KR100340673B1 - 코리올리 질량유량계 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 1개의 도관을 벤딩함으로써 2개의 병렬 플로우튜브(1, 2)를 구성하고, 측정유체가 직렬로 흐르는 형태의 질량유량계에 관한 것이다. 입구배관과 접속되는 외부 접속부(35)로부터 한쪽의 플로우튜브(2)의 입구에 이르는 도관 입구부를 L자형으로 굴곡시키는 동시에 다른 방향의 굴곡을 조합하여 구성하고, 또 출구배관과 접속되는 외부 접속부(36)로부터 다른 쪽의 플로우튜브(1)의 출구에 이르는 도관 출구부를 도관 입구부와 대칭을 이루고 L자형으로 굴곡시키는 동시에 다른 방향의 굴곡을 조합하여 구성한다. 그리고, 상기 외부 접속부(35) 및 외부 접속부(36)를 동일 축선 상에 배치한다. 이에 따라 본 발명은 외부 배관시스템에 대한 접속 구성을 단순화하는 동시에 코리올리 질량유량계 자체의 조립도 단순화할 수 있으며, 또한 외부배관 등의 진동을 경감하여 높은 정밀도로 질량유량의 측정을 가능하게 한다.

Description

코리올리 질량유량계 및 그 제조방법 {CORIOLIS MASS FLOWMETER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

피측정유체가 유통하는 배관의 일단 또는 양단을 지지하고, 그 지지점 주위에서 배관을 그 배관의 흐름방향과 수직인 방향으로 진동하였을 때 배관(이하, 진동이 가해질 배관을 플로우튜브(flow tube)라 칭함)에 작용하는 코리올리의 힘(Coriolis force)이 질량유량에 비례하는 것을 이용한 질량유량계(코리올리 질량유량계)는 이미 알려져 있다. 이 코리올리 질량유량계에 있어서 플로우튜브의 형상은 만곡관과 직관으로 대별된다.

직관식 코리올리 질량유량계는 양단이 지지되어 있는 직관의 중앙부 직관축에 수직인 방향으로 진동하였을 때, 직관의 지지부와 중앙부의 사이에서 코리올리의 힘에 의한 직관의 변위차, 즉 위상차 신호(位相差 信號)로서 질량유량을 검지한다. 이와 같은 직관식 코리올리 질량유량계는 심플하고 컴팩트하며 견고한 구조를 가지고 있으나 높은 검출감도를 얻을 수 없다.

이에 반하여, 만곡관 방식의 질량유량계는 코리올리의 힘을 효과적으로 활용하기 위한 형상을 선택할 수 있다는 점에서 고감도의 질량유량 검출이 가능하다. 그리고, 이 만곡 측정관을 더욱 효율적으로 구동하기 위해 측정유체가 흐르는 만곡관을 2개의 병렬 구성으로 하는 것도 공지되어 있다.

도 4는 이와 같은 종래의 병렬 이중 만곡관형 코리올리 질량유량계의 개념도를 나타낸다. 도시된 바와 같이, 플로우튜브는 2개의 병렬 U자관으로 구성되는 동시에 그 측정유체 입구측에 분기부(分岐部), 및 출구측에 합류부(合流部)가 형성되어 있다. 측정유체는 입구측에서 2개의 플로우튜브에 동등하게 분기되고, 플로우튜브의 출구측에서 합류한다. 이와 같이 2개의 유체로 동등하게 측정유체를 흐르게 함으로써 유체의 종류가 변하거나 온도의 변동이 있어도 항상 2개의 플로우튜브의 고유진동수를 동일하게 할 수 있고, 이에 따라 효율적이고 안정적으로 구동할 수 있는 동시에 외부 진동이나 온도의 영향을 받지 않는 코리올리 질량유량계를 구성할 수 있는 것으로 알려져 있다.

단, 측정유체 입구에서의 분기부 및 측정유체 출구에서의 합류부에 있어서, 압력손실이 생기거나 유체의 막힘(clogging)이 일어날 수 있다. 이것은 특히 점도가 높은 유체, 또는 식품과 같이 부패하기 쉽고 막히기 쉬운 액체일 때 문제가 된다. 또, 분기가 있으면 세정시, 한쪽의 플로우튜브가 관통하면 다른쪽의 튜브의 세정성이 매우 나빠지고 장시간을 요하게 된다.

이것을 개량하는 것으로서, 도 5에 나타낸 바와 같이, 사실상 병렬 이중 만곡관을 1개의 관을 벤딩(bending)하여 구성하고, 측정유체를 직렬로 흐르게 하는 루프형 코리올리 질량유량계가 또한 공지되어 있다.

그러나, 이와 같은 루프형 관은 전술한 바와 같이 분기, 합류를 형성한 것에 의거하여 문제점은 해결할 수 있으나, 2차원적으로가 아니고 3차원적으로 벤딩한 구성을 가지고 있으므로, 외부 배관시스템에 대한 접속이 복잡하고, 곤란해지는 동시에 플로우튜브 가공시의 왜곡이 측정 정밀도에 영향을 주고, 나아가서 외부 진동의 영향을 받기 쉽다는 문제를 일으킨다.

본 발명은 코리올리 질량유량계에 관한 것으로, 특히 2개의 병렬 이중 만곡관(彎曲管)을 직렬로 접속한 이른바 루프형 코리올리 질량유량계에 관한 것이다.

도 1은 본 발명을 적용하는 코리올리 질량유량계의 일예를 나타내는 정면도이다.

도 2는 도 1에 나타내는 코리올리 질량유량계의 구성, 특히 플로우튜브의 구성을 위쪽에서 본 도면이다.

도 3은 도 1의 A부분을 상세히 나타내는 도면이다.

도 4는 종래의 병렬 이중 만곡관형 코리올리 질량유량계의 개념도이다.

도 5는 종래의 측정유체를 직렬로 흐르게 하는 루프형 코리올리 질량유량계의 개념도이다.

그래서, 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위해, 전술한 바와 같이 1개의 관을 벤딩함으로써 병렬 이중 만곡관을 플로우튜브로서 구성한 루프형 코리올리 질량유량계의 장점, 즉 분기부, 합류부가 없고 압력손실이 생기거나 유체의 막힘이 일어나지 않는 장점을 유지하면서 외부 배관시스템에 대한 접속 구성을 간단히 할 수 있는 동시에 코리올리 질량유량계 자체의 조립도 간단히 이루어지도록 하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 가공시의 왜곡을 감소시키는 동시에 외부 배관 등의 진동을 경감하여, 정밀도가 높은 질량유량의 측정이 가능하게 하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 코리올리 질량유량계는 1개의 도관(導管)을 벤딩함으로써 2개의 병렬 플로우튜브(1, 2)를 구성하고, 측정유체가 직렬로 흐르는 타입의 질량유량계이다. 입구 배관과 접속되는 외부 접속부(35)로부터 한쪽의 플로우튜브(2)의 입구에 이르는 도관 입구부를 L자형으로 굴곡(屈曲)시키는 동시에 다른 방향의 굴곡을 조합하여 구성하고, 또 출구 배관과 접속되는 외부 접속부(36)로부터 다른 쪽의 플로우튜브(1)의 출구에 이르는 도관 출구부를 도관 입구부와 대칭으로 L자형으로 굴곡시키는 동시에 다른 방향의 굴곡을 조합하여 구성하고, 외부 접속부(35) 및 외부 접속부(36)를 동일 축선(軸線) 상에 배치한 것을 특징으로 한다. 이에 따라 조립시의 수평방향 외부 접속을 용이하게 한다. 또, 전술한 바와 같이, 루프형 만곡관은 3차원적으로 벤딩할 필요가 있으나, 본 발명은 이 3차원적 벤딩을 입구 도관 및 출구 도관, 그리고 양 플로우튜브의 접속부에 의해 행할 수 있으므로, 왜곡을 일으키지 않는 가공을 필요로 하는 플로우튜브는 2차원적으로 벤딩하는 것만으로 구성할 수 있게 된다.

또. 양쪽의 플로우튜브(1, 2) 각각의 단부를 개별적인 박판(薄板)으로 구성되는 지지부재(33)를 거쳐 일체로 고정하는 중공(中空) 구성의 고정부재(32)를 구비하는 동시에 이 고정부재(32)를 지지하는 외측 하우징(30)을 구비한다. 이 지지부재(33)는 플로우튜브(1, 2) 각각의 단부마다 각각 중공의 고정부재(32)에 대응하는 측의 2개 위치에서 고정되는 동시에 플로우튜브(1, 2)의 단부를 고정한다. 이에 따라 플로우튜브의 설치 고정이 용이해지고, 또한 플로우튜브의 불필요한 회전력이나 진동, 편류(偏流; drift)를 방지할 수 있다. 본 발명은 박판으로 구성되는 지지부재 및 그것을 고정하는 중공의 고정부재를 사용함으로써 저비용으로 견고한 지지를 달성하고, 외부 배관 등의 진동을 경감하여 정밀도가 높은 질량유량의 측정을 가능하게 한다.

또, 외측 하우징(30)을 요부(凹部)가 있는 셸(shell)구조로 형성하고, 고정부재(32)의 외측 하우징(30)에 대한 지지는 전면(全面)이 아니고 점(点) 형상으로 독립시켜 복수 위치(지지부(38))에서 행한다. 또한, 외측 하우징(30)과 밀착 결합되는 내압 케이스(31)를 구비하고, 플로우튜브를 포함하는 1개의 도관, 그것에 수반되는 구동장치(15), 한 쌍의 검출센서(16, 17), 및 고정부재(32) 등을 포함한 모든 도관의 부수적 구성을 수용한다. 본 발명은 외측 하우징을 셸구조로 형성하고 또한 이것과 일체로 내압 케이스를 결합함으로써 외부 배관으로부터의 응력(stress)에 대해 진동하는 플로우 구조부를 견고하게 보호할 수 있을 뿐 아니라, 튜브가 만일 파손되더라도 이곳을 흐르고 있는 유체가 내압용기의 외부로 유출되지 않도록 한다.

또한, 본 발명의 코리올리 질량유량계의 제조방법은 도관, 플로우튜브의 각 단부를 고정하는 고정부재(32), 구동장치(15), 및 한 쌍의 검출센서(16, 17) 등의 도관 부수적 구성을 일체로 조립하여 유닛화하고, 이 유닛을 셸구조를 갖는 외측 하우징(30) 내에 외부 접속부(35)와 외부 접속부(36)가 동일 축선 상에 오도록 배치하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라 조립이 용이해지고 조립시간을 단축할 수 있다.

도 1 내지 도 3은 본 발명을 적용하는 코리올리 질량유량계의 일예를 나타내는 도면으로, 1개의 관을 벤딩하여 구성한 병렬 이중 만곡관형 플로우튜브(flow tube)를 수직면 내에 설치한 경우를 상정하여 이하에서 설명하며, 수평면 내에 설치하는 것도 가능하다. 도 1은 그것의 정면에서 본 도면이다. 도 2는 수직면 내에 설치한 코리올리 질량유량계의 특히 플로우튜브의 구성을 나타내기 위해 위쪽에서(도 1의 위쪽에서) 본 부분 단면도이며, 구동장치 및 검출센서 등의 도시가 생략되어 있다. 도 3은 도 1의 A부분을 상세히 나타내는 도면이다.

예시된 코리올리 질량유량계의 플로우튜브(1, 2)는 도어(door)형으로 벤딩한 동일 형상의 만곡관으로, 연속한 1개의 도관(導管)으로 구성되어 있다. 전술한 바와 같이, 플로우튜브라 함은 코리올리의 힘을 일으키기 위해 공진구동(共振驅動)되는 유동관(流動管) 부분으로서, 이것을 플로우튜브(1) 및 플로우튜브(2)로 표시하는 동시에 이들 2개의 플로우튜브를 서로 접속하는 접속부, 외부배관에 접속되는 입구부, 및 출구부를 포함한 전체를 1개의 도관으로 구성하고 있다. 이 코리올리 질량유량계는 좌우 대칭이며, 어느 쪽에서도 유입, 유출될 수 있으나, 예시된 코리올리 질량유량계에 있어서는 측정유체가 도 1( 및 도 2)의 좌측에서 유입되어 우측으로 유출되는 것으로 가정하여 이하에서 설명한다.

측정유체는 외부 입구배관으로부터 외부 접속부(35)를 통해 수평방향으로 도관 입구부로 유입된다. 도관 입구부는 도 1에 나타내는 바와 같이 L자형으로 위쪽으로 벤딩되는 동시에, 그것과는 다른 방향으로도 도 2에 나타낸 바와 같이 벤딩되어 있다. 측정유체는 이 도관 입구부로부터 플로우튜브(2)를 통과하고 다시 도 1의 우측 아래쪽에서 도관 접속부를 통과하여 플로우튜브(1)로 들어오고, 그곳으로부터 도관 출구부를 통해 외부 접속부(36)로부터 외부 출구배관으로 유출된다. 도관 출구부는 도관 입구부와 대칭으로 벤딩되어 구성된다.

이와 같이, 도관은 루프형으로 되어 있고, 입구배관/출구배관으로의 외부 접속부(35, 36)로는 L자형으로 서로 반대방향으로 굴곡되는 동시에 다시 다른 방향의 굴곡을 조합하여 입구배관과 출구배관을 동일 축선 상에 배치함으로써 조립시의 수평방향 외부접속을 용이하게 한다.

플로우튜브(1, 2)에는 구체적으로는 뒤에 설명하는 구동장치(15) 및 한 쌍의 검출센서(16, 17)가 장착되는 동시에 그것들에 대한 배선이 이루어진다. 플로우튜브(1, 2) 양단 부근에는 소리굽쇠(tuning fork)형으로 구동하였을 때 진동의 노드(node)를 형성시키기 위한 기판(26, 27)이 설치되고, 또한 이것은 플로우튜브(1, 2)가 병렬로 유지되도록 서로 고착된다.

또한, 플로우튜브(1, 2) 각각의 단부를 고정하는 지지부재(33)는 도 1의 A부분의 상세를 나타내는 도 3에 도시된 바와 같이 박판으로 구성되고, 플로우튜브마다 입구부분과 출구부분을 별개의 지지부재(33)를 사용하여 고정한다. 지지부재(33)를 별도의 부재로 함으로써 플로우튜브의 부착 고정이 용이해진다. 또, 열용량이 작은 부재를 사용함으로써 플로우튜브(1, 2)를 지지부재(33)에 진공브레이징할 때 열에너지를 최소 필요량으로 할 수 있다.

이와 같은 지지부재(33)는 상하로 적어도 2개소이고, 중공의 구조를 갖는 고정부재(32)와 접속되어 있다. 예시된 고정부재(32)는 단면이 대략 직사각형인 중공으로 구성되고, 플로우튜브의 1 단부를 상기 직사각형의 상변 및 하변의 양쪽에서 각각 고정시킨다. 이로써 1개의 플로우튜브의 각 단부는 중공 직사각형의 2변에서의 2개소로 지지되고, 또한 중공 직사각형의 고정부재(32)의 측면을 구성하는 다른 2변이 후술하는 바와 같이 외측 하우징(30)에 고정된다. 일반적으로 캔틸레버(cantilever) 방식으로 진동하는 봉 또는 파이프는 어느정도 폭을 가지고 고착되지 않으면 안되지만, 예를 들면 블록형 지지체로 고정하면, 열용량의 차이에 의해 진동하는 튜브는 여러 가지 응력을 지지체로부터 받는다. 이상적인 지지는 2점(点)에서 지지하는 것으로, 지지의 정확한 위치만을 주고 여분의 영향은 주지 않는다. 따라서 상하로 적어도 2개소에서 접속함으로써 도관의 불필요한 회전력, 진동, 또는 편류를 방지할 수 있다.

지지부재(33)로서 두께가 얇은 플로우튜브와 동일한 재료를 사용할 수 있으며, 이로써 블레이징(blazing) 고착시 두께가 얇은 튜브로 불순물이 침투하는 것을 방지하고, 열용량의 차이에 의한 팽창, 수축에 의한 제문제를 회피할 수 있다. 또한 플로우튜브(1, 2)의 재질로서는 스텐레스 강, 하스텔로이(hastelloy), 티타늄합금 등 해당 기술분야에서 통상적인 것을 사용할 수 있다.

또, 고정부재(32)는 설정된 강도에 대응하는 재료로 실시할 수 있다. 또한, 플로우튜브와 동일한 재료로서 일반적으로 고가인 지지부재(33)와는 달리, 예를 들면 내식성(耐蝕性)을 요구하지 않는 저가의 재료를 사용함으로써 코스트를 저감할 수 있다. 결국, 고정부재(32)에 의한 고정은 견고하지 않으면 안되지만, 중공구조 부재를 사용함으로써 견고한 2점 지지를 달성할 수 있고 열용량이 작으며 블레이징시의 문제 회피, 경량화, 코스트다운, 온도 응답성의 향상에 의한 유량계로서의 성능향상이 가능하게 된다. 지지부재(33)의 고정부재(32)에 대한 고착은 도 3에 나타낸 바와 같이, 지지부재(33)보다 약간 작게 대응하는 절결부(切缺部)를 고정부재(32)에 형성하고, 이 절결부에 지지부재(33)를 중첩하여 그 주변의 블레이징, 용접 등의 적절한 고착수단에 의해 행할 수 있다.

요부를 가진 셸(shell)구조(구조의 크기에 비해 얇은 판으로 구성되는 곡면형의 구조)의 외측 하우징(30)이 설치되고, 또한 이 외측 하우징(30)은 각각 중공 원통형 부재(40, 41)를 구비한 외측 하우징 입구 및 출구부를 가진다. 그것의 조립시에는 외측 하우징 입구 및 출구부에 도관부의 외부 접속부(35, 36)를 각각 관통시킨 후, 중공 원통형 부재(40, 41)를 바깥쪽에서 삽입하고, 외부 접속부(35, 36)와 중공 원통형 부재(40, 41)의 사이, 및 중공 원통형 부재(40, 41)와 외측 하우징(30)의 사이를 각각 용접 등에 의해 고착한다. 이에 따라 기계적으로 고정하는 동시에 내압 케이스(31)와 공동으로 내부공간을 외부로부터 차단할 수 있다. 외측 하우징(30)은 도관부를 수용하기 위한 요부를 가진 셸구조로 형성함으로써 도관부의 설치를 용이하고 확실하게 실시할 수 있으며 일체화 구조를 형성하기 쉬워진다. 또, 외부 배관으로부터의 응력에 대해 진동하는 플로우 구조부를 견고하게 보호할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용하는 도관부라는 용어는 플로우튜브를포함하는 1개의 도관, 그에 부수되는 구동장치(15), 한 쌍의 검출센서(16, 17) 및 고정부재(32) 등을 포함하는 도관의 부수적 구성을 포함한 것이다.

도관부의 구조를 일체화하여 유닛으로 만들고, 셸구조의 외측 하우징(30)에 삽입하여 접속하는 경우, 도관 출구부/입구부의 형상이 L자형으로 되어 있으므로, 일체 구조로 조립한 후에, 그것보다 길이가 약간 짧은 외측 하우징(30) 내에 조립하여 설치할 수 있다. 이와 같이 도관부 구조를 유닛화함으로써 조립이 용이해지고 조립시간을 단축할 수 있다.

고정부재(32)의 외측 하우징(30)에 대한 접속은 배관 등의 외부 진동을 경감할 수 있도록, 고정부재(32)의 측면 전체가 아니고, 즉 면(面)이 아니고 점(点)으로 행해진다. 이러한 접속을 특히 도 2에 나타낸 바와 같은 4개의 독립적인 지지부(38)를 고정부재(32)와 외측 하우징(30) 양자에 예를 들면 용접에 의해 고착함으로써 행해지고, 이에 따라 외부 진동(배관시스템, 자기진동 시스템 등)의 저감을 도모할 수 있다. 내압 케이스(31)는 이와 같이 조립한 후, 용접 또는 나사 체결 등 적절한 수단으로 외측 하우징(30)에 일체로 밀착 결합된다. 이에 따라 만일 튜브가 파손되는 일이 있어도 이곳을 흐르고 있는 유체가 내압용기의 외부로 유출되지 않는다.

이와 같은 2개의 병렬 만곡관으로 이루어지는 플로우튜브(1, 2)를 중앙부에서 구동하는 구동장치(15)는 통상 코일 및 마그네트로 구성된다. 구동장치의 코일은 2개의 플로우튜브(1, 2) 내의 한쪽에, 또 마그네트는 다른 쪽의 플로우튜브에 설치되고, 이 2개의 플로우튜브(1, 2)를 서로 반대 위상으로 공진구동한다. 또,한 쌍의 진동검출 센서(16, 17)가 코일 및 마그네트로 구성되고, 구동장치(15)의 설치위치에 대해 좌우 양측의 대칭위치에 설치되어 코리올리의 힘에 비례한 위상차를 검지한다. 이 센서의 코일 및 마그네트도 또한 한쪽의 플로우튜브에는 코일이, 다른 쪽의 플로우튜브에는 마그네트가 고정구(fixture)를 통해 각각 별도로 설치된다.

구동장치(15)의 코일에 대한 배선은 도 1에 나타낸 바와 같이 이 코리올리 질량유량계 외부에서 외측 하우징(30)에 설치되어 있는 배선도입부(39)를 관통하여 지주(10)를 따라 그 선단부에서 플렉시블 인쇄기판(12)을 거쳐 접속된다. 이 배선도입부(39)는 이와 같이 배선을 관통시키며 내외의 공간을 차단한다. 플렉시블 인쇄기판 자체는 공지의 것으로, 배선용 동박을 폴리이미드 필름에 삽입한 소정의 폭을 가진 것을 사용할 수 있다.

한 쌍의 검출센서(16, 17)에 대한 배선은 구동장치(15)에 대한 배선과 동일하게 외부로부터 지주(10)의 선단부까지 도달하고 거기에서 상기 플렉시블 인쇄기판(12)과 대향하여 배치되는 별도의 플렉시블 인쇄기판을 거쳐 다시 플로우튜브의 표면상에 좌우 양 방향으로 설치된 테플론선(동선 또는 동박을 테플론으로 피복한 것)을 통해 이루어진다.

이와 같이 지주(10)는 그 선단면이 구동장치(15)에 대향하도록 고정부재(32)에 설치되고, 구동장치 코일 및 검출센서 코일에 대한 배선이 행해진다. 또, 지주(10)는 온도검출센서(20)에 대한 배선도 지지할 수 있다.

이와 같이 구성된 코리올리 질량유량계에 측정 유체가 흐를 때, 그 유량의측정은 통상의 방법으로 행해진다. 플로우튜브(1, 2)의 중앙부분에 설치된 구동장치(15)에 의해 한쪽의 플로우튜브를 다른 쪽에 대해 반대위상으로, 플로우튜브(1, 2)가 존재하는 평면에 대해 수직방향으로 공진구동한다. 그것에 기초하여 플로우튜브(1, 2)의 고정단과 중앙부 사이에 각각 설치된 한 쌍의 진동검출센서(16, 17)에 의해 코리올리 힘에 의한 위상차가 검출된다.

또한, 본 발명은 플로우튜브로서 전술한 도어형 관에 한정되지 않고, 예를 들면 원형, U자형 등의 임의의 형상인 만곡관을 사용하는 루프형 코리올리 질량유량계에 적용할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 1개의 관을 벤딩함으로써 병렬 이중 만곡관을 플로우튜브로서 구성한 루프형 코리올리 질량유량계의 장점, 즉 분기부나 합류부가 없고, 압력손실이 발생하거나 유체의 막힘이 일어나지 않는 장점을 유지하면서, 외부 배관시스템에 대한 접속이 간단한 구성을 이룰 수 있는 동시에 조립도 단순화할 뿐 아니라 플로우튜브 자체를 3차원적으로 벤딩할 필요가 없는 코리올리 질량유량계를 제공할 수 있다.

Claims (7)

1. 도관(導管) 입구부 및 도관 출구부, 진동을 가하는 동시에 그것에 따라 코리올리 힘을 검출하기 위한 2개의 병렬 플로우튜브, 및 2개의 플로우튜브(flow tube)를 접속하는 접속부를 1개의 도관을 벤딩(bending)하여 구성하고 측정유체가 이 2개의 플로우튜브 내부를 직렬로 흐르는 코리올리 질량유량계(Coriolis mass flowmeter)에 있어서,

   양 방향의 플로우튜브 각각의 단부(端部)를 각각의 지지부재를 거쳐 일체로 고정하는 고정부재, 및 그 고정부재를 추가로 고착하는 외측 하우징을 구비하고,

   입구배관과 접속되는 제1 외부 접속부 및 출구배관과 접속되는 제2 외부 접속부를 구비하고,

   제1 외부 접속부에서 한쪽의 플로우튜브의 입구에 이르는 도관 입구부를 L자형으로 굴곡(屈曲)시키는 동시에 다른 방향의 굴곡을 조합하고,

   제2 외부 접속부에서 다른 쪽의 플로우튜브의 출구에 이르는 도관 출구부를 상기 도관 입구부와 대칭으로 L자형으로 굴곡시키는 동시에 다른 방향의 굴곡을 조합하며,

   상기 제1 외부 접속부와 제2 접속부를 동일 축선 상에 배치한 것을 특징으로 하는 코리올리 질량유량계.
2. 제1항에 있어서,

   상기 지지부재는 양쪽의 플로우튜브 각각의 단부에 대해 그 단부를 각각 고정하는 개개의 박판(薄板)으로 구성하는 동시에, 그 개개의 지지부재를 상기 고정부재에 의해 일체로 고정하는 것을 특징으로 하는 코리올리 질량유량계.
3. 제2항에 있어서,

   상기 고정부재는 중공(中空)의 구조를 가지며, 상기 지지부재는 각 플로우튜브의 각 단부마다 각각 상기 중공의 고정부재의 대응하는 측의 2개 위치에서 그 고정부재에 고정되는 동시에 플로우튜브의 단부를 고정하는 것을 특징으로 하는 코리올리 질량유량계.
4. 제1항에 있어서,

   상기 외측 하우징은 요부(凹部)를 가진 셸(shell)구조를 가지는 동시에, 상기 제1 및 제2 외부 접속부를 각각 관통시켜 고착하는 외측 하우징 입구부 및 외측 하우징 출구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 코리올리 질량유량계.
5. 제4항에 있어서,

   상기 고정부재의 외측 하우징에 대한 지지는 전면(全面)이 아니고 독립적인 복수 위치에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 코리올리 질량유량계.
6. 제1항에 있어서,

   상기 외측 하우징과 밀착 결합되고, 플로우튜브를 포함하는 상기 도관, 그것에 부수적인 구동장치, 한 쌍의 검출센서, 및 고정부재 등을 포함한 모든 도관의 부수적 구성을 수용하는 내압 케이스를 구비하는 것을 특징으로 하는 코리올리 질량유량계.
7. 도관 입구부 및 도관 출구부, 진동을 가하는 동시에 그것을 기초로 코리올리 힘을 검출하기 위한 2개의 병렬 플로우튜브, 및 2개의 플로우튜브를 접속하는 접속부를 1개의 도관을 벤딩하여 구성하고, 측정유체가 이 2개의 플로우튜브 내부를 직렬로 흐르는 코리올리 질량유량계의 제조방법에 있어서,

   양쪽의 플로우튜브 각각의 단부를 각 지지부재를 거쳐 고정부재에 의해 일체로 고정하고,

   입구배관과 접속되는 제1 외부 접속부 및 출구배관과 접속되는 제2 외부 접속부를 구비하고,

   상기 제1 외부 접속부로부터 한쪽의 플로우튜브의 입구에 이르는 도관 입구부를 L자형으로 굴곡시키는 동시에 다른 방향의 굴곡을 조합하고,

   상기 제2 외부 접속부로부터 다른 쪽의 플로우튜브의 출구에 이르는 도관 출구부를 상기 도관 입구부와 대칭을 이루며 L자형으로 굴곡시키는 동시에 다른 방향의 굴곡을 조합하고,

   다음 공정에서, 플로우튜브의 각 단부를 고정하는 고정부재, 구동장치, 및 한 쌍의 검출센서 등의 도관의 부수적 구성을 도관에 일체로 조립하여 유닛화하고,

   상기 유닛을 셸구조를 가지는 외측 하우징 내에 상기 제1 외부 접속부와 제2 외부 접속부가 동일 축선 상에 위치하도록 배치하는

   것을 특징으로 하는 코리올리 질량유량계의 제조방법.