JPH068436A - 多層電熱変換形インキジェットプリンタヘッド - Google Patents
多層電熱変換形インキジェットプリンタヘッドInfo
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- JPH068436A JPH068436A JP12075593A JP12075593A JPH068436A JP H068436 A JPH068436 A JP H068436A JP 12075593 A JP12075593 A JP 12075593A JP 12075593 A JP12075593 A JP 12075593A JP H068436 A JPH068436 A JP H068436A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電熱変換による各発生インキ蒸気泡の広がり
方向がインキ噴出方向とは反対である多層電熱変換形イ
ンキジェットプリンタヘッドの熱効率を改善し、噴出イ
ンキ粒子の飛翔軌道の精度を高め、インキジェットプリ
ンタヘッドの機械的強度を十分に高める。 【構成】 シリコンから成る基板材料の上に少なくとも
１つのエッチング停止層（２６）及び選択的な抵抗層
（２７）及び選択的なメタライゼーション層（２８）及
び膜層（３０）を前記順序で装着し、その代りに加熱素
子の下のシリコンをエッチングにより除去することが提
案される。これにより加熱素子（４）からインキへの熱
伝達が改善される。外側に位置する膜層（３０）の厚さ
は自由に寸法決め可能であり、従って機械的強度を高め
ても熱特性は一定不変である。より厚い膜（３）により
噴出インキ粒子の飛翔軌道はより安定し再現可能とな
る。
方向がインキ噴出方向とは反対である多層電熱変換形イ
ンキジェットプリンタヘッドの熱効率を改善し、噴出イ
ンキ粒子の飛翔軌道の精度を高め、インキジェットプリ
ンタヘッドの機械的強度を十分に高める。 【構成】 シリコンから成る基板材料の上に少なくとも
１つのエッチング停止層（２６）及び選択的な抵抗層
（２７）及び選択的なメタライゼーション層（２８）及
び膜層（３０）を前記順序で装着し、その代りに加熱素
子の下のシリコンをエッチングにより除去することが提
案される。これにより加熱素子（４）からインキへの熱
伝達が改善される。外側に位置する膜層（３０）の厚さ
は自由に寸法決め可能であり、従って機械的強度を高め
ても熱特性は一定不変である。より厚い膜（３）により
噴出インキ粒子の飛翔軌道はより安定し再現可能とな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電熱変換による発生イン
キ蒸気泡の広がり方向がインキ噴出方向とは反対である
多層電熱変換形インキジェットプリンタヘッドに関す
る。
キ蒸気泡の広がり方向がインキ噴出方向とは反対である
多層電熱変換形インキジェットプリンタヘッドに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】公知の電熱変換形インキジェットプリン
タヘッド（バブルジェット原理）は多数の単一ノズルを
有し、電子制御により所定の大きさの単一インキ粒子が
生じ、これらが所定の模様で記録担体へ向かって噴出さ
れる。印字する文字は、マトリクス状に配列されている
その都度に複数のインキ粒子により形成される。
タヘッド（バブルジェット原理）は多数の単一ノズルを
有し、電子制御により所定の大きさの単一インキ粒子が
生じ、これらが所定の模様で記録担体へ向かって噴出さ
れる。印字する文字は、マトリクス状に配列されている
その都度に複数のインキ粒子により形成される。
【０００３】有利には、印字速度の高速化及び字面の一
様化のためにこのような文字対応マトリクスは列毎に印
字される。
様化のためにこのような文字対応マトリクスは列毎に印
字される。
【０００４】従って、前述の印字方式に適するインキジ
ェットプリンタヘッドは、インキ粒子を必要時点で噴出
することの可能な複数の（同一の）素子を統合しなけれ
ばならない（オンデマンド型）。
ェットプリンタヘッドは、インキ粒子を必要時点で噴出
することの可能な複数の（同一の）素子を統合しなけれ
ばならない（オンデマンド型）。
【０００５】この技術の特徴は、例えばインキ等の記録
液が充填されている毛細管内の開口付近に電気抵抗が加
熱素子として設けられていることにある。この加熱素子
に短い電流パルスにより所定の熱エネルギーが供給され
るとインキ液への非常に迅速な熱伝達により、まず初め
にインキ蒸気泡が急速に膨張し、次いでエネルギー供給
の終了ひいてはインキ液による冷却によりインキ蒸気泡
は比較的急速に崩壊する。蒸気泡により毛細管内部に発
生する圧力波により１つのインキ粒子が質量を制限され
てノズル開口から近くの記録担体の表面に噴出される。
液が充填されている毛細管内の開口付近に電気抵抗が加
熱素子として設けられていることにある。この加熱素子
に短い電流パルスにより所定の熱エネルギーが供給され
るとインキ液への非常に迅速な熱伝達により、まず初め
にインキ蒸気泡が急速に膨張し、次いでエネルギー供給
の終了ひいてはインキ液による冷却によりインキ蒸気泡
は比較的急速に崩壊する。蒸気泡により毛細管内部に発
生する圧力波により１つのインキ粒子が質量を制限され
てノズル開口から近くの記録担体の表面に噴出される。
【０００６】このバブルジェット原理の１つの利点は、
インキ噴出に必要な比較的大きくかつ急速な体積変化が
変換素子における非常に小さい付勢面により、インキ液
の液相へ気相次いで再び液相への遷移の利用を介して実
現されることにある。
インキ噴出に必要な比較的大きくかつ急速な体積変化が
変換素子における非常に小さい付勢面により、インキ液
の液相へ気相次いで再び液相への遷移の利用を介して実
現されることにある。
【０００７】変換素子の付勢面が小さいので例えば膜技
術における高精度写真平版処理を利用すると比較的簡単
かつ小コストで高い印字痕跡密度かつ小さい寸法のイン
キ粒子を発生させることができる。
術における高精度写真平版処理を利用すると比較的簡単
かつ小コストで高い印字痕跡密度かつ小さい寸法のイン
キ粒子を発生させることができる。
【０００８】国際出願ＰＣＴ／ＤＥ９１／００３６４か
らチップが取付け用クランプによりインキ貯蔵容器に機
械的に係止されるチップ及びインキ貯蔵容器から実質的
に成るインキジェットプリンタヘッドが公知である。
らチップが取付け用クランプによりインキ貯蔵容器に機
械的に係止されるチップ及びインキ貯蔵容器から実質的
に成るインキジェットプリンタヘッドが公知である。
【０００９】このチップは３つの側が閉じ第４の側へ向
かって開いているインキチャネルを有し、これらのイン
キチャネルは略台形のチャネル中間壁により互いに分離
されている。
かって開いているインキチャネルを有し、これらのイン
キチャネルは略台形のチャネル中間壁により互いに分離
されている。
【００１０】インキ噴出方向でそれぞれのインキチャネ
ルの閉じ部材は薄膜から成り、薄膜は所属のインキチャ
ネルの噴出ノズルを有し加熱素子の上に外側で配置され
ている。
ルの閉じ部材は薄膜から成り、薄膜は所属のインキチャ
ネルの噴出ノズルを有し加熱素子の上に外側で配置され
ている。
【００１１】基板材料としてシリコンが使用される。イ
ンキチャネルのための中空室構造が異方性エッチングに
より形成される。
ンキチャネルのための中空室構造が異方性エッチングに
より形成される。
【００１２】その実現のためにチップの表面は、ドーピ
ング領域に到達するとエッチング作用が阻止されるよう
に薄層でドーピングされる。これによりインキ噴出方向
で薄層の基板材料が膜として残り、この膜はインキチャ
ネルの壁を形成する。外側で加熱素子が抵抗材料及び導
電路の成層構造により形成される。
ング領域に到達するとエッチング作用が阻止されるよう
に薄層でドーピングされる。これによりインキ噴出方向
で薄層の基板材料が膜として残り、この膜はインキチャ
ネルの壁を形成する。外側で加熱素子が抵抗材料及び導
電路の成層構造により形成される。
【００１３】加熱素子はパルスにより印字模様に依存し
て付勢される。その際に熱が発生し、熱はまず初めに膜
を局所的に加熱する。膜が十分に加熱されると初めてイ
ンキ蒸気泡がインキチャネル内に生じ、インキ蒸気泡に
よりインキ粒子噴出が生じる。このような間接的な加熱
であるので、熱効率は不利である。
て付勢される。その際に熱が発生し、熱はまず初めに膜
を局所的に加熱する。膜が十分に加熱されると初めてイ
ンキ蒸気泡がインキチャネル内に生じ、インキ蒸気泡に
よりインキ粒子噴出が生じる。このような間接的な加熱
であるので、熱効率は不利である。
【００１４】すなわち、インキ粒子発生に必要なエネル
ギーより大幅に大きいエネルギーの供給が必要である。
これによりインキジェットプリンタヘッド全体が時間と
ともに温度上昇する。これは望ましくない。すなわち印
字効率が大きい場合にはインキジェットプリンタヘッド
の冷却のために印字休止時間を挿入しなければならず、
これにより印字効率が減じる。
ギーより大幅に大きいエネルギーの供給が必要である。
これによりインキジェットプリンタヘッド全体が時間と
ともに温度上昇する。これは望ましくない。すなわち印
字効率が大きい場合にはインキジェットプリンタヘッド
の冷却のために印字休止時間を挿入しなければならず、
これにより印字効率が減じる。
【００１５】膜の材料厚に関して次の互いに矛盾する要
求が課せられる。
求が課せられる。
【００１６】一方では膜はできるだけ薄くなければなら
ない。何故ならばこれにより加熱素子からインキへの熱
伝達が小損失で行われるからである。
ない。何故ならばこれにより加熱素子からインキへの熱
伝達が小損失で行われるからである。
【００１７】しかし薄い材料厚により機械的最大許容負
荷を制限する。特に、このインキ粒子発生方式に特有の
パルス状圧力負荷はこの機械的最大許容負荷に到達す
る。
荷を制限する。特に、このインキ粒子発生方式に特有の
パルス状圧力負荷はこの機械的最大許容負荷に到達す
る。
【００１８】他方では厚膜は案内長が長いので噴出イン
キ粒子の記録担体への指向性は良好であり、また大きい
機械的負荷に耐える。
キ粒子の記録担体への指向性は良好であり、また大きい
機械的負荷に耐える。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、加熱
素子からインキへの熱伝達をできるだけ小さくすること
を可能にし噴出インキ粒子に正確な飛翔軌道を予め定
め、機械的強度を十分に高めるインキジェットプリンタ
ヘッドを提供することにある。
素子からインキへの熱伝達をできるだけ小さくすること
を可能にし噴出インキ粒子に正確な飛翔軌道を予め定
め、機械的強度を十分に高めるインキジェットプリンタ
ヘッドを提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】上記課題は本発明によ
り、シリコンから成りインキチャネルが内部に構造化さ
れているチップから出発してこのチップの上に少なくと
も次の層が次の順序で装着されていることにより解決さ
れる。すなわちエッチング停止層、抵抗層、選択的なメ
タライゼーション層、膜層である。
り、シリコンから成りインキチャネルが内部に構造化さ
れているチップから出発してこのチップの上に少なくと
も次の層が次の順序で装着されていることにより解決さ
れる。すなわちエッチング停止層、抵抗層、選択的なメ
タライゼーション層、膜層である。
【００２１】抵抗層により加熱層が構造化されている。
加熱層は、その上にあるメタライゼーション層に接触接
続されている。
加熱層は、その上にあるメタライゼーション層に接触接
続されている。
【００２２】従来必要な保護層を省いてこれらの加熱素
子はインキに直接に接触され、従って発生熱エネルギー
は小損失でかつ遅延なしでインキに伝達される。
子はインキに直接に接触され、従って発生熱エネルギー
は小損失でかつ遅延なしでインキに伝達される。
【００２３】これにより熱効率は改善され、これに加え
てインキ粒子発生が加速される。加熱時間は短縮され、
これによりインキジェットプリンタヘッドの加熱が減じ
る。インキジェットプリンタヘッドの過熱に起因して従
来必要な印字休止時間は回避される。
てインキ粒子発生が加速される。加熱時間は短縮され、
これによりインキジェットプリンタヘッドの加熱が減じ
る。インキジェットプリンタヘッドの過熱に起因して従
来必要な印字休止時間は回避される。
【００２４】本発明のインキジェットプリンタヘッドの
１つの別の利点は、インキジェットプリンタヘッドの熱
特性が材料厚とは独立している、すなわち膜は機械的強
度及びノズル長に関する要求のみを考慮して設計すれば
よい、ことにある。
１つの別の利点は、インキジェットプリンタヘッドの熱
特性が材料厚とは独立している、すなわち膜は機械的強
度及びノズル長に関する要求のみを考慮して設計すれば
よい、ことにある。
【００２５】これに加えて、チャネルの異方性エッチン
グのための塗布エッチング停止層は技術的により良好に
操作可能でありより正確であり材料選択の余地が幅広い
上に信頼性が高い。
グのための塗布エッチング停止層は技術的により良好に
操作可能でありより正確であり材料選択の余地が幅広い
上に信頼性が高い。
【００２６】インキ噴出方向でノズル長が大幅に自由に
寸法決め可能であるので、ノズル自体の毛細管作用によ
りインキ粒子噴出後に、インキチャネル内に空気が侵入
することが回避される。
寸法決め可能であるので、ノズル自体の毛細管作用によ
りインキ粒子噴出後に、インキチャネル内に空気が侵入
することが回避される。
【００２７】本発明の別の実施例ではメタライゼーショ
ン層と膜層との間に熱的及び電気的な絶縁層が設けられ
ている。
ン層と膜層との間に熱的及び電気的な絶縁層が設けられ
ている。
【００２８】有利には膜層の上に濡れ防止層が装着され
るか又は膜層自体が濡れ防止特性を有する。
るか又は膜層自体が濡れ防止特性を有する。
【００２９】
【実施例】次に本発明を実施例に基づき図を用いて詳細
に説明する。
に説明する。
【００３０】図１はインキジェットプリンタヘッド２４
の構造の斜視図を示す。
の構造の斜視図を示す。
【００３１】このインキジェットプリンタヘッド２４は
チップ１１とインキ貯蔵容器１２の２つから本質的に成
る。チップは、加熱素子・導電路・電気端子のための接
触接続個所・噴出開口（ノズル）を含み、閉じ蓋として
貯蔵容器１２に固定および接触接続される。
チップ１１とインキ貯蔵容器１２の２つから本質的に成
る。チップは、加熱素子・導電路・電気端子のための接
触接続個所・噴出開口（ノズル）を含み、閉じ蓋として
貯蔵容器１２に固定および接触接続される。
【００３２】この原理図に示されていない加熱素子・導
電路・接触接続個所９・出口開口１０は、ただ１つの有
利にはシリコンから成るチップ１１から、有利にはプレ
ーナ技術による処理により作製される。
電路・接触接続個所９・出口開口１０は、ただ１つの有
利にはシリコンから成るチップ１１から、有利にはプレ
ーナ技術による処理により作製される。
【００３３】インキ貯蔵容器１２は矩形である。インキ
液を浸した例えば海綿１２等の媒体がこの矩形の中に入
っている。
液を浸した例えば海綿１２等の媒体がこの矩形の中に入
っている。
【００３４】フィルタ１４を有する２つの供給チャネル
１５の形の出口開口が、インキ貯蔵容器１２のチップ１
１に面している上面に設けられている。チップ１１が取
付けられるとこれらの供給チャネル１５がインキチャネ
ル１５を介して出口開口１９に流れ接続されるように、
供給チャネル１５はインキ貯蔵容器１２の長手方向で互
いに平行に走行する。
１５の形の出口開口が、インキ貯蔵容器１２のチップ１
１に面している上面に設けられている。チップ１１が取
付けられるとこれらの供給チャネル１５がインキチャネ
ル１５を介して出口開口１９に流れ接続されるように、
供給チャネル１５はインキ貯蔵容器１２の長手方向で互
いに平行に走行する。
【００３５】インキ貯蔵容器１２の上へのチップ１１の
取付けは、インキ貯蔵容器１２の側方に配置されている
取付け用クランプ１７により簡単に行われる。取付け用
クランプ１７は機械的接続も接触接続個所９を介しての
電気接触接続も実施する。
取付けは、インキ貯蔵容器１２の側方に配置されている
取付け用クランプ１７により簡単に行われる。取付け用
クランプ１７は機械的接続も接触接続個所９を介しての
電気接触接続も実施する。
【００３６】図２は図１の切断線Ｉ−Ｉによりチップ１
１の断面図を示す。図中、斜めの出口ゾーンを有する平
行な壁を有するインキチャネル１６の幾何学的形状が分
かる。
１の断面図を示す。図中、斜めの出口ゾーンを有する平
行な壁を有するインキチャネル１６の幾何学的形状が分
かる。
【００３７】図２から分かるようにこのインキチャネル
１６はノズル側で薄層のみにより膜状で閉じられてい
る。この膜３の中には出口開口１０が設けられている。
１６はノズル側で薄層のみにより膜状で閉じられてい
る。この膜３の中には出口開口１０が設けられている。
【００３８】本発明の対象の理解を容易にするために、
図２の部分Ａに対応して比較のために図３及び図４にそ
れぞれ公知の及び本発明のインキジェットプリンタヘッ
ドが拡大されて示されている。
図２の部分Ａに対応して比較のために図３及び図４にそ
れぞれ公知の及び本発明のインキジェットプリンタヘッ
ドが拡大されて示されている。
【００３９】図３では公知のインキジェットプリンタヘ
ッド２４のインキチャネル１６が、基板材料２５から成
る膜３によりインキ噴出方向で閉じられている。
ッド２４のインキチャネル１６が、基板材料２５から成
る膜３によりインキ噴出方向で閉じられている。
【００４０】膜３の裏側にはまず初めに例えば窒化珪素
等の絶縁層２９が設けられている。
等の絶縁層２９が設けられている。
【００４１】絶縁層２９の上には例えばホウ化ハフニウ
ム等の抵抗層２７が形成されている。
ム等の抵抗層２７が形成されている。
【００４２】抵抗層２７はアルミニウム導電路２８に接
触接続されている。
触接続されている。
【００４３】外側の閉じ蓋として濡れ防止層３１がイン
キジェットプリンタヘッド２４の表面のインキのたまり
回避のために設けられている。
キジェットプリンタヘッド２４の表面のインキのたまり
回避のために設けられている。
【００４４】基板材料２５及びこの上の層は出口開口１
０の領域内のみで開かれている。
０の領域内のみで開かれている。
【００４５】本発明では図４に示されているようにイン
キチャネル１６を構造化するために基板材料２５は出口
開口１０の領域内でも膜３の領域内でも異方性エッチン
グにより完全に除去されている。膜３は、基板材料２５
の上に装着されている層２６、２７、２８、３０、３１
から成る。
キチャネル１６を構造化するために基板材料２５は出口
開口１０の領域内でも膜３の領域内でも異方性エッチン
グにより完全に除去されている。膜３は、基板材料２５
の上に装着されている層２６、２７、２８、３０、３１
から成る。
【００４６】インキチャネル１６に最も近く位置するの
は薄層のエッチング停止層２６である。エッチング停止
層２６は、インキチャネル１６の異方性エッチング中の
後続層の保護に用いられる。エッチング停止層２６は窒
化珪素から成り約１５０ｎｍの厚さである。
は薄層のエッチング停止層２６である。エッチング停止
層２６は、インキチャネル１６の異方性エッチング中の
後続層の保護に用いられる。エッチング停止層２６は窒
化珪素から成り約１５０ｎｍの厚さである。
【００４７】エッチング停止層２６の上には抵抗層２７
が装着されている。加熱素子のために抵抗層２７はホウ
化ハフニウムから成り横方向寸法に依存して約１００ｎ
ｍの厚さである。
が装着されている。加熱素子のために抵抗層２７はホウ
化ハフニウムから成り横方向寸法に依存して約１００ｎ
ｍの厚さである。
【００４８】本発明の別の実施例では抵抗層２７は、異
なる抵抗材料を有する領域に横方向で分割されている。
インキチャネル１６の領域内には加熱素子４のための抵
抗材料が、チャネル中間壁の領域内には大きい温度係数
の抵抗材料がそれぞれ設けられている。大きい温度係数
の領域は別個に接触接続され温度センサとしてインキプ
リンタヘッド２４の監視及び運用信頼性保証のために用
いられる。
なる抵抗材料を有する領域に横方向で分割されている。
インキチャネル１６の領域内には加熱素子４のための抵
抗材料が、チャネル中間壁の領域内には大きい温度係数
の抵抗材料がそれぞれ設けられている。大きい温度係数
の領域は別個に接触接続され温度センサとしてインキプ
リンタヘッド２４の監視及び運用信頼性保証のために用
いられる。
【００４９】抵抗層２７の上には各インキチャネル１６
のために選択的に、すなわち必要に応じて１つのメタラ
イゼーション層２８が加熱素子４の接触接続のために設
けられている。メタライゼーション層２８のためにアル
ミニウムが約１０００ｎｍの厚さでスパッタリングされ
る。
のために選択的に、すなわち必要に応じて１つのメタラ
イゼーション層２８が加熱素子４の接触接続のために設
けられている。メタライゼーション層２８のためにアル
ミニウムが約１０００ｎｍの厚さでスパッタリングされ
る。
【００５０】メタライゼーション層２８の上には有利に
は１つの絶縁層２９が塗布される。絶縁層２９は二酸化
珪素又は窒化珪素から成り少なくとも２００ｎｍの厚さ
である。絶縁層２９は、一方では後続の層内での熱損失
が最小化され、他方では後続の層のための導電材料とし
て用いられることが可能であるように、熱的及び電気的
の双方の絶縁特性を有する。
は１つの絶縁層２９が塗布される。絶縁層２９は二酸化
珪素又は窒化珪素から成り少なくとも２００ｎｍの厚さ
である。絶縁層２９は、一方では後続の層内での熱損失
が最小化され、他方では後続の層のための導電材料とし
て用いられることが可能であるように、熱的及び電気的
の双方の絶縁特性を有する。
【００５１】絶縁層２９には膜層３０が続く。この膜層
３０は担体層であり膜３に機械的安定性を与えると同時
に過剰熱を排出する。
３０は担体層であり膜３に機械的安定性を与えると同時
に過剰熱を排出する。
【００５２】膜層の材料厚は、少なくとも使用材料の機
械的強度を考慮して定められる。しかし膜層３０の材料
厚は噴出インキ粒子の飛翔軌道に影響する。膜層３０が
厚いほどインキ開口１０はインキ噴出方向でより長くひ
いてはインキ粒子の飛翔軌道がより正確である。
械的強度を考慮して定められる。しかし膜層３０の材料
厚は噴出インキ粒子の飛翔軌道に影響する。膜層３０が
厚いほどインキ開口１０はインキ噴出方向でより長くひ
いてはインキ粒子の飛翔軌道がより正確である。
【００５３】外側の閉じ蓋は、膜層３０の上に装着され
ている濡れ防止層３１により形成されている。
ている濡れ防止層３１により形成されている。
【００５４】膜層３０のために使用される材料自体が電
気的及び熱的絶縁特性を有する場合には別個の絶縁層２
９は設けなくともよい。
気的及び熱的絶縁特性を有する場合には別個の絶縁層２
９は設けなくともよい。
【００５５】膜層３０が濡れ防止作用を有する場合には
別個の濡れ防止層３１は設けなくともよい。
別個の濡れ防止層３１は設けなくともよい。
【００５６】膜層３１のための材料として合成樹脂薄片
も適し、これはチップ１１の上に層として被着される。
も適し、これはチップ１１の上に層として被着される。
【図１】本発明の利用に特に適するインキジェットプリ
ンタヘッドの原理図である。
ンタヘッドの原理図である。
【図２】このようなインキジェットプリンタヘッドのチ
ップの断面図である。
ップの断面図である。
【図３】公知のインキジェットプリンタヘッドの部分Ａ
の拡大断面図である。
の拡大断面図である。
【図４】本発明のインキジェットプリンタヘッドの部分
Ａの拡大断面図である。
Ａの拡大断面図である。
３ 膜 ４ 加熱素子 ９ 接触接続個所 １０ 出口開口 １１ チップ １２ インキ貯蔵容器 １３ 海綿 １４ フィルタ １５ 供給チャネル １６ インキチャネル １７ 取付け用クランプ ２０ インキ蒸気泡 ２４ インキジェットプリンタヘッド ２５ 基板材料 ２７ 抵抗層 ２８ メタライゼーション層 ２９ 絶縁層 ３０ 膜層 ３１ 濡れ防止層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フリードリヒ・ハーゲマイヤー ドイツ連邦共和国、デー 1000 ベルリン 46、ゲレーア・シュトラーセ 59アー (72)発明者 ルッツ・ノイバウアー ドイツ連邦共和国、デー 1000 ベルリン 62、ハイルシュトラーセ 28 (72)発明者 ヴォルフガンク・ヴェール ドイツ連邦共和国、デー 1000 ベルリン 28、アレマンネンシュトラーセ 61
Claims (5)
- 【請求項１】 加熱素子及び導電路及び接触接続個所及
びインキ出口開口がただ１つのチップの上に統合され、
電熱変換による発生インキ蒸気泡の広がり方向がインキ
噴出方向とは反対であり、インキ貯蔵容器に供給チャネ
ルを介して着脱可能に接続されインキ出口開口付きのイ
ンキチャネルを複数具備する多層電熱変換形インキジェ
ットプリンタヘッドにおいて、インキチャネル（１６）
がインキ噴出方向で膜（３）により閉じられ、膜（３）
がチップ（１１）から出発してインキ噴出方向で少なく
とも１つのエッチング停止層（２６）及び抵抗層（２
７）及び選択的なメタライゼーション層（２８）及び膜
層（３０）から前記順序で成ることを特徴とする多層電
熱変換形インキジェットプリンタヘッド。 - 【請求項２】 メタライゼーション層（２８）と膜層
（３０）との間に熱的及び電気的な絶縁層（２９）が設
けられていることを特徴とする請求項１に記載の多層電
熱変換形インキジェットプリンタヘッド。 - 【請求項３】 膜層（３０）の上に濡れ防止層（３１）
が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項
２に記載の多層電熱変換形インキジェットプリンタヘッ
ド。 - 【請求項４】 抵抗層（２７）が部分毎に加熱素子
（４）及び温度センサのための異なる抵抗材料から成る
請求項１から請求項３のうちのいずれか１つの請求項に
記載の多層電熱変換形インキジェットプリンタヘッド。 - 【請求項５】 温度センサのための抵抗材料がチャネル
中間壁の上に配置されていることを特徴とする請求項４
に記載の多層電熱変換形インキジェットプリンタヘッ
ド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4214554.6 | 1992-04-28 | ||
| DE19924214554 DE4214554C2 (de) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | Mehrschichtiger elektrothermischer Tintendruckkopf |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH068436A true JPH068436A (ja) | 1994-01-18 |
Family
ID=6458024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12075593A Pending JPH068436A (ja) | 1992-04-28 | 1993-04-23 | 多層電熱変換形インキジェットプリンタヘッド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH068436A (ja) |
| DE (1) | DE4214554C2 (ja) |
| FR (1) | FR2691403B1 (ja) |
| GB (1) | GB2267254B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6341596A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-22 | 花王株式会社 | 洗浄剤組成物 |
| US5028579A (en) * | 1988-07-08 | 1991-07-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming method |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1057634B1 (en) * | 1999-06-04 | 2004-12-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head, liquid discharge apparatus and method for manufacturing liquid discharge head |
| FR2811588B1 (fr) | 2000-07-13 | 2002-10-11 | Centre Nat Rech Scient | Tete d'injection et de dosage thermique, son procede de fabrication et systeme de fonctionnalisation ou d'adressage la comprenant |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0244214B1 (en) * | 1986-04-28 | 1991-07-10 | Hewlett-Packard Company | Thermal ink jet printhead |
| ES2091990T3 (es) * | 1988-06-03 | 1996-11-16 | Canon Kk | Cabezal para impresion por emision de liquido, substrato para el mismo y aparato para la impresion por emision de liquido que utiliza dicho cabezal. |
| US4935752A (en) * | 1989-03-30 | 1990-06-19 | Xerox Corporation | Thermal ink jet device with improved heating elements |
| US5016024A (en) * | 1990-01-09 | 1991-05-14 | Hewlett-Packard Company | Integral ink jet print head |
| US5760804A (en) * | 1990-05-21 | 1998-06-02 | Eastman Kodak Company | Ink-jet printing head for a liquid-jet printing device operating on the heat converter principle and process for making it |
| EP0498291B1 (en) * | 1991-01-30 | 1996-04-10 | Canon Information Systems Research Australia Pty Ltd. | Nozzle structures for bubblejet print devices |
-
1992
- 1992-04-28 DE DE19924214554 patent/DE4214554C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-04-23 JP JP12075593A patent/JPH068436A/ja active Pending
- 1993-04-27 FR FR9304954A patent/FR2691403B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1993-04-28 GB GB9308807A patent/GB2267254B/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS6341596A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-22 | 花王株式会社 | 洗浄剤組成物 |
| US5028579A (en) * | 1988-07-08 | 1991-07-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2691403A1 (fr) | 1993-11-26 |
| GB9308807D0 (en) | 1993-06-09 |
| DE4214554C2 (de) | 1995-07-06 |
| DE4214554A1 (de) | 1993-11-04 |
| FR2691403B1 (fr) | 1997-06-20 |
| GB2267254B (en) | 1996-03-20 |
| GB2267254A (en) | 1993-12-01 |
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