JPH0671233A - 気体溶存水による洗浄方法 - Google Patents
気体溶存水による洗浄方法Info
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- JPH0671233A JPH0671233A JP22975992A JP22975992A JPH0671233A JP H0671233 A JPH0671233 A JP H0671233A JP 22975992 A JP22975992 A JP 22975992A JP 22975992 A JP22975992 A JP 22975992A JP H0671233 A JPH0671233 A JP H0671233A
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- Japan
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- cleaning
- water
- cleaned
- cleaning water
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 大掛かりな洗浄設備にたよることなく、被洗
浄体に付着している異物を剥離して適正に洗浄する。 【構成】 高圧容器内１で生成された気体溶存水Ｗ２を
洗浄水噴射系４の洗浄水噴射ノズルから被洗浄体５に噴
射することにより、被洗浄体５に対する洗浄水Ｗ１衝突
時の衝撃力によって被洗浄体に付着している異物を剥離
して除去するとともに、洗浄水Ｗ１に溶存している気体
の分離によって発生した多数の気泡Ａが被洗浄体５に衝
突して破裂した場合の衝撃力によって、被洗浄体５に付
着している異物を剥離して除去するようにしている。
浄体に付着している異物を剥離して適正に洗浄する。 【構成】 高圧容器内１で生成された気体溶存水Ｗ２を
洗浄水噴射系４の洗浄水噴射ノズルから被洗浄体５に噴
射することにより、被洗浄体５に対する洗浄水Ｗ１衝突
時の衝撃力によって被洗浄体に付着している異物を剥離
して除去するとともに、洗浄水Ｗ１に溶存している気体
の分離によって発生した多数の気泡Ａが被洗浄体５に衝
突して破裂した場合の衝撃力によって、被洗浄体５に付
着している異物を剥離して除去するようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気体溶存水を噴射して
洗浄する気体溶存水による洗浄方法に関する。
洗浄する気体溶存水による洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、被洗浄体に対して洗浄水を噴
射して洗浄を行う洗浄方法はよく知られている。しか
し、この種従来の洗浄方法では、洗浄水が被洗浄体に衝
突した場合に生じる衝撃力のみによって、被洗浄体に付
着している異物を剥離して除去するようにしている。し
たがって、相当に高い圧力で洗浄水を噴射させることの
できる洗浄水供給系が必要になり、洗浄設備が大掛かり
になるのにもかかわらず、実際上は適正な洗浄を期待で
きない難点を有している。
射して洗浄を行う洗浄方法はよく知られている。しか
し、この種従来の洗浄方法では、洗浄水が被洗浄体に衝
突した場合に生じる衝撃力のみによって、被洗浄体に付
着している異物を剥離して除去するようにしている。し
たがって、相当に高い圧力で洗浄水を噴射させることの
できる洗浄水供給系が必要になり、洗浄設備が大掛かり
になるのにもかかわらず、実際上は適正な洗浄を期待で
きない難点を有している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、従来の洗浄方法では、被洗浄体に付着している異
物の剥離を、被洗浄体に対する洗浄水衝突時の衝撃力の
みに依存しているので、洗浄設備が大掛かりであるのに
もかかわらず、実際上は適正な洗浄を期待できない点で
ある。
点は、従来の洗浄方法では、被洗浄体に付着している異
物の剥離を、被洗浄体に対する洗浄水衝突時の衝撃力の
みに依存しているので、洗浄設備が大掛かりであるのに
もかかわらず、実際上は適正な洗浄を期待できない点で
ある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、高圧容器に洗
浄水供給系から洗浄水を供給するとともに、給気系から
気体を供給して該高圧容器内で洗浄水に気体が溶存した
気体溶存水を生成し、この気体溶存水を前記高圧容器に
接続した洗浄水噴射系から被洗浄体に噴射して洗浄する
ことを特徴とし、洗浄水衝突時の衝撃力と気泡が破裂し
た場合の衝撃力との協働によって、被洗浄体に付着して
いる異物を剥離して適正に洗浄する目的を達成した。
浄水供給系から洗浄水を供給するとともに、給気系から
気体を供給して該高圧容器内で洗浄水に気体が溶存した
気体溶存水を生成し、この気体溶存水を前記高圧容器に
接続した洗浄水噴射系から被洗浄体に噴射して洗浄する
ことを特徴とし、洗浄水衝突時の衝撃力と気泡が破裂し
た場合の衝撃力との協働によって、被洗浄体に付着して
いる異物を剥離して適正に洗浄する目的を達成した。
【０００５】
【作用】本発明によれば、高圧容器内で生成された気体
溶存水を洗浄水噴射系から被洗浄体に噴射することによ
り、被洗浄体に対する洗浄水衝突時の衝撃力によって被
洗浄体に付着している異物を剥離して除去することがで
きる。一方、洗浄水は洗浄水噴射系から噴射された直後
に急激に減圧される。その結果、洗浄水に溶存している
気体が分離して多数の気泡が発生し、これらの気泡が被
洗浄体に衝突して破裂し、破裂した場合の衝撃力によっ
て被洗浄体に付着している異物を剥離して除去すること
ができる。つまり、洗浄水衝突時の衝撃力と気泡が破裂
した場合の衝撃力との協働によって、被洗浄体に付着し
ている異物を剥離して適正に洗浄することができる。
溶存水を洗浄水噴射系から被洗浄体に噴射することによ
り、被洗浄体に対する洗浄水衝突時の衝撃力によって被
洗浄体に付着している異物を剥離して除去することがで
きる。一方、洗浄水は洗浄水噴射系から噴射された直後
に急激に減圧される。その結果、洗浄水に溶存している
気体が分離して多数の気泡が発生し、これらの気泡が被
洗浄体に衝突して破裂し、破裂した場合の衝撃力によっ
て被洗浄体に付着している異物を剥離して除去すること
ができる。つまり、洗浄水衝突時の衝撃力と気泡が破裂
した場合の衝撃力との協働によって、被洗浄体に付着し
ている異物を剥離して適正に洗浄することができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、本発明の一実施例を示す系統図である。
この図において、１は高圧容器で、この高圧容器１には
洗浄水供給系２から洗浄水Ｗ１が供給されるとともに、
給気系３から空気Ａが供給されるようになっている。す
なわち、洗浄水供給系２は、洗浄水Ｗ１を貯水する水槽
２１とポンプ２２およびポンプ駆動モ−タ２３を有し、
ポンプ２２の吐出口が弁２４を介設した洗浄水供給管２
５を介して高圧容器１に接続されている。給気系３は、
エア−コンプレッサ３１とコンプレッサ駆動モ−タ３２
を有し、エア−コンプレッサ３１の吐出口が弁３３を介
設した高圧空気供給管３４を介して高圧容器１に接続さ
れている。勿論、ボンベに蓄えた高圧空気を、それ自体
の圧力で高圧容器１に送り込むように構成してもよい。
一方、高圧容器１に洗浄水噴射系４が接続されている。
この洗浄水噴射系４は、洗浄水噴射ノズル４１と高圧ホ
−ス４２を有し、洗浄水噴射ノズル４１の入口が高圧ホ
−ス４２をを介して高圧容器１に接続されており、洗浄
水噴射ノズル４１の基端部に弁４３が介設されている。
他方、高圧容器１には、水位計１１と圧力制御弁１２が
設けられ、水位計１１によって高圧容器１内部の水位を
確認でき、圧力制御弁１２によって高圧容器１の内部圧
力を所定の値に保持できるようになっている。
する。図１は、本発明の一実施例を示す系統図である。
この図において、１は高圧容器で、この高圧容器１には
洗浄水供給系２から洗浄水Ｗ１が供給されるとともに、
給気系３から空気Ａが供給されるようになっている。す
なわち、洗浄水供給系２は、洗浄水Ｗ１を貯水する水槽
２１とポンプ２２およびポンプ駆動モ−タ２３を有し、
ポンプ２２の吐出口が弁２４を介設した洗浄水供給管２
５を介して高圧容器１に接続されている。給気系３は、
エア−コンプレッサ３１とコンプレッサ駆動モ−タ３２
を有し、エア−コンプレッサ３１の吐出口が弁３３を介
設した高圧空気供給管３４を介して高圧容器１に接続さ
れている。勿論、ボンベに蓄えた高圧空気を、それ自体
の圧力で高圧容器１に送り込むように構成してもよい。
一方、高圧容器１に洗浄水噴射系４が接続されている。
この洗浄水噴射系４は、洗浄水噴射ノズル４１と高圧ホ
−ス４２を有し、洗浄水噴射ノズル４１の入口が高圧ホ
−ス４２をを介して高圧容器１に接続されており、洗浄
水噴射ノズル４１の基端部に弁４３が介設されている。
他方、高圧容器１には、水位計１１と圧力制御弁１２が
設けられ、水位計１１によって高圧容器１内部の水位を
確認でき、圧力制御弁１２によって高圧容器１の内部圧
力を所定の値に保持できるようになっている。
【０００７】このような構成であれば、ポンプ２２の運
転によって水槽２１の洗浄水Ｗ１を洗浄水供給管２５か
ら高圧容器１に供給するとともに、エア−コンプレッサ
３１の運転によって高圧空気供給管３４から高圧容器１
に高圧空気を供給し、圧力制御弁１２の制御によって高
圧容器１の内部圧力を所定の値に保持する。これによ
り、圧力に比例する濃度で高圧容器１内の洗浄水Ｗ１に
空気を溶存させることができる。つまり、高圧容器１内
では、空気溶存水Ｗ２が生成される。この状態で、洗浄
水噴射系４の洗浄水噴射ノズル４１を図２に示すよう
に、被洗浄体５に比較的接近して対向させたのちに弁４
３を開くと、高圧容器１内で生成された空気溶存水Ｗ２
が洗浄水噴射ノズル４１から被洗浄体５に噴射される。
空気溶存水Ｗ２は洗浄水噴射ノズル４１から噴出した瞬
間、急激に減圧される。そのために、溶存空気が過飽和
状態になって気化し、粒径の小さい多数の気泡Ａが発生
する。したがって、被洗浄体５には、溶存空気が分離し
た洗浄水Ｗ１が衝突し、洗浄水衝突時の衝撃力によって
被洗浄体５に付着している異物を剥離して除去するとと
もに、前述の多数の気泡Ａが衝突して破裂し、破裂した
場合の衝撃力によって被洗浄体５に付着している異物を
剥離して除去することになる。つまり、高圧洗浄水Ｗ１
衝突時の衝撃力と多数の気泡Ａが破裂した場合の衝撃力
との協働によって、被洗浄体５に付着している異物を剥
離して適正に洗浄することができる。
転によって水槽２１の洗浄水Ｗ１を洗浄水供給管２５か
ら高圧容器１に供給するとともに、エア−コンプレッサ
３１の運転によって高圧空気供給管３４から高圧容器１
に高圧空気を供給し、圧力制御弁１２の制御によって高
圧容器１の内部圧力を所定の値に保持する。これによ
り、圧力に比例する濃度で高圧容器１内の洗浄水Ｗ１に
空気を溶存させることができる。つまり、高圧容器１内
では、空気溶存水Ｗ２が生成される。この状態で、洗浄
水噴射系４の洗浄水噴射ノズル４１を図２に示すよう
に、被洗浄体５に比較的接近して対向させたのちに弁４
３を開くと、高圧容器１内で生成された空気溶存水Ｗ２
が洗浄水噴射ノズル４１から被洗浄体５に噴射される。
空気溶存水Ｗ２は洗浄水噴射ノズル４１から噴出した瞬
間、急激に減圧される。そのために、溶存空気が過飽和
状態になって気化し、粒径の小さい多数の気泡Ａが発生
する。したがって、被洗浄体５には、溶存空気が分離し
た洗浄水Ｗ１が衝突し、洗浄水衝突時の衝撃力によって
被洗浄体５に付着している異物を剥離して除去するとと
もに、前述の多数の気泡Ａが衝突して破裂し、破裂した
場合の衝撃力によって被洗浄体５に付着している異物を
剥離して除去することになる。つまり、高圧洗浄水Ｗ１
衝突時の衝撃力と多数の気泡Ａが破裂した場合の衝撃力
との協働によって、被洗浄体５に付着している異物を剥
離して適正に洗浄することができる。
【０００８】なお、前記実施例では、エア−コンプレッ
サ３１の運転によって高圧空気供給管３４から高圧容器
１に高圧空気を供給し、高圧容器１内で空気溶存水Ｗ２
を生成し、この空気溶存水Ｗ２を洗浄水噴射ノズル４１
から噴射することによって、多数の気泡Ａを発生させて
洗浄する方法について説明しているが、空気に代えて、
たとえば窒素ガスなどの還元ガスを高圧容器１に供給
し、高圧容器１内で還元ガス溶存水Ｗ２を生成し、この
還元ガス溶存水Ｗ２を洗浄水噴射ノズル４１から噴射し
て多数の気泡Ａを発生させて洗浄することで、錆の発生
を抑制できるので、発錆の回避を要求されるタンク等の
内部洗浄に適用することもできる。
サ３１の運転によって高圧空気供給管３４から高圧容器
１に高圧空気を供給し、高圧容器１内で空気溶存水Ｗ２
を生成し、この空気溶存水Ｗ２を洗浄水噴射ノズル４１
から噴射することによって、多数の気泡Ａを発生させて
洗浄する方法について説明しているが、空気に代えて、
たとえば窒素ガスなどの還元ガスを高圧容器１に供給
し、高圧容器１内で還元ガス溶存水Ｗ２を生成し、この
還元ガス溶存水Ｗ２を洗浄水噴射ノズル４１から噴射し
て多数の気泡Ａを発生させて洗浄することで、錆の発生
を抑制できるので、発錆の回避を要求されるタンク等の
内部洗浄に適用することもできる。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、洗浄水
衝突時の衝撃力と気泡が破裂した場合の衝撃力との協働
によって、被洗浄体に付着している異物を剥離して洗浄
するので、従来の洗浄水衝突時の衝撃力のみに依存する
洗浄方法と比較して適正に洗浄することができる。ま
た、洗浄水の噴射圧力を従来の洗浄方法と比較して低く
設定できるので、大掛かりな洗浄設備を必要としない。
衝突時の衝撃力と気泡が破裂した場合の衝撃力との協働
によって、被洗浄体に付着している異物を剥離して洗浄
するので、従来の洗浄水衝突時の衝撃力のみに依存する
洗浄方法と比較して適正に洗浄することができる。ま
た、洗浄水の噴射圧力を従来の洗浄方法と比較して低く
設定できるので、大掛かりな洗浄設備を必要としない。
【図１】本発明の一実施例を示す系統図である。
【図２】洗浄状態の拡大説明図である。
１ 高圧容器 ２ 洗浄水供給系 ３ 給気系 ４ 洗浄水噴射系 ５ 被洗浄体 Ｗ１ 洗浄水 Ｗ２ 空気溶存水（気体溶存水）
Claims (1)
- 【請求項１】 高圧容器に洗浄水供給系から洗浄水を供
給するとともに、給気系から気体を供給して該高圧容器
内で洗浄水に気体が溶存した気体溶存水を生成し、この
気体溶存水を前記高圧容器に接続した洗浄水噴射系から
被洗浄体に噴射して洗浄することを特徴とする気体溶存
水による洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22975992A JPH0671233A (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 気体溶存水による洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22975992A JPH0671233A (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 気体溶存水による洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0671233A true JPH0671233A (ja) | 1994-03-15 |
Family
ID=16897232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22975992A Pending JPH0671233A (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 気体溶存水による洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0671233A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007184599A (ja) * | 2005-12-30 | 2007-07-19 | Lam Res Corp | 基板洗浄方法および洗浄溶液 |
| JP2011149063A (ja) * | 2010-01-22 | 2011-08-04 | Nippon Steel Corp | 金属帯洗浄工程のスクラバーレス操業方法 |
-
1992
- 1992-08-28 JP JP22975992A patent/JPH0671233A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007184599A (ja) * | 2005-12-30 | 2007-07-19 | Lam Res Corp | 基板洗浄方法および洗浄溶液 |
| JP2011149063A (ja) * | 2010-01-22 | 2011-08-04 | Nippon Steel Corp | 金属帯洗浄工程のスクラバーレス操業方法 |
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