面から、発熱面の半
分程度しか覆わない平面を持つS字状フィン構造へ熱が
伝わる領域が比較的小さくなる。これに対して本発明の
構造は、発熱面を事実上完全に覆うベースを持ち、発熱
面とフィン・アセンブリの間の熱接続を最適な状態にす
るフィン・アセンブリを備える。その上、本発明のフィ
ン・アセンブリは相互に独立して移動できるため、フィ
ン・アセンブリと発熱面との間に緊密な熱接触が得ら
れ、本発明の放熱効果が大幅に高められる。
【0036】発明者は、機械加工、押出し、及び鋳造に
かかる大きなコストをなくし、薄いシート材を折り合わ
せることによってフィンを厚い基板に接着する放熱構造
を考案した。本発明の放熱構造はまた、ヒート・シンク
のベースと発熱面との間の平坦度が不充分という問題も
解決している。本発明は、フィンまたはフィン・アセン
ブリ(フィンの集合)が、隣接するフィンまたはフィン
・アセンブリに対して摺動可能に係合し、フィンまたは
フィン・アセンブリが発熱面と緊密に熱接触するように
押し当てられ、よって共形接続と熱接続が大きく改良さ
れる設計を用いる。
かかる大きなコストをなくし、薄いシート材を折り合わ
せることによってフィンを厚い基板に接着する放熱構造
を考案した。本発明の放熱構造はまた、ヒート・シンク
のベースと発熱面との間の平坦度が不充分という問題も
解決している。本発明は、フィンまたはフィン・アセン
ブリ(フィンの集合)が、隣接するフィンまたはフィン
・アセンブリに対して摺動可能に係合し、フィンまたは
フィン・アセンブリが発熱面と緊密に熱接触するように
押し当てられ、よって共形接続と熱接続が大きく改良さ
れる設計を用いる。
【0037】本発明の構造は、厚みが最小でアスペクト
比が高く、各々の間隔が最小の放熱フィンを持つ。
比が高く、各々の間隔が最小の放熱フィンを持つ。
【0038】本発明の目的は、空気を18.0N/m2
の圧力でフィンに導入することによって、放熱力が平方
センチメートル当たり4.0ワットを超える構造を提供
することにある。
の圧力でフィンに導入することによって、放熱力が平方
センチメートル当たり4.0ワットを超える構造を提供
することにある。
【0039】本発明の目的には、製造コストの低い放熱
構造を提供することも含まれる。
構造を提供することも含まれる。
【0040】本発明の目的には、隣接するフィン・アセ
ンブリが相互に摺動可能に係合する部分を有し、フィン
・アセンブリの各々が発熱面と事実上共形の熱接続をす
るように負荷される放熱構造を提供することも含まれ
る。
ンブリが相互に摺動可能に係合する部分を有し、フィン
・アセンブリの各々が発熱面と事実上共形の熱接続をす
るように負荷される放熱構造を提供することも含まれ
る。
【0041】本発明の目的には、流体をフィンと並行な
方向に向けることによって、流体がフィンをまたぐよう
に、またフィンの間を通過するように、ダクト状の構造
を与えるハウジングでフィンのアセンブリを密閉するこ
とも含まれる。
方向に向けることによって、流体がフィンをまたぐよう
に、またフィンの間を通過するように、ダクト状の構造
を与えるハウジングでフィンのアセンブリを密閉するこ
とも含まれる。
【0042】本発明の目的には、発熱する基板と共形に
熱接触するようにフィンを負荷するためにハウジングと
フィンの間に負荷手段を設けることも含まれる。
熱接触するようにフィンを負荷するためにハウジングと
フィンの間に負荷手段を設けることも含まれる。
【0043】
【課題を解決するための手段】本発明の最も広範囲な側
面に触れるため、表面に生じる熱を逃がすための構造に
ついて述べる。この構造は、フィン状部材とベースを持
つ複数のフィン・アセンブリを収容する。複数のフィン
・アセンブリの少なくともいくつかは、別のフィン・ア
センブリに隣接するため、フィン・アセンブリの隣接部
分のうち少なくとも一部は互いに摺動可能に係合し、フ
ィン状部材の各々が接続されるベース部を、発熱面と緊
密に熱接触させるように個別に配置することができる。
面に触れるため、表面に生じる熱を逃がすための構造に
ついて述べる。この構造は、フィン状部材とベースを持
つ複数のフィン・アセンブリを収容する。複数のフィン
・アセンブリの少なくともいくつかは、別のフィン・ア
センブリに隣接するため、フィン・アセンブリの隣接部
分のうち少なくとも一部は互いに摺動可能に係合し、フ
ィン状部材の各々が接続されるベース部を、発熱面と緊
密に熱接触させるように個別に配置することができる。
【0044】フィン状部材は独立したフィン・アセンブ
リの各部であり、各フィン・アセンブリはベース部を持
ち、各フィン・アセンブリに少なくとも2つのフィン状
部材が含まれ、それらがベース部から突き出る。複数の
独立フィン・アセンブリの1つは、複数の独立フィン・
アセンブリのもう1つに隣接するため、対応するフィン
状部材が互いに摺動可能に係合する。
リの各部であり、各フィン・アセンブリはベース部を持
ち、各フィン・アセンブリに少なくとも2つのフィン状
部材が含まれ、それらがベース部から突き出る。複数の
独立フィン・アセンブリの1つは、複数の独立フィン・
アセンブリのもう1つに隣接するため、対応するフィン
状部材が互いに摺動可能に係合する。
【0045】この構造は、フィン・アセンブリを密閉す
るハウジングを持つ。ハウジングはダクト状の部材を成
し、伝熱媒体の流体がフィンの間及び上側を通過して熱
を逃がす。
るハウジングを持つ。ハウジングはダクト状の部材を成
し、伝熱媒体の流体がフィンの間及び上側を通過して熱
を逃がす。
【0046】フィン・アセンブリのうち、発熱面と接触
するように配置されない部分とハウジングの間には、独
立フィン・アセンブリを発熱面の方向へ負荷する複数の
手段がある。これにより、フィン・アセンブリのベース
部と発熱面の間に緊密な熱接触が得られる。
するように配置されない部分とハウジングの間には、独
立フィン・アセンブリを発熱面の方向へ負荷する複数の
手段がある。これにより、フィン・アセンブリのベース
部と発熱面の間に緊密な熱接触が得られる。
【0047】ハウジングは、発熱面を留めるグリップ手
段を持つ。
段を持つ。
【0048】ハウジングは、負荷手段を保持するグリッ
プ手段を持つ。
プ手段を持つ。
【0049】
【実施例】図1は、本発明の冷却装置の実施例の断面を
示す。図2は、図1の装置の分解斜視図である。装置の
底板2は溝4を持つ。溝4は向き合った2つの側面に沿
って形成するのが望ましい。底板2は、チップを入れる
半導体チップ・パッケージのキャップにもなる。図13
は、代表的な半導体チップのパッケージまたはモジュー
ルの側面断面図であり、半導体チップ6は、チップ表面
9のチップ・パッド10と基板14の基板パッド12を
相互接続するハンダ・マウンド8を持つ基板14上にフ
リップ・チップの形に装着される。チップ・パッド10
はチップ・メタライゼーション11に電気的に接続され
る。基板14は、基板パッド12をピン18に電気的に
接続するために導電パターン16が埋め込まれたセラミ
ック等の誘電物質である。半導体チップ6は、上表面2
2を持つキャップ20によって密閉される。図1、図2
の底板2は、底板2の表面24が図13の上表面22に
対応するように図13のキャップ20にもなる。あるい
は、図1、図2の底板2は、図1、図2の下表面26を
図13の上表面22上に配置できる独立した部材とする
こともできる。
示す。図2は、図1の装置の分解斜視図である。装置の
底板2は溝4を持つ。溝4は向き合った2つの側面に沿
って形成するのが望ましい。底板2は、チップを入れる
半導体チップ・パッケージのキャップにもなる。図13
は、代表的な半導体チップのパッケージまたはモジュー
ルの側面断面図であり、半導体チップ6は、チップ表面
9のチップ・パッド10と基板14の基板パッド12を
相互接続するハンダ・マウンド8を持つ基板14上にフ
リップ・チップの形に装着される。チップ・パッド10
はチップ・メタライゼーション11に電気的に接続され
る。基板14は、基板パッド12をピン18に電気的に
接続するために導電パターン16が埋め込まれたセラミ
ック等の誘電物質である。半導体チップ6は、上表面2
2を持つキャップ20によって密閉される。図1、図2
の底板2は、底板2の表面24が図13の上表面22に
対応するように図13のキャップ20にもなる。あるい
は、図1、図2の底板2は、図1、図2の下表面26を
図13の上表面22上に配置できる独立した部材とする
こともできる。
【0050】図1、図2の構造は複数のフィン・アセン
ブリ28を含む。フィン・アセンブリの各々は図3に示
した。
ブリ28を含む。フィン・アセンブリの各々は図3に示
した。
【0051】図3に示した各フィン・アセンブリには、
各々フィン要素またはフィン状部材36、38が接続さ
れる第1エッジ32と第2エッジ34を持つベース部3
0がある。フィン要素またはフィン状部材36、38は
平坦なものが望ましいがこれは必要条件ではない。フィ
ン状部材36、38の形状は四角形が望ましい。フィン
状部材36、38は、好適にはベース部30と90°の
角度をなす。フィン状部材またはフィン・アセンブリ2
8は、アルミニウム、銅等の伝熱物質の単一シートを、
たとえば図3に示した形に折り込んで形成するのが望ま
しい。フィン要素36の第1エッジ32の反対側である
フィン状部材36の上エッジ40には、直角に突き出た
折り42がある。折り42にはさらに、直角に上向きに
伸びた折りまたはタブ44がある。折り34の反対側の
上エッジ46のフィン要素38には直角に出た折り48
がある。折り42のエッジ45は折り48のエッジ47
にほぼ向き合い、フィン状部材36、38の上エッジ4
0、46のスペーサを成す。図3のフィン・アセンブリ
を成す金属板の厚みは、最小約0.1mm、最大1mm
の範囲が望ましい。フィン状部材36、38に望ましい
物質はアルミニウム板である。各フィン状部材36、3
8の(矢印50で示した)高さは最小約1mm、最大約
100mmの範囲がよい。フィン要素36、38の間隔
は、折り込んだアルミニウム金属板で最小約0.1m
m、最大約1.0mmの範囲が望ましい。
各々フィン要素またはフィン状部材36、38が接続さ
れる第1エッジ32と第2エッジ34を持つベース部3
0がある。フィン要素またはフィン状部材36、38は
平坦なものが望ましいがこれは必要条件ではない。フィ
ン状部材36、38の形状は四角形が望ましい。フィン
状部材36、38は、好適にはベース部30と90°の
角度をなす。フィン状部材またはフィン・アセンブリ2
8は、アルミニウム、銅等の伝熱物質の単一シートを、
たとえば図3に示した形に折り込んで形成するのが望ま
しい。フィン要素36の第1エッジ32の反対側である
フィン状部材36の上エッジ40には、直角に突き出た
折り42がある。折り42にはさらに、直角に上向きに
伸びた折りまたはタブ44がある。折り34の反対側の
上エッジ46のフィン要素38には直角に出た折り48
がある。折り42のエッジ45は折り48のエッジ47
にほぼ向き合い、フィン状部材36、38の上エッジ4
0、46のスペーサを成す。図3のフィン・アセンブリ
を成す金属板の厚みは、最小約0.1mm、最大1mm
の範囲が望ましい。フィン状部材36、38に望ましい
物質はアルミニウム板である。各フィン状部材36、3
8の(矢印50で示した)高さは最小約1mm、最大約
100mmの範囲がよい。フィン要素36、38の間隔
は、折り込んだアルミニウム金属板で最小約0.1m
m、最大約1.0mmの範囲が望ましい。
【0052】図1、図2を参照する。複数のフィン・ア
センブリ28のベース部30は底板2の表面24上に位
置する。表面24はここでは発熱面とする。タブ44
(ベース部30に接続されないフィン状部材の端部にあ
る)を持つフィン・アセンブリ28の上エッジ40、4
6に隣接するのはバネ要素54である。バネ要素または
バネ負荷手段54は、ステンレス鋼302等のシート状
弾性物質で作られる。バネ要素54に望ましい厚みは約
0.25mmから約1.0mmの範囲である。バネ要素
54は、通常はフィン要素36、38と平行になるよう
に、縦方向の複数のスロット56を持つ。バネ要素54
の複数のスロット56はバネ要素54のエッジ60、6
2によって接合する独立した複数の小バネ要素58を作
る。小バネ要素58は各々、中に、フィン・アセンブリ
28から突き出たタブ44を受けるのに適した小スロッ
ト64を持つ。(図3のフィン・アセンブリ28は各フ
ィン・アセンブリに2つのフィン状部材36、38を示
しているが、フィン状部材は2つに制限されない。)バ
ネ要素54はフィン・アセンブリのタブつき端部上に位
置し、タブ44はバネ要素54のスロット64と整列
し、これに挿入される。カバー66は、フィン・アセン
ブリ28とバネ要素54の上におかれる。カバー66の
上部68はバネ要素54を加圧し、複数のフィン・アセ
ンブリ28を底板2の方へ押す。カバー66の2つの側
面70、72のエッジ71、73はカバー上部68から
伸びる。この角度は50°がよい。カバー66は、アル
ミニウムまたは銅の鋼板等、折り込んだ金属板から形成
される。鋼板の厚みは約0.25mmから約1.0mm
の範囲が望ましい。カバー66の上部68から遠位の側
面70、72の端部には、エッジ71、73に各々、巻
き込んだリッジ74、76があり、これらは反対側の底
板2の側面3、5にある溝4に掛かる。またリッジ7
4、76は、底板2の角78、80の回りに掛けるか、
底板2の側面に直接掛けることもできる。
センブリ28のベース部30は底板2の表面24上に位
置する。表面24はここでは発熱面とする。タブ44
(ベース部30に接続されないフィン状部材の端部にあ
る)を持つフィン・アセンブリ28の上エッジ40、4
6に隣接するのはバネ要素54である。バネ要素または
バネ負荷手段54は、ステンレス鋼302等のシート状
弾性物質で作られる。バネ要素54に望ましい厚みは約
0.25mmから約1.0mmの範囲である。バネ要素
54は、通常はフィン要素36、38と平行になるよう
に、縦方向の複数のスロット56を持つ。バネ要素54
の複数のスロット56はバネ要素54のエッジ60、6
2によって接合する独立した複数の小バネ要素58を作
る。小バネ要素58は各々、中に、フィン・アセンブリ
28から突き出たタブ44を受けるのに適した小スロッ
ト64を持つ。(図3のフィン・アセンブリ28は各フ
ィン・アセンブリに2つのフィン状部材36、38を示
しているが、フィン状部材は2つに制限されない。)バ
ネ要素54はフィン・アセンブリのタブつき端部上に位
置し、タブ44はバネ要素54のスロット64と整列
し、これに挿入される。カバー66は、フィン・アセン
ブリ28とバネ要素54の上におかれる。カバー66の
上部68はバネ要素54を加圧し、複数のフィン・アセ
ンブリ28を底板2の方へ押す。カバー66の2つの側
面70、72のエッジ71、73はカバー上部68から
伸びる。この角度は50°がよい。カバー66は、アル
ミニウムまたは銅の鋼板等、折り込んだ金属板から形成
される。鋼板の厚みは約0.25mmから約1.0mm
の範囲が望ましい。カバー66の上部68から遠位の側
面70、72の端部には、エッジ71、73に各々、巻
き込んだリッジ74、76があり、これらは反対側の底
板2の側面3、5にある溝4に掛かる。またリッジ7
4、76は、底板2の角78、80の回りに掛けるか、
底板2の側面に直接掛けることもできる。
【0053】各フィン・アセンブリ28にはこれに対応
した独立した小バネ要素58があるため、フィン・アセ
ンブリ28の各ベース部30は個別に、底板2の表面2
4に押しつけられ、フィン・アセンブリ28全体の底部
82と底板2の表面24との間に緊密な熱接触が得られ
る。表面24はフィン・アセンブリ28全体の発熱面で
ある。図1、図2の実施例では5つのフィン・アセンブ
リを示しているが、構造はこれに限定されない。
した独立した小バネ要素58があるため、フィン・アセ
ンブリ28の各ベース部30は個別に、底板2の表面2
4に押しつけられ、フィン・アセンブリ28全体の底部
82と底板2の表面24との間に緊密な熱接触が得られ
る。表面24はフィン・アセンブリ28全体の発熱面で
ある。図1、図2の実施例では5つのフィン・アセンブ
リを示しているが、構造はこれに限定されない。
【0054】組み立てやすさを考え、各フィン・アセン
ブリ28は互いに隣接しておかれ、バネ要素54の複数
のスロット64には複数のタブ44が挿入される。タブ
44は、曲げ、捻り、接合等により、バネ要素54をフ
ィン・アセンブリ28と接触するように固定した状態に
保つ。
ブリ28は互いに隣接しておかれ、バネ要素54の複数
のスロット64には複数のタブ44が挿入される。タブ
44は、曲げ、捻り、接合等により、バネ要素54をフ
ィン・アセンブリ28と接触するように固定した状態に
保つ。
【0055】カバー66はそこで、フィン・アセンブリ
28とバネ要素54を組み合わせたものの上におかれ、
バネ要素54のエッジ84、86が、カバー66の上部
68の前エッジ92と後エッジ94のフック98、10
0に差し込まれる。
28とバネ要素54を組み合わせたものの上におかれ、
バネ要素54のエッジ84、86が、カバー66の上部
68の前エッジ92と後エッジ94のフック98、10
0に差し込まれる。
【0056】図4は、図1、図2の矢印5で示した方向
の図1の構造の右側面図である。図4のバネ要素54
と、カバー66の側面70の後ろのフィン状部材36の
上部は破線で示した。フック98、100も破線で示し
ている。フック100に近い領域3は図6に拡大図を示
している。バネ要素54のエッジ86は、フック100
とカバー66の上部68との間でくさび状になってい
る。バネ要素54の他方のエッジ84も同様に、キャッ
プ上部68とフック98の間でくさび状になっている。
これでカバー66、バネ要素54、及び複数のフィン状
部材36、38またはフィン・アセンブリ28は、上を
押すだけで底板2のエッジに、あるいは底板2の溝4に
簡単に接続または繋留する組立構造を成す。図1の構造
が組み立てられると、流体が構造の、図2の104の方
向に向けられる。流体は通常、ファンによって送り出さ
れる空気である。
の図1の構造の右側面図である。図4のバネ要素54
と、カバー66の側面70の後ろのフィン状部材36の
上部は破線で示した。フック98、100も破線で示し
ている。フック100に近い領域3は図6に拡大図を示
している。バネ要素54のエッジ86は、フック100
とカバー66の上部68との間でくさび状になってい
る。バネ要素54の他方のエッジ84も同様に、キャッ
プ上部68とフック98の間でくさび状になっている。
これでカバー66、バネ要素54、及び複数のフィン状
部材36、38またはフィン・アセンブリ28は、上を
押すだけで底板2のエッジに、あるいは底板2の溝4に
簡単に接続または繋留する組立構造を成す。図1の構造
が組み立てられると、流体が構造の、図2の104の方
向に向けられる。流体は通常、ファンによって送り出さ
れる空気である。
【0057】図5は、図3のフィン・アセンブリ28の
第2実施例で、2重折のフィン・アセンブリを示す。図
7は、一部折り込まれた図5の構造を示す。図5の構造
は1枚の金属板から作られる。ベース部は104、10
6の2つがある。ベース部104の両側に折り108、
110、ベース部106の両側に折り112、114が
ある。フィン側116はエッジ108に、フィン側11
8はエッジ110につながる。フィン側120はエッジ
112に、フィン側122はエッジ114につながる。
フィン側116の自由エッジ124にはタブ128が突
き出し、フィン側120のエッジ140にはタブ129
が突き出す。フィン側122は、中に開口134のある
ブリッジ132を通してフィン側118につながる。ブ
リッジ132の側面は、各々フィン側118、122に
つながるエッジ136、137に沿って折り込まれる。
図7の構造が壊れるか、あるいは図5の構造になるよう
に折られると、フィン側116はフィン側120に対し
て折り上げられ、突き出したタブ128、129はブリ
ッジ132の開口134から突き出る。ブリッジ132
は、フィン側118、122のエッジ130とエッジ1
31の間のスペーサを成す。ベース部104、106は
発熱面に対して、図3に示したフィン・アセンブリと同
様に位置づけられる。
第2実施例で、2重折のフィン・アセンブリを示す。図
7は、一部折り込まれた図5の構造を示す。図5の構造
は1枚の金属板から作られる。ベース部は104、10
6の2つがある。ベース部104の両側に折り108、
110、ベース部106の両側に折り112、114が
ある。フィン側116はエッジ108に、フィン側11
8はエッジ110につながる。フィン側120はエッジ
112に、フィン側122はエッジ114につながる。
フィン側116の自由エッジ124にはタブ128が突
き出し、フィン側120のエッジ140にはタブ129
が突き出す。フィン側122は、中に開口134のある
ブリッジ132を通してフィン側118につながる。ブ
リッジ132の側面は、各々フィン側118、122に
つながるエッジ136、137に沿って折り込まれる。
図7の構造が壊れるか、あるいは図5の構造になるよう
に折られると、フィン側116はフィン側120に対し
て折り上げられ、突き出したタブ128、129はブリ
ッジ132の開口134から突き出る。ブリッジ132
は、フィン側118、122のエッジ130とエッジ1
31の間のスペーサを成す。ベース部104、106は
発熱面に対して、図3に示したフィン・アセンブリと同
様に位置づけられる。
【0058】図8は、本発明の構造の第2実施例であ
る。フィン・アセンブリは図1、図2、図3に示したも
のと同様で(図示のカバー66はない)、各々ベース部
130を持つ独立したフィン・アセンブリ128があ
る。ベース部130は各々エッジ132、134を持
つ。エッジ132から、ベース部130に対して好適に
はほぼ直角にフィン状部材136が、エッジ134から
はベース部130に対してほぼ直角にフィン状部材13
8が突き出る。フィン状部材136は上エッジ140
を、フィン状部材138は上エッジ142を持つ。直立
タブ144は上エッジ140から、直立タブ146は上
エッジ142から突き出る。直立タブ144の両側の上
エッジ140から、上エッジ142の方に折り下げられ
た折り下げタブ148、150がある。直立タブ146
の両側の上エッジ142から、上エッジ140の方向に
折り下げられた折り下げタブ152、154がある。折
り下げタブ152はエッジ156を、折り下げタブ14
8はエッジ158を持ち、エッジ158はフィン状部材
136、138の間でタブ156と向き合う。同様に折
り下げタブ154にはエッジ160が、折り下げタブ1
50にはエッジ162があり、エッジ162はフィン状
部材136、138の間及び小バネ要素168からの力
を受ける表面で折り下げタブ154のエッジ160と向
き合う。折り下げタブ148、150、152、154
の組み合わせは、フィン状部材136、138の上エッ
ジ140、142のスペーサを成す。直立タブ144、
146と折り下げタブ148、150、152、154
の間に、通常は四角形の開口164が形成される。バネ
要素166は通常、図2のバネ要素54と同じ構造、同
じ形状であり、小バネ要素168は縦長スロット170
によって形成される。小バネ要素168は、バネ要素1
66の端部172、174によって保持される。小バネ
要素168には下方向に突出した凹部178があり、こ
れは通常、断面が四角形で、フィン・アセンブリ128
の上部の開口164に挿入または係合するように寸法が
決められる。フィン・アセンブリ128の直立タブ14
4、146は、小バネ要素168の凹部178の側面1
80、182に、及び小バネ要素168に成形された凹
部178の下に伸びた金属側面184、186に沿って
位置づけられ、開口164のエッジ188、190に沿
って係合する。直立タブ144、146は、小バネ要素
168の凹部178上に折り下げれば、フィン・アセン
ブリ128をバネ要素166に保持することができる。
る。フィン・アセンブリは図1、図2、図3に示したも
のと同様で(図示のカバー66はない)、各々ベース部
130を持つ独立したフィン・アセンブリ128があ
る。ベース部130は各々エッジ132、134を持
つ。エッジ132から、ベース部130に対して好適に
はほぼ直角にフィン状部材136が、エッジ134から
はベース部130に対してほぼ直角にフィン状部材13
8が突き出る。フィン状部材136は上エッジ140
を、フィン状部材138は上エッジ142を持つ。直立
タブ144は上エッジ140から、直立タブ146は上
エッジ142から突き出る。直立タブ144の両側の上
エッジ140から、上エッジ142の方に折り下げられ
た折り下げタブ148、150がある。直立タブ146
の両側の上エッジ142から、上エッジ140の方向に
折り下げられた折り下げタブ152、154がある。折
り下げタブ152はエッジ156を、折り下げタブ14
8はエッジ158を持ち、エッジ158はフィン状部材
136、138の間でタブ156と向き合う。同様に折
り下げタブ154にはエッジ160が、折り下げタブ1
50にはエッジ162があり、エッジ162はフィン状
部材136、138の間及び小バネ要素168からの力
を受ける表面で折り下げタブ154のエッジ160と向
き合う。折り下げタブ148、150、152、154
の組み合わせは、フィン状部材136、138の上エッ
ジ140、142のスペーサを成す。直立タブ144、
146と折り下げタブ148、150、152、154
の間に、通常は四角形の開口164が形成される。バネ
要素166は通常、図2のバネ要素54と同じ構造、同
じ形状であり、小バネ要素168は縦長スロット170
によって形成される。小バネ要素168は、バネ要素1
66の端部172、174によって保持される。小バネ
要素168には下方向に突出した凹部178があり、こ
れは通常、断面が四角形で、フィン・アセンブリ128
の上部の開口164に挿入または係合するように寸法が
決められる。フィン・アセンブリ128の直立タブ14
4、146は、小バネ要素168の凹部178の側面1
80、182に、及び小バネ要素168に成形された凹
部178の下に伸びた金属側面184、186に沿って
位置づけられ、開口164のエッジ188、190に沿
って係合する。直立タブ144、146は、小バネ要素
168の凹部178上に折り下げれば、フィン・アセン
ブリ128をバネ要素166に保持することができる。
【0059】図9は図1の構造の第3実施例を示す。図
9の構造は一部を分解した形である。図9は複数のフィ
ン・アセンブリ228である。図10はフィン・アセン
ブリ228の1つの前面図である。図11は一部展開し
た図10の前面図である。図10、図11では、1枚の
金属板が折り込まれて複数のセクション230、23
2、234、236、238、240、242が作られ
る。この折りは、構造が図10の形状に折られた時に、
セクション230がセクション238に隣接し、セクシ
ョン240、232、234、236、242が通常は
図10に示すような四角形の構造となるように作られ
る。図10、図11の構造の折り244は、セクション
230をセクション240に直角に、折り246はセク
ション240と232を直角に、折り248はセクショ
ン232、234を直角に、折り250はセクション2
34、236を直角に、折り252はセクション23
6、242を直角にそれぞれつないでいる。セクション
234はフィン・アセンブリのベース部に相当する。図
10のフィン状部材228は一般には上下逆のT形か、
または閉じた四角形のダクトの側面から伸びるフィンを
有している。垂直部230、238は上端256と下端
258を持つ。下端258は、折り244、246、2
48、250、252、254と5つの側面240、2
32、234、236、242から作られるT形の垂直
部につながる。
9の構造は一部を分解した形である。図9は複数のフィ
ン・アセンブリ228である。図10はフィン・アセン
ブリ228の1つの前面図である。図11は一部展開し
た図10の前面図である。図10、図11では、1枚の
金属板が折り込まれて複数のセクション230、23
2、234、236、238、240、242が作られ
る。この折りは、構造が図10の形状に折られた時に、
セクション230がセクション238に隣接し、セクシ
ョン240、232、234、236、242が通常は
図10に示すような四角形の構造となるように作られ
る。図10、図11の構造の折り244は、セクション
230をセクション240に直角に、折り246はセク
ション240と232を直角に、折り248はセクショ
ン232、234を直角に、折り250はセクション2
34、236を直角に、折り252はセクション23
6、242を直角にそれぞれつないでいる。セクション
234はフィン・アセンブリのベース部に相当する。図
10のフィン状部材228は一般には上下逆のT形か、
または閉じた四角形のダクトの側面から伸びるフィンを
有している。垂直部230、238は上端256と下端
258を持つ。下端258は、折り244、246、2
48、250、252、254と5つの側面240、2
32、234、236、242から作られるT形の垂直
部につながる。
【0060】図9を参照する。フィン状部材228の1
つの側面232は、隣接するフィン要素の側面236に
対して、フィン・アセンブリ260に上部、フィン・ア
センブリ262に底部が作られ、ずらして配置されたフ
ィンが得られるように位置づけられる。バネ要素264
は、図2、図8のバネ要素54、166の上向きの曲げ
と対比される下向きの曲げを持つ。バネ要素264は、
向き合うエッジ268、270に周辺スロット266を
持ち、小バネ要素272のような複数のフィンガを形成
する。小バネ要素は外向きの端部274を持ち、ここ
に、フィン状部材228の各々の上端256に掛かるか
または固定される折りクリップ276がある。クリップ
276は通常、C形または密閉形で、図12に示す曲が
った端部が、フィン状部材228の上端256が挿入さ
れるスペース282を持つループ278、280を成
す。ハウジングまたはカバー278は、中央のバネ要素
264に加わる力を除いて、図1、図2のものとほぼ同
じである。
つの側面232は、隣接するフィン要素の側面236に
対して、フィン・アセンブリ260に上部、フィン・ア
センブリ262に底部が作られ、ずらして配置されたフ
ィンが得られるように位置づけられる。バネ要素264
は、図2、図8のバネ要素54、166の上向きの曲げ
と対比される下向きの曲げを持つ。バネ要素264は、
向き合うエッジ268、270に周辺スロット266を
持ち、小バネ要素272のような複数のフィンガを形成
する。小バネ要素は外向きの端部274を持ち、ここ
に、フィン状部材228の各々の上端256に掛かるか
または固定される折りクリップ276がある。クリップ
276は通常、C形または密閉形で、図12に示す曲が
った端部が、フィン状部材228の上端256が挿入さ
れるスペース282を持つループ278、280を成
す。ハウジングまたはカバー278は、中央のバネ要素
264に加わる力を除いて、図1、図2のものとほぼ同
じである。
【0061】平方センチメートル当たり4.0ワットの
熱を逃がす例を、図1、図2の実施例に適用される下表
の寸法で示す。 フィン高さ = 50.0mm フィン厚み = 0.6mm フィン・アスペクト比 = 82.0 フィン長さ = 66.0mm フィン部材数 = 20 フィン間隔 = 2.36mm フィン材 = アルミニウム カバー材 = アルミニウム バネ手段 = ステンレス鋼
熱を逃がす例を、図1、図2の実施例に適用される下表
の寸法で示す。 フィン高さ = 50.0mm フィン厚み = 0.6mm フィン・アスペクト比 = 82.0 フィン長さ = 66.0mm フィン部材数 = 20 フィン間隔 = 2.36mm フィン材 = アルミニウム カバー材 = アルミニウム バネ手段 = ステンレス鋼
【0062】表のヒート・シンクは、約18.0N/m
2 の減圧、10.8リットル/秒の速度で構造に導入さ
れる空気の温度を超える約45℃の昇温で4.0w/c
m2の放熱能力を持つ。
2 の減圧、10.8リットル/秒の速度で構造に導入さ
れる空気の温度を超える約45℃の昇温で4.0w/c
m2の放熱能力を持つ。
【0063】
【発明の効果】本発明は様々なフィン・アセンブリを示
している。1つのフィン・アセンブリの一部が隣接する
フィン・アセンブリに接触するように配置される。隣接
するフィン・アセンブリは摺動可能に係合し、各フィン
・アセンブリのベースまたは底部が押されて発熱面と緊
密に熱接触する状態になり、放熱効果が大幅に向上す
る。放熱効果は、サーマル・ペースト、導電ポリマ等の
熱媒体がフィン・アセンブリのベースと発熱面との間に
置かれる場合にさらに向上する。また、放熱構造の要素
はほぼすべて、折られた金属板から形成され、原料コス
ト、製造コストが大幅に削減される。
している。1つのフィン・アセンブリの一部が隣接する
フィン・アセンブリに接触するように配置される。隣接
するフィン・アセンブリは摺動可能に係合し、各フィン
・アセンブリのベースまたは底部が押されて発熱面と緊
密に熱接触する状態になり、放熱効果が大幅に向上す
る。放熱効果は、サーマル・ペースト、導電ポリマ等の
熱媒体がフィン・アセンブリのベースと発熱面との間に
置かれる場合にさらに向上する。また、放熱構造の要素
はほぼすべて、折られた金属板から形成され、原料コス
ト、製造コストが大幅に削減される。
【図1】本発明の実施例の前面図である。
【図2】図1の実施例の分解斜視図である。
【図3】図1、図2のフィン・アセンブリの斜視図であ
る。
る。
【図4】図1の方向5の右側面図である。
【図5】折り込み式フィン・アセンブリの斜視図であ
る。
る。
【図6】図5の領域3の拡大図である。
【図7】一部折り込んだ図5のフィン・アセンブリの図
である。
である。
【図8】折り込まれたフィン・アセンブリの凹部と係合
するように、負荷手段が複数の突起部を持つように折り
込まれた、フィン・アセンブリと負荷手段の第2実施例
の斜視図である。
するように、負荷手段が複数の突起部を持つように折り
込まれた、フィン・アセンブリと負荷手段の第2実施例
の斜視図である。
【図9】フィン・アセンブリが、T形になるように折り
込まれた金属板から形成され、バネ負荷手段が、T形フ
ィン・アセンブリの縦長の部分に掛かるグリップ手段を
持つ、本発明に従った構造の第2実施例の斜視図であ
る。
込まれた金属板から形成され、バネ負荷手段が、T形フ
ィン・アセンブリの縦長の部分に掛かるグリップ手段を
持つ、本発明に従った構造の第2実施例の斜視図であ
る。
【図10】図9の構造の単一フィン・アセンブリの側面
図である。
図である。
【図11】一部折り込まれた図10のフィン状部材の図
である。
である。
【図12】図9のバネ要素のフィン・グリップ手段の側
面図である。
面図である。
【図13】半導体チップ・モジュールの側面断面図であ
る。
る。
Claims (10)
- 【請求項1】表面の熱を逃がすために、 複数のフィン・アセンブリを含み、 上記複数のフィン・アセンブリの各々が少なくとも1つ
のフィン状部材とベース部を有し、 上記フィン・アセンブリの少なくともいくつかは、少な
くとも一部が、上記複数のフィン・アセンブリの別のフ
ィン・アセンブリの少なくとも一部に隣接し、上記フィ
ン・アセンブリの隣接部が互いに摺動可能に係合し、 上記複数のフィン・アセンブリの各々の上記ベース部
が、上記表面と熱接触する位置に置かれるのに適した、 放熱装置。 - 【請求項2】上記フィン・アセンブリの各々の上記ベー
ス部が第1エッジと第2エッジを有し、少なくとも1つ
のフィン状部材が上記第1エッジと上記第2エッジの各
々に接続される、請求項1記載の装置。 - 【請求項3】上記フィン・アセンブリを密閉し、上記フ
ィン状部材の間で流体のチャネリングを可能にするハウ
ジングを含む、請求項1記載の装置。 - 【請求項4】上記フィン・アセンブリの各々に熱表面の
方に負荷をかける手段を含む、請求項1記載の装置。 - 【請求項5】上記少なくとも1つのフィン状部材が事実
上平坦であり、上記ベース部と直角である、請求項1記
載の装置。 - 【請求項6】フィン・アセンブリの各々が、少なくとも
1つのフィン状部材が突き出る四角形の断面を有する、
請求項1記載の装置。 - 【請求項7】上記フィン・アセンブリが、フィン状部材
を形成する4つの主セクションを成すように折られ、上
記4つのセクションのうち2つが2つのベース部の各々
から突き出す1枚のシート材により形成される、請求項
1記載の装置。 - 【請求項8】上記発熱面が電子デバイスと熱接触する、
請求項1記載の装置。 - 【請求項9】上記構造により、上記表面と上記構造との
間の2次元熱接触が可能になる、請求項1記載の装置。 - 【請求項10】表面に生じた熱を逃がす装置であって、 側面と発熱面を有する発熱基板と、 各々、フィン状部材が突き出るベース部を有する複数の
フィン・アセンブリと、 上記ベース部の各々が、上記発熱面と熱接触するよう配
置され、 上記フィン・アセンブリの各々が、別のフィン・アセン
ブリと隣接して、上記隣接したフィン・アセンブリの少
なくとも一部が互いに摺動可能に係合し、 上記フィン・アセンブリを密閉し、上記複数のフィン・
アセンブリの上にダクト状構造を成して、上記フィン状
部材の間に流体が流れるハウジングと、 上記ハウジングと上記フィン・アセンブリの間に配置さ
れて、上記ベース部を上記発熱面と熱接触するようにす
る負荷手段とを含み、 上記ハウジングが、上記基板の上記側面と係合するため
のエッジを有して、上記ハウジングを上記基板に対して
所定位置に保持し、上記負荷手段に力を加え、 上記ハウジングが、上記負荷手段を、上記ハウジングと
の空間が一定になるように保持する手段を有し、 上記フィン・アセンブリが、上記負荷手段と係合して、
上記フィン・アセンブリを一定の空間位置に保持するた
めの手段を有する、 放熱装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US829862 | 1992-02-03 | ||
US07/829,862 US5201866A (en) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | Structure for dissipation of heat having slidably engaged fins for conformal disposition against a heat generating surface |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0685123A true JPH0685123A (ja) | 1994-03-25 |
JPH0779143B2 JPH0779143B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=25255755
Family Applications (1)
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