JPH0663837B2 - ▲遂▼次定量形発光分析装置 - Google Patents
▲遂▼次定量形発光分析装置Info
- Publication number
- JPH0663837B2 JPH0663837B2 JP58025202A JP2520283A JPH0663837B2 JP H0663837 B2 JPH0663837 B2 JP H0663837B2 JP 58025202 A JP58025202 A JP 58025202A JP 2520283 A JP2520283 A JP 2520283A JP H0663837 B2 JPH0663837 B2 JP H0663837B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- slit
- grating
- exit slit
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 20
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/32—Investigating bands of a spectrum in sequence by a single detector
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は遂次定量形発光分析装置に関し、特に定量精度
を高くするための新規な改良である。
を高くするための新規な改良である。
従来用いられてきたこの種の装置としては、第１図に示
す構成がとられていた。第１図において符号１は光源で
符号２は集光レンズで前記光源１の像を入射スリット３
に結像する。符号４は石英屈折板で前記入射スリット３
とコリメーターミラー５の中心を結ぶ線内に設置され紙
面に垂直な軸の回りに回転自在である。また、この回転
は石英屈折板駆動回路によって制御する。前記石英屈折
板を前記駆動回路により回転することにより、前記入射
スリット３から入った光がグレーティング６に入射する
入射角αを変化することができる。前記グレーティング
６は紙面に垂直な軸の回りで回転自在に設置され、その
回転はグレーティング駆動回路１１により制御される。
前記グレーティングの作用により、 λ＝ｄ（sinα＋sinβ） ｄ：グレーティングの溝間隔 α：入射角 β：回折角 λ：波長 上式を満足する波長λの光だけが、カメラミラー７で出
射スリット８に結像され光電検出器９で電流に変換され
る。符号１０のデータ処理回路により前記光電検出器９
の出力電流を加え、前記データ処理回路に記憶した検量
線により元素濃度に変換し表示する。上記の構成におい
て、出射スリット８から取り出される波長λを変化させ
るためには、グレーティング６の回転と石英屈折板４に
よって実現されており、波長λの変化速度は、グレーテ
ィング６の回転により約３００nm／min石英屈折板４の
回転により１nm／minとし、最小波長変位量をそれぞれ
0.01mmおよび0.0001mm程度にとられている。即ちグレー
ティング６を粗く回転し、波長走査速度を速くし、石英
屈折板で細く波長走査を行い、以上２種類の波長走査法
を組み合わせることにより、高速で精密な波長走査を実
現している。しかし前記構成では、波長の微送りに石英
屈折板４の回転を利用するため、入射スリット３から入
射した光の一部が石英屈折板で反射され、しかも石英屈
折板の回転角によって反射率が異なる。
す構成がとられていた。第１図において符号１は光源で
符号２は集光レンズで前記光源１の像を入射スリット３
に結像する。符号４は石英屈折板で前記入射スリット３
とコリメーターミラー５の中心を結ぶ線内に設置され紙
面に垂直な軸の回りに回転自在である。また、この回転
は石英屈折板駆動回路によって制御する。前記石英屈折
板を前記駆動回路により回転することにより、前記入射
スリット３から入った光がグレーティング６に入射する
入射角αを変化することができる。前記グレーティング
６は紙面に垂直な軸の回りで回転自在に設置され、その
回転はグレーティング駆動回路１１により制御される。
前記グレーティングの作用により、 λ＝ｄ（sinα＋sinβ） ｄ：グレーティングの溝間隔 α：入射角 β：回折角 λ：波長 上式を満足する波長λの光だけが、カメラミラー７で出
射スリット８に結像され光電検出器９で電流に変換され
る。符号１０のデータ処理回路により前記光電検出器９
の出力電流を加え、前記データ処理回路に記憶した検量
線により元素濃度に変換し表示する。上記の構成におい
て、出射スリット８から取り出される波長λを変化させ
るためには、グレーティング６の回転と石英屈折板４に
よって実現されており、波長λの変化速度は、グレーテ
ィング６の回転により約３００nm／min石英屈折板４の
回転により１nm／minとし、最小波長変位量をそれぞれ
0.01mmおよび0.0001mm程度にとられている。即ちグレー
ティング６を粗く回転し、波長走査速度を速くし、石英
屈折板で細く波長走査を行い、以上２種類の波長走査法
を組み合わせることにより、高速で精密な波長走査を実
現している。しかし前記構成では、波長の微送りに石英
屈折板４の回転を利用するため、入射スリット３から入
射した光の一部が石英屈折板で反射され、しかも石英屈
折板の回転角によって反射率が異なる。
従って石英屈折板を透過する光量が石英屈折板の回転角
に依存し、入射光の強さが同一でも光電検出器９で検出
される電流が石英屈折板の回転角に依存し、定量精度が
低下する欠点を有した。また石英屈折板の屈折率が波長
により変化するため、出射スリット８の結像状態が波長
により変化し分解能が悪化する欠点があった。
に依存し、入射光の強さが同一でも光電検出器９で検出
される電流が石英屈折板の回転角に依存し、定量精度が
低下する欠点を有した。また石英屈折板の屈折率が波長
により変化するため、出射スリット８の結像状態が波長
により変化し分解能が悪化する欠点があった。
本発明は以上のような欠点をすみやかに除去するための
極めて効果的な手段を提供することを目的とするもので
特に石英屈折板４を除去し、出射スリット駆動機構と出
射スリット駆動回路を設けた構成である。以下図面と共
に本発明について詳細に説明する。
極めて効果的な手段を提供することを目的とするもので
特に石英屈折板４を除去し、出射スリット駆動機構と出
射スリット駆動回路を設けた構成である。以下図面と共
に本発明について詳細に説明する。
第２図は本発明の一実施例を示す。図中１は光源で２は
集光レンズで３は入射スリットである。５はコリメータ
ミラーで６はグレーティングであり、紙面に垂直な軸の
回りに回転自在に設けられており、この回転はグレーテ
ィング駆動回路により制御する。７はカメラミラーで１
３は移動出射スリットで紙面内の上下方向に移動自在に
設けられており、出射スリット駆動回路１４により出射
スリットの位置を制御する。前記移動出射スリットの直
後には光電検出器９を設置し、前記光電検出器の出力電
流をデータ処理回路１０で処理する構成である。
集光レンズで３は入射スリットである。５はコリメータ
ミラーで６はグレーティングであり、紙面に垂直な軸の
回りに回転自在に設けられており、この回転はグレーテ
ィング駆動回路により制御する。７はカメラミラーで１
３は移動出射スリットで紙面内の上下方向に移動自在に
設けられており、出射スリット駆動回路１４により出射
スリットの位置を制御する。前記移動出射スリットの直
後には光電検出器９を設置し、前記光電検出器の出力電
流をデータ処理回路１０で処理する構成である。
次に、以上のような構成における本発明の動作について
説明する。光源１で励起発光した光は集光レンズ２によ
り入射スリット３に結像する。前記入射スリット３を通
過する光はコリメータミラー５によって入射角αでグレ
ーティング６に入射する。グレーティング６の作用によ
り、回折角βを持つ波長λβの光がカメラミラー７によ
り移動出射スリット１３に結像し光電検出器９に波長λ
βの光が取り出される。また同時に回折角β＋Δβを持
つ波長λβ＋Δβの光がカメラミラー７により移動出射
スリット１３の下側にΔχ離れた位置に結像する。ここ
で前記移動出射スリット１３を出射スリット駆動回路に
よりΔχだけ下側に移動すると波長λβ＋Δβの光を光
電検出器９に取り出すことができる。即ち移動出射スリ
ットを紙面の上下に移動することにより光電検出器９に
取り出す光の波長を変えることができる。これは従来の
構成における石英屈折板４の働きを移動出射スリット１
３で実現している。次に前記ΔβとΔｘの関係について
述べるとΔχ＝ｆ・Δβ（ここでｆはカメラミラー７の
焦点距離で普通５００〜１０００mmである）となりΔβ
がｆ倍に拡大されΔχとなるので非常に精密な波長送り
が実現できる。波長の粗送りは、従来の構成と全く同一
でグレーティング６の回転により行う。
説明する。光源１で励起発光した光は集光レンズ２によ
り入射スリット３に結像する。前記入射スリット３を通
過する光はコリメータミラー５によって入射角αでグレ
ーティング６に入射する。グレーティング６の作用によ
り、回折角βを持つ波長λβの光がカメラミラー７によ
り移動出射スリット１３に結像し光電検出器９に波長λ
βの光が取り出される。また同時に回折角β＋Δβを持
つ波長λβ＋Δβの光がカメラミラー７により移動出射
スリット１３の下側にΔχ離れた位置に結像する。ここ
で前記移動出射スリット１３を出射スリット駆動回路に
よりΔχだけ下側に移動すると波長λβ＋Δβの光を光
電検出器９に取り出すことができる。即ち移動出射スリ
ットを紙面の上下に移動することにより光電検出器９に
取り出す光の波長を変えることができる。これは従来の
構成における石英屈折板４の働きを移動出射スリット１
３で実現している。次に前記ΔβとΔｘの関係について
述べるとΔχ＝ｆ・Δβ（ここでｆはカメラミラー７の
焦点距離で普通５００〜１０００mmである）となりΔβ
がｆ倍に拡大されΔχとなるので非常に精密な波長送り
が実現できる。波長の粗送りは、従来の構成と全く同一
でグレーティング６の回転により行う。
さらに、前記移動出射スリット１３は本体ケース１５の
出射側に装着されると共に、前記入射スリット３も本体
ケース１５の入射側に装着されている。
出射側に装着されると共に、前記入射スリット３も本体
ケース１５の入射側に装着されている。
前記移動出射スリット１３は第４図に示されるように、
本体ケース１５に移動自在に設けられた移動板１６の一
面に添着されていると共に、この移動板１６は支点Ａに
より軸支され回動自在に設けられた作動棒１７の一端に
ローラ１８を介して矢印Ｂの方向に摺動可能に設けられ
ており、この作動棒１７の下端は偏心カムローラ１９の
外周面に接している。従って、この偏心カムローラ１９
を回転させると、作動棒１７を介して移動板１６が前記
移動出射スリット１３の孔の長手方向と直交する方向
（矢印Ｂ）に移動自在に設けられている。
本体ケース１５に移動自在に設けられた移動板１６の一
面に添着されていると共に、この移動板１６は支点Ａに
より軸支され回動自在に設けられた作動棒１７の一端に
ローラ１８を介して矢印Ｂの方向に摺動可能に設けられ
ており、この作動棒１７の下端は偏心カムローラ１９の
外周面に接している。従って、この偏心カムローラ１９
を回転させると、作動棒１７を介して移動板１６が前記
移動出射スリット１３の孔の長手方向と直交する方向
（矢印Ｂ）に移動自在に設けられている。
以上のように本発明の構成によれば、波長の微送りに、
石英屈折板を用いないので、石英屈折板の回転角に依存
した石英屈折板の透過率の変化が生じないので光電検出
器９に取り出される光の度は移動出射スリット１３の位
置に関係なく変化しない。従ってデータ処理回路１０に
記憶された検量線により前記光強度を前記データ処理回
路１０で濃度に変換したとき、高い精度が得られる。ま
た波長に依存した屈折率の変化もないので、カメラミラ
ー７で正確に移動出射スリット１３に結像し、分解能も
優れている。
石英屈折板を用いないので、石英屈折板の回転角に依存
した石英屈折板の透過率の変化が生じないので光電検出
器９に取り出される光の度は移動出射スリット１３の位
置に関係なく変化しない。従ってデータ処理回路１０に
記憶された検量線により前記光強度を前記データ処理回
路１０で濃度に変換したとき、高い精度が得られる。ま
た波長に依存した屈折率の変化もないので、カメラミラ
ー７で正確に移動出射スリット１３に結像し、分解能も
優れている。
第１図は従来装置の構成を示す図であり、第２図は本発
明による構成の１例である。第３図は本体ケースであ
り、第４図は移動出射スリットの構造図である。 １……光源 ２……集光レンズ ３……入射スリット ４……石英屈折板 ５……コリメータミラー ６……グレーティング ７……カメラミラー ８……出射スリット ９……光電検出器 １０……データ処理回路 １１……グレーティング駆動回路 １２……石英屈折板駆動回路 １３……移動出射スリット １４……出射スリット駆動回路 １５……本体ケース １６……移動板 １７……作動棒 １８……ローラー １９……偏心カムローラー
明による構成の１例である。第３図は本体ケースであ
り、第４図は移動出射スリットの構造図である。 １……光源 ２……集光レンズ ３……入射スリット ４……石英屈折板 ５……コリメータミラー ６……グレーティング ７……カメラミラー ８……出射スリット ９……光電検出器 １０……データ処理回路 １１……グレーティング駆動回路 １２……石英屈折板駆動回路 １３……移動出射スリット １４……出射スリット駆動回路 １５……本体ケース １６……移動板 １７……作動棒 １８……ローラー １９……偏心カムローラー
Claims (1)
- 【請求項１】試料を励起する光を発光する光源と、 前記光を結像する集光レンズと、 結像した前記光を通過させる入射スリットと、 前記入射スリットを通過した光を反射するコリメータミ
ラーと、 前記コリメータミラーにより反射した光を分光するグレ
ーティングと、 前記グレーティングを回転させるグレーティング駆動回
路と、 前記グレーティングにより分光された光を結像するカメ
ラミラーと、 前記カメラミラーにより結像された光をスリット孔を介
して通過させ、前記スリット孔の長手方向と直交する方
向に移動自在な出射スリットと、 前記出射スリットの移動を制御する出射スリット駆動回
路と、 前記出射スリットを通過した光を検出する光電検出器
と、 前記光検出器の検出した光に応じた出力データを処理す
るデータ処理回路よりなり、 前記出射スリットを移動させることにより精密な波長送
りをすることを特徴とする逐次定量形発光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58025202A JPH0663837B2 (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | ▲遂▼次定量形発光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58025202A JPH0663837B2 (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | ▲遂▼次定量形発光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59151027A JPS59151027A (ja) | 1984-08-29 |
| JPH0663837B2 true JPH0663837B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=12159360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58025202A Expired - Lifetime JPH0663837B2 (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | ▲遂▼次定量形発光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0663837B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6357531U (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-16 | ||
| JPH0485130U (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-23 | ||
| JP6316064B2 (ja) | 2014-03-31 | 2018-04-25 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910484B2 (ja) * | 1976-03-27 | 1984-03-09 | アンリツ株式会社 | 分光計 |
| JPS57110451U (ja) * | 1980-12-25 | 1982-07-08 |
-
1983
- 1983-02-17 JP JP58025202A patent/JPH0663837B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59151027A (ja) | 1984-08-29 |
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