JPH065418A - 半導体デバイスのハンドラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体デバイスのハンドラーの構成を簡単か
つ部品数を少なく実現して、コストを低減し、メインテ
ナンスも容易とする。 【構成】 電磁石２の芯２ａに巻き付けられたコイル３
に、スイッチ４をオンすることにより電源１３から電圧
が供給され、コイル３に電流が流れ、電磁石２の芯２ａ
が電磁石となり、鉄，ニッケルから成るリードフレーム
を有する半導体デバイス１がチャックである電磁石２に
吸着される。また、スイッチ４をオフすることにより、
電磁石２の芯２ａは磁力を失い半導体デバイス１は解放
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体デバイスを保持
し、所定部位に搬送した後、この半導体デバイスを解放
するチャックを有する半導体デバイスのハンドラーに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体デバイスのハンドラーのチ
ャックの一例を図５に示す。図５において、１は半導体
デバイス、７はこの半導体デバイス１を吸引して保持す
るバキュームチャックを構成するノズル、８はこのノズ
ル７にバキュームエアーを供給するための第１エアーホ
ース、９は上記ノズル７に対するバキュームエアーの供
給を制御するためのバキュームエアーバルブ、１０はこ
のバキュームエアーバルブ９の開閉を制御するためのバ
キュームエアーバルブ制御機構、１１はこのバキューム
エアーバルブ制御機構１０に外部ＣＰＵ等から供給され
る制御信号、１２は上記バキュームエアーバルブ９にバ
キュームエアーを供給する第２エアーホースである。図
４に示した従来の半導体デバイスのハンドラーは、上記
第２エアーホース１２がバキュームエアーバルブ９に接
続され、かつ、このバキュームエアーバルブ９に対し、
上記バキュームエアー制御信号１１により制御されるバ
キュームエアーバルブ制御機構１０が備えられている。

【０００３】動作は次のとおりである。上記バキューム
エアー制御機構１０により開閉されるバキュームバルブ
９は、上記第２エアーホース１２から供給されるバキュ
ームエアーを上記第１エアーホース８を介して上記ノズ
ル７に供給される。バキュームエアーバルブ９が開いて
いるとき、第２エアーホース１２から供給されるバキュ
ームエアーは第１エアーホース８を介してノズル７に供
給される。これにより、ノズル７の先端側に位置された
半導体デバイス１は吸引される。吸引後は、図示しない
搬送機構のアームでノズル７が移送されて所定位置に位
置決めされ、位置決め後はバキュームエアーバルブ９を
閉じることにより、第２エアーホース１２から供給され
るバキュームエアーはバキュームエアーバルブ９により
遮断され、ノズル７の先端側に保持された半導体デバイ
ス１を解放する。これにより、半導体デバイス１は所定
位置に位置決めされる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】以上のように従来の半
導体デバイスのハンドラーは、エアーバキュームによる
吸着式のチャックを用いて構成されていたので、その構
成の複雑さ、部品数の多さがハンドラーのコスト増加に
大きく関与している。また、部品数が多いため、そのメ
インテナンスも頻繁に行わなければならないという問題
点があった。

【０００５】本発明は上記のような問題点を解決するた
めになされたもので、簡単な構成で実現されかつ部品数
も大幅に削減されコストが低減できるとともに、メイン
テナンスも容易となる半導体デバイスのハンドラーを得
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体デバ
イスのハンドラーは、チャックとして磁石を主体として
構成し、半導体デバイス１を吸着可能とした。

【０００７】

【作用】本発明に係る半導体デバイスのハンドラーは、
半導体デバイス１のリードフレームの材料である鉄，ニ
ッケル材が磁石に吸引される特性に着目して、チャック
を構成する磁石の磁力により、半導体デバイス１を吸着
する。

【０００８】

【実施例】本発明に係る半導体デバイスのハンドラーの
一実施例を図１に示す。図において、１は磁石で吸着し
得る鉄，ニッケルから成るリードフレームを備えた半導
体デバイス、２ａは鉄，フェライト等の磁性材料から成
り、上下方向に延長する有底筒体より成る電磁石２の
芯、３はこの電磁石２の芯２ａに巻き付けられたコイ
ル、１３は当該コイル３の両端にスイッチ４を介して接
続された電源である。

【０００９】動作は次のとおりである。上記スイッチ４
をオンすることによりコイル３に電源が流れ、電磁石２
の芯２ａに磁力が発生する。この磁力により、鉄，ニッ
ケルから成るリードフレームが吸引されるので、電磁石
２の芯２ａの先端側に位置された半導体デバイス１は吸
着される。吸着後は、図示しない搬送機構のアームで電
磁石２の芯２ａが移動されて所定位置に位置決めされ、
位置決め後は上記スイッチ４をオフすることにより、コ
イル３の電流が遮断され、半導体デバイス１は解放され
る。これにより、半導体デバイス１は所定位置に位置決
めされる。

【００１０】本実施例によれば、電磁石２によりチャッ
クを構成して半導体デバイス１を吸着するので、電磁石
２と制御信号のみで構成されている。よって、ハンドラ
ーの構成およびその制御が簡単なものになり、また部品
数が減ることにより装置のメインテナンスも容易にな
り、ハンドラーのコストを低減することができる。

【００１１】本実施例では、上記コイル３の径，巻数，
電流値は、半導体デバイス１のパッケージの大きさ及び
モールド厚が一定でないため、パッケージ固有の最適な
コイル径，巻数，電流値に調整することが望ましい。
又、スイッチ４は接点式のスイッチを例示したが、トラ
ンジスタ等のスイッチング素子を用いても簡単に構成で
きる。

【００１２】又、図２に示すように、図１の電源１３の
代わりに、供給する電圧を変更可能な可変電圧電源１４
を用いて構成してもよく、これにより、コイル３に流れ
る電流値を最適値に調整できる。

【００１３】本発明に係る半導体デバイスのハンドラー
の他の実施例を図３及び図４に示す。本実施例は、上記
実施例の電磁石２の代わりに永久磁石を用いてチャック
を構成するものである。図において、１は半導体デバイ
ス、５は図示しないアームで移送可能な棒状の永久磁
石、６は外筒で、上記永久磁石５の外周に沿って上下方
向へスライド自在に図示しない保持機構により保持され
る。尚、図３は半導体デバイス１吸着時を示す図であ
り、図４は半導体デバイス１解放時を示す図である。

【００１４】本実施例の動作はつぎのとおりである。チ
ャックとして備えられた上記永久磁石５の外側に、外筒
６が取り付けられており、半導体デバイス１吸着時に
は、図３に示すように、外筒６が上方向にスライドさ
れ、永久磁石５の先端が外筒６から外部に露出した状態
となり、半導体デバイス１は、その鉄，ニッケルから成
るリードフレームが永久磁石に吸い付けられることによ
り、吸着される。また、移動，位置決め後、半導体デバ
イス１解放時には図４に示すように外筒６が下方向にス
ライドされ、永久磁石５が外筒６内に収納されることに
より、半導体デバイス１は解放される。

【００１５】ここで、永久磁石５のホルダーである外筒
６は、図示しない保持機構により保持され、かつ、上，
下方向へ移動される。この保持機構は例えばエアーバル
ブを備えたアクチュエータ等により構成されるが、プラ
スティック等で非常に軽量に構成可能な外筒６を吸引で
きればよいので、従来例と比べ、簡単な構成で部品数も
少なく実現でき、制御も簡単となる。

【００１６】

【発明の効果】本発明によれば、半導体デバイスのハン
ドラーのチャックとして磁石を主体として構成し、半導
体デバイスを吸着可能としたので、ハンドラーの構成及
びその制御が簡単となり、また、部品数が減少されるこ
とにより、メインテナンスも容易になり、かつハンドラ
ーのコストも低減される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る半導体デバイスのハンドラーの一
実施例を示す構成図である。

【図２】図１の実施例の応用実施例を示す構成図であ
る。

【図３】本発明に係る半導体デバイスのハンドラーの他
の実施例における半導体デバイス吸着時を示す構成図で
ある。

【図４】本発明に係る半導体デバイスのハンドラーの他
の実施例における半導体デバイス解放時を示す構成図で
ある。

【図５】従来の半導体デバイスのハンドラーの一例を示
す構成図である。

【符号の説明】

１ 半導体デバイス ２ 電磁石 ３ コイル ４ スイッチ ５ 永久磁石 ６ 外筒 １３ 電源

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体デバイスを保持し、所定部位に搬
   送した後上記半導体デバイスを解放するチャックを有す
   る半導体デバイスのハンドラーにおいて、上記チャック
   として磁石を主体として構成し、上記半導体デバイスを
   吸着可能としたことを特徴とする半導体デバイスのハン
   ドラー。