JPH0673449B2 - バクテリアカウンタ - Google Patents
バクテリアカウンタInfo
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- JPH0673449B2 JPH0673449B2 JP14141584A JP14141584A JPH0673449B2 JP H0673449 B2 JPH0673449 B2 JP H0673449B2 JP 14141584 A JP14141584 A JP 14141584A JP 14141584 A JP14141584 A JP 14141584A JP H0673449 B2 JPH0673449 B2 JP H0673449B2
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- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明はバクテリアカウンタに関するものであり、特に
半導体製造等に用いられる超純水中のバクテリア量を測
定するためのバクテリアカウンタに関するものである。
半導体製造等に用いられる超純水中のバクテリア量を測
定するためのバクテリアカウンタに関するものである。
＜従来の技術＞ 水質検査においては測定水に含まれるバクテリアの種類
等を検査することの他に、単位水量当りどの位の量のバ
クテリアが存在するかを検査することが重要である。こ
のバクテリアの量の検査は例えば医薬品等の製造におい
て極めて少ないバクテリア量のみしか許容されない場合
や、半導体（特に超LSI半導体）素子の製造において10
c.c.当り10個あるいはそれ以下程度のバクテリアの量の
みしか許容されない場合の如く超純水を必要とする分野
においては欠くことのできない検査であると言える。
等を検査することの他に、単位水量当りどの位の量のバ
クテリアが存在するかを検査することが重要である。こ
のバクテリアの量の検査は例えば医薬品等の製造におい
て極めて少ないバクテリア量のみしか許容されない場合
や、半導体（特に超LSI半導体）素子の製造において10
c.c.当り10個あるいはそれ以下程度のバクテリアの量の
みしか許容されない場合の如く超純水を必要とする分野
においては欠くことのできない検査であると言える。
従来、この単位水量当りのバクテリア量を検査する方法
としては、製造された超純水を採取し、この中に含まれ
るバクテリアを培養して増殖した後、これをフイルタ濾
過されたバクテリアを染色し、しかるのち染色されたバ
クテリア量を顕微鏡によつて観察して計数する方法が一
般的である。
としては、製造された超純水を採取し、この中に含まれ
るバクテリアを培養して増殖した後、これをフイルタ濾
過されたバクテリアを染色し、しかるのち染色されたバ
クテリア量を顕微鏡によつて観察して計数する方法が一
般的である。
しかしながら、この種の検査法を用いると超純水の採取
からバクテリア量の計数まで１週間程度の時間を要する
ことから、この検査によつて水質の不適格が判明したと
してもこの検査期間中に製造された半導体素子等は不良
品となつてしまい、その結果生産コストの上昇をまねい
てしまう恐れが大きい。
からバクテリア量の計数まで１週間程度の時間を要する
ことから、この検査によつて水質の不適格が判明したと
してもこの検査期間中に製造された半導体素子等は不良
品となつてしまい、その結果生産コストの上昇をまねい
てしまう恐れが大きい。
そこで本発明者らは極めて短時間で測定水中のバクテリ
ア量を検出することができ、且つ常時このバクテリア量
を監視することにより半導体等の生産コストを低減させ
ることが可能なバクテリアカウンタを先に提案した。
ア量を検出することができ、且つ常時このバクテリア量
を監視することにより半導体等の生産コストを低減させ
ることが可能なバクテリアカウンタを先に提案した。
本発明者らが提案したバクテリアカウンタは、アクリジ
ンオレンジ又はその誘導体が添加され、含有するバクテ
リアとの反応生成物を生成させた測定水が導かれた透光
性の測定室、この測定室中の測定水に励起光を照射して
該反応生成物から蛍光を発生させるための励起光源、該
蛍光を受光するための光電変換器、この光電変換器の出
力を単位バクテリア当りの蛍光出力で換算して出力する
ための演算器を有することを基本構成とするものであ
る。
ンオレンジ又はその誘導体が添加され、含有するバクテ
リアとの反応生成物を生成させた測定水が導かれた透光
性の測定室、この測定室中の測定水に励起光を照射して
該反応生成物から蛍光を発生させるための励起光源、該
蛍光を受光するための光電変換器、この光電変換器の出
力を単位バクテリア当りの蛍光出力で換算して出力する
ための演算器を有することを基本構成とするものであ
る。
第１図はかかる基本構成に基くバクテリアカウンタの要
部を示す概略図である。１は例えば半導体製造設備に導
かれる純水ラインから供給される測定水に、アクリジン
オレンジ又はその誘導体（例えば３−アミノ−６−メト
キシアクリジン等）を添加して反応させる反応室であ
る。この反応室３において反応生成物が生成された測定
水は次に測定室２に導かれる。この測定室２は例えば石
英等の透明材料によつて形成されており、この例では測
定水が導かれる空間（内壁空間）が10cm×10cmの正方形
に形成されている。
部を示す概略図である。１は例えば半導体製造設備に導
かれる純水ラインから供給される測定水に、アクリジン
オレンジ又はその誘導体（例えば３−アミノ−６−メト
キシアクリジン等）を添加して反応させる反応室であ
る。この反応室３において反応生成物が生成された測定
水は次に測定室２に導かれる。この測定室２は例えば石
英等の透明材料によつて形成されており、この例では測
定水が導かれる空間（内壁空間）が10cm×10cmの正方形
に形成されている。
３は励起光源であり、この例では2.5mWのアルゴンレー
ザ（波長488nm）が用いられている。４はレンズであ
り、光源３の励起光を約0.5φのビームとして測定室２
中の測定水に照射する。5,6及び７は測定水中の反応生
成物に励起光が照射されることによつて発生した蛍光を
受光して出力を発生するための干渉フイルタ、集光レン
ズ及びフオトマルチプライヤーである。
ザ（波長488nm）が用いられている。４はレンズであ
り、光源３の励起光を約0.5φのビームとして測定室２
中の測定水に照射する。5,6及び７は測定水中の反応生
成物に励起光が照射されることによつて発生した蛍光を
受光して出力を発生するための干渉フイルタ、集光レン
ズ及びフオトマルチプライヤーである。
測定室２の反応生成物の量に応じた蛍光を受光したフオ
トマルチプライヤー７の出力はロツタインアンプを介し
て演算器に入力される。この演算器は測定水中のバクテ
リアの量に相当するフオトマルチプライヤー７の出力
を、単位バクテリア当りの出力で換算してバクテリアの
量として算出するためのものであり、例えば、フオトマ
ルチプライヤー７からの出力の振幅値を単位バクテリア
当りの振幅値で換算することによつて測定水中に含まれ
るバクテリアの量を算出させることができる。
トマルチプライヤー７の出力はロツタインアンプを介し
て演算器に入力される。この演算器は測定水中のバクテ
リアの量に相当するフオトマルチプライヤー７の出力
を、単位バクテリア当りの出力で換算してバクテリアの
量として算出するためのものであり、例えば、フオトマ
ルチプライヤー７からの出力の振幅値を単位バクテリア
当りの振幅値で換算することによつて測定水中に含まれ
るバクテリアの量を算出させることができる。
＜発明が解決しようとする問題点＞ 第１図に示す装置を用いて、純水100c.c.当りアクリジ
ンオレンジ50μｇを加えた測定水にバクテリアの数を種
々変化させて、フオトマルチプライヤーのカウント値を
測定した。その結果を第１表及び第2A図に示す。
ンオレンジ50μｇを加えた測定水にバクテリアの数を種
々変化させて、フオトマルチプライヤーのカウント値を
測定した。その結果を第１表及び第2A図に示す。
又、同様にしてアクリジンオレンジの熱経時を調べる目
的で純水100c.c.当りアクリジンオレンジ20μｇを加え
た測定水（バクテリアを加えない）に、5mWのアルゴン
レーザーを照射しつづけた時のフオトマルチプライヤー
のカウント値を測定した。
的で純水100c.c.当りアクリジンオレンジ20μｇを加え
た測定水（バクテリアを加えない）に、5mWのアルゴン
レーザーを照射しつづけた時のフオトマルチプライヤー
のカウント値を測定した。
その結果を第２表及び第2B図に示す。
更にフオトマルチプライヤー、レーザーの変化率を測定
する目的で純水100c.c.から成る測定水に前述と同様に
してフオトマルチプライヤーのカウント値を測定した。
その結果を第３表及び第2C図に示す。
する目的で純水100c.c.から成る測定水に前述と同様に
してフオトマルチプライヤーのカウント値を測定した。
その結果を第３表及び第2C図に示す。
第2A図から明らかな如く、上記の装置におけるバクテリ
ア量の検出限界は符号Ｄに示す蛍光ノイズ及び各カウン
ト値のバラツキに基いて測定水1c.c.当り800乃至1000個
程度である。従つて、この装置は半導体素子の製造に必
要な10c.c.当り10個あるいはそれ以下程度のバクテリア
の検出を行なう必要のある検査には十分ではない。又、
上記の検出限界の最も大きな因子である蛍光ノイズは測
定水に励起光を照射した時に、バクテリアと反応したア
クリジンオレンジが蛍光を発生することのみならず、純
水中に存在する遊離アクリジンオレンジもまた蛍光を発
することに基いていることも明らかとなつた。
ア量の検出限界は符号Ｄに示す蛍光ノイズ及び各カウン
ト値のバラツキに基いて測定水1c.c.当り800乃至1000個
程度である。従つて、この装置は半導体素子の製造に必
要な10c.c.当り10個あるいはそれ以下程度のバクテリア
の検出を行なう必要のある検査には十分ではない。又、
上記の検出限界の最も大きな因子である蛍光ノイズは測
定水に励起光を照射した時に、バクテリアと反応したア
クリジンオレンジが蛍光を発生することのみならず、純
水中に存在する遊離アクリジンオレンジもまた蛍光を発
することに基いていることも明らかとなつた。
＜発明の目的＞ 本発明は極めて短時間で測定水中のバクテリア量を検出
することができ、且つ常時このバクテリア量を監視する
ことにより半導体等の生産コストを低減させることが可
能なバクテリアカウンタを提供することを目的とするも
のであり、特に、半導体製造に要求される極めて少量の
バクテリアも検出することが可能なバクテリアカウンタ
を提供することを目的とするものである。
することができ、且つ常時このバクテリア量を監視する
ことにより半導体等の生産コストを低減させることが可
能なバクテリアカウンタを提供することを目的とするも
のであり、特に、半導体製造に要求される極めて少量の
バクテリアも検出することが可能なバクテリアカウンタ
を提供することを目的とするものである。
＜問題点を解決するための構成＞ 上記の問題点を解決するための本発明のバクテリアカウ
ンタの構成は、 アクリジンオレンジ等の試薬が添加され、含有するバク
テリアとの反応生成物を生成させた超純水である測定水
が導かれた透光性の測定室と、この測定室中の測定水に
励起光を照射して該反応生成物から蛍光を発生させるた
めの励起光源と、該蛍光を受光するための光電変換器と
を有し、上記測定室の励起光照射部の体積内に含まれる
前記試薬単体の蛍光の総和に比して、前記反応生成物単
体からの蛍光が大きくなるように、励起光照射方向にお
ける測定室空間の厚さ及び励起光の照射面積を小さくす
る上記測定室とすると共に、該測定室に測定水を流入さ
せるための加圧手段とを備えたものである。
ンタの構成は、 アクリジンオレンジ等の試薬が添加され、含有するバク
テリアとの反応生成物を生成させた超純水である測定水
が導かれた透光性の測定室と、この測定室中の測定水に
励起光を照射して該反応生成物から蛍光を発生させるた
めの励起光源と、該蛍光を受光するための光電変換器と
を有し、上記測定室の励起光照射部の体積内に含まれる
前記試薬単体の蛍光の総和に比して、前記反応生成物単
体からの蛍光が大きくなるように、励起光照射方向にお
ける測定室空間の厚さ及び励起光の照射面積を小さくす
る上記測定室とすると共に、該測定室に測定水を流入さ
せるための加圧手段とを備えたものである。
＜実施例＞ 以下、図面を参照して本発明を更に詳細に説明する。
まず、第１図に示す装置におけるバクテリアの測定限界
を生じる原因について、バクテリア１個（１μm3サイズ
と仮定する）当りの蛍光強度IB及びアクリジンオレンジ
を含有する純水１μm3当りの蛍光強度▲Ｉni AQ▼（アク
リジンオレンジni濃度下）を仮定してシユミレートす
る。ここで、測定室空間を10cm×10cm、レーザービーム
の大きさを0.5mm×0.5mmのそれぞれ正方形とした（第３
図参照）。
を生じる原因について、バクテリア１個（１μm3サイズ
と仮定する）当りの蛍光強度IB及びアクリジンオレンジ
を含有する純水１μm3当りの蛍光強度▲Ｉni AQ▼（アク
リジンオレンジni濃度下）を仮定してシユミレートす
る。ここで、測定室空間を10cm×10cm、レーザービーム
の大きさを0.5mm×0.5mmのそれぞれ正方形とした（第３
図参照）。
照射部に存在するバクテリアの数 2.5×10-3・NB個、 −（１） ここでNBは単位体積（cm3）当りのバクテリア数 照射部の体積 2.5×109μm3 −（２） 測定された全蛍光強度Ｉ Ｉ＝（１）×IB＋（２）×▲Ｉni AQ▼ −（３） ここで前述の実験結果から であり、更に となる。
式（４）及び（５）はそれぞれアクリジンオレンジ分子
量で各々105個及び1012個に相当する。一方、レーザー
照射部における１μm3ユニツトセルの総数は第４図に示
すように2.5×109個であるから、照射部におけるバクテ
リア数をパラメータにシユミレーシヨンすると第４表に
示す通りとなる。
量で各々105個及び1012個に相当する。一方、レーザー
照射部における１μm3ユニツトセルの総数は第４図に示
すように2.5×109個であるから、照射部におけるバクテ
リア数をパラメータにシユミレーシヨンすると第４表に
示す通りとなる。
上記のシユミレーシヨンの結果から明らかな如く、レー
ザー照射部の体積を減少させることによつて蛍光ノイズ
を低下させてバクテリア量の検出限界を高めることがで
きる。例えばレーザーが照射される方向における測定室
の空間を100μｍ厚、レーザービーム径を100μｍとした
とすると、照射部における水中（遊離）のアクリジンオ
レンジの数は１×1011個となり、1c.c.中に１個のバク
テリアが存在する測定液もS/N≧10で検出可能となるの
である。
ザー照射部の体積を減少させることによつて蛍光ノイズ
を低下させてバクテリア量の検出限界を高めることがで
きる。例えばレーザーが照射される方向における測定室
の空間を100μｍ厚、レーザービーム径を100μｍとした
とすると、照射部における水中（遊離）のアクリジンオ
レンジの数は１×1011個となり、1c.c.中に１個のバク
テリアが存在する測定液もS/N≧10で検出可能となるの
である。
ここで第５図を参照して本発明の実施例を説明する。21
は例えば半導体製造設備に導かれる超純水のラインであ
り、23は上記超純水ライン21から分岐管路22を通つて供
給される測定水にアクリジンオレンジ又はその誘導体
（例えば３−アミノ−６−メトキシアクリジン等）を添
加して反応させる反応室である。アクリジンオレンジ又
はその誘導体は測定水中のバクテリアのDNA（蛋白質の
核であるジオキシボ・ニークリア・アシツド）と反応し
てバクテリアに高密度の反応生成物を生成し、この生成
物は励起光の照射によつて比較的高い蛍光を発生させ
る。例えば励起光として約440乃至500nm（例アルゴンレ
ーザ・488nm）が用いられ、約500乃至580nm（ピーク値
約530nm）の蛍光を発生させる。
は例えば半導体製造設備に導かれる超純水のラインであ
り、23は上記超純水ライン21から分岐管路22を通つて供
給される測定水にアクリジンオレンジ又はその誘導体
（例えば３−アミノ−６−メトキシアクリジン等）を添
加して反応させる反応室である。アクリジンオレンジ又
はその誘導体は測定水中のバクテリアのDNA（蛋白質の
核であるジオキシボ・ニークリア・アシツド）と反応し
てバクテリアに高密度の反応生成物を生成し、この生成
物は励起光の照射によつて比較的高い蛍光を発生させ
る。例えば励起光として約440乃至500nm（例アルゴンレ
ーザ・488nm）が用いられ、約500乃至580nm（ピーク値
約530nm）の蛍光を発生させる。
反応室23に供給されるN2ガスは超純水にアクリジンオレ
ンジ又はその誘導体が添加された測定水を測定室28に注
入するための加圧ガスである。又、24,25及び26はそれ
ぞれ超純水、N2ガス及び測定水ための弁でありこれらを
調整することによつて測定室28中の測定水の通過速度を
制御する。又27はアクリジンオレンジ試薬の添加のため
の弁である。
ンジ又はその誘導体が添加された測定水を測定室28に注
入するための加圧ガスである。又、24,25及び26はそれ
ぞれ超純水、N2ガス及び測定水ための弁でありこれらを
調整することによつて測定室28中の測定水の通過速度を
制御する。又27はアクリジンオレンジ試薬の添加のため
の弁である。
反応室23内において、反応生成物が生成された測定水は
N2ガスの圧力により測定室28に注入される。この測定室
28は第５図にその断面を示すようにその空間の厚みが励
起光の照射方向に極めて小さな矩形の通路を形成してい
る。測定室28の空間の厚みは、前記した励起光の照射部
の体積に基く信号のS/N比によつて決定される。例え
ば、この空間は100μｍ乃至200μｍ×10mmの断面矩形の
空間が用いられる。測定室28は上記反応生成物が生成さ
れた測定水に励起光を照射して蛍光を発光させ、この蛍
光量を測定するためのものであり、少なくとも部分的に
上記励起光及び蛍光の波長域の光に対して透光性である
必要があり、例えば石英チユーブが用いられる。
N2ガスの圧力により測定室28に注入される。この測定室
28は第５図にその断面を示すようにその空間の厚みが励
起光の照射方向に極めて小さな矩形の通路を形成してい
る。測定室28の空間の厚みは、前記した励起光の照射部
の体積に基く信号のS/N比によつて決定される。例え
ば、この空間は100μｍ乃至200μｍ×10mmの断面矩形の
空間が用いられる。測定室28は上記反応生成物が生成さ
れた測定水に励起光を照射して蛍光を発光させ、この蛍
光量を測定するためのものであり、少なくとも部分的に
上記励起光及び蛍光の波長域の光に対して透光性である
必要があり、例えば石英チユーブが用いられる。
29は励起光源であり、例えばアルゴンレーザ（488nm）
が用いられ、集光レンズ30、ガルバノミラー31を介して
測定室28の測定水に励起光を照射する。集光レンズ30は
励起光を例えば100μｍ径程度に絞つて測定室28の励起
光照射部の体積を減少させるためのものである。又、ガ
ルバノミラー31は測定室28を通過する測定水の通過方向
に対して直角方向に励起光を走査するものである。
が用いられ、集光レンズ30、ガルバノミラー31を介して
測定室28の測定水に励起光を照射する。集光レンズ30は
励起光を例えば100μｍ径程度に絞つて測定室28の励起
光照射部の体積を減少させるためのものである。又、ガ
ルバノミラー31は測定室28を通過する測定水の通過方向
に対して直角方向に励起光を走査するものである。
このガルバノミラー31による励起光の走査速度と、測定
室28を通過する測定水の通過速度の関係は例えば次の如
くして求めることができる。例えば測定室28の空間を厚
み0.1乃至0.2mm、幅8mmとして、10c.c.の測定水を押出
しフローさせ、測定時間を２分で行なうとすればフロー
速度は0.083cm3/secとなり、測定室28内の線速度は厚み
0.1mmで10.4cm/sec、厚み0.2mmで5.2cm/secとなる。レ
ーザー径は100μｍであるから、測定水の全体に励起光
を照射するためには走査速度は厚み0.1mmで520Hz、厚み
0.2mmで260Hzあればよい事となる。
室28を通過する測定水の通過速度の関係は例えば次の如
くして求めることができる。例えば測定室28の空間を厚
み0.1乃至0.2mm、幅8mmとして、10c.c.の測定水を押出
しフローさせ、測定時間を２分で行なうとすればフロー
速度は0.083cm3/secとなり、測定室28内の線速度は厚み
0.1mmで10.4cm/sec、厚み0.2mmで5.2cm/secとなる。レ
ーザー径は100μｍであるから、測定水の全体に励起光
を照射するためには走査速度は厚み0.1mmで520Hz、厚み
0.2mmで260Hzあればよい事となる。
34は測定室28中の測定水に励起光が照射されることによ
つて発生した蛍光を受光して、この蛍光強度に基いた出
力を発生するためのフオトマルチプライヤーである。32
及び33はフオトマルチプライヤー34の入射側に配された
干渉フイルタ及び集光光学系である。フオトマルチプラ
イヤー34は励起光の入射によるノイズの発生を防ぐため
に励起光の光軸と直角な方向に配されることが好まし
い。
つて発生した蛍光を受光して、この蛍光強度に基いた出
力を発生するためのフオトマルチプライヤーである。32
及び33はフオトマルチプライヤー34の入射側に配された
干渉フイルタ及び集光光学系である。フオトマルチプラ
イヤー34は励起光の入射によるノイズの発生を防ぐため
に励起光の光軸と直角な方向に配されることが好まし
い。
このようにして蛍光を受光したフオトマルチプライヤー
34の出力は第６図に示す如く、アンプ35で増幅されたの
ち、オシロスコープに入力され、蛍光の発生を検出する
ことができる。更にこのアンプ出力は微分回路37を介し
てパルスカウンタ38に入力されてバクテリア数を直接に
カウントすることもできる。39はガルバノミラー31及び
オシロスコープ36等を駆動するための駆動源であり、40
はレーザ光源の駆動源である。
34の出力は第６図に示す如く、アンプ35で増幅されたの
ち、オシロスコープに入力され、蛍光の発生を検出する
ことができる。更にこのアンプ出力は微分回路37を介し
てパルスカウンタ38に入力されてバクテリア数を直接に
カウントすることもできる。39はガルバノミラー31及び
オシロスコープ36等を駆動するための駆動源であり、40
はレーザ光源の駆動源である。
第７図は励起光を測定水に照射して発生した蛍光を高効
率でフオトマルチプライヤー34に導くための球面鏡41を
測定室28を囲むように設けたものであり、この球面鏡41
には励起光の入出力のための開孔42及び43を有してお
り、更にフオトマルチプライヤー34が取り付けられてい
る。
率でフオトマルチプライヤー34に導くための球面鏡41を
測定室28を囲むように設けたものであり、この球面鏡41
には励起光の入出力のための開孔42及び43を有してお
り、更にフオトマルチプライヤー34が取り付けられてい
る。
以上の実施例においては、測定水のフロー及び励起光の
走査によつて測定室を通過する測定水の全体のバクテリ
ア量を検出するものについて述べたが、測定室を通過す
る測定水の一部のバクテリア数を検出し、この値に基い
て全体のバクテリア数を算出するようにしてもよい。こ
の場合、励起光の走査は必ずしも必要ではない。更に上
記の実施例においてはバクテリアの数のみを検出するも
のについてのみ述べたが、励起光を測定室中の測定水に
照射した時の、測定水中での反射光（励起光と同じ波長
の光）も更に測定すれば、測定水中での不純物量を検出
することができる。これによりバクテリア及びバクテリ
ア以外の不純物をカウントすることができる。この励起
光反射の測定は必ずしもバクテリアを検出するための測
定室で行なう必要はなく、測定室を直列に２個配して行
なつてもよい。
走査によつて測定室を通過する測定水の全体のバクテリ
ア量を検出するものについて述べたが、測定室を通過す
る測定水の一部のバクテリア数を検出し、この値に基い
て全体のバクテリア数を算出するようにしてもよい。こ
の場合、励起光の走査は必ずしも必要ではない。更に上
記の実施例においてはバクテリアの数のみを検出するも
のについてのみ述べたが、励起光を測定室中の測定水に
照射した時の、測定水中での反射光（励起光と同じ波長
の光）も更に測定すれば、測定水中での不純物量を検出
することができる。これによりバクテリア及びバクテリ
ア以外の不純物をカウントすることができる。この励起
光反射の測定は必ずしもバクテリアを検出するための測
定室で行なう必要はなく、測定室を直列に２個配して行
なつてもよい。
＜発明の効果＞ 以上詳細に説明した如く、本発明によれば極めて短時間
で測定水中のバクテリア量を検出することができ、且つ
常時このバクテリア量を監視することにより半導体等の
生産コストを低減させることが可能となる。特に半導体
製造等に要求される極めて少量のバクテリアも検出する
ことができるので、半導体の生産コストの低減に対して
著大な効果を奏することが可能となる。
で測定水中のバクテリア量を検出することができ、且つ
常時このバクテリア量を監視することにより半導体等の
生産コストを低減させることが可能となる。特に半導体
製造等に要求される極めて少量のバクテリアも検出する
ことができるので、半導体の生産コストの低減に対して
著大な効果を奏することが可能となる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明者らが先に提案したバクテリアカウンタ
の概略を示す斜視図、第2A図乃至2C図は上記装置を用い
てバクテリアを測定したときの測定データを示すグラ
フ、第３図及び第４図は励起光照射部の状態を示す概念
図、第５図及び第６図は本発明の一実施例を示す斜視図
及び構成図、第７図は本発明の他の実施例を示す要部斜
視図である。 図中、 21は純水ライン、 23は反応室、 28は測定室、 29は励起光源、 31はガルバノミラー、 34はフオトマルチプライヤーである。
の概略を示す斜視図、第2A図乃至2C図は上記装置を用い
てバクテリアを測定したときの測定データを示すグラ
フ、第３図及び第４図は励起光照射部の状態を示す概念
図、第５図及び第６図は本発明の一実施例を示す斜視図
及び構成図、第７図は本発明の他の実施例を示す要部斜
視図である。 図中、 21は純水ライン、 23は反応室、 28は測定室、 29は励起光源、 31はガルバノミラー、 34はフオトマルチプライヤーである。
Claims (5)
- 【請求項１】アクリジンオレンジ等の試薬が添加され、
含有するバクテリアとの反応生成物を生成させた超純水
である測定水が導かれた透光性の測定室と、この測定室
中の測定水に励起水を照射して該反応生成物から蛍光を
発生させるための励起光源と、該蛍光を受光するための
光電変換器とを有し、上記測定室の励起光照射部の体積
内に含まれる前記試薬単体の蛍光の総和に比して、前記
反応生成物単体からの蛍光が大きくなるように、励起光
照射方向における測定室空間の厚さ及び励起光の照射面
積を小さくする上記測定室とすると共に、該測定室に測
定水を流入させるための加圧手段を備えることを特徴と
するバクテリアカウンタ。 - 【請求項２】励起光源がレーザー光源であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のバクテリアカウン
タ。 - 【請求項３】励起光を測定室中の測定水の流入方向に対
して直交する方向に走査する機構を有することを特徴と
する特許請求の範囲第１項又は第２項記載のバクテリア
カウンタ。 - 【請求項４】測定室の励起光照射部の体積が測定水10c.
c.当り１個のバクテリアを検出するに十分に小さく構成
したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のバク
テリアカウンタ。 - 【請求項５】蛍光を受光するための光電変換器の出力を
微分する回路と、この出力をカウントするカウンタを有
することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のバク
テリアカウンタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14141584A JPH0673449B2 (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | バクテリアカウンタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14141584A JPH0673449B2 (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | バクテリアカウンタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6121084A JPS6121084A (ja) | 1986-01-29 |
| JPH0673449B2 true JPH0673449B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=15291468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14141584A Expired - Fee Related JPH0673449B2 (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | バクテリアカウンタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0673449B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0630627B2 (ja) * | 1987-11-16 | 1994-04-27 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 生菌数測定方法 |
| EP0443700A3 (en) * | 1990-02-21 | 1991-10-16 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Method for counting living cells of microbes and apparatus therefor |
-
1984
- 1984-07-10 JP JP14141584A patent/JPH0673449B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6121084A (ja) | 1986-01-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |