JPH0660003B2 - 超微粒子の製造方法およびその装置 - Google Patents
超微粒子の製造方法およびその装置Info
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- JPH0660003B2 JPH0660003B2 JP60163746A JP16374685A JPH0660003B2 JP H0660003 B2 JPH0660003 B2 JP H0660003B2 JP 60163746 A JP60163746 A JP 60163746A JP 16374685 A JP16374685 A JP 16374685A JP H0660003 B2 JPH0660003 B2 JP H0660003B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/14—Methods for preparing oxides or hydroxides in general
- C01B13/20—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は金属酸化物超微粒子の製造方法およびその装置
に関し、その用途は例えば触媒担体表面に付着させ担体
表面積を増加させることによって触媒の担持効率や触媒
効率の向上を図るための金属酸化物超微粒子の製造や、
高特性セラミック原料を製造するための原料粉末である
金属酸化物超微粒子の製造等に用いられて有効なもので
ある。
に関し、その用途は例えば触媒担体表面に付着させ担体
表面積を増加させることによって触媒の担持効率や触媒
効率の向上を図るための金属酸化物超微粒子の製造や、
高特性セラミック原料を製造するための原料粉末である
金属酸化物超微粒子の製造等に用いられて有効なもので
ある。
従来、金属酸化物超微粒子の製造方法としては、例えば
加熱源としてレーザー光線を用いて、金属酸化物等を加
熱蒸発させて超微粒子化する方法が特開昭５６−１３６
６３４号公報に、またアークプラズマスパッタリングを
用いて高温プラズマ状態とし、これを凝縮させる方法が
特開昭５６−１３６６３５号公報にそれぞれ開示されて
いる。
加熱源としてレーザー光線を用いて、金属酸化物等を加
熱蒸発させて超微粒子化する方法が特開昭５６−１３６
６３４号公報に、またアークプラズマスパッタリングを
用いて高温プラズマ状態とし、これを凝縮させる方法が
特開昭５６−１３６６３５号公報にそれぞれ開示されて
いる。
しかしながら上記の如き従来の製造方法にあっては、レ
ーザー光線や、アークプラズマを発生する装置は非常に
複雑で大型でありまた高価である。そして、同時に生産
性も低いという問題点があった。
ーザー光線や、アークプラズマを発生する装置は非常に
複雑で大型でありまた高価である。そして、同時に生産
性も低いという問題点があった。
そこで本発明は上記の如き問題点を解決するために、溶
融金属に対して高速気流を吹きつけることによって金属
微粉粒を分散させた気流を発生させ、前記気流中に分散
された前記金属微粉粒をただちに蒸発させるとともに酸
化させて金属酸化物超微粒子を形成させる超微粒子の製
造方法を提供するものである。
融金属に対して高速気流を吹きつけることによって金属
微粉粒を分散させた気流を発生させ、前記気流中に分散
された前記金属微粉粒をただちに蒸発させるとともに酸
化させて金属酸化物超微粒子を形成させる超微粒子の製
造方法を提供するものである。
また、溶融金属に対して高速気流を吹きつけることによ
って金属微粉粒を分散させた気流を発生させる金属微粉
粒供給手段と、該金属微粉粒供給手段の直下に設けら
れ、前記気流中に存在する前記金属微粉粒を蒸発させる
とともに酸化させて金属酸化物超微粒子を形成させる火
炎発生手段とを備えた超微粒子の製造装置を提供するも
のである。
って金属微粉粒を分散させた気流を発生させる金属微粉
粒供給手段と、該金属微粉粒供給手段の直下に設けら
れ、前記気流中に存在する前記金属微粉粒を蒸発させる
とともに酸化させて金属酸化物超微粒子を形成させる火
炎発生手段とを備えた超微粒子の製造装置を提供するも
のである。
上記手段によれば、溶融金属に対して高速気流を吹きつ
けることによって得られた気流中の金属微粉粒をただち
に、蒸発および酸化させることによって、金属酸化物超
微粒子を得る。そのため、金属微粉粒の表面に酸化物が
形成されることなく蒸発・酸化させることができるの
で、金属微粉粒の表面の酸化物による金属微粉粒の超微
粒子化の阻害を生じさせることなく効率よく金属微粉粒
の超微粒子化を行うことができる。
けることによって得られた気流中の金属微粉粒をただち
に、蒸発および酸化させることによって、金属酸化物超
微粒子を得る。そのため、金属微粉粒の表面に酸化物が
形成されることなく蒸発・酸化させることができるの
で、金属微粉粒の表面の酸化物による金属微粉粒の超微
粒子化の阻害を生じさせることなく効率よく金属微粉粒
の超微粒子化を行うことができる。
さらに、金属微粉粒供給手段の直下に火炎発生手段を設
けたので、金属微粉粒供給手段によって発生させた金属
微粉粒をただちに、火炎発生手段によって、蒸発および
酸化させて金属酸化物超微粒子を得る。そのため、金属
微粉粒の表面に酸化膜が形成されることなく蒸発・酸化
させることができるので、金属微粉粒の表面の酸化膜に
よる金属微粉粒の超微粒子化の阻害を生じさせることな
く容易に金属微粒子の超微粒子化を行うことができる。
けたので、金属微粉粒供給手段によって発生させた金属
微粉粒をただちに、火炎発生手段によって、蒸発および
酸化させて金属酸化物超微粒子を得る。そのため、金属
微粉粒の表面に酸化膜が形成されることなく蒸発・酸化
させることができるので、金属微粉粒の表面の酸化膜に
よる金属微粉粒の超微粒子化の阻害を生じさせることな
く容易に金属微粒子の超微粒子化を行うことができる。
以下本発明を図に示す実施例に基づいて説明する。第１
図は本発明の超微粒子の製造装置を模式的に示した断面
図で、１は黒鉛やアルミナ、ジルコニア等の耐熱性セラ
ミック材料よりなる円筒状のるつぼでその周囲には炭化
ケイ素発熱体等のセラミックヒータ２が配設され、通電
によりるつぼ１中の金属を融点以上にまで加熱できるよ
うに構成されている。るつぼ１の底部には溶融金属が重
力で糸状に流出するように口径１０mm程度の流出口１ａ
が設けられ、この流出口１ａには先端をニードル状に尖
らせた開閉棒３が電動モータ等によりこの開閉棒３を上
下方向に移動可能に構成された駆動手段３ａによって流
出口１ａを開閉可能に構成されている。
図は本発明の超微粒子の製造装置を模式的に示した断面
図で、１は黒鉛やアルミナ、ジルコニア等の耐熱性セラ
ミック材料よりなる円筒状のるつぼでその周囲には炭化
ケイ素発熱体等のセラミックヒータ２が配設され、通電
によりるつぼ１中の金属を融点以上にまで加熱できるよ
うに構成されている。るつぼ１の底部には溶融金属が重
力で糸状に流出するように口径１０mm程度の流出口１ａ
が設けられ、この流出口１ａには先端をニードル状に尖
らせた開閉棒３が電動モータ等によりこの開閉棒３を上
下方向に移動可能に構成された駆動手段３ａによって流
出口１ａを開閉可能に構成されている。
４はるつぼ１の下方に配設された気流噴出手段である噴
射ノズルで、鋳鉄等の金属等よりなり全体円盤状を呈
し、その上面および下面は、中央部にすり鉢状のテーパ
ー面と、その中心部に円孔４ａとを設けた円錐状凹部を
有する壁面４ｂと側壁４ｃとで囲まれた内部空間４ｄを
形成している。この空間４ｄには配管４ｅが接続され、
この配管４ｅの他端はバルブ４ｆを介して図示しない窒
素または空気の高圧ボンベや、圧縮機に接続されてい
る。そしてこの噴射ノズル４は、るつぼ１の流出口１ａ
から流下した溶融金属に５〜９Kg／cm2の窒素又は空気
の高速気流を吹き付けて溶融金属が効果的に微粉粒化で
きるように溶融金属の流下する鉛直線と、対向するテー
パー面の間に形成された断面先端先細り形状の通路に沿
って斜め下方に向って吹き出される高速気流の流線との
なす角αは、１５〜３５゜となるよう構成されている。
射ノズルで、鋳鉄等の金属等よりなり全体円盤状を呈
し、その上面および下面は、中央部にすり鉢状のテーパ
ー面と、その中心部に円孔４ａとを設けた円錐状凹部を
有する壁面４ｂと側壁４ｃとで囲まれた内部空間４ｄを
形成している。この空間４ｄには配管４ｅが接続され、
この配管４ｅの他端はバルブ４ｆを介して図示しない窒
素または空気の高圧ボンベや、圧縮機に接続されてい
る。そしてこの噴射ノズル４は、るつぼ１の流出口１ａ
から流下した溶融金属に５〜９Kg／cm2の窒素又は空気
の高速気流を吹き付けて溶融金属が効果的に微粉粒化で
きるように溶融金属の流下する鉛直線と、対向するテー
パー面の間に形成された断面先端先細り形状の通路に沿
って斜め下方に向って吹き出される高速気流の流線との
なす角αは、１５〜３５゜となるよう構成されている。
この噴射ノズル４の直下には、鋳鉄等の金属よりなり内
部に空間５ｂを有する中空円盤状のバーナ５が配設され
ており、このバーナ５は中心部に口径１０〜５０mmの貫
通口５ａを有するドーナツ状に形成されている。この空
間５ａにはバルブ５ｃを介して配管５ｄによりアセチレ
ンや天然ガス等の可燃性ガスと酸素の混合ガスが供給さ
れる。バーナ５の貫通口５ａの下端外周面にはリング状
に開口する燃料供給口５ｅが設けられており、この燃料
供給口５ｅは貫通口５ｂの中心に向けて斜め下方向に燃
料を噴出できるようにバーナ５の下面中央部はテーパー
面５ｆが形成されている。
部に空間５ｂを有する中空円盤状のバーナ５が配設され
ており、このバーナ５は中心部に口径１０〜５０mmの貫
通口５ａを有するドーナツ状に形成されている。この空
間５ａにはバルブ５ｃを介して配管５ｄによりアセチレ
ンや天然ガス等の可燃性ガスと酸素の混合ガスが供給さ
れる。バーナ５の貫通口５ａの下端外周面にはリング状
に開口する燃料供給口５ｅが設けられており、この燃料
供給口５ｅは貫通口５ｂの中心に向けて斜め下方向に燃
料を噴出できるようにバーナ５の下面中央部はテーパー
面５ｆが形成されている。
第２図はバーナー火炎中で生成した超微粒子の補集装置
を概念的に説明する図で、バーナ５に接続された排気ダ
クト６の他端開口部６ａ付近には排気用ファン７が設け
られ、そのダクト６の途中には、生成した超微粒子を直
接補集担持する触媒担体８が固定され、生成した超微粒
子が気流に乗ってこの触媒担体８中を通過する際に補集
される。なお触媒担体８は内部に三次元網目状骨格を形
成させたセラミックフィルタであり、自動車排ガス浄化
用触媒の担体として用いられるものである。また９は同
様にダクト６内に設けられたスクラバーで、気流中に浮
遊する超微粒子を噴霧水中に懸濁させて補集皿１０中に
補集落下するよう構成されている。
を概念的に説明する図で、バーナ５に接続された排気ダ
クト６の他端開口部６ａ付近には排気用ファン７が設け
られ、そのダクト６の途中には、生成した超微粒子を直
接補集担持する触媒担体８が固定され、生成した超微粒
子が気流に乗ってこの触媒担体８中を通過する際に補集
される。なお触媒担体８は内部に三次元網目状骨格を形
成させたセラミックフィルタであり、自動車排ガス浄化
用触媒の担体として用いられるものである。また９は同
様にダクト６内に設けられたスクラバーで、気流中に浮
遊する超微粒子を噴霧水中に懸濁させて補集皿１０中に
補集落下するよう構成されている。
次に、上記のように構成された本発明の超微粒子の製造
装置の作動について説明する。金属アルミニウムをるつ
ぼ１内に入れ、駆動手段３ａにより開閉棒３を下へ動か
し流出口１ａを閉じた状態にしておいて、ヒータ２に通
電させてるつぼ１内を７００〜９００゜に加熱しアルミ
ニウムを完全に溶融する。そして噴射ノズル４から空気
を２〜５m3／分、ガス供給口５ｃから燃料ガスを約５m3
／hr、それぞれ供給しながらこの燃料ガスに着火した。
このときの火炎の最高温度は約３０００℃となり、発生
熱量は５〜１０万kcal／hrである。次に噴出口開閉棒３
を上に移動させるつぼ１の流出口１ａを開くと、アルミ
ニウムの溶融金属は流出口１ａから１０００ｇ／hr程度
の供給量で細流となって流下する。そして噴射ノズル４
の中心円孔４ａ通過時に窒素又は空気の高速気流によっ
て１０〜１０００μ程度の広い分布をもつ粒径のアルミ
ニウム金属微粉粒を形成する。その後このアルミニウム
微粉粒は気流にのってバーナ５の通気孔５ａ内にただち
にはいり、続いて火炎中に分散する。この火炎中でアル
ミニウム金属微粉粒は、微粒化によってその表面積が増
大しているために効率的に熱を受けて瞬時に蒸発し、蒸
発した後火炎外周縁部の酸素濃度の高い領域ですみやか
に酸化され、0.01μ〜0.1μ程度の粒径を持つ球形のγ
−アルミナ超微粒子が生成した。第３図はこの超微粒子
の形状を撮影した透過型電子顕微鏡写真で写真右下のス
ケールに0.1μの長さを示した。火炎中で生成したγ−
アルミナ超微粒子は、ダクト６内を出口６ａに向う気流
に従って流下し、ダクト６の途中に設けられた担体８を
通過する間に、この担体の三次元網目状骨格表面に３０
０〜５００ｇ／hrの速度で補集されるた。なお、補集さ
れた超微粒子は担体を１０００〜１３００℃で熱処理す
ることにより定着する。そして残りのγ−アルミナ超微
粒子はほとんどスクラバー装置９により回収された。
装置の作動について説明する。金属アルミニウムをるつ
ぼ１内に入れ、駆動手段３ａにより開閉棒３を下へ動か
し流出口１ａを閉じた状態にしておいて、ヒータ２に通
電させてるつぼ１内を７００〜９００゜に加熱しアルミ
ニウムを完全に溶融する。そして噴射ノズル４から空気
を２〜５m3／分、ガス供給口５ｃから燃料ガスを約５m3
／hr、それぞれ供給しながらこの燃料ガスに着火した。
このときの火炎の最高温度は約３０００℃となり、発生
熱量は５〜１０万kcal／hrである。次に噴出口開閉棒３
を上に移動させるつぼ１の流出口１ａを開くと、アルミ
ニウムの溶融金属は流出口１ａから１０００ｇ／hr程度
の供給量で細流となって流下する。そして噴射ノズル４
の中心円孔４ａ通過時に窒素又は空気の高速気流によっ
て１０〜１０００μ程度の広い分布をもつ粒径のアルミ
ニウム金属微粉粒を形成する。その後このアルミニウム
微粉粒は気流にのってバーナ５の通気孔５ａ内にただち
にはいり、続いて火炎中に分散する。この火炎中でアル
ミニウム金属微粉粒は、微粒化によってその表面積が増
大しているために効率的に熱を受けて瞬時に蒸発し、蒸
発した後火炎外周縁部の酸素濃度の高い領域ですみやか
に酸化され、0.01μ〜0.1μ程度の粒径を持つ球形のγ
−アルミナ超微粒子が生成した。第３図はこの超微粒子
の形状を撮影した透過型電子顕微鏡写真で写真右下のス
ケールに0.1μの長さを示した。火炎中で生成したγ−
アルミナ超微粒子は、ダクト６内を出口６ａに向う気流
に従って流下し、ダクト６の途中に設けられた担体８を
通過する間に、この担体の三次元網目状骨格表面に３０
０〜５００ｇ／hrの速度で補集されるた。なお、補集さ
れた超微粒子は担体を１０００〜１３００℃で熱処理す
ることにより定着する。そして残りのγ−アルミナ超微
粒子はほとんどスクラバー装置９により回収された。
上記構成とすることによって、以下の効果を得ることが
できる。
できる。
即ち、通常アルミニウム金属微粉粒は空気中に放置する
ことによって、金属微粉粒の表面に酸化膜が形成され
る。そして金属微粉粒の表面の酸化膜の形成によって、
この酸化物が金属微粉粒の超微粒子化を阻害してしまう
ために、金属微粉粒を蒸発・酸化させても効率よくアル
ミニウムの超微粒子を得ることができないという問題が
生じる。
ことによって、金属微粉粒の表面に酸化膜が形成され
る。そして金属微粉粒の表面の酸化膜の形成によって、
この酸化物が金属微粉粒の超微粒子化を阻害してしまう
ために、金属微粉粒を蒸発・酸化させても効率よくアル
ミニウムの超微粒子を得ることができないという問題が
生じる。
ところが上記実施例においては、噴射ノズル４の直下に
空間５ｂを有するバーナ５を設けたので、アルミニウム
の溶融金属を高速気流によって形成したアルミニウム金
属微粉粒をただちに、バーナ５の通気孔５にいれ、火炎
中に分散させることとした。
空間５ｂを有するバーナ５を設けたので、アルミニウム
の溶融金属を高速気流によって形成したアルミニウム金
属微粉粒をただちに、バーナ５の通気孔５にいれ、火炎
中に分散させることとした。
このような構成とすることによって、アルミニウムの微
粉粒は表面に酸化膜がほとんど形成されることなく、た
だちに蒸発・酸化されるために、容易にアルミニウムの
超微粒子を得ることができる。
粉粒は表面に酸化膜がほとんど形成されることなく、た
だちに蒸発・酸化されるために、容易にアルミニウムの
超微粒子を得ることができる。
本発明の超微粒子の製造方法は、金属アルミニウムを用
いたγ−アルミナ超微粒子の製造の他に、Ｆｅ，Ｚｒ，
Ｃｒ，Ｚｎ，Ｍｇ，Ｓｉ等の金属を用いてそれらの酸化
物超微粒子を製造することができる。
いたγ−アルミナ超微粒子の製造の他に、Ｆｅ，Ｚｒ，
Ｃｒ，Ｚｎ，Ｍｇ，Ｓｉ等の金属を用いてそれらの酸化
物超微粒子を製造することができる。
また本発明の超微粒子の補集方法としては、補集フィル
タを用いたり、あるいは沈降堆積させて補集してもかま
わない。
タを用いたり、あるいは沈降堆積させて補集してもかま
わない。
さらに本発明の超微粒子の製造方法において、金属微粒
子を製造する工程は、上記実施例のようにバーナー上で
溶融金属に高速気流を噴射させて金属から連続的に直接
超微粒子化するのではなく別途、粉砕や噴霧等の方法で
微粒化させた金属微粉粒をバーナ５の中心部の貫通口５
ａから火炎中に導入させてもよい。
子を製造する工程は、上記実施例のようにバーナー上で
溶融金属に高速気流を噴射させて金属から連続的に直接
超微粒子化するのではなく別途、粉砕や噴霧等の方法で
微粒化させた金属微粉粒をバーナ５の中心部の貫通口５
ａから火炎中に導入させてもよい。
また上記実施例において噴射ノズル４は円環状の噴射口
４ａを有するものであったが、噴出口の形状はこれに限
定されるものではなく、独立した噴出口を２つ以上設け
て、それぞれから溶融金属流に収束する高速気流を吹き
出させるよう構成してもよい。
４ａを有するものであったが、噴出口の形状はこれに限
定されるものではなく、独立した噴出口を２つ以上設け
て、それぞれから溶融金属流に収束する高速気流を吹き
出させるよう構成してもよい。
第１図は本発明の超微粒子の製造方法を模式的に説明す
る模式図、第２図は生成した超微粒子の補集方法を説明
する模式図、第３図は本発明の製造方法により製造した
γ−アルミナ超微粒子の粒子構造を撮影した透過型電子
顕微鏡写真である。 １……るつぼ，２……ヒータ，４……噴射ノズル，５…
…バーナ。
る模式図、第２図は生成した超微粒子の補集方法を説明
する模式図、第３図は本発明の製造方法により製造した
γ−アルミナ超微粒子の粒子構造を撮影した透過型電子
顕微鏡写真である。 １……るつぼ，２……ヒータ，４……噴射ノズル，５…
…バーナ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０１Ｂ 33/12 7202−4Ｇ Ｃ０１Ｆ 5/04 9040−4Ｇ Ｃ０１Ｇ 9/02 Ｂ 25/02 37/02 49/02 Ｚ
Claims (5)
- 【請求項１】溶融金属に対して高速気流を吹きつけるこ
とによって金属微粉粒を分散させた気流を発生させ、 前記気流中に分散された前記金属微粉粒をただちに蒸発
させるとともに酸化させて金属酸化物超微粒子を形成さ
せることを特徴とする超微粒子の製造方法。 - 【請求項２】前記金属微粉粒は粒径が１０〜１０００
μ、前記金属酸化物超微粒子は０．０１〜０．１μの範
囲にあることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
超微粒子の製造方法。 - 【請求項３】溶融金属に対して高速気流を吹きつけるこ
とによって金属微粉粒を分散させた気流を発生させる金
属微粉粒供給手段と、 該金属微粉粒供給手段の直下に設けられ、前記気流中に
存在する前記金属微粉粒を蒸発させるとともに酸化させ
て金属酸化物超微粒子を形成させる火炎発生手段とを備
えたことを特徴とする超微粒子の製造装置。 - 【請求項４】前記金属微粉粒は粒径が１０〜１０００
μ、前記金属酸化物超微粒子は０．０１〜０．１μの範
囲にあることを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の
超微粒子の製造装置。 - 【請求項５】前記金属微粉粒供給手段は、金属を溶融す
る加熱炉と、該加熱炉で生成した溶融金属を流出する流
出口と、該流出口から流出した溶融金属に高速気流を吹
きつけることにより前記溶融金属を微粒化させる気流噴
射手段とで構成され、これらを前記火炎発生手段直上部
に配置することにより、原料となる金属から直接超微粒
子を製造することを特徴とする特許請求の範囲第３項記
載の超微粒子の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60163746A JPH0660003B2 (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 | 超微粒子の製造方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60163746A JPH0660003B2 (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 | 超微粒子の製造方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6227308A JPS6227308A (ja) | 1987-02-05 |
| JPH0660003B2 true JPH0660003B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=15779895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60163746A Expired - Lifetime JPH0660003B2 (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 | 超微粒子の製造方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0660003B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR930006483B1 (ko) * | 1991-06-24 | 1993-07-16 | 삼성전자 주식회사 | 멀티 화상의 메세지 출력회로 |
| JP4601497B2 (ja) * | 2005-06-28 | 2010-12-22 | 電気化学工業株式会社 | 球状アルミナ粉末、その製造方法および用途 |
| DE102006027334A1 (de) * | 2006-06-13 | 2008-01-10 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Metalloxidpulvern |
| AU2007324979B2 (en) * | 2006-12-01 | 2012-07-19 | Umicore | Process for the manufacture of nano-sized powders |
| KR101902123B1 (ko) * | 2017-07-21 | 2018-09-27 | 김태석 | 산화물 분말 제조장치 및 그 제조방법 |
| JP2023103698A (ja) * | 2022-01-14 | 2023-07-27 | アンヴァール株式会社 | 炭素固定装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60255602A (ja) * | 1984-05-29 | 1985-12-17 | Toyota Motor Corp | 酸化物超微粒子の製造方法 |
| JPS61205604A (ja) * | 1985-03-07 | 1986-09-11 | Res Dev Corp Of Japan | 酸化物超微粒子の製造方法及び装置 |
| JP2606928B2 (ja) * | 1989-08-10 | 1997-05-07 | 川崎製鉄株式会社 | 高強度、高靭性、高精度部品用合金鋼粉、及びこれを用いた焼結合金鋼の製造方法 |
-
1985
- 1985-07-24 JP JP60163746A patent/JPH0660003B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6227308A (ja) | 1987-02-05 |
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