JPH0684369U - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH0684369U JPH0684369U JP2426793U JP2426793U JPH0684369U JP H0684369 U JPH0684369 U JP H0684369U JP 2426793 U JP2426793 U JP 2426793U JP 2426793 U JP2426793 U JP 2426793U JP H0684369 U JPH0684369 U JP H0684369U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration sensor
- disk
- base
- disks
- sensor according
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- Withdrawn
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電体を検出素子として使用した加速度セン
サであって、使用周波数帶域では機械的な共振の生ぜず
かつ感度が低下することのない加速度センサを提供す
る。 【構成】 ベース１１に垂直に立てられた円柱上の軸１
２にベースに平行にディスク１３が支持されている。デ
ィスク１３にはリング状の圧電体１４および１５が焼結
形成される。第１の発明にかかる加速度センサはディス
ク１３にダンピング膜１６が貼り付けられており、ディ
スク１３の機械的な共振が抑制される。第２の発明にか
かる加速度センサはディスク１３１・・・１３Ｎを複数
枚としてディスクの機械的共振周波数を高くするととも
に、複数枚のディスクを電気的に直列接続することによ
り検出感度が低下することを抑制する。
サであって、使用周波数帶域では機械的な共振の生ぜず
かつ感度が低下することのない加速度センサを提供す
る。 【構成】 ベース１１に垂直に立てられた円柱上の軸１
２にベースに平行にディスク１３が支持されている。デ
ィスク１３にはリング状の圧電体１４および１５が焼結
形成される。第１の発明にかかる加速度センサはディス
ク１３にダンピング膜１６が貼り付けられており、ディ
スク１３の機械的な共振が抑制される。第２の発明にか
かる加速度センサはディスク１３１・・・１３Ｎを複数
枚としてディスクの機械的共振周波数を高くするととも
に、複数枚のディスクを電気的に直列接続することによ
り検出感度が低下することを抑制する。
Description
【０００１】
本考案は加速度センサに係わり、特にディスク形状の圧電素子を使用した加速 度センサに関する。
【０００２】
加速度を検出する加速度センサは様々な用途に使用されているが、例えば自動 車のエアバッグを膨張させるために衝突を検知する衝突センサとしても適用され ている。 図３は自動車の衝突検知用の加速度センサの１例であって、ベース１１に垂直 に立てられた軸１２にディスク１３がベース１１に平行に取り付けられる。そし てディスク１３の上下面にはリング状に圧電体１４、１５が焼結されている。
【０００３】 このような構造を有する加速度センサに軸１２方向の加速度が加わると、ディ スク１３が撓み、リング状の圧電体１４、１５に撓み量に比例した電荷が発生す る。 従ってこの電荷を信号処理回路（図示せず）によって処理することによって加 速度を検出することが可能となる。
【０００４】 しかしながらディスクは固有の共振周波数を有するため、機械的な共振による 誤信号が出力される場合がある。 この加速度センサの共振による誤信号を除去するために電気回路にローパスフ ィルタを挿入することが普通である。 図４は加速度センサ単体の周波数特性（イ）およびローパスフィルタ通過後の 信号の周波数特性（ロ）であって、横軸に周波数、縦軸に利得をとる。
【０００５】 即ち加速度センサ自体は共振周波数ｆ0 で機械的な共振が発生するため利得は 急激に増加してピークを生じる。 このピークによる誤信号の発生を防止するためにローパスフィルタが使用され る。
【０００６】
しかし加速度の検出感度を良くするためにディスクの直径を大とした場合には 共振周波数は低下するため急峻な遮断特性を有するローパスフィルタが必要とな り回路が複雑化することは避けることはできない。 また圧電体の表面は非常に粗いため、いわゆるシリコンマイクロマシーニング 技術を適用して製作された加速度センサで使用されているフルィド・スクイーズ ・フィルム効果によるダンピングを適用することはできない。
【０００７】 本考案は上記問題点に鑑みなされたものであって、圧電体を検出素子として使 用した加速度センサであって、使用周波数帶域では機械的な共振の生ぜずかつ感 度が低下することのない加速度センサを提供することを目的とする。
【０００８】
第１の発明にかかる加速度センサは、ベースと、ベースに垂直に設置される軸 と、ベースと平行に前記軸に支持されその面にリング状の圧電体を有するディス クと、からなり、ディスクに貼り付けられたダンピング膜を具備する。 第２の発明にかかる加速度センサは、ベースと、ベースに垂直に設置される軸 と、ベースと平行に前記軸に支持されその面にリング状の圧電体を有する小口径 の複数枚のディスクと、からなり、複数枚のディスク上に形成された圧電体を電 気的に直列に接続する。
【０００９】
第１の発明にかかる加速度センサにあっては、ディスクに貼り付けられた粘性 膜によってディスクはダンピングされるため、ディスクの共振振動の発生自体を 抑制することが可能となる。 第２の発明にかかる加速度センサは、ディスク直径を小とすることによりディ スクの機械的共振周波数を高くし、電気的に直列接続することにより検出感度を 高くする。
【００１０】
図１は第１の発明にかかる加速度センサの上面図およびＸ−Ｘ断面図であって 、ベース１１の中央には円柱状の軸１２が垂直に立てられている。 軸１２にはベース１１に平行にディスク１３が取り付けられている。 またディスク１３の上下面にはリング状の圧電体１４および１５が焼結により 形成されている。
【００１１】 さらにディスク１３下面には、ダンピング膜１６が貼り付けられている。 ダンピング膜１６としては、例えばシリコン油のような高粘性流体を封入した シートあるいは発泡スチロールのような高分子材を使用することができる。 図２は第２の発明にかかる加速度センサの上面図およびＸ−Ｘ断面図であって 、軸１２に小口径である複数枚のディスク１３１、１３２・・・１３Ｎが相互の 平行に取り付けられる。
【００１２】 各ディスク１３１、１３２・・・１３Ｎの上下面にはリング状の圧電体１４１ 、１４２・・・１４Ｎおよび１５１、１５２・・・１５Ｎが焼結により形成され ている。 そして、複数枚のディスク１３１、１３２・・・１３Ｎの圧電体１４１、１４ ２・・・１４Ｎおよび１５１、１５２・・・１５Ｎは電気的に直列に接続される 。
【００１３】
第１の考案にかかる加速度センサによれば、ディスク面にダンピング膜を貼り 付けることにより、ディスクの共振振動の発生自体を抑制することが可能となる 。 第２の考案にかかる加速度センサによれば、ディスクを小径としてディスク自 体の機械的共振周波数を高くするとともに、複数枚のディスクを電気的に直列接 続することにより検出感度の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の発明にかかる加速度センサの上面図およ
びＸ−Ｘ断面図である。
びＸ−Ｘ断面図である。
【図２】第２の発明にかかる加速度センサの上面図およ
びＸ−Ｘ断面図である。
びＸ−Ｘ断面図である。
【図３】従来の加速度センサの上面図およびＸ−Ｘ断面
図である。
図である。
【図４】図４は加速度センサ単体の周波数特性（イ）お
よびローパスフィルタ通過後の信号の周波数特性（ロ）
である。
よびローパスフィルタ通過後の信号の周波数特性（ロ）
である。
１１…ベース １２…軸 １３…ディスク １４、１５…圧電体 １６…ダンピング膜
Claims (2)
- 【請求項１】 ベースと、 該ベースに垂直に設置される軸と、 前記ベースと平行に前記軸に支持され、その面にリング
状の圧電体を有するディスクと、からなる加速度センサ
であって、 該ディスクに貼り付けられたダンピング膜を具備するこ
とを特徴とする加速度センサ。 - 【請求項２】 ベースと、 該ベースに垂直に設置される軸と、 前記ベースと平行に前記軸に支持され、その面にリング
状の圧電体を有する小口径の複数枚のディスクと、から
なる加速度センサであって、 前記複数枚のディスク上に形成された圧電体を電気的に
直列に接続したことを特徴とした加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2426793U JPH0684369U (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2426793U JPH0684369U (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | 加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0684369U true JPH0684369U (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=12133456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2426793U Withdrawn JPH0684369U (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0684369U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007309901A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 水位検出装置並びに設備機器 |
| WO2008072705A1 (ja) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 加速度センサ、鳥インフルエンザ監視システム |
| JP2011038971A (ja) * | 2009-08-17 | 2011-02-24 | Fujitsu Ltd | センサ、発電装置及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-05-11 JP JP2426793U patent/JPH0684369U/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007309901A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 水位検出装置並びに設備機器 |
| JP4498312B2 (ja) * | 2006-05-22 | 2010-07-07 | 三菱電機株式会社 | 水位検出装置並びに設備機器 |
| WO2008072705A1 (ja) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 加速度センサ、鳥インフルエンザ監視システム |
| JP2011038971A (ja) * | 2009-08-17 | 2011-02-24 | Fujitsu Ltd | センサ、発電装置及びその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19971106 |