JPH0664193U

JPH0664193U - 電磁アクチュエータを用いた３軸６自由度振動台

Info

Publication number: JPH0664193U
Application number: JP389993U
Authority: JP
Inventors: 龍児中野; 幹雄鷹野; 憲一箭野; 浩史緑川; 孝之水野; 立太片村
Original assignee: Ebara Corp; Kajima Corp
Current assignee: Ebara Corp; Kajima Corp
Priority date: 1993-02-10
Filing date: 1993-02-10
Publication date: 1994-09-09
Anticipated expiration: 2007-08-20
Also published as: JP2544819Y2

Abstract

(57)【要約】【目的】ノイズの影響を防止する。【構成】振動台１を複数の電磁アクチュエータ１０で
支持し、該アクチュエータ１０に鉛直方向浮上用兼制御
用電磁石１９、水平方向制御用電磁石１７と、ギャップ
センサ２０とを設け、各電磁石１７、１９を制御する制
御回路を設ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電磁アクチュエータを用いた３軸６自由度振動台に関する。

【０００２】

【従来の技術】

かかる振動台の支持には、従来、静圧軸受が用いられていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

従来の静圧軸受を用いた振動台においては、摩擦等によるノイズの影響が大きい不具合がある。

【０００４】本考案はノイズの影響を防止する電磁アクチュエータを用いた３軸６自由度振動台を提供することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案によれば、振動台を複数の電磁アクチュエータで支持し、該電磁アクチュエータに、鉛直方向浮上用電磁石、鉛直方向制御用電磁石及び水平方向制御用電磁石と、鉛直方向及び水平方向の変位センサとを設け、これら変位センサからの信号に基づき前記各電磁石を制御する制御回路を設けている。

【０００６】

【作用】

上記のように構成された電磁アクチュエータを用いた３軸６自由度振動台においては、鉛直方向浮上用電磁石により振動台を浮上させて従来のノイズの影響を大幅に低減する。

【０００７】また、制御回路は各変位センサからの信号に基づき、鉛直方向制御用及び水平方向制御用の電磁石を独立に制御し、それぞれの軸方向とそれらの軸回りの回転とを合せた６自由度の任意の振動を発生させる。

【０００８】

【実施例】

以下図面を参照して本考案の実施例を説明する。

【０００９】図１及び図２において、振動台１は、複数（図示の例では４個）の全体を符号１０で示す電磁アクチュエータにより床Ｆに支持されている。

【００１０】図３において、電磁アクチュエータ１０には、振動台１を支持するロータ１１が設けらけている。そのロータ１１には、振動台支持フランジ１２、鉛直部１３及び浮上用フランジ１４が形成されている。

【００１１】また、ステータ１５には、鉛直部１３及び浮上用フランジ１４を隙間を設けて収める溝１６が形成されている。その溝１６の鉛直部１３に対向する部分には、水平方向制御用電磁石１７が設けられ、浮上用フランジ１４の上面に対向する部分には、鉛直方向浮上用兼制御用電磁石１９が設けられており、溝１６の底面中央には、鉛直ギャップセンサ２０が設けられている。また、振動台１の下面には、鉛直方向の加速度センサ２１と水平方向の加速度センサ２２とが設けられている。

【００１２】他方、コントローラ３０は、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向についてそれぞれ補償回路３１、３３、パワーアップ３２、３４から成っている。

【００１３】次に、制御の態様について説明する。

【００１４】ロータ１１は、電磁石１９により浮上用フランジ１４を介して浮上されて振動台１を支持し、従来のノイズの影響を大幅に低減する。

【００１５】鉛直方向については、加速度信号を入力信号とし、浮上量、振動台上加速度をフィードバックすることで正確に入力信号を再現することができる。

【００１６】水平方向（Ｘ、Ｙ方向）については、振動台上の加速度をフィードバックすることで正確に入力信号を再現することができる。このようにして、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向及びＸ、Ｙ、Ｚ軸回りの回転方向のあわせて６自由度の任意の振動の発生が可能となる。

【００１７】図４及び図５は、本考案の別の実施例を示し、振動台１に加振モータ２を連結し、電磁アクチュエータ１０Ａに浮上用電磁石１９だけを設け、加振台１に鉛直方向加速度センサ２１だけを設けて他を実質的に図２と同様に構成した例である。この実施例では、浮上用電磁石１９で振動台１を浮上支持し、単に軸受として利用し、加振モータ２で振動台１に振動を発生させている。

【００１８】

【考案の効果】

本考案は、以上説明したように構成されているので、電磁アクチュエータにより振動台を非接触に支持し、従来の静圧軸受による場合のノイズを大幅に低減することができる。

【００１９】また、静圧軸受による油の飛散をなくし、メンテナンスを略フリーにすることができ、更に、油の剪断抵抗による駆動力のロスをなくし、経費を節減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す側面図。

【図２】図１の平面図。

【図３】図１の制御回路図。

【図４】本考案の別の実施例を示す側面図。

【図５】図４の制御回路図。

【符号の説明】１・・・振動台２・・・加振モータ１０、１０Ａ・・・電磁アクチュエータ１１・・・ロータ１２・・・振動台支持フランジ１３・・・鉛直部１４・・・浮上用フランジ１５・・・ステータ１６・・・溝１７・・・水平方向制御用電磁石１９・・・鉛直方向浮上用兼制御用電磁石２０・・・鉛直ギャップセンサ２１・・・鉛直方向加速度センサ２２・・・水平方向加速度センサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者箭野憲一東京都調布市飛田給二丁目19番１号鹿島建設株式会社技術研究所内 (72)考案者緑川浩史東京都調布市飛田給二丁目19番１号鹿島建設株式会社技術研究所内 (72)考案者水野孝之東京都調布市飛田給二丁目19番１号鹿島建設株式会社技術研究所内 (72)考案者片村立太東京都調布市飛田給二丁目19番１号鹿島建設株式会社技術研究所内

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】振動台を複数の電磁アクチュエータで支
持し、該電磁アクチュエータに、鉛直方向浮上用電磁
石、鉛直方向制御用電磁石及び水平方向制御用電磁石
と、鉛直方向及び水平方向の変位センサとを設け、これ
ら変位センサからの信号に基づき前記各電磁石を制御す
る制御回路を設けたことを特徴とする電磁アクチュエー
タを用いた３軸６自由度振動台。