JPH0669393A - Method for bending lead - Google Patents

Method for bending lead

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Publication number
JPH0669393A
JPH0669393A JP4218933A JP21893392A JPH0669393A JP H0669393 A JPH0669393 A JP H0669393A JP 4218933 A JP4218933 A JP 4218933A JP 21893392 A JP21893392 A JP 21893392A JP H0669393 A JPH0669393 A JP H0669393A
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JP
Japan
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lead
leads
bending
semiconductor device
holding portion
Prior art date
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Pending
Application number
JP4218933A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Yoshimura
淳 芳村
Yoshiro Hayase
芳朗 早瀬
Koji Shibata
弘司 柴田
Masanobu Echizenya
正信 越前谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Publication of JPH0669393A publication Critical patent/JPH0669393A/en
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Bending Of Plates, Rods, And Pipes (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To perform a highly flexible bending work of leads wherein its yield is good and there is no change with the passage of time in the bent shapes of the leads, by performing the fixing of the mounting parts of the leads extended from the main body of a semiconductor device to the outside, and by grasping the end parts of the leads with a holding part, and further, by moving the holding part along a preset locus through a numerical control. CONSTITUTION:The fixing of a plurality of leads 32 extended from one side surface of a resin body 30 to the outside are performed, grasping them with a lead chuck 33. Then, the leads are bent preliminarily reciprocating the lead chuck 33 by a numerical control. Subsequently, in the vertical plane including the center line of the lead 32, the lead chuck 33 is so moved downward that its end part on the side of the resin body 30 generates the circular arc, whose radial length is equal to the lead length between the lead chuck 33 and a lead clamp 34, using the fixing end of the lead as its center. Further, moving the lead chuck 33 so as to approach the resin body 30, the decisive bending of the lead is performed. Thereby, the bend work of the leads, whose flexibility is high, can be accomplished.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は半導体装置の製造方法
に係り、特に数値制御によるリードの曲げ加工方法に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a semiconductor device, and more particularly to a method of bending a lead by numerical control.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体装置のパッケージには数多くの種
類があるが、配線基板への実装の方式で分類すると表面
実装タイプと挿入実装タイプとに分けられる。図5は表
面実装タイプの一例を示す斜視図であり、このパッケー
ジはSOP(Small Outline Package )と称されてい
る。図において、50は樹脂により成型された樹脂ボディ
ーであり、内部には半導体チップが封止されている。5
1,51…は該半導体チップの内部端子と接続されている
リードであり、樹脂ボディー50の側壁より外部に延出さ
れ、ガルウィング形状に曲げられている。
2. Description of the Related Art There are many types of semiconductor device packages, which are classified into a surface mounting type and an insertion mounting type when classified by a mounting method on a wiring board. FIG. 5 is a perspective view showing an example of the surface mount type, and this package is called SOP (Small Outline Package). In the figure, 50 is a resin body molded of resin, and a semiconductor chip is sealed inside. Five
Numerals 1, 51 ... Are leads connected to the internal terminals of the semiconductor chip, and extend from the side wall of the resin body 50 to the outside and are bent in a gull wing shape.

【0003】図6は挿入実装タイプの半導体装置の一例
を示す斜視図であり、このパッケージはDIP(Dual I
nline Package )と称されている。図において、60は樹
脂ボディーであり、内部に半導体チップが封止されてい
る。61,61…は該半導体チップの内部端子と接続されて
いるリードであり、樹脂ボディー60の側壁より外部に延
出され、スルーホールタイプの配線基板に対して挿入実
装できるように下に向かって曲げられている。
FIG. 6 is a perspective view showing an example of an insertion mounting type semiconductor device. This package is a DIP (Dual I).
nline Package) is called. In the figure, 60 is a resin body in which a semiconductor chip is sealed. 61, 61 ... Leads connected to the internal terminals of the semiconductor chip, extending from the side wall of the resin body 60 to the outside so that they can be inserted and mounted in a through-hole type wiring board. It is bent.

【0004】上記リード51,51…と61,61…のどちらの
タイプの曲げ形状も従来は金型により加工している。図
7は金型の断面図である。図において、70は曲げダイで
あり、71は曲げダイに樹脂ボディー72およびリード73を
バネ74のバネ力により押さえ付けて固定するストリッパ
である。75は曲げポンチであり、リード73上に落下させ
て、曲げポンチ75と曲げダイ70に挟まれたリード73に塑
性変形を起こさせるものである。
Conventionally, both types of bent shapes of the leads 51, 51 ... And 61, 61 ... Are processed by a mold. FIG. 7 is a sectional view of the mold. In the figure, 70 is a bending die, and 71 is a stripper for pressing and fixing the resin body 72 and the leads 73 to the bending die by the spring force of the spring 74. A bending punch 75 is dropped on the lead 73 to cause plastic deformation of the lead 73 sandwiched between the bending punch 75 and the bending die 70.

【0005】上記金型において、バネ力を使い樹脂ボデ
ィー72およびリード73を固定しているのは次の理由によ
る。複数あるリード73はタイバーによりお互いが繋がっ
ているが、タイバーは曲げ加工前に各リード73から切り
落とされる。そして、各リード73のタイバーの切り口に
はタイバーの一部が切り残されたバリが付いている。そ
こで、このバリを取り除くために500kg/cm2
度の高圧水を全てのリード73に吹き付けるが、高圧水の
圧力によりリード73それぞれに反りが生じてしまう。し
たがって、全てのリード73を金型に強い力で固定してま
うと、固定されているときは反りなくなるが、リードを
曲げ加工した後に固定しているストリッパ71を外すと再
びリードは反ってしまう。その結果、設計した形状通り
にリード73を曲げることができなくなってしまう。この
ため、リード73はその反りがなくならない程度の弱い力
で金型に固定する必要があり、上記のように従来はバネ
力を用いている。
The reason why the resin body 72 and the leads 73 are fixed by using the spring force in the above-mentioned mold is as follows. A plurality of leads 73 are connected to each other by a tie bar, but the tie bar is cut off from each lead 73 before bending. Then, the cut of the tie bar of each lead 73 has a burr in which a part of the tie bar is left uncut. Therefore, in order to remove this burr, 500 kg / cm 2 Although some high-pressure water is sprayed on all the leads 73, the pressure of the high-pressure water causes the respective leads 73 to warp. Therefore, if all the leads 73 are fixed to the mold with a strong force, they will not warp when they are fixed, but if the stripper 71 that is fixed after bending the leads is removed, the leads will warp again. . As a result, the lead 73 cannot be bent according to the designed shape. Therefore, the lead 73 needs to be fixed to the mold with a weak force that does not eliminate the warp, and the spring force is conventionally used as described above.

【0006】次に、上記リード73が曲げダイ70と落下す
る曲げポンチ75に挟まれて塑性変形を起こし、ガルウィ
ングの形状に曲がる様子を図8の(a)〜(d)を使い
説明する。図において、Pで示した矢印はポンチ75のリ
ード73への荷重点を示している。(a)に示すようにポ
ンチ75の荷重は始めリード73の先端部に加わるが、ポン
チ73が落下するに従いリードが下に曲がるのでリードが
ダイ70とストリッパで固定されている付近に加わるよう
になる。さらにポンチ75が落下すると、(b)に示すよ
うにリード73の先端がダイ70に衝突する。さらにポンチ
75が落下していくと、(c)に示すようにリード73の先
端と固定点を支点にしてL字型に曲がり始め、曲がるに
従いリードの先端部はダイ70上を滑りながら固定点に近
付く。そして、落下させたポンチ75を取り除くと、
(d)に示したようにリード73は弾性によりダイ70上か
ら離れるスプリングバックを起こす。上記金型によるリ
ードの曲げ加工においては次にあげる問題点がある。
Next, the manner in which the lead 73 is sandwiched between the bending die 70 and the bending punch 75 that falls to cause plastic deformation and bends in the shape of a gull wing will be described with reference to FIGS. In the figure, the arrow indicated by P indicates the load point on the lead 73 of the punch 75. As shown in (a), the load of the punch 75 is applied to the tip of the lead 73 at first, but as the punch 73 falls, the lead bends downward, so that the lead is applied near where it is fixed by the die 70 and the stripper. Become. When the punch 75 further falls, the tips of the leads 73 collide with the die 70 as shown in (b). Further punch
As 75 falls, as shown in (c), it begins to bend into an L-shape with the tip of the lead 73 and the fixed point as a fulcrum, and the tip of the lead slides on the die 70 and approaches the fixed point as it bends. . And if you remove the punch 75 that was dropped,
As shown in (d), the lead 73 elastically springs back away from the die 70. There are the following problems in the lead bending process using the above mold.

【0007】図8の(c)に示すように、ポンチ75の荷
重点となる角はポンチの落下に伴いリード73表面を擦
る。このため、リード73表面の外層部、例えば半田メッ
キ等が屑となり近傍のリード73との電気的ショートを起
こす場合がある。
As shown in FIG. 8C, the corner of the punch 75, which is the load point, rubs the surface of the lead 73 as the punch falls. For this reason, the outer layer portion of the surface of the lead 73, for example, solder plating or the like may be scraped and an electrical short circuit with the neighboring lead 73 may occur.

【0008】また、リードの材質または厚さの変更に対
して、上記スプリングバックの大きさは変化する。この
ため、リードの曲げ形状が同じであっても、金型部品の
作製あるいは調整が必要となる場合が発生する。そし
て、金型部品は超精密加工技術が必要であるために高価
格であり、さらに納期も長いためにリードの曲げ形状の
変更を含むリードの各種変更に対して迅速に対応するこ
とができない。
Further, the size of the spring back changes with the change of the material or the thickness of the lead. Therefore, even if the leads have the same bent shape, it may be necessary to manufacture or adjust the mold parts. Moreover, the die parts are expensive because they require ultra-precision processing technology, and because the lead time is long, it is not possible to quickly respond to various changes in the leads, including changes in the bent shape of the leads.

【0009】また、金型は樹脂ボディーの大きさに応じ
て作らなければならないなめに、樹脂ボディーの大きさ
が変わるごとに新規に作製しなければならないので汎用
性に乏しい。
Further, the mold has to be made in accordance with the size of the resin body, and must be newly made every time the size of the resin body is changed.

【0010】また、リードの金型への固定はバネを使っ
ているため、金型の使用回数が増すに連れて、リードの
金型への固定する力が減衰してくるため、リードの曲げ
形状に経時変化が発生する。このため、金型は定期的に
メインテナンスする必要がある。
Further, since the spring is used for fixing the lead to the mold, the force for fixing the lead to the mold is attenuated as the number of times the mold is used increases, so that the lead is bent. The shape changes with time. For this reason, the mold needs to be regularly maintained.

【0011】さらに、上記金型においてはリードの長手
方向に対する左右のガイドがないため、リードは樹脂ボ
ディーへの取り付け面に対する直角方向から芯ずれを起
こして曲がっている場合がある。そして、この芯ずれが
大きい場合、半導体装置はリード間隔が配線基板上の配
線間隔と違ってしまうために配線基板上へ実装できなく
なる。
Further, in the above-mentioned mold, since there are no left and right guides with respect to the longitudinal direction of the lead, the lead may be bent by misaligning from the direction perpendicular to the mounting surface to the resin body. When the misalignment is large, the semiconductor device cannot be mounted on the wiring board because the lead distance is different from the wiring distance on the wiring board.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】上記のように金型によ
るリードの曲げ加工においては、リード間のショート
や、リードの芯ずれが原因で歩留まりが悪く、曲げ形状
に経時変化があり、また加工に使用する金型のリードや
樹脂ボディーおよび曲げ形状の変更に対する汎用性が乏
しいという問題があった。
As described above, in the lead bending process using the mold, the yield is poor due to the short circuit between the leads and the misalignment of the leads, and the bend shape changes with time. However, there is a problem in that the versatility of changing the lead, resin body, and bending shape of the mold used for is poor.

【0013】この発明は上記問題点を解決すべく成され
たものであり、その目的は歩留まりがよく、曲げ形状に
経時変化が起こらず、しかも汎用性の高いリードの曲げ
加工方法を提供することである。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a lead bending method which has a high yield, does not cause a change in bending shape over time, and is highly versatile. Is.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】この発明のリードの曲げ
加工方法は半導体装置本体から延出されたリードの取付
け部を固定し、このリードの先端部を移動が数値制御さ
れる保持部に挟み、保持部を予め設定された軌道に沿っ
て移動させることによりリードの曲げ加工を行うことを
特徴とする。
According to a lead bending method of the present invention, a lead mounting portion extended from a semiconductor device main body is fixed, and a tip portion of the lead is sandwiched by a holding portion whose movement is numerically controlled. The lead bending process is performed by moving the holding unit along a preset track.

【0015】[0015]

【作用】上記したリードの曲げ加工方法によれば、軌道
の設定を変えることでリードの曲げ形状の変更が可能と
なる。
According to the above-described lead bending method, it is possible to change the lead bending shape by changing the trajectory setting.

【0016】[0016]

【実施例】以下図面を参照して、この発明を実施例によ
り説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

【0017】図1はこの発明の第1の実施例に係る曲げ
加工装置の構成図である。図において、10はXテーブル
ユニットであり、移動テーブルがモーター駆動で回転す
る送りねじで左右に移動する。11はXテーブルユニット
10の移動テーブル上に取り付けられたZテーブルユニッ
トであり、移動テーブルがモーター駆動で回転する送り
ねじで上下に移動する。12はメカニカルチャック(リー
ドチャック)であり、回転軸を中心としてモーター駆動
により回転し、回転軸はXテーブルユニット10とZテー
ブルユニット11の双方の中心軸と直交するようにZテー
ブルユニットの移動テーブルに取り付けられている。13
はパッケージクランプの上部であり、14はパッケージク
ランプの下部であり、上部と下部の間に半導体装置を挟
んでリードの中心軸が上記回転軸と直交するように固定
する。
FIG. 1 is a block diagram of a bending apparatus according to the first embodiment of the present invention. In the figure, 10 is an X table unit, and a moving table is moved left and right by a feed screw which is driven by a motor. 11 is an X table unit
It is a Z table unit mounted on 10 moving tables, and the moving table moves up and down by a feed screw that is driven by a motor. Reference numeral 12 is a mechanical chuck (lead chuck), which is driven by a motor to rotate about a rotation axis, and the rotation axis is orthogonal to the central axes of both the X table unit 10 and the Z table unit 11 so that the Z table unit moves. Is attached to. 13
Is the upper part of the package clamp, and 14 is the lower part of the package clamp, and the semiconductor device is sandwiched between the upper part and the lower part and fixed so that the central axis of the lead is orthogonal to the rotation axis.

【0018】上記Xテーブルユニット10とZテーブルユ
ニット11それぞれの移動テーブルの移動およびリードチ
ャック12を回転はCPUからの電気信号により回転が制
御される別々のモーターの駆動力により行われる数値制
御になっている。そして、CPUはROM等の記憶装置
に書き込まれたプログラムにしたがって上記電気信号を
出力する。したがって、リードチャック12に挟んだリー
ドの先端部は上記プログラムに設定されている軌道に沿
って移動する。
The movement of the movable table of each of the X table unit 10 and the Z table unit 11 and the rotation of the lead chuck 12 are numerically controlled by the driving force of separate motors whose rotation is controlled by an electric signal from the CPU. ing. Then, the CPU outputs the electric signal according to the program written in the storage device such as the ROM. Therefore, the tips of the leads sandwiched by the lead chuck 12 move along the trajectory set in the program.

【0019】図2は上記パッケージクランプの上部13と
下部14が半導体装置の樹脂ボディー15とリード16,16…
を挟んでいる断面図である。上部13は褶動基板20とそれ
ぞれ左右一対のボディークランプ21,22とリードクラン
プ23,24から構成されている。ボディークランプ21と22
は褶動基板20の下面側に取り付けられ、それぞれ褶動基
板20上を左右に褶動でき、また固定できるようになって
いる。左リードクランプ23は左ボディークランプ21の左
端に直角に取り付けられ、ボディークランプ21に対して
上下に褶動及び固定することができる。右リードクラン
プ24は右ボディークランプ22の右端に直角に取り付けら
れ、ボディークランプ22に対して上下に褶動及び固定す
ることができる。また、下部14も上部13と同様に褶動基
板25とそれぞれ左右一対のボディークランプ26,27とリ
ードクランプ28,29から構成されており、ボディークラ
ンプ26,27は褶動基板25の上面に取り付けられている。
In FIG. 2, the upper part 13 and the lower part 14 of the package clamp are the resin body 15 of the semiconductor device and the leads 16, 16 ...
It is sectional drawing which has sandwiched. The upper part 13 is composed of a sliding substrate 20, a pair of left and right body clamps 21 and 22 and lead clamps 23 and 24, respectively. Body clamps 21 and 22
Is attached to the lower surface side of the sliding board 20, and can be slid to the left and right on the sliding board 20 and can be fixed. The left lead clamp 23 is attached at a right angle to the left end of the left body clamp 21, and can be vertically slid and fixed with respect to the body clamp 21. The right lead clamp 24 is attached to the right end of the right body clamp 22 at a right angle, and can be vertically slid and fixed with respect to the body clamp 22. Similarly to the upper part 13, the lower part 14 is also composed of a sliding board 25, a pair of left and right body clamps 26 and 27, and lead clamps 28 and 29. The body clamps 26 and 27 are attached to the upper surface of the sliding board 25. Has been.

【0020】半導体装置の大きさを変更した場合は、パ
ッケージクランプの上部13においては、ボディークラン
プ21と22を左右に褶動させ、リードクランプ23と24を上
下に褶動させることで、上記サイズの変更に対応させる
ことができる。また、パッケージクランプの下部14にお
いても、ボディークランプ26と27を左右に褶動させ、リ
ードクランプ28と29を上下に褶動させることで、上記サ
イズの変更に対応させることができる。したがって、こ
のパッケージクランプは半導体装置のサイズ変更に対し
ての汎用性が高い。
When the size of the semiconductor device is changed, in the upper part 13 of the package clamp, the body clamps 21 and 22 are slid to the left and right, and the lead clamps 23 and 24 are slid up and down, so that the size is increased. Can be changed. Further, also in the lower portion 14 of the package clamp, the body clamps 26 and 27 can be slid to the left and right, and the lead clamps 28 and 29 can be slid up and down, so that the above size change can be dealt with. Therefore, this package clamp is highly versatile for changing the size of the semiconductor device.

【0021】次に上記曲げ加工装置によりガルウィング
形状にリードの曲げ加工を行う場合の工程を図3の
(a)〜(d)の工程断面図を用いて説明する。まず、
(a)に示すように樹脂ボディー30をボディークランプ
31で上下から挟んで固定する。このとき、リードクラン
プはリードを挟まないように褶動させておく。そして、
樹脂ボディー30の一側面から延出されている複数のリー
ド32をリードチャック33で挟んで固定する。次に、リー
ド32の先端部がリード32の樹脂ボディー30の延出部を中
心とし、リードの長さを半径とする円弧をリードの中心
線を含む鉛直面内にて描くように上記リードチャック33
を数回往復移動させる予備曲げを行う。このリードチャ
ック33の移動は前記図1を使い説明したように数値制御
により行い、移動の最中にはリード32を引っ張るように
する。この予備曲げを行うことにより既に説明したよう
にリード32のバリ取り工程でリード32に生じた反りを取
り除くことができる。
Next, a process for bending a lead into a gull wing shape by the above bending device will be described with reference to process sectional views of FIGS. First,
As shown in (a), clamp the resin body 30 to the body clamp.
It is pinched from the top and bottom with 31 and fixed. At this time, the lead clamp is slid so that the leads are not pinched. And
A plurality of leads 32 extending from one side surface of the resin body 30 are sandwiched and fixed by a lead chuck 33. Next, the tip of the lead 32 is centered on the extending portion of the resin body 30 of the lead 32, and an arc whose radius is the length of the lead is drawn in the vertical plane including the center line of the lead. 33
Preliminary bending is performed by reciprocating several times. The movement of the lead chuck 33 is performed by numerical control as described with reference to FIG. 1, and the lead 32 is pulled during the movement. By performing this preliminary bending, the warp generated in the lead 32 in the deburring process of the lead 32 can be removed as described above.

【0022】続いて、(b)に示すように樹脂ボディー
30を挟んでいるボディークランプ31を一旦緩めた後に樹
脂ボディー30をボディークランプ31で、リード32の根元
付近をリードクランプ34でそれぞれ上下より挟んで固定
する。そして、リードチャック33をリード32の中心線を
含む鉛直面内にて、リードの固定端を中心とし、リード
チャック33とリードクランプ34の間のリードの長さを半
径とする円弧をチャック33の樹脂ボディー30よりの端部
が描くようにチャック33を下方に移動させる。この移動
の最中、リードチャック33のリードを挟む面は樹脂ボデ
ィー30の上下面と平行になるようにする。このリードチ
ャック33の移動によりリード32はガルウィング形状に曲
がる。
Then, as shown in FIG.
After loosening the body clamp 31 that sandwiches 30, the resin body 30 is fixed by sandwiching the resin body 30 with the body clamp 31 and the vicinity of the root of the lead 32 with the lead clamp 34 from above and below. Then, within the vertical plane including the center line of the lead 32, the lead chuck 33 has an arc centered on the fixed end of the lead and having a radius of the lead length between the lead chuck 33 and the lead clamp 34 of the chuck 33. The chuck 33 is moved downward so that the end portion of the resin body 30 is drawn. During this movement, the surfaces of the lead chuck 33 that sandwich the leads are parallel to the upper and lower surfaces of the resin body 30. The movement of the lead chuck 33 causes the lead 32 to bend into a gull wing shape.

【0023】さらに、(c)に示すようにリードチャッ
ク33を樹脂ボディー30に近づくように移動させて、上側
のリードチャック33と下側のリードクランプ34の側面の
間にリード32の中央部を挟むキメ曲げを行う。ところ
で、(b)に示したように上側のリードチャック33と下
側のリードクランプ34の側面は共に鉛直面より10°程
度の逃げ角θが出来るように作られている。したがっ
て、キメ曲げによりリード32の屈曲部は直角より逃げ角
θだけ小さい鋭角に曲がる。
Further, as shown in (c), the lead chuck 33 is moved so as to approach the resin body 30, and the central portion of the lead 32 is placed between the side surfaces of the upper lead chuck 33 and the lower lead clamp 34. Bend the pinch. By the way, as shown in (b), the side surfaces of the upper lead chuck 33 and the lower lead clamp 34 are both formed to have a clearance angle θ of about 10 ° from the vertical plane. Therefore, the bent portion of the lead 32 is bent at an acute angle smaller than the right angle by the clearance angle θ due to the bending.

【0024】そして、リードチャック33を緩めるて、リ
ード32を解放する。すると、リード32はリードチャック
33から受けていた応力がなくなるため、弾性によりスプ
リングバックを起こし、リード32の屈曲部は逃げ角θ程
度戻って90°程度になる。上記キメ曲げはリードがス
プリングバックしたときに設計通りの曲げ形状が得られ
るようにするために行っている。ところで、逃げ角θの
設定を大きくすることでスプリングバック後のリード32
の屈曲部を鋭角にすることも可能である。また、キメ曲
げの角度は逃げ角θ以下であれば任意に変更することが
可能である。そして、スプリングバックによりリードは
外側に開くが、キメ曲げを行っているため、従来よりも
少ない面積で配線基板に実装することができる。そし
て、ボディークランプ31とリードクランプ34を開いて半
導体装置を曲げ加工装置より取り出して、リードの曲げ
加工が終了する。
Then, the lead chuck 33 is loosened to release the lead 32. Then, the lead 32 becomes the lead chuck.
Since the stress received from 33 disappears, springback occurs due to elasticity, and the bent portion of the lead 32 returns to an escape angle θ of about 90 °. The above-described bending is performed so that the bent shape as designed can be obtained when the lead springs back. By the way, by increasing the clearance angle θ, the lead 32
It is also possible to make the bent part of the acute angle. Further, the texture bending angle can be arbitrarily changed as long as it is equal to or less than the clearance angle θ. Then, although the leads open outward due to the spring back, since the leads are bent to a certain extent, they can be mounted on the wiring board with a smaller area than before. Then, the body clamp 31 and the lead clamp 34 are opened, the semiconductor device is taken out from the bending device, and the lead bending process is completed.

【0025】上記曲げ加工方法においては、数値制御に
より移動するリードリードチャックの軌道を変更するこ
とにより、リードの曲げ形状を変えることができる。ま
た、材質等の変更によりリードのスプリングバックの大
きさが変わっても、やはりキメ曲げ工程でのリードチャ
ックの軌道を変更するだけで、スプリングバックの変動
量をキャンセルすることができる。そして、軌道の変更
はプログラムの変更で済むため、金型を作り替えるより
も迅速に、しかも安価に行うことが出来る。なお、予備
曲げおよびキメ曲げは必要ない場合には実施しなくとも
よい。
In the above bending method, the bending shape of the lead can be changed by changing the trajectory of the lead / read chuck that moves by numerical control. Further, even if the size of the spring back of the lead is changed due to the change of the material or the like, the variation of the spring back can be canceled by simply changing the track of the lead chuck in the texture bending process. Since the change of the trajectory can be made by changing the program, it can be performed more quickly and at a lower cost than changing the mold. It should be noted that preliminary bending and texture bending may not be performed if they are unnecessary.

【0026】また、実施例ではリードはリードチャック
により挟まれているので、従来のように曲げ加工の際に
リード相互の間隔が変わるように曲がることはない。し
たがって、この実施例では曲げ加工の際にリード相互の
間隔が変わってしまい、配線基板に実装できなくなるよ
うなことがない。さらに、曲げ加工の際にリード表面を
擦らないので、リード表面の削り屑によりリード間で電
気的ショートが起こることがない。したがって、従来の
曲げ加工においては歩留まり低下の原因であったリード
間隔の狂い、およびリード間のショートが実施例では発
生しないので歩留まりが向上する。
Further, in the embodiment, since the leads are sandwiched by the lead chucks, unlike the conventional case, the leads are not bent so that the distance between the leads changes during bending. Therefore, in this embodiment, the intervals between the leads do not change during the bending process, and the leads cannot be mounted on the wiring board. Furthermore, since the surface of the lead is not rubbed during bending, electrical shorts between the leads do not occur due to shavings on the surface of the lead. Therefore, in the embodiment, since the lead interval deviation and the lead-to-lead short circuit which are the causes of the yield reduction in the conventional bending process do not occur in the embodiment, the yield is improved.

【0027】また、実施例では予備曲げを行うことによ
りリードの反りを無くすことができるので、半導体装置
の固定をバネで行う必要がないため、バネ力の減衰に伴
うリードの曲げ形状に起きる経時変化を無くすことがで
きる。
Further, in the embodiment, since the warp of the lead can be eliminated by performing the pre-bending, it is not necessary to fix the semiconductor device with the spring. Change can be eliminated.

【0028】図4はこの発明の第2の実施例に係るSO
Pの半導体装置の斜視図である。図において、40は樹脂
により成型された樹脂ボディーであり、内部には半導体
チップが封止されている。41,41…は半導体チップに設
けられた端子と接続されているリードであり、樹脂ボデ
ィー40の側壁より外部に延出されている。樹脂ボディー
40の側壁はリード延出部の高さから下の部分が外側に突
出て階段状になっている。この階段状部分の側面は下を
向いて傾いており、上面から側面にかけては各リード41
が丁度はまる溝42がそれぞれに対して形成されている。
各リード41はそれぞれ溝42にはまっており、ガルウィン
グ形状に曲げられている。
FIG. 4 shows an SO according to the second embodiment of the present invention.
It is a perspective view of the semiconductor device of P. In the figure, 40 is a resin body molded of resin, and a semiconductor chip is sealed inside. 41, 41 ... Leads connected to terminals provided on the semiconductor chip, and extend from the side wall of the resin body 40 to the outside. Resin body
The side wall of 40 has a step-like shape with the lower part protruding outward from the height of the lead extension part. The side surface of this staircase portion is inclined downward, and each lead 41 extends from the top surface to the side surface.
A groove 42 is formed for each of them to fit into it.
Each lead 41 is fitted in a groove 42 and bent into a gull wing shape.

【0029】上記リード41,41…の曲げ加工方法はリー
ドクランプの使い方が異なるだけでその他は図3を使っ
て説明した通りである。第1の実施例ではリードクラン
プ34で直接リード32の根元付近を挟んでいるが、この実
施例では上記階段状部分の上面と下面をリードクランプ
34で挟むことにより階段状部分の溝42,42…にはまって
いるリード41,41…を挟むようにする。また、階段状部
分の側面は下向きに傾いているので、リード41,41…の
屈曲部を鋭角にキメ曲げを行うことができる。したがっ
て、リードチャック33を開放してリード41,41…がスプ
リングバックしたときに、上記屈曲部を90度あるいは
鋭角にすることが出来る。
The method of bending the leads 41, 41 ... is different only in the use of the lead clamps, and the rest is as described with reference to FIG. In the first embodiment, the lead clamp 34 directly sandwiches the vicinity of the root of the lead 32, but in this embodiment, the upper and lower surfaces of the stepped portion are lead clamped.
The leads 41, 41, which are fitted into the grooves 42, 42 of the step-like portion by sandwiching the leads 34, are sandwiched. Further, since the side surface of the stepped portion is inclined downward, the bent portions of the leads 41, 41 ... Can be bent at an acute angle. Therefore, when the lead chuck 33 is opened and the leads 41, 41 ... Spring-back, the bent portion can be made 90 degrees or an acute angle.

【0030】第2の実施例ではリード41,41…が樹脂ボ
ディー40に設けられた溝42,42…にはまっているので、
リード41,41…が搬送中にぶつかり間隔が変わることは
ほとんどない。したがって、第2の実施例では製造工程
中だけではなく、製造後もリードの間隔が変わってしま
い配線基板に実装できなくなることを防げる。
In the second embodiment, the leads 41, 41, ... Are fitted in the grooves 42, 42 ..
The leads 41, 41, and the like collide with each other during transportation, and the interval is hardly changed. Therefore, in the second embodiment, it is possible to prevent the lead interval from changing not only during the manufacturing process but also after the manufacturing process, which prevents mounting on the wiring board.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
歩留まりがよく、曲げ形状に経時変化が起こらず、しか
も汎用性の高いリードの曲げ加工方法を提供することが
できる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a lead bending method which has a high yield, does not cause a change in bending shape over time, and has high versatility.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施例方法で使用されるリードの曲
げ加工装置の構成図。
FIG. 1 is a configuration diagram of a lead bending apparatus used in an embodiment method of the present invention.

【図2】この発明の実施例方法で使用されるリードの曲
げ加工装置のパッケージクランプ部の断面図。
FIG. 2 is a sectional view of a package clamp portion of a lead bending apparatus used in the method according to the embodiment of the present invention.

【図3】この発明の第1の実施例に係るリードの曲げ加
工の工程断面図。
FIG. 3 is a process cross-sectional view of a lead bending process according to the first embodiment of the present invention.

【図4】この発明の第2の実施例に係る半導体装置の斜
視図。
FIG. 4 is a perspective view of a semiconductor device according to a second embodiment of the present invention.

【図5】従来の半導体装置の斜視図。FIG. 5 is a perspective view of a conventional semiconductor device.

【図6】従来の半導体装置の斜視図。FIG. 6 is a perspective view of a conventional semiconductor device.

【図7】リードの曲げ加工に用いる金型の断面図。FIG. 7 is a cross-sectional view of a mold used for bending a lead.

【図8】金型によるリードの曲げ加工の工程断面図。FIG. 8 is a sectional view of a lead bending process using a mold.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…Xテーブルユニット、11…Zテーブルユニット、1
2,33…メカニカルチャック、13…パッケージクランプ
上部、14…パッケージクランプ下部、15,30,40…樹脂
ボディー、16,32,41…リード、20,25…褶動基板、2
1,22,26,27,31…ボディークランプ、23,24,28,2
9、33…リードクランプ、42…溝。
10 ... X table unit, 11 ... Z table unit, 1
2, 33 ... Mechanical chuck, 13 ... Package clamp upper part, 14 ... Package clamp lower part, 15, 30, 40 ... Resin body, 16, 32, 41 ... Lead, 20, 25 ... Sliding board, 2
1, 22, 26, 27, 31… Body clamp, 23, 24, 28, 2
9, 33 ... Lead clamp, 42 ... Groove.

フロントページの続き (72)発明者 越前谷 正信 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1番地 株 式会社東芝多摩川工場内Front page continuation (72) Inventor Masanobu Echizenya 1 Komukai Toshiba-cho, Sachi-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Stock company Toshiba Tamagawa factory

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体装置本体から延出されたリードの
取付け部を固定し、このリードの先端部を移動が数値制
御される保持部に挟み、保持部を予め設定された軌道に
沿って移動させることによりリードの曲げ加工を行うよ
うにしたリードの曲げ加工方法。
1. A mounting portion of a lead extending from a semiconductor device main body is fixed, a tip portion of the lead is sandwiched by a holding portion whose movement is numerically controlled, and the holding portion is moved along a preset trajectory. A method of bending a lead in which the bending of the lead is performed by doing so.
【請求項2】 上記半導体装置本体にリード延出部から
装置本体の下面に至る少なくともリードよりも幅の広い
縦溝が形成されていることを特徴とする請求項1のリー
ドの曲げ加工方法。
2. The method for bending a lead according to claim 1, wherein the semiconductor device body is provided with a vertical groove extending from the lead extending portion to the lower surface of the device body and having a width wider than at least the lead.
【請求項3】 半導体装置本体を固定し、この半導体装
置本体から延出されたリードの先端部を移動が数値制御
される保持部に挟み、このリードの保持部がリードと半
導体装置本体との取付け部を中心とし、リードの長さを
半径とする円弧をリードの中心線を含む鉛直面内にて描
くように、かつリードに張力が加わる状態で保持部を数
回往復移動させることを予め行うことを特徴とする請求
項1又は2に記載のリードの曲げ加工方法。
3. A semiconductor device main body is fixed, and a tip portion of a lead extended from the semiconductor device main body is sandwiched by a holding portion whose movement is numerically controlled, and the holding portion of the lead connects the lead and the semiconductor device main body. It is necessary to reciprocally move the holding part several times while drawing an arc centered on the mounting part and having the radius of the lead as a radius in the vertical plane including the center line of the lead and applying tension to the lead. The method for bending a lead according to claim 1 or 2, wherein the method is performed.
【請求項4】 上記軌道はリードの保持部に挟まれた部
分が半導体装置本体の主平面と平行な状態を保たせなが
ら、リードの中心線を含む鉛直面内にリードの固定端を
中心とし、リードの固定部と保持部の間の長さを半径と
する円弧をリードの保持部が描くように保持部を下方に
移動し、この移動がリードの固定部と保持部を結ぶ直線
と半導体装置本体の主平面が成す角が鋭角になるまで行
われる設定になっていることを特徴とする請求項1又は
2に記載のリードの曲げ加工方法。
4. The track is centered on the fixed end of the lead in a vertical plane including the center line of the lead while keeping the portion sandwiched by the holding portions of the lead parallel to the main plane of the semiconductor device body. , The holding portion of the lead is moved downward so that the holding portion of the lead draws an arc whose radius is the length between the fixing portion of the lead and the holding portion, and this movement causes a straight line connecting the fixing portion of the lead and the holding portion with the semiconductor. The lead bending method according to claim 1 or 2, wherein the setting is performed until the angle formed by the main plane of the device body becomes an acute angle.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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