JPH0682047B2

JPH0682047B2 - 自動板厚測定装置

Info

Publication number: JPH0682047B2
Application number: JP23815290A
Authority: JP
Inventors: 政春大野; 興一竹村; 修治内藤; 寿生藤川; 享一登; 昭須田; 勲藤瀬; 岩雄大工原
Original assignee: Japan Radio Co Ltd; Nippon Steel Corp
Current assignee: Japan Radio Co Ltd; Nippon Steel Corp
Priority date: 1990-09-07
Filing date: 1990-09-07
Publication date: 1994-10-19
Anticipated expiration: 2009-10-19
Also published as: JPH04116410A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、搬送ラインにより搬送される被測定体の板厚
を光ビームの反射により非接触で自動測定する自動板厚
測定装置に関する。

［従来の技術］従来から、搬送ラインにより搬送される被測定体の板厚
をPSD等の光変位計により自動計測する自動板厚測定装
置が知られている。

従来において用いられていた装置は、いわゆるＣ型フレ
ームを用いた１点計測の装置であり、被測定体としては
幅が一定のもの、すなわち固定幅の被測定体を測定する
ものである。

この装置においては、搬送ラインの上下に光変位計が配
置される。この光変位計によってレーザ光である光ビー
ムが被測定体に照射され、被測定体の板厚が測定され
る。このような装置により、従来、鋼板等の被測定体の
板厚を自動測定することが行われていた。

ところで一般に、自動板厚測定装置の精度を確保するた
めには校正が必要となる。校正は装置を使用する都度行
われ、装置運用の上で必須の作業である。より具体的に
は、光変位計の経年変化等による誤差を補正（電気的補
正）し、また、機械的歪を補正（機械的補正）して、信
頼性を維持し、正確な板厚測定を期するものである。

また、校正の手段としては、所定板厚の校正板を用い、
光変位計と校正板の距離の測定により、光変位計間の基
準距離を求める手段が知られている。

［発明が解決しようとする課題］しかしながら、従来においては、校正板の面性状が均一
でなく、このため測定精度に問題が生じていた。

校正板としては、面性状が比較的均一であることから例
えばセラミック板が用いられるが、板厚測定装置では光
変位計が校正板からの反射光を取り込む必要があり、こ
の点からすればセラミック板を用いた校正板でも反射パ
ターンの均一性が十分でない。

本発明は、このような問題点を解決することを課題とし
てなされたものであり、校正板の反射パターンの均一性
を見掛上向上させて正確な測定を可能にすると共に、か
かる機能を有する校正手段を小型に構成することを目的
とする。

［課題を解決するための手段］このような目的を達成するために、本発明は、被測定体
を搬送する搬送ラインの上方及び下方の架台上にに対を
なしかつ所定の基準距離を隔てて配置され、光ビームを
被測定体に照射して反射光に基づき被測定体との距離を
求める複数対の光変位計と、先端がＬ字状の屈曲を有
し、被測定体の板厚測定時には先端が光変位計の測定域
外に配置される所定板厚の校正板と、校正時に、光変位
計から発せられる光ビームを遮る所定位置に先端が位置
するよう校正板を回動させる回動手段と、校正時に、校
正板を左右方向に振動させる水平振動手段と、測定時に
は、被測定体上の所定軌跡を描くよう光変位計の左右位
置を制御し、被測定体の板厚規格に応じて定められる位
置となるよう光変位計の上下位置を制御し、直線性校正
時には、光変位計を上下方向に所定ピッチで移動させ、
架台校正時には、光変位計を左右方向に所定間隔で移動
させる位置制御手段と、直線性校正時における光変位計
の出力を光変位計の期待される上下位置に対応付ける直
線性補正テーブルを作成する直線性補正手段と、架台校
正時における光変位計の出力と、校正板の板厚と、に基
づき基準距離を求め、この基準距離を光変位計の左右位
置に対応付ける校正テーブルを作成する架台補正手段
と、直線性補正テーブルを参照して光変位計と被測定体
との距離を補正し、光変位計の左右位置により校正テー
ブルを参照して基準距離を補正し、光変位計の上下方向
移動量、補正された距離及び基準距離に基づき被測定体
の板厚を演算し平均する板厚演算手段と、を備えること
を特徴とする。

［作用］本発明の自動板厚測定装置においては、光変位計と被測
定体との距離、光変位計の上下方向移動量及び対向する
光変位計間の基準距離に基づき、被測定体の板厚が求め
られる。

これらのうち、光変位計と被測定体との距離は、直線性
補正テーブルによる補正を受ける。

例えば、光変位計の特性が初期特性から変化している場
合、この変化を補償してやらないと板厚測定値に誤差が
生じてしまう。このため、本発明では直線性校正を実施
する。直線性校正は、上下方向に所定ピッチで移動させ
つつ行われ、この校正にいては光変位計の出力が光変位
計の期待される上下位置に対応付けられる。

このときの光変位計の出力は、光変位計と校正板との距
離を示している。すなわち、校正時には校正板が光ビー
ムを遮る位置に回動され、この校正板から反射光が得ら
れる。また、期待される上下位置は、例えば光変位計の
初期特性に基づき位置制御により得られる上下位置であ
る。

また、校正板は、校正時に左右方向に振動される。すな
わち、光変位計が光ビームを校正板に照射しその反射光
を受光する際の測定精度に、校正板の面性状により決定
される反射パターンが影響する。より具体的には、校正
板の表面の不均一性が測定精度を劣化させる。このた
め、本発明では校正板を水平振動させ、見掛上の均一性
を向上させているところを大きな特長とする。

光変位計の出力と上下位置との対応付けを示すテーブル
を、直線性補正テーブルと呼ぶことにする。この直線性
補正テーブルは、測定時における光変位計の出力、すな
わち光変位計と被測定体との距離の補正に用いられる。
これにより、測定時における光変位計の上下方向位置に
応じて前述の特性変化により発生する誤差が、補償され
ることになる。

また、基準距離は、校正テーブルによる補正を受ける。

例えば、架台に歪みが発生している場合、この歪みによ
る測定誤差が生じ得る。このため、本発明では架台校正
を実施する。架台校正は、光変位計を左右方向に所定間
隔で移動させ、その際の光変位計出力に基づいて行われ
る。

より具体的には、光変位計の出力から求められる基準距
離と、光変位計の左右位置と、を対応付ける校正テーブ
ルが作成される。この場合の基準距離は、上下の光変位
計の出力と、校正板の既知の板厚と、に基づき求められ
る。

架台校正時も、直線性校正時と同様に、校正板の水平方
向振動が実施される。

このようにして得られた校正テーブルは、測定時におい
て基準距離の補正に用いられる。これにより、測定時に
おける光変位計の左右位置に応じて発生する誤差、例え
ば架台歪みに起因する誤差が低減する。なお、架台校正
は直線性校正の後にその結果を用いて行うのが好まし
い。

従って、本発明においては、校正板の水平振動により校
正板の反射パターンが見掛上均一化し、光変位計による
測定精度が校正板の水平振動という簡易かつ小型に実現
可能な手段で向上する。

［実施例］以下、本発明の好適な実施例について図面に基づき説明
する。

第１図には、本発明の一実施例に係る自動板厚測定装置
の実体構成が示されている。特に、第１図（ａ）におい
ては装置を上方から見た外観が、第１図（ｂ）において
は側面から見た外観が、それぞれ示されている。

この図においては、図中矢印で示される方向に被測定体
10を搬送する搬送ライン12が示されている。この図にお
ける被測定体10は、それぞれ板厚、幅等の異なる鋼板で
あり、図には10−１、10−２、10−３の３個が示されて
いる。この実施例において板厚測定の対象とする測定体
10は、例えば板厚４〜60mm、幅800〜4000mm、長さ1500
〜14000mmの規格のものであり、搬送ライン12の上の任
意の位置に任意の姿勢で配置される。

また、搬送ライン12を跨ぐように、上下一対の門型架台
14が設けられている。門型架台14の搬送ライン12上流側
にはラインセンサ16が、下流側には光変位計18が、それ
ぞれ配設されている。

ラインセンサ16は、１対となるよう上下双方の門型架台
14に設けられており、被測定体10の先端の左右両端位置
を検出する。検出される左右両端位置は、光変位計18の
位置の初期設定に用いられる。

また、光変位計18は３対が門型架台14に設けられてい
る。この光変位計18は被測定体10の板厚を測定する装置
である。すなわち、光変位計18は被測定体10に光ビーム
を照射し、その反射光を取り込む。さらに、取り込んだ
反射光に基づき被測定体10までの距離を求め、後述の原
理による板厚演算に供する。

第２図には、この実施例のより詳細な実体構成が正面図
として示されている。

この図においては、上下２個のリニアモータレール20が
示されている。リニアモータレール20は、６個の光変位
計18をそれぞれ左右方向に駆動するリニアモータのレー
ルである。

また、光変位計18のうち上側の３個は、パルスステージ
22に取り付けられている。すなわち、この３個の光変位
計18はパルスステージ22によって上下方向に駆動され
る。

さらに、３対の光変位計18のうち左右両側の２対には、
第１及び第２エッジセンサ24及び26が付設されている。
第１エッジセンサ24は、ラインセンサ16の出力に応じて
初期設定された光変位計18の位置をさらに微調整するた
めに用いられる。第２エッジセンサ26は、被測定体10の
側端を追従検出するために用いられる。

第３図には、本実施例装置の校正手段の構成が示されて
いる。第３図（ａ）にはその上面が、第３図（ｂ）には
正面が、第３図（ｃ）には縦断面が、それぞれ示されて
いる。

この図に示される校正手段は、校正手段全体を支持し、
下側の光変位計18を内蔵する取付台28と、取付台28の上
方に水平に配置される取付板30と、取付板30上に取り付
けられる校正板ユニット32と、を備えている。

校正板ユニット32は、先端がＬ字に屈曲した白色セラミ
ック板である校正板34と、校正板34を図中矢印で示され
るように回動させるロータリソレノイド36と、を備えて
いる。すなわち、後述する演算制御部がロータリソレノ
イド36を制御し校正板34を回動させる。校正板34の位置
は、校正時には図中実線で示されるように屈曲が光変位
計18からの光ビームを遮る位置とされ、測定時には図中
破線で示されるように光ビーム径路から外される。

また、この実施例においては、本発明の特徴に係るモー
タ38、偏心カム40およびカムフォロア42が設けられてい
る。

モータ38は、取付台38の前面に取り付けられ、校正時に
演算制御部によって回転させられる。偏心カム40は、モ
ータ38に連結され、カムフォロア42を介してモータ38の
回転により取付板30を水平方向に（例えば第３図（ｃ）
では左右方向に）一定速度で振動させる。なお、取付板
30は、取付台28に直動台44を介して取り付けられてい
る。直動台44の直行精度は、光変位計18の分解能以下
（数ミクロン以下）の真直度を確保するため直行度で数
ミクロン以下に設定されている。

第４図には、この実施例の回路構成が示されている。

この図においては、ラインセンサ16、第１エッジセンサ
24及び第２エッジセンサ26の検知出力を取り込み、光変
位計18の出力に基づき被測定体10の板厚を求め、リニア
モータ46、パルスステージ22、ロータリソレノイド36及
びモータ38を制御する演算制御部48が示されている。ま
た、この図には、校正時に求められる直線性補正テーブ
ル及び校正テーブルを格納するメモリ50が示されてい
る。なお、この図においては、光変位計18等の構成は、
図の簡略化のため１個のみが示されている。

次に、この実施例の動作について説明する。

この実施例においては、まず、搬送ライン12の上に被測
定体10が載置される。載置された被測定体10は、搬送ラ
イン12によって搬送され、ラインセンサ16下に到達す
る。

すると、ラインセンサ16により、この被測定体10による
遮光位置が検出される。すなわち、ラインセンサ16は、
被測定体10により光線が遮られる部分を検出し、これを
被測定体10の左右両端位置として演算制御部48に供給す
る。

演算制御部48は、ラインセンサ16の出力に基づきリニア
モータ46を駆動制御して、光変位計18の位置を制御す
る。具体的には、左右両側各１対の光変位計18を遮光位
置として検出される被測定体10の左右両端位置に移動さ
せ、中央に配置されている１対の光変位計18を、左右の
光変位計18の中央位置に維持する。これにより、光変位
計18の位置が初期設定される。

こののち、被測定体10がさらに搬送され第１エッジセン
サ24に達すると、この第１エッジセンサ24により光変位
計18の位置が微調節される。すなわち、第１エッジセン
サ24の出力に応じ、演算制御部48がリニアモータ46を制
御する。

次に、第２エッジセンサ26により被測定体10の左右両端
が捕捉される。このとき、第２エッジセンサ26の出力に
より演算制御部48がリニアモータ46を制御する。すなわ
ち、第２エッジセンサ26が光変位計18に固定されている
ため、この制御によって、第２エッジセンサ26が被測定
体10の左右両端を追従捕捉し続け、かつ左右両側の光変
位計18が被測定体10の左右両端から所定の距離の軌跡を
検出走査することとなる。

第５図には、光変位計18の光ビーム軌跡が、第６図に
は、この軌跡のうち板厚演算に用いられる点（測定位
置）が示されている。

この実施例においては、第５図において３本の矢印線で
示される軌跡に係る光変位計18の出力を連続して収集す
る。この収集の後、演算制御部48が測定位置を決定し、
板厚を演算する。

より具体的には、演算制御部48は、被測定体10の先端が
ラインセンサ16に達してから第１エッジセンサ24に達す
るまでの時間により被測定体10の搬送速度を求める。ラ
インセンサ16と第１エッジセンサ24の距離は設計的に決
定されるため、この搬送速度を用いて、時刻を被測定体
10を基準とした位置座標に換算できる。この換算結果に
基づき、測定位置が決定される。

測定位置は、例えば被測定体10の左右両端から15mmの
線、前後両端から15mmの線及び中心線の合計６本の線か
ら決定する。すなわち、これらの線の交点を測定位置P₁
〜P₉に設定する。

次に、このように設定された測定位置P₁〜P₉について、
すでに収集されている光変位計18出力に基づく板厚演算
が、演算制御部48により行われる。

第７図には、この実施例における板厚測定の原理が示さ
れている。

この実施例においては、板厚測定時における対向する光
変位計18の距離と、上下の光変位18と被測定体10との距
離と、に基づき被測定体10の板厚が求められる。

まず、被測定体10が無い状態での光変位計18の対向距
離、すなわち基準距離L₀が設計的に決定されているもの
とする。また、板厚Ｌの被測定体10の場合に光変位計18
の間隔を拡げる量、すなわち光変位計18の移動量をL₃と
する。

すると、上側の光変位計18によって測定される距離L₁及
び下側の光変位計18によって測定される距離L₂から、次
の式により、板厚Ｌが求められることになる。

Ｌ＝（L₀＋L₃）−（L₁＋L₂）さらに、この実施例においては、測定位置P₁〜P₉の近傍
の数点について板厚Ｌを求め平均する。例えば、第５図
に示される軌跡に沿って測定位置P₁〜P₉の前後21点での
板厚Ｌを求め、これらのうち最大値・最小値・異常値等
を除外した有効値のみについて平均する。平均して求め
た値を当該測定位置Piの板厚Ｌとする。

このように、本実施例においては、測定位置P₁〜P₉に基
づく板厚Ｌの多点計測が、平均化の手法を用いてより正
確に実行される。

また、この実施例において板厚Ｌの測定に用いられる距
離L₁及びL₂は、直線性校正の際に作成される直線性補正
テーブルにより補正された値であり、基準距離は架台校
正の際に作成される校正テーブルを参照して得られる補
正値である。

次に、この実施例における校正の動作について説明す
る。

この実施例においては、校正として直線性校正及び架台
校正が実施される。実施順序としては、まず直線性校正
が実施された後に架台校正が実施される。

本実施例装置において、光変位計18の特性が十分初期特
性を維持している場合には、光変位計18出力を距離L₁及
びL₂としてそのまま用いても良い。しかし、実際には温
度、湿度、経年変化等により光変位計18の特性が変化す
る。この結果、光変位計18の出力には誤差が生じてしま
う。

例えば、第８図に示されるように、実線の初期特性から
破線の特性に変化すると、実線の光変位計18の変位と光
変位計18の検知出力との間には差が生じ、これが板厚L₀
の測定誤差となる。

また、架台14が歪んでいない場合には、設計的に設定さ
れた基準距離L₀をそのまま用いても良い。しかし、実際
には温度、湿度、経年変化等により架台14が歪み、この
結果、基準距離L₀にも誤差が生じてしまう。

従って、これらの変化による誤差発生を防ぐためには、
校正板34を用いた校正が必要となる。

まず、距離L₁に係る校正、すなわち直線性補正テーブル
の作成に係る動作について説明する。なお、この実施例
においては、上下方向に駆動されるのが上側の光変位計
18のみであるため、誤差が生じやすい距離L₁に係る直線
性校正が実施される。

この場合、校正板34は、ロータリソレノイド36により回
動される。この回動の結果、その先端は対向する光変位
計18の間の位置に配置される。

校正板34は、板厚が既知の白色セラミック板から形成さ
れており、配置の後に水平位置に振動させられる。この
振動は、振幅±3mm程度の振動であり、校正板34の面性
状の影響を排除するために施される。

すなわち、演算制御部48によりモータ38が制御され、モ
ータ38が回転すると、偏心カム40及びカムフォロア42に
より取付板30が直動する。取付板30が直動すると、校正
板34は水平方向に振動する。

校正板34は、セラミック板であるため比較的良好な反射
パターンを実現可能である。この実施例においてはさら
に水平方向に振動させており、この結果、面の不均一性
が見掛上低減し、さらに良好な反射パターンを得ること
ができる。

この状態で、上側の光変位計18は、上下に移動させられ
る。すなわち、演算制御部48によりパルスステージ22が
制御され、上側の光変位計18の上下位置が所定ピッチ、
例えば1mmで変化する。この変化毎に、光変位計18から
の出力が得られる。

この出力は、光変位計18と校正板34との距離を示すもの
である。同一ピッチ位置で例えば16回測定が行われ平均
される。さらに光変位計18の上下方向移動が所定ピッチ
数、例えば±20mmに相当するピッチ数だけ実行される。

このようにして得られた光変位計18の出力（平均値）
は、演算制御部48からパルスステージ22への指令値に対
応付けられる。すなわち、第９図に示されるような直線
性補正テーブルが作成されメモリ50上に展開される。

この図に示される直線性補正テーブルは、指令値Ｌ_3Si
と光変位計18出力Ｌ_3Aiとを対応付けるテーブルであ
る。

直線性補正テーブルは、光変位計18の特性変化を示すテ
ーブルである。すなわち、演算制御部48からパルスステ
ージ22に対して発する指令値Ｌ_3Siは、光変位計18に対
して期待される移動量であり、この実施例においては初
期に実機動作と一致するよう設定した値である。直線性
補正テーブルの作成は、この指令値Ｌ_3Siと、特性変化
が生じた値、すなわち現在の光変位計18出力Ｌ_3Aiとを
対応付けることに相当する。この直線性補正テーブルは
上側の各光変位計18ごとに、合計３個作成される。

このようにして得られた直線性補正テーブルを用いて、
架台校正が実施される。架台校正の場合、光変位計18及
び校正板34一体に左右方向に移動させられる。すなわ
ち、第10図に示されるように、３個の光変位計18の可動
範囲は100−１、100−２及び100−３のような範囲（例
えば40mm程度）をとり、搬送ライン12の全幅110をカバ
ーしている。３対の光変位計18及び校正板34は、演算制
御部48によるリニアモータ46の制御によって、この範囲
100−１、100−２及び100−３において左右に駆動さ
れ、それぞれに架台校正に実施される。

架台校正においては、第11図に示されるような校正テー
ブルが３対の光変位計18及び校正板34毎に合計３個作成
され、メモリ50に格納される。この図に示されるよう
に、校正テーブルは、光変位計18の左右位置ｘ_Aiとその
位置における基準距離Ｌ_0Aiとを対応付ける。

この架台校正の動作について、さらに詳細に説明する。

架台校正の場合も直線性校正の場合と同様に、まず、校
正板34がロータリソレノイド36により回動され、対向す
る光変位計18間の位置におかれる。また、校正板34の水
平方向振動も同様に実施される。

ここで、校正板34の板厚l₀、上側及び下側の光変位計18
から校正板34までの距離をそれぞれl₁及びl₂とする。こ
の距離l₁及びl₂は、光変位計18の出力として得られ、一
方、第12図に示されるように、基準距離L₀について、次
の式 L₀＝l₁＋l₂＋l₀ が成立する。

従って、演算制御部48が上式に基づく演算を実行するこ
とにより、実際の基準距離L₀が求められることになる。
また、このような演算を所定回数、例えば16回繰り返し
平均を求め、この平均値を基準距離L₀として扱えば、さ
らに基準距離L₀の正確さは向上する。

このようにして求められた基準距離L₀は、光変位計18の
左右位置と対応付けられ、校正テーブルとしてメモリ50
に格納される。

このようにして得られた直線性補正テーブル及び校正テ
ーブルは、板厚演算の際に参照される。すなわち、光変
位計18の出力L₁を補正する際に直線性補正テーブルが、
基準距離L₀を補正する際に校正テーブルが、それぞれ参
照される。

具体的には、演算制御部48は現在のパルスステージ22へ
の指令値をもって直線性補正テーブルを参照し、メモリ
50から当該テーブルに係るデータを読み出す。読み出さ
れるデータは、指令値に対し光変位計18が実際に変位す
る量である。従って、このデータと指令値との差をもっ
て光変位計18の出力L₁を補正してやれば、光変位計18の
特性変化による誤差が排除される。

また、演算制御部48は現在の光変位計18左右位置をもっ
て校正テーブルを参照し、メモリ50から当該テーブルに
係るデータを読み出す。読み出されるデータは、当該位
置における実際の基準距離L₀であり、この基準距離L₀に
基づき板厚Ｌを演算すれば、架台14の歪みに起因する誤
差発生が防止される。

このように、本実施例によれば、校正板34により、簡易
な手段で電気的補正及び機械的補正を一括して実施する
ことができ、正確性及び信頼性を確保できる。

また、本実施例においては、校正板34の水平振動により
校正板34の面の均一性を見掛上向上させることができ、
反射パターンをさらに良好にしてより正確な板厚測定を
実施することが可能になる。また、この水平振動は、モ
ータ38の回転により偏心カム40等を用いて簡易な手段で
実現され、小型な装置構成で前述の効果を実現できる。

なお、この実施例ではパルスステージ22を上側の光変位
計18のみに設けたが、下側にも設け、距離L₂に係る直線
性補正テーブルを作成するようにしてもよい。このよう
にすれば、さらに正確な板厚測定が可能になる。

［発明の効果］以上説明したように、本発明によれば、校正板の水平振
動により校正板の反射パターンを向上させることがで
き、より正確な板厚測定を簡易・小型な手段によって実
現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る自動板厚測定装置の
実体構成を示す概略外観図であり、第１図（ａ）は上面
図、第１図（ｂ）は側面図、第２図は、この実施例のより詳細な実体構成を示す正面
図、第３図は、この実施例の校正手段の構成を示す概略図で
あり、第３図（ａ）は上面図、第３図（ｂ）は正面図、
第３図（ｃ）は縦断面図、第４図は、この実施例の回路構成を示すブロック図、第５図は、光変位計から発せられる光ビームの軌跡を示
す図、第６図は、板厚測定位置を示す図、第７図は、板厚測定原理を示す図、第８図は、光変位計の特性変化を示す図、第９図は、直線性補正テーブルを示す図、第10図は、光変位計の移動範囲を示す図、第11図は、校正テーブルを示す図、第12図は、校正原理を示す図であり、第12図（ａ）は正
面図、第12図（ｂ）は側面図である。 10……被測定体 12……搬送ライン 18……光変位計 34……校正板 36……ロータリソレノイド 38……モータ 40……偏心カム 42……カムフォロア 44……直動台 48……演算制御部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者内藤修治福岡県北九州市戸畑区飛幡町１番１号新日本製鐵株式會社八幡製鐵所内 (72)発明者藤川寿生福岡県北九州市戸畑区飛幡町１番１号新日本製鐵株式會社八幡製鐵所内 (72)発明者登享一東京都三鷹市下連雀５丁目１番１号日本無線株式会社内 (72)発明者須田昭東京都三鷹市下連雀５丁目１番１号日本無線株式会社内 (72)発明者藤瀬勲東京都三鷹市下連雀５丁目１番１号日本無線株式会社内 (72)発明者大工原岩雄東京都三鷹市下連雀５丁目１番１号日本無線株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定体を搬送する搬送ラインの上方及び
下方の架台上にに対をなしかつ所定の基準距離を隔てて
配置され、光ビームを被測定体に照射して反射光に基づ
き被測定体との距離を求める複数対の光変位計と、先端がＬ字状の屈曲を有し、被測定体の板厚測定時には
先端が光変位計の測定域外に配置される所定板厚の校正
板と、校正時に、光変位計から発せられる光ビームを遮る所定
位置に先端が位置するよう校正板を回動させる回動手段
と、校正時に、校正板を左右方向に振動させる水平振動手段
と、測定時には、被測定体上の所定軌跡を描くよう光変位計
の左右位置を制御し、被測定体の板厚規格に応じて定め
られる位置となるよう光変位計の上下位置を制御し、直
線性校正時には、光変位計を上下方向に所定ピッチで移
動させ、架台校正時には、光変位計を左右方向に所定間
隔で移動させる位置制御手段と、直線性校正時における光変位計の出力を光変位計の期待
される上下位置に対応付ける直線性補正テーブルを作成
する直線性補正手段と、架台校正時における光変位計の出力と、校正板の板厚
と、に基づき基準距離を求め、この基準距離を光変位計
の左右位置に対応付ける校正テーブルを作成する架台補
正手段と、直線性補正テーブルを参照して光変位計と被測定体との
距離を補正し、光変位計の左右位置により校正テーブル
を参照して基準距離を補正し、光変位計の上下方向移動
量、補正された距離及び基準距離に基づき被測定体の板
厚を演算し平均する板厚演算手段と、を備えることを特徴とする自動板厚測定装置。