JPH0674988B2 - コリオリ質量流量センサ - Google Patents

コリオリ質量流量センサ

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JPH0674988B2
JPH0674988B2 JP62118732A JP11873287A JPH0674988B2 JP H0674988 B2 JPH0674988 B2 JP H0674988B2 JP 62118732 A JP62118732 A JP 62118732A JP 11873287 A JP11873287 A JP 11873287A JP H0674988 B2 JPH0674988 B2 JP H0674988B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はコリオリ質量流量センサに関するものであり、
更に詳しくいえば互いに平行に延長する２本の細長い直
管部で構成され、ループの入口部が一方の管部により形
成され、かつ出口部が他方の管部により形成されて、そ
れらの入口部および出口部が平行管コリオリ質量流量セ
ンサの平行なコリオリ応答脚を形成するようにして前記
２本の細長い直管部が一緒に連結されるような装置に関
するものである。
〔従来の技術〕
直管コリオリ質量流量測定装置はかなり以前から知られ
ている。たとえば、米国特許第3,080,750号および第3,3
29,019号の各明細書には単管、直管コリオリ装置の初期
のものが開示されており、それの動作についての技術的
な説明が行われている。簡単にいえば、両方の装置にお
いては、管の端部が固定され、中間部の点が振動するよ
うに駆動され、ひき起されたコリオリ力を用いて質量流
量を測定する。前記米国特許第3,080,750号明細書に記
載されている技術においては、コリオリにより誘導され
た位相差が管の中間部の両側の点で測定され、その位相
差（コリオリ力の関数である）を用いて質量流量を測定
する。
振動の中間線を管が通る時にコリオリにより誘導された
トルクをサンプリングすることにより質量流量を測定す
る別の直管コリオリ装置が米国特許第4,109,524号明細
書に開示されている。
管をＵ字形すなわちループ状に曲げることによりコリオ
リ質量流量センサを構成できることが米国特許第2,865,
201号および第3,355,944号の各明細書に開示されてい
る。このＵ字形構造のコリオリ質量流量センサを、駆動
機構に平衡ばねアームを取付けることにより改良した例
が示されている。
公知の密度計におけるように、米国特許第4,127,028号
明細書には、平行に配置され、互いに逆向きに振動させ
られる一対のＵ字形管を用いることにより、コリオリに
よつて誘導された位相差の測定を行えると同時に、より
好ましい密度応答特性を有する「音叉」構造の利点が得
られることが開示されている。
一般に１本またはそれ以上のらせん状に巻かれた管を用
いる別の改良例が1985年９月13日付の米国特許出願第77
5,739号明細書に開示され、流れを分割して各導管に流
体を流す技術が米国特許第4,491,025号明細書に開示さ
れている。Ｓ字形管を用いる流量計が米国特許第4,559,
833号明細書に開示されている。この米国特許明細書に
は、平行に配置されて適切な流れ分割器に組合わされた
そのようなＳ字形管を２本用いる技術が開示されてい
る。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記のような先行技術はある用途には全く適当である
が、構造を複雑にし、コストを上昇させる分割流装置の
特徴の１つは、流れを別々の流路に分割するために必要
とするマニホルド構造である。コリオリ質量流量検出を
行うためにそれらの流路を互いに振動させることができ
る。マニホルド構造は物理的に複雑であるばかりでな
く、汚染が極めて少ないこと、および導管形成壁構造す
なわち極めて滑らかな表面を必要とする食品産業と医薬
品工業には適当でない金属製継手を使用する必要がある
ことが欠点である。分割流装置の別の問題は、流体中で
相の分離が行われず、そのような装置において通常期待
される音叉効果があまり発揮されず、場合によつては全
く生じないことである。
〔発明の目的〕
したがつて、本発明の目的は、能動流管部が、センサの
入口部と出口部の間で管の不連続を必要としないように
して一緒に連結された直管であるようなコリオリ質量流
量検出装置を得ることである。
本発明の別の目的は、端部取付け以外は継手を必要とせ
ず、耐食材料製の単管で作ることができる前記装置を得
ることである。
本発明の更に別の目的は、流れ分割を必要としない前記
した種類の装置を得ることである。
〔問題点を解決するための手段〕
簡単にいえば、本発明の好適な実施例は、ループのまつ
すぐな入口部がまつすぐな出口部に平行に位置させら
れ、ループ内を流れる流体が入口部と出口部を同じ向き
に流れるように、全体として細長いらせんループ状に曲
げられた１つの連続管を含む。２つのまつすぐな部分の
端部が一緒に強固に連結され、囲むハウジングに取付け
られる。まつすぐな部分の間の中間点に振動駆動機構が
連結され、管の間のそれぞれの端部および中間点の中間
の点に一対の検出機構が連結される。
本発明の利点には、単一流管構造が流量センサ内に流れ
マニホルド鋳造すなわち溶接管継手の必要を無くしたこ
とがある。その結果として、圧力溶接およびマニホルド
を無くすことによりコストが低減される。また、プロセ
ス流体がセンサの内部を通る時に管面のみをぬらすか
ら、食品産業および医薬品工業における衛生状態を維持
することのできる装置がえられる。更に、必要とする溶
接場所の数が減少したために信頼度および耐食性が向上
する。
本発明の別の利点は、本発明のコリオリ質量流量測定装
置が従来の２管コリオリ質量流量側定装置と比較して、
性能を低下することなしに構造を簡単にでき、コストを
低くでき、平衡構造で単一管の振動を設けることにより
実現できることである。
本発明の更に別の利点は、従来の２管構造では多相流の
位相を分離して、一方の位相が一方の流管と中に優先的
に流れこんで質量流量指示誤差を生ずるが、そのような
ことは本発明の単管構造では生じないことである。
〔実施例〕
以下、図面を参照して本発明を詳しく説明する。
まず、中心線14に沿つて延び、取付けフランジ16,18に
それぞれ終端するプロセスパイプラインの離隔されてい
る端部10,12が示されている第１図を参照する。フラン
ジ16,18の間には、本発明の流量センサ21の動作部を表
す部分が円形フランジ20,22によりそれぞれ取付けられ
る。
図示のように、センサ21は３つのまつすぐな管部24,26,
28と端部30,32を有し、一様な直径である連続した長さ
の管を含む。まつすぐな管部24,26,28は互いに平行に配
置される。端部30,32はまつすぐな管部26と28、24と26
をそれぞれ連結する。延長部23,27の末端部が端部フラ
ンジ20,22に対してそれぞれ斜めに交わる。
まつすぐな管部24と26内に生じた震動をセンサの構造の
残りの部分および外部のパイプ装置から分離するため
に、十分な機械的剛性を有する２枚の板34,36が、まつ
すぐな部分24と26の長さを定める点において管に固着さ
れる。各板は１枚の厚板で構成することもできれば、薄
い板を何枚か管の長手方向に離隔して配置したもので構
成することもできる。十分に強い機械的部材38,40もル
ープ状流管部を互いに連結するとともに、プロセスの配
管力とモーメントを流管自体から分離するために、ルー
プ状流管部を容器の壁（図示せず）に連結する。
まつすぐな管部24と26の中間部に、管部の中心線より定
められた平面内で管部を相対的に震動させる手段42が結
合される。手段42は、大きさが等しくて逆向きの加速力
をまつすぐな管部24,26へ加えるために適当な電気的手
段、機械的手段または電気機械的な手段を含むことがで
きる。そのような機能を果す種々の手段が前記米国特許
に開示されている。
まつすぐな管部24,26の長手方向の長さのほぼ４分の１
の点に、それらの点における管部の間の相対運動を測定
する手段44,46がそれぞれ取付けられる。その相対運動
は周知の適切な種類のセンサを用いて「変位」、「速
度」または「加速度」で測定できる。（センサ44,46を
まつすぐな管部の長手方向に沿つて４分の１の所に取付
けると述べたが、それらのセンサはそれらの管部の長手
方向に沿う他の適当な位置に取付けることができること
にも注意されたい。） あるいは、機械的なリンク、または弾性部材、あるいは
ばね48をまつすぐな管部24,26の間の駆動点に取付け
て、それらのまつすぐな管部24,26の基本共振振動数を
変え、ダイナミツクな機械的増幅により流量測定感度を
高くすることができる。
第２図には第１図の２−２線に沿つて切断した断面図が
示されている。この断面図は、パイプラインのフランジ
16,18と適切に結合するために、管の延長部23,27の末端
部にフランジ20,22などのようにして関連させるかの例
を示すものである。センサが全体としてらせん形である
ために、いずれのまつすぐな管部をパイプラインの中心
軸14に平行ではないことに注意されたい。図示の実施例
においては、延長部23,27とフランジ20,22との交差角は
センサの機械的寸法により定められる。フランジ20,22
に適切な角度で穴があけられる。その穴の中に管の端部
がはめこまれ、溶接、ろうづけその他の適切な手段によ
り固定される。それから、フランジの面を適切に化粧し
て、フランジ16,18の対応する面に対して緊着が得られ
るようにする。ある場合には、周知のように弾力のある
Ｏリングシール（図示せず）を含ませると適当なことが
ある。
次に、センサとハウジング50の相互関係を示すために、
フランジの一部を切欠いて示す平面図と側面図がそれぞ
れ示されている第３図および第４図を参照する。先に述
べたように、板38,40がハウジング50の位置52,54に固定
される。第３図および第４図には異なる種類の結合処理
も示されている。この結合においては、連結フランジ板
に傾斜して交差する代りに管の延長部23,27が曲げら
れ、または切断され、参照符号25,29に示すように再び
連結された、板20′,22′との連結部がそれの面に対し
てほぼ垂直であるようにする。第４図は第１図を紙面の
外側から見たものであるから、第３図とは逆であること
に注意すべきである。
次にこの装置の動作を説明する。この装置を完全に組立
て、流管に連結してから、装置42によりまつすぐな管部
24,26をそれの基本共振振動数で振動させる。前記した
ように、その装置42はまつすぐな管部の駆動点に取付け
られる。基本共振振動数で振動させる理由は必要な駆動
入力を最小にするためである。第５図にまつすぐな管部
の変形された形が線24′,26′により非常に誇張して示
されており、これが管の角速度、従って管の中を流れる
流体の角速度を間接的に示している。それらの角速度の
ベクトルの向きは管の振動の面に対して垂直である、す
なわち、紙面に対して（第４図と第５図において）垂直
であり、かつまつすぐな管部の中を流れる流体全体の速
度ベクトルに対して垂直である。それらの垂直なベクト
ルは、流れる流体（および流れる質量）とともに、管の
震動面に作用する振動するコリオリ力を生ずる。
したがつて、振動するコリオリ力が管の一次高調波振動
モード（非共振、すなわち、基本振動数における）を励
振させ、破線24″,26″により極端な例が示されている
ように、管部を変形させる。その振動の振幅はコリオリ
力の関数であり、したがつて管内に存在する質量流量の
関数である。基本モードでのひき起された管の振動と、
一次高調波モードでのコリオリ力によりひき起された動
きとを重畳させると、位置S1とS2（第５図）において測
定される相対的な運動波形の位相が推移されることがわ
かる。したがつて、質量流量は次式により位相量に関連
させられる。
Qm＝（KYTtanΔθ）／（Hf0） ここに、Qm質量流量、 Ｋは測定装置の較正定数、 YTは管の「ばね定数」（管の温度Ｔに依存する）、 Δθは位置S1とS2において測定した相対運動の間の移相
量、 Ｈは、構造のダンピングを無視できるものと仮定して、
ダイナミツク機械的増幅率〔1/｛１−（f0/
f1）２｝〕、 f0は基本共振振動数、 f1は一次高調波共振振動数である。
したがつて、単一流管装置により、センサの構造の制限
内で流れマニホルドおよび溶接管継手の必要が解消され
ることがわかるであろう。そのために圧力溶接（プロセ
ス連結を除く）およびマニホルドの鋳造がなくなるため
に、構造のコストが最低に抑えられる。また、プロセス
流体はセンサの中を流れる間に管の表面のみをぬらすか
ら、食品産業および医薬品工業において衛生状態を保つ
資格がセンサに与えられる。
また、溶接の数が減少したために信頼度および耐食性が
高くなる。図示の構造により、従来の２重管構造と比較
して、単一管を用いているのに、２つの平衡振動部（2
4,26）を有する利点を保持しているために、測定の性能
を低下させることなしに、流量測定装置の構造がかなり
簡単になり、コストがかなり低減される。
更に、従来の分割流２重管構造により多相流の相が分離
され、１つの相が１つの管を優先的に流れるために質量
流量指示誤差が生ずるが、本発明の単管構造ではそのよ
うな誤差は生じない。
以上本発明を一実施例について説明したが、その実施例
を種々変更できることは当業者にとつては明らかであろ
う。たとえば、ある用途では、２本のまつすぐな管部2
4,26を、一体のまつすぐな管部28の代りに、部分31,33
（第３図）でまつすぐな部分24,26に連結される可撓性
ホースで連結することが適当なことがある。更に、１本
の連続した管をループ状に曲げる代りに、第１図に破線
29で示されているように一緒に連結された一対の「Ｊ
形」部材でループを形成することができる。同様に、セ
ンサ44,46の代りに板34と36にストレンゲージ等を取付
けることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のコリオリ質量流量センサの特徴を示す
概略斜視図、第２図は端部取付け構造の一例を示す第１
図の２−２線に沿う断面図、第３図は別の取付けフラン
ジを有し、ハウジング内に納められている第１図に示す
種類のセンサの平面図、第４図は第３図に示すセンサの
側面図、第５図は好適な実施例の動作中におけるまつす
ぐな管部の震動モードを示す線図である。 16,18……取付けフランジ、20,22……円形フランジ、2
1,44,46……センサ、24,26,28……管のまつすぐな部
分、34,36……板、38,40……機械的な部材、42……振動
装置。

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ループ状に形成された単一の連続した筒状
    の導管であって、細長いまっすぐな第１の部分と、この
    第１の部分に連結部分により結合されている、細長いま
    っすぐな第２の部分とを含み、前記第１の部分と第２の
    部分とは、それぞれを流れる流体が同じ向きとなるよ
    う、相互に離間しかつ平行に隣接並置されており、前記
    連結部分は、第１の曲がった端部構成部分と、前記第１
    の部分および第２の部分に平行な細長い直線構成部分
    と、第２の曲がった端部構成部分とを含んでいる、単一
    の連続した筒状の導管と； 前記第１の部分の端部と、前記第２の部分の端部とを、
    相互に隣接するものどうし強固に連結して、細長い一対
    のセンサ構成部分を形成する手段と； 前記一対のセンサ構成部分を駆動するよう、前記一対の
    センサ構成部分の長手方向に沿う中間部に位置した駆動
    点に結合されて、それらの駆動点に逆向きでほぼ等しい
    震動力を加える手段と； 前記駆動点の両側それぞれに位置した検出点において、
    前記一対のセンサ構成部分の相互間に結合され、前記一
    対のセンサ構成部分の相互の相対的な動きを検出して対
    応する出力信号を発生する検出手段と を備えることを特徴とするコリオリ質量流量センサ。
  2. 【請求項２】ループ状に形成された単一の連続した筒状
    の導管であって、細長いまっすぐな第１の部分と、この
    第１の部分に連結部分により結合されている、細長いま
    っすぐな第２の部分とを含み、前記第１の部分と第２の
    部分とは、それぞれを流れる流体が同じ向きとなるよ
    う、相互に離間しかつ平行に隣接並置されており、前記
    連結部分は、第１の曲がった端部構成部分と、前記第１
    の部分および第２の部分に平行な細長い直線構成部分
    と、第２の曲がった端部構成部分とを含んでいる、単一
    の連続した筒状の導管と； 前記第１の部分の端部と、前記第２の部分の端部とを、
    相互に隣接するものどうし強固に連結して、細長い一対
    のセンサ構成部分を形成する手段と； 前記一対のセンサ構成部分を駆動するよう、前記一対の
    センサ構成部分の長手方向に沿う中間部に位置した駆動
    点に結合されて、それらの駆動点に逆向きでほぼ等しい
    震動力を加える手段と； 前記駆動点の両側それぞれに位置した検出点において、
    前記一対のセンサ構成部分の相互間に結合され、前記一
    対のセンサ構成部分の相互の相対的な動きを検出して対
    応する出力信号を発生する検出手段と； 前記導管を囲んでいて、前記第１の部分の末端部および
    第２の部分の末端部それぞれが貫通する端部壁を含むハ
    ウジング形成手段と を備えることを特徴とするコリオリ質量流量センサ。
  3. 【請求項３】特許請求の範囲第２項記載のコリオリ質量
    流量センサであって、前記導管の前記末端部には、パイ
    プラインに嵌め合わせて連結するための取付手段が設け
    られている、ことを特徴とするコリオリ質量流量セン
    サ。
  4. 【請求項４】ループ状に形成された単一の連続した筒状
    の導管であって、細長い第１の部分と、この第１の部分
    に連結部分により結合されている、細長い第２の部分と
    を含み、前記第１の部分と第２の部分とは、それぞれを
    流れる流体が同じ向きとなるよう、相互に平行に隣接並
    置されている、単一の連続した筒状の導管と； 前記第１の部分の端部と、前記第２の部分の端部とを、
    相互に隣接するものどうし強固に連結して、細長い一対
    のセンサ構成部分を形成する手段と； 前記一対のセンサ構成部分を駆動するよう、前記一対の
    センサ構成部分の長手方向に沿う中間部に位置した駆動
    点に結合されて、それらの駆動点に逆向きでほぼ等しい
    震動力を加える手段と； 前記駆動点の両側それぞれに位置した検出点において、
    前記一対のセンサ構成部分の相互間に結合され、前記一
    対のセンサ構成部分の相互の相対的な動きを検出して対
    応する出力信号を発生する検出手段と； 前記一対のセンサ構成部分の前記駆動点を相互に弾性的
    に結合し、振動特性に影響を及ぼす弾性手段と を備えることを特徴とするコリオリ質量流量センサ。
  5. 【請求項５】特許請求の範囲第４項記載のコリオリ質量
    流量センサであって、前記連結部分は、第１の曲がった
    端部構成部分と、前記第１の部分および第２の部分に平
    行な細長い直線構成部分と、第２の曲がった端部構成部
    分とを含んでいる、 ことを特徴とするコリオリ質量流量センサ。
  6. 【請求項６】流路に直線状に連結される質量流量センサ
    と、このセンサに、それからコリオリ力に関連した出力
    信号を生じさせるよう、作動力を与える手段と、前記出
    力信号を受けて処理し、質量流量情報を発生する手段と
    を有するコリオリ質量流量測定装置における、質量流量
    センサであって、 ループ状に形成された単一の連続した筒状の導管であっ
    て、細長いまっすぐな第１の部分と、この第１の部分に
    連結部分により結合されている、細長いまっすぐな第２
    の部分とを含み、前記第１の部分と第２の部分とは、そ
    れぞれを流れる流体が同じ向きとなるよう、相互に離間
    しかつ平行に隣接並置されており、前記連結部分は、第
    １の曲がった端部構成部分と、前記第１の部分および第
    ２の部分に平行な細長い直線構成部分と、第２の曲がっ
    た端部構成部分とを含んでいる、単一の連続した筒状の
    導管と； 前記第１の部分の端部と、前記第２の部分の端部とを、
    相互に隣接するものどうし強固に連結して、細長い一対
    のセンサ構成部分を形成する手段と； 前記一対のセンサ構成部分を駆動するよう、前記一対の
    センサ構成部分の長手方向に沿う中間部に位置した駆動
    点に結合されて、それらの駆動点に逆向きでほぼ等しい
    震動力を加える手段と； 前記駆動点の両側それぞれに位置した検出点において、
    前記一対のセンサ構成部分の相互間に結合され、前記一
    対のセンサ構成部分の相互の相対的な動きを検出して前
    記出力信号を発生する検出手段と を備えた質量流量センサ。
  7. 【請求項７】流路に直線状に連結される質量流量センサ
    と、このセンサに、それからコリオリ力に関連した出力
    信号を生じさせるよう、作動力を与える手段と、前記出
    力信号を受けて処理し、質量流量情報を発生する手段と
    を有するコリオリ質量流量測定装置における、質量流量
    センサであって、 ループ状に形成された単一の連続した筒状の導管であっ
    て、細長いまっすぐな第１の部分と、この第１の部分に
    連結部分により結合されている、細長いまっすぐな第２
    の部分とを含み、前記第１の部分と第２の部分とは、そ
    れぞれを流れる流体が同じ向きとなるよう、相互に離間
    しかつ平行に隣接並置されており、前記連結部分は、第
    １の曲がった端部構成部分と、前記第１の部分および第
    ２の部分に平行な細長い直線構成部分と、第２の曲がっ
    た端部構成部分とを含んでいる、単一の連続した筒状の
    導管と； 前記第１の部分の端部と、前記第２の部分の端部とを、
    相互に隣接するものどうし強固に連結して、細長い一対
    のセンサ構成部分を形成する手段と； 前記一対のセンサ構成部分を駆動するよう、前記一対の
    センサ構成部分の長手方向に沿う中間部に位置した駆動
    点に結合されて、それらの駆動点に逆向きでほぼ等しい
    震動力を加える手段と； 前記駆動点の両側それぞれに位置した検出点において、
    前記一対のセンサ構成部分の相互間に結合され、前記一
    対のセンサ構成部分の相互の相対的な動きを検出して前
    記出力信号を発生する検出手段と； 前記導管を囲んでいて、前記第１の部分の末端部および
    第２の部分の末端部それぞれが貫通する端部壁を含むハ
    ウジング形成手段と を備えた質量流量センサ。
  8. 【請求項８】特許請求の範囲第７項記載の質量流量セン
    サであって、前記導管の前記末端部には、パイプライン
    に嵌め合わせて連結するための取付手段が設けられてい
    る、ことを特徴とする質量流量センサ。
  9. 【請求項９】流路に直線状に連結される質量流量センサ
    と、このセンサに、それからコリオリ力に関連した出力
    信号を生じさせるよう、作動力を与える手段と、前記出
    力信号を受けて処理し、質量流量情報を発生する手段と
    を有するコリオリ質量流量測定装置における、質量流量
    センサであって、 ループ状に形成された単一の連続した筒状の導管であっ
    て、細長い第１の部分と、この第１の部分に連結部分に
    より結合されている、細長い第２の部分とを含み、前記
    第１の部分と第２の部分とは、それぞれを流れる流体が
    同じ向きとなるよう、相互に平行に隣接並置されてい
    る、単一の連続した筒状の導管と； 前記第１の部分の端部と、前記第２の部分の端部とを、
    相互に隣接するものどうし強固に連結して、細長い一対
    のセンサ構成部分を形成する手段と； 前記一対のセンサ構成部分を駆動するよう、前記一対の
    センサ構成部分の長手方向に沿う中間部に位置した駆動
    点に結合されて、それらの駆動点に逆向きでほぼ等しい
    震動力を加える手段と； 前記駆動点の両側それぞれに位置した検出点において、
    前記一対のセンサ構成部分の相互間に結合され、前記一
    対のセンサ構成部分の相互の相対的な動きを検出して対
    応する出力信号を発生する検出手段と； 前記一対のセンサ構成部分の前記駆動点を相互に弾性的
    に結合し、振動特性に影響を及ぼす弾性手段と を備えることを特徴とする質量流量センサ。
  10. 【請求項１０】筒状の導管であって、細長いまっすぐな
    第１部材と、この第１部材に連結部材により結合されて
    いる、細長いまっすぐな第２部材とを含み、前記第１部
    材と第２部材とは、それぞれを流れる流体が同じ向きと
    なるよう、相互に離間しかつ平行に隣接並置されてお
    り、前記連結部材は、第１の曲がった端部構成部分と、
    前記第１部材および第２部材に平行な細長い直線構成部
    分と、第２の曲がった端部構成部分とを含んでいる、筒
    状の導管と； 前記第１部材の端部と、前記第２部材の端部とを、相互
    に隣接するものどうし強固に連結して、細長い一対のセ
    ンサ構成部分を形成する手段と； 前記一対のセンサ構成部分を駆動するよう、前記一対の
    センサ構成部分の長手方向に沿う中間部に位置した駆動
    点に結合されて、それらの駆動点に逆向きでほぼ等しい
    震動力を加える手段と； 前記駆動点の両側それぞれに位置した検出点において、
    前記一対のセンサ構成部分の相互間に結合され、前記一
    対のセンサ構成部分の相互の相対的な動きを検出して対
    応する出力信号を発生する検出手段と を備えることを特徴とするコリオリ質量流量センサ。
  11. 【請求項１１】特許請求の範囲第10項記載のコリオリ質
    量流量センサであって、前記連結部材は、前記第１部材
    および前記第２部材とは異なる材料で作られている、こ
    とを特徴とするコリオリ質量流量センサ。
  12. 【請求項１２】筒状の導管であって、細長いまっすぐな
    第１部材と、この第１部材に連結部材により結合されて
    いる、細長いまっすぐな第２部材とを含み、前記第１部
    材と第２部材とは、それぞれを流れる流体が同じ向きと
    なるよう、相互に離間しかつ平行に隣接並置されてお
    り、前記連結部材は、第１の曲がった端部構成部分と、
    前記第１部材および第２部材に平行な細長い直線構成部
    分と、第２の曲がった端部構成部分とを含んでいる、筒
    状の導管と； 前記第１部材の端部と、前記第２部材の端部とを、相互
    に隣接するものどうし強固に連結して、細長い一対のセ
    ンサ構成部分を形成する手段と； 前記一対のセンサ構成部分を駆動するよう、前記一対の
    センサ構成部分の長手方向に沿う中間部に位置した駆動
    点に結合されて、それらの駆動点に逆向きでほぼ等しい
    震動力を加える手段と； 前記駆動点の両側それぞれに位置した検出点において、
    前記一対のセンサ構成部分の相互間に結合され、前記一
    対のセンサ構成部分の相互の相対的な動きを検出して対
    応する出力信号を発生する検出手段と； 前記導管を囲んでいて、前記第１の部分の末端部および
    第２の部分の末端部それぞれが貫通する端部壁を含むハ
    ウジング形成手段と を備えることを特徴とするコリオリ質量流量センサ。
  13. 【請求項１３】特許請求の範囲第12項記載のコリオリ質
    量流量センサであって、前記導管の前記末端部には、パ
    イプラインに嵌め合わせて連結するための取付手段が設
    けられている、ことを特徴とするコリオリ質量流量セン
    サ。
  14. 【請求項１４】筒状の導管であって、細長い第１部材
    と、この第１部材に連結部材により結合されている、細
    長い第２部材とを含み、前記第１部材と第２部材とは、
    それぞれを流れる流体が同じ向きとなるよう、相互に平
    行に隣接並置されている、筒状の導管と； 前記第１部材の端部と、前記第２部材の端部とを、相互
    に隣接するものどうし強固に連結して、細長い一対のセ
    ンサ構成部分を形成する手段と； 前記一対のセンサ構成部分を駆動するよう、前記一対の
    センサ構成部分の長手方向に沿う中間部に位置した駆動
    点に結合されて、それらの駆動点に逆向きでほぼ等しい
    震動力を加える手段と； 前記駆動点の両側それぞれに位置した検出点において、
    前記一対のセンサ構成部分の相互間に結合され、前記一
    対のセンサ構成部分の相互の相対的な動きを検出して対
    応する出力信号を発生する検出手段と； 前記一対のセンサ構成部分の前記駆動点を相互に弾性的
    に結合し、振動特性に影響を及ぼす弾性手段と を備えることを特徴とするコリオリ質量流量センサ。
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